JPS61151032A - 光フアイバ母材製造用原料ガス供給装置 - Google Patents
光フアイバ母材製造用原料ガス供給装置Info
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- JPS61151032A JPS61151032A JP27935284A JP27935284A JPS61151032A JP S61151032 A JPS61151032 A JP S61151032A JP 27935284 A JP27935284 A JP 27935284A JP 27935284 A JP27935284 A JP 27935284A JP S61151032 A JPS61151032 A JP S61151032A
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- JP
- Japan
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- raw material
- gas
- carrier gas
- mixed
- mixed gas
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4481—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation using carrier gas in contact with the source material
- C23C16/4482—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation using carrier gas in contact with the source material by bubbling of carrier gas through liquid source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
- C03B2207/86—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid by bubbling a gas through the liquid
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の背景と目的〕
本発明は、気相軸付（ＶＡＤ）法による光コア ・イバ
母材製造用原料ガス供給装置に関するものである。
母材製造用原料ガス供給装置に関するものである。
コアがＧｅ、Ｐ等を含む石英ガラスで、クラッドが純粋
石英からなる全石英系の光ファイバは、低損失、広帯域
（ＧＩ型ファイバの場合）、製造が容易等の諸条件を満
足し、現在、最も広範囲に使用されている。この光ファ
イバを製作するのに用いられる光ファイバ母材は、近年
、生産性の高いＶＡＤ法あるいはこれに類似した方法で
製造されている。これらの方法は、常温では液体の８ｉ
Ｃｆｔ４、ＧｅＣｆ１ａ、ＰＯＣＬ等のガラス原料を、
キャリヤガスのＡ ｒ 、 ０２、Ｈｚ等でバプリ／グ
し、キャリヤガス中に上記原料液体を気化させて混入し
この混合ガスを酸水素炎等で加熱し、反応を起こさせて
ガラス微粉末（スート）としながらダミーの石英棒の先
端に順次堆積させてできた微粉末母材（スートロッドと
称す）をさらに高温に加熱し透明なカラスに焼結させて
コアガラスを製造している。
石英からなる全石英系の光ファイバは、低損失、広帯域
（ＧＩ型ファイバの場合）、製造が容易等の諸条件を満
足し、現在、最も広範囲に使用されている。この光ファ
イバを製作するのに用いられる光ファイバ母材は、近年
、生産性の高いＶＡＤ法あるいはこれに類似した方法で
製造されている。これらの方法は、常温では液体の８ｉ
Ｃｆｔ４、ＧｅＣｆ１ａ、ＰＯＣＬ等のガラス原料を、
キャリヤガスのＡ ｒ 、 ０２、Ｈｚ等でバプリ／グ
し、キャリヤガス中に上記原料液体を気化させて混入し
この混合ガスを酸水素炎等で加熱し、反応を起こさせて
ガラス微粉末（スート）としながらダミーの石英棒の先
端に順次堆積させてできた微粉末母材（スートロッドと
称す）をさらに高温に加熱し透明なカラスに焼結させて
コアガラスを製造している。
ところで、光ファイバを製造する場合に最も重要な点は
、コア屈折率分布形状をいかに目標通りに再現性よく製
造するかと云うことであり、このことは、スートの堆積
条件、ひいては原料ガスの供給状態、燃料用のＨ！、０
２、あるいは屈折率分布制御用のＡｒ、 Ｎｚ、 Ｈｅ
等の各徨ガスの供給状態をいかに安定させるかと云うこ
とにある。しかし、生産性をあげるために、大量のガラ
ス原料を供給しようとした場合、気化熱により原料液が
原料タンクと共に冷却され供給状態が変化する。あるい
は原料タンクを加熱した場合、混合ガスの配管内で原料
ガスが液化し、供給状態が大幅に変化する等の問題が生
じている。これらの対策として、従来から原料タンクを
外部から加熱すると共に、混合ガス配管系全体を保温、
あるいは加熱する方法がとられているが、配管の加熱効
率が悪く、原料の液化を完全に防止することができなか
った。また、配管の加熱設備も容易な作業ではないなど
の問題があった。
、コア屈折率分布形状をいかに目標通りに再現性よく製
造するかと云うことであり、このことは、スートの堆積
条件、ひいては原料ガスの供給状態、燃料用のＨ！、０
２、あるいは屈折率分布制御用のＡｒ、 Ｎｚ、 Ｈｅ
等の各徨ガスの供給状態をいかに安定させるかと云うこ
とにある。しかし、生産性をあげるために、大量のガラ
ス原料を供給しようとした場合、気化熱により原料液が
原料タンクと共に冷却され供給状態が変化する。あるい
は原料タンクを加熱した場合、混合ガスの配管内で原料
ガスが液化し、供給状態が大幅に変化する等の問題が生
じている。これらの対策として、従来から原料タンクを
外部から加熱すると共に、混合ガス配管系全体を保温、
あるいは加熱する方法がとられているが、配管の加熱効
率が悪く、原料の液化を完全に防止することができなか
った。また、配管の加熱設備も容易な作業ではないなど
の問題があった。
本発明は上記の状況に鑑みなされたものであり簡単な構
造で安定して混合ガスの供給ができる光ファイバ母材製
造用原料ガス供給装置を提供することを目的としたもの
である。
造で安定して混合ガスの供給ができる光ファイバ母材製
造用原料ガス供給装置を提供することを目的としたもの
である。
本発明の光ファイバ母材製造用原料ガス供給装置は、キ
ャリヤガスを送入されて内部の原料液が混合され混合ガ
ス化される原料タンクを設け、該原料タンクからの混合
ガスを原料ガス供給装置を通して光ファイバ母材製造装
置の反応系バーナに供給してなり、上記混合ガスの配管
の途中に連通され該配管内に加熱キャリヤガスを案内す
る加熱キャリヤガス配管と、該加熱キャリヤガス配管の
上記配管に対する上記連通した部分より上流位置に取り
付けられ上記混合ガスの温度より高温にキャリヤガスを
加熱するキャリヤガス加熱装置とを設けたものである。
ャリヤガスを送入されて内部の原料液が混合され混合ガ
ス化される原料タンクを設け、該原料タンクからの混合
ガスを原料ガス供給装置を通して光ファイバ母材製造装
置の反応系バーナに供給してなり、上記混合ガスの配管
の途中に連通され該配管内に加熱キャリヤガスを案内す
る加熱キャリヤガス配管と、該加熱キャリヤガス配管の
上記配管に対する上記連通した部分より上流位置に取り
付けられ上記混合ガスの温度より高温にキャリヤガスを
加熱するキャリヤガス加熱装置とを設けたものである。
即ち、原料タンク内においてキャリヤガスのハンプリン
グ等によりほぼ飽和状態の混合ガスを製造し、この混合
ガスの配管の途中に連通した配管から混合ガスよシも高
温のキャリヤガスを導入し、混合ガスを希釈するととも
に温度を高めることによシ連通部分以降の管路で原料ガ
スの結露を防止できるようにしたものである。
グ等によりほぼ飽和状態の混合ガスを製造し、この混合
ガスの配管の途中に連通した配管から混合ガスよシも高
温のキャリヤガスを導入し、混合ガスを希釈するととも
に温度を高めることによシ連通部分以降の管路で原料ガ
スの結露を防止できるようにしたものである。
以下本発明の光ファイバ母材製造用原料ガス供給装置を
実施例を用い図面により説明する。図は概略図である。
実施例を用い図面により説明する。図は概略図である。
図において、１はキャリヤガス導入管、２．３はそれぞ
れキャリヤガス流量制御装置、４は原料タンクで内部に
原料液５が充填されている。６はバブリング装置、７は
恒温槽、８はミストラップ、９はキャリヤガス加熱装置
、１０は混合ガス配管１２と加熱キャリヤガス配管１３
との連通部、１１はミキシングチャンバである。
れキャリヤガス流量制御装置、４は原料タンクで内部に
原料液５が充填されている。６はバブリング装置、７は
恒温槽、８はミストラップ、９はキャリヤガス加熱装置
、１０は混合ガス配管１２と加熱キャリヤガス配管１３
との連通部、１１はミキシングチャンバである。
ミキシングチャンバ１１を出た混合ガスは混合ガス配管
１２を経て反応系バーナ（図示せず）へ供給されるよう
になっており、また、キャリヤガス導入管１には矢印の
ようにＡｒガスなどのキャリヤガスが導入されるように
なっている。
１２を経て反応系バーナ（図示せず）へ供給されるよう
になっており、また、キャリヤガス導入管１には矢印の
ようにＡｒガスなどのキャリヤガスが導入されるように
なっている。
キャリヤガス導入管１からのキャリヤガスはキャリヤガ
ス流量制御装置２．３に分岐され、キャリヤガス流量制
御装置２に導入されたキャリヤガスは原料タンク４内に
導入されバブリング装置６によシ原料液５をバブリング
しほぼ飽和に近い混合ガスとし混合ガスはミストラップ
８を経て混合ガス配管１２から導出される。一方、キャ
リヤガス流量制御装置３に導入されたキャリヤガスはキ
ャリヤガス加熱装置９にてミストラップ８を出だ混合ガ
スよシ高温に加熱された後、加熱キャリヤガス配管１３
を経て連通部１０にて混合ガス配管１２内に導入され混
合ガスとミキシングチャンバ１１で混合されるようにな
っている。ここで混合された混合ガスは反応系バーナに
供給される。
ス流量制御装置２．３に分岐され、キャリヤガス流量制
御装置２に導入されたキャリヤガスは原料タンク４内に
導入されバブリング装置６によシ原料液５をバブリング
しほぼ飽和に近い混合ガスとし混合ガスはミストラップ
８を経て混合ガス配管１２から導出される。一方、キャ
リヤガス流量制御装置３に導入されたキャリヤガスはキ
ャリヤガス加熱装置９にてミストラップ８を出だ混合ガ
スよシ高温に加熱された後、加熱キャリヤガス配管１３
を経て連通部１０にて混合ガス配管１２内に導入され混
合ガスとミキシングチャンバ１１で混合されるようにな
っている。ここで混合された混合ガスは反応系バーナに
供給される。
そして、キャリヤガスとしてＡｒガスを用い、キャリヤ
ガス流量制御装置２に１．５ Ｉｌ、 ／ｍｉｎを、一
方、キャリヤガス流量制御装置３に０．５ｎ／ｍｉｎの
流量を流し、キャリヤガス加熱装置９の加熱温度を１０
０℃、恒温槽７の温度を２７℃に設定し、約６ｐ／ｍｉ
ｎのＳ １Ｃ４４を、配管系内の結露なしに反応系バー
ナに供給することが可能となった。そして、恒温槽７の
温度、キャリヤガス加熱装置９のキャリヤガス加熱の温
度を調節することにより５ｉ（Ｊ４では、ＬＯＰ／ｍｉ
ｎ以上のガス流量を管路における結露なしに安定し供給
できる。
ガス流量制御装置２に１．５ Ｉｌ、 ／ｍｉｎを、一
方、キャリヤガス流量制御装置３に０．５ｎ／ｍｉｎの
流量を流し、キャリヤガス加熱装置９の加熱温度を１０
０℃、恒温槽７の温度を２７℃に設定し、約６ｐ／ｍｉ
ｎのＳ １Ｃ４４を、配管系内の結露なしに反応系バー
ナに供給することが可能となった。そして、恒温槽７の
温度、キャリヤガス加熱装置９のキャリヤガス加熱の温
度を調節することにより５ｉ（Ｊ４では、ＬＯＰ／ｍｉ
ｎ以上のガス流量を管路における結露なしに安定し供給
できる。
このように本実施例の光ファイバ母材製造用原料ガス供
給装置は、原料液にキャリヤガスを添加し混合ガスを生
成させた後、この混合ガスより高温に加熱された加熱キ
ャリヤガスが添加されるようにしたので、８１Ｃ４４、
ＧｅＣ４，等のガラス原料ガスを多量に供給する場合に
、配管系、バーナ等で原料ガスが結露することなく安定
した状態で供給することができる。従って、伝送特性（
特に帯域特性）の安定した光ファイバ用母材を製造でき
る。
給装置は、原料液にキャリヤガスを添加し混合ガスを生
成させた後、この混合ガスより高温に加熱された加熱キ
ャリヤガスが添加されるようにしたので、８１Ｃ４４、
ＧｅＣ４，等のガラス原料ガスを多量に供給する場合に
、配管系、バーナ等で原料ガスが結露することなく安定
した状態で供給することができる。従って、伝送特性（
特に帯域特性）の安定した光ファイバ用母材を製造でき
る。
しかも、配管を加熱、保温したり、原料タンクを加熱す
ることに比べ構造が簡単である。
ることに比べ構造が簡単である。
〔発明の効果〕 。
以上記述した如く本発明の光ファイバ母材製造用原料ガ
ス供給装置は、簡単な構造で、安定した状態で混合ガス
を供給できる効果を有するものである。
ス供給装置は、簡単な構造で、安定した状態で混合ガス
を供給できる効果を有するものである。
図は本発明の光ファイバ母材製造用原料ガス供給装置の
実施例の概略図である。 １・・・・・・キャリヤガス導入管、２．３・・・・・
・キャリヤガス流量制御装置、４・・・・・・原料タン
ク、５・・・・・・原料液、６・・・・・・バブリング
装置、９・・・・・・キャリヤガス加熱装置、１０・・
・・・・連通部、１２・・・・・・混合ガス配管、１３
・・・・・加熱キャリヤガス配管。
実施例の概略図である。 １・・・・・・キャリヤガス導入管、２．３・・・・・
・キャリヤガス流量制御装置、４・・・・・・原料タン
ク、５・・・・・・原料液、６・・・・・・バブリング
装置、９・・・・・・キャリヤガス加熱装置、１０・・
・・・・連通部、１２・・・・・・混合ガス配管、１３
・・・・・加熱キャリヤガス配管。
Claims (1)
- （１）キャリヤガスを送入されて内部の原料液が混合さ
れ混合ガス化される原料タンクを設け、該原料タンクか
らの混合ガスを原料ガス供給装置を通して光ファイバ母
材製造装置の反応系バーナに供給するものにおいて、上
記混合ガスの配管の途中に連通され該配管内に加熱キャ
リヤガスを案内する加熱キャリヤガス配管と、該加熱キ
ャリヤガス配管の上記配管に対する上記連通した部分よ
り上流位置に取り付けられ上記混合ガスの温度より高温
にキャリヤガスを加熱するキャリヤガス加熱装置とを設
けたことを特徴とする光ファイバ母材製造用原料ガス供
給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27935284A JPS61151032A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 光フアイバ母材製造用原料ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27935284A JPS61151032A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 光フアイバ母材製造用原料ガス供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61151032A true JPS61151032A (ja) | 1986-07-09 |
Family
ID=17609971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27935284A Pending JPS61151032A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 光フアイバ母材製造用原料ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61151032A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018118771A1 (de) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | Leoni Kabel Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum reproduzierbaren Erzeugen einer Preform für die Glasfaserherstellung |
| US11434454B2 (en) | 2017-12-22 | 2022-09-06 | Church & Dwight Co., Inc. | Laundry detergent composition |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60260437A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP27935284A patent/JPS61151032A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60260437A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11434454B2 (en) | 2017-12-22 | 2022-09-06 | Church & Dwight Co., Inc. | Laundry detergent composition |
| DE102018118771A1 (de) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | Leoni Kabel Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum reproduzierbaren Erzeugen einer Preform für die Glasfaserherstellung |
| US20210309558A1 (en) * | 2018-08-02 | 2021-10-07 | Leoni Kabel Gmbh | Method and apparatus for reproducibly producing a preform for glass fiber manufacture |
| DE102018118771B4 (de) | 2018-08-02 | 2022-07-07 | Leoni Kabel Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum reproduzierbaren Erzeugen einer Preform für die Glasfaserherstellung |
| US11702358B2 (en) | 2018-08-02 | 2023-07-18 | J-Fiber Gmbh | Method and apparatus for reproducibly producing a preform for glass fiber manufacture |
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