JPS61148871A - 耐食性櫛形電極 - Google Patents
耐食性櫛形電極Info
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- JPS61148871A JPS61148871A JP27045684A JP27045684A JPS61148871A JP S61148871 A JPS61148871 A JP S61148871A JP 27045684 A JP27045684 A JP 27045684A JP 27045684 A JP27045684 A JP 27045684A JP S61148871 A JPS61148871 A JP S61148871A
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- thin film
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- metal thin
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/417—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、耐食性櫛形電極に関する。更罠詳しくは、湿
度センサーなど圧好適に用いられる耐食性櫛形電極に関
する。
度センサーなど圧好適に用いられる耐食性櫛形電極に関
する。
Ｌ３工、各種センサーなどの電子デバイスの電極には、
電気的特性、加工性、形成の容易性などの観点から、ア
ルミニウム薄膜が従来から用いられている。このような
アルミニウム電極の場合、工０やＬｉ９工のようにその
使用環境が限定されのるいは何らかの保護薄膜で被覆す
ることが許されているときには何ら問題を生じないが、
湿度センサーに用いる櫛形電極などでは、常に電極が感
湿膜を通して水分と接触しているため、アルミニウム電
極では耐食性という点で問題がある。
電気的特性、加工性、形成の容易性などの観点から、ア
ルミニウム薄膜が従来から用いられている。このような
アルミニウム電極の場合、工０やＬｉ９工のようにその
使用環境が限定されのるいは何らかの保護薄膜で被覆す
ることが許されているときには何ら問題を生じないが、
湿度センサーに用いる櫛形電極などでは、常に電極が感
湿膜を通して水分と接触しているため、アルミニウム電
極では耐食性という点で問題がある。
従って、このような場合には、電極材料として耐食性に
すぐれた金属を選択しなければならない。
すぐれた金属を選択しなければならない。
こうした薄膜電極は、一般に蒸着法やスパッタリング法
によって形成させた金属薄膜をエツチングによりパター
ニングして得ているが、特にスノぜツタリング法により
形成された耐食性金属薄膜は、バルク状態の金属より更
に耐食性が増し、通常のエツチング加工の適用は困難で
あるという問題を有している。
によって形成させた金属薄膜をエツチングによりパター
ニングして得ているが、特にスノぜツタリング法により
形成された耐食性金属薄膜は、バルク状態の金属より更
に耐食性が増し、通常のエツチング加工の適用は困難で
あるという問題を有している。
本発明者らは、耐食性櫛形電極を得る方法について種々
の検討を行なった結果、フォトリソグラフ工程と電解エ
ツチング法とを組合せることにより、かかる課題が効果
的に解決されることを見出した。
の検討を行なった結果、フォトリソグラフ工程と電解エ
ツチング法とを組合せることにより、かかる課題が効果
的に解決されることを見出した。
〔問題点を解決するための手段〕および〔作用〕従って
、本発明は耐食性櫛形電極に係り、この耐食性櫛形電極
は、絶縁基板上に形成させた耐食性被加工金属薄膜にフ
ォトレジストパターンを形成させた後、電解エツチング
して得られたものである。
、本発明は耐食性櫛形電極に係り、この耐食性櫛形電極
は、絶縁基板上に形成させた耐食性被加工金属薄膜にフ
ォトレジストパターンを形成させた後、電解エツチング
して得られたものである。
絶縁基板としては一般にガラス板などが用いられ、その
表面上にはステンレススチール、ハステロイ０１インコ
ネル、モネルなどの耐食性金属をスパッタリング法、イ
オンブレーティング法などにより、約０．１〜０．５声
程度の厚さで薄膜状で形成させる。
表面上にはステンレススチール、ハステロイ０１インコ
ネル、モネルなどの耐食性金属をスパッタリング法、イ
オンブレーティング法などにより、約０．１〜０．５声
程度の厚さで薄膜状で形成させる。
このようにして形成された耐食性被加工金属薄膜へのフ
ォトレジストパターンの形成は、周知のフォトリソグラ
フ工程を適用することによって行われる。即ち、金属薄
膜上にフォトレジストコーティングを行ない、そこに櫛
形電極のパターンの陰画または陽画を焼付けたガラス乾
板を重ね、光照射による焼付けおよび現像によって行わ
れる。
ォトレジストパターンの形成は、周知のフォトリソグラ
フ工程を適用することによって行われる。即ち、金属薄
膜上にフォトレジストコーティングを行ない、そこに櫛
形電極のパターンの陰画または陽画を焼付けたガラス乾
板を重ね、光照射による焼付けおよび現像によって行わ
れる。
この後、電解エツチングが行われるが、その操作は例え
ば第２図に示される如く、ＳＵＳ ３０４を陰極２１
Ｋ用い、ガラス基板２２上の金属薄膜２３を陽極として
、電圧Ｏ〜ＳＶ、電流０．１〜０．２ Ａで、スターテ
−２４の回転子２５の攪拌の下に、エツチング液２６中
で行われる。電解エツチングは、主として陽極金属薄膜
の表面で進むので、エツチング液を攪拌しながら、金属
薄膜部分を一定速度で沈めながら、一般に約２５〜８０
℃の温度で６０分間以内に行われる。なお、エツチング
液としては、リン酸−硫酸−無水クロム駿−水（重量比
６５：１５：５：１５）混合液、ＢＨＦ （フッ酸系）
、塩化第２鉄水溶液、硝酸、リン酸−硝酸混合液などが
用いられる。
ば第２図に示される如く、ＳＵＳ ３０４を陰極２１
Ｋ用い、ガラス基板２２上の金属薄膜２３を陽極として
、電圧Ｏ〜ＳＶ、電流０．１〜０．２ Ａで、スターテ
−２４の回転子２５の攪拌の下に、エツチング液２６中
で行われる。電解エツチングは、主として陽極金属薄膜
の表面で進むので、エツチング液を攪拌しながら、金属
薄膜部分を一定速度で沈めながら、一般に約２５〜８０
℃の温度で６０分間以内に行われる。なお、エツチング
液としては、リン酸−硫酸−無水クロム駿−水（重量比
６５：１５：５：１５）混合液、ＢＨＦ （フッ酸系）
、塩化第２鉄水溶液、硝酸、リン酸−硝酸混合液などが
用いられる。
本発明によれば、例えば第１図に示されるような、１５
Ｘ ３５ ｍ１ｌｌの寸法の金属薄膜の中央部に、幅
１００−１間隔２００−の線状歯を１３鴫の長さで多数
本形成させ、その長さの内１１ ｍ１ｌｌに相当する部
分で互いに対向する線状歯同士が噛み合っているような
状態の櫛形電極（上記寸法は一例である）を耐食性金属
で形成させることができ、得られた櫛形電極はその耐食
性のために湿度センサー、温度センサーなどの電極とし
て有効に使用することができる。
Ｘ ３５ ｍ１ｌｌの寸法の金属薄膜の中央部に、幅
１００−１間隔２００−の線状歯を１３鴫の長さで多数
本形成させ、その長さの内１１ ｍ１ｌｌに相当する部
分で互いに対向する線状歯同士が噛み合っているような
状態の櫛形電極（上記寸法は一例である）を耐食性金属
で形成させることができ、得られた櫛形電極はその耐食
性のために湿度センサー、温度センサーなどの電極とし
て有効に使用することができる。
第１図は、本発明に係る櫛形電極の一態様の平面図であ
る。また、第２図は、電解エツチング法の概要図である
。 （符号の説明） ２１・・・・・・陰極 ２２・・・・・・絶縁基板 ２３・・・・・耐食性金属薄膜
る。また、第２図は、電解エツチング法の概要図である
。 （符号の説明） ２１・・・・・・陰極 ２２・・・・・・絶縁基板 ２３・・・・・耐食性金属薄膜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、絶縁基板上に形成させた耐食性被加工金属薄膜にフ
ォトレジストパターンを形成させた後、電解エッチング
して得られた耐食性櫛形電極。 ２、耐食性被加工金属薄膜がスパッタリング法により形
成されたものである特許請求の範囲第１項記載の耐食性
櫛形電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27045684A JPS61148871A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 耐食性櫛形電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27045684A JPS61148871A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 耐食性櫛形電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61148871A true JPS61148871A (ja) | 1986-07-07 |
Family
ID=17486541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27045684A Pending JPS61148871A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 耐食性櫛形電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61148871A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848840A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Hitachi Ltd | 電気抵抗式湿度センサ及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP27045684A patent/JPS61148871A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848840A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Hitachi Ltd | 電気抵抗式湿度センサ及びその製造方法 |
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