JPS6114828A - ミラ−の精密取付方法 - Google Patents
ミラ−の精密取付方法Info
- Publication number
- JPS6114828A JPS6114828A JP13296384A JP13296384A JPS6114828A JP S6114828 A JPS6114828 A JP S6114828A JP 13296384 A JP13296384 A JP 13296384A JP 13296384 A JP13296384 A JP 13296384A JP S6114828 A JPS6114828 A JP S6114828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- adhesive
- convex portion
- mounting
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、レーザなどを用いる光学式の高精度測定機
構において、その光学系に含まれるミラーを高い面精度
を保って取付台に固着するためのミラーの精密取付方法
に関する。
構において、その光学系に含まれるミラーを高い面精度
を保って取付台に固着するためのミラーの精密取付方法
に関する。
（従来技術とその問題点）
測定装置、精密加工機あるいは半導体製造装置などにお
いては、レーザなどを用いて物体間の距離を測定するな
ど、光学式の高精度な測定機構を備えたものがある。こ
の種の光学式測定機構では、その光学系に平面ミラーや
Ｌ型ミラーなどが含まれていることが多く、そのミラー
が測定精度に係わる重要な要素になっている。特にミラ
ーの平面度が高精度に保たれていないと、測定誤差が生
じそれは簡単に補正することができない。
いては、レーザなどを用いて物体間の距離を測定するな
ど、光学式の高精度な測定機構を備えたものがある。こ
の種の光学式測定機構では、その光学系に平面ミラーや
Ｌ型ミラーなどが含まれていることが多く、そのミラー
が測定精度に係わる重要な要素になっている。特にミラ
ーの平面度が高精度に保たれていないと、測定誤差が生
じそれは簡単に補正することができない。
ミラーを取付台に固着する方法は、ネジ止め方式と接着
方式に大別される。ネジ止め方式では、ミラーをネジで
押える場所、方向、数などを様々に工夫しても、ネジで
押えることによる圧縮応力をなくすことはできず、この
応力でミラーが歪み、ミラーの面精度が劣化するのを防
止し難い。
方式に大別される。ネジ止め方式では、ミラーをネジで
押える場所、方向、数などを様々に工夫しても、ネジで
押えることによる圧縮応力をなくすことはできず、この
応力でミラーが歪み、ミラーの面精度が劣化するのを防
止し難い。
また従来の接着方式では、ミラーの取付面を全面的に精
度よく平面に仕上げておき、接着剤あるいは両面接着テ
ープを介し、ミラーを取付面に接着していた。しかし、
接着剤を均一な厚さで塗布することは非常に難しく、接
着剤の厚みむらがミラー表面に影響して面精度が低下す
る。両面接着テープを用いても同様である。テープ基材
およびその両面に塗布されている接着材を含む厚みは、
ミラー取付面の面精度と比較するとまったく均一でない
。ミラーはテープの凹凸にならってランダムに歪んでし
まい、面精度が低下する。
度よく平面に仕上げておき、接着剤あるいは両面接着テ
ープを介し、ミラーを取付面に接着していた。しかし、
接着剤を均一な厚さで塗布することは非常に難しく、接
着剤の厚みむらがミラー表面に影響して面精度が低下す
る。両面接着テープを用いても同様である。テープ基材
およびその両面に塗布されている接着材を含む厚みは、
ミラー取付面の面精度と比較するとまったく均一でない
。ミラーはテープの凹凸にならってランダムに歪んでし
まい、面精度が低下する。
（発明の目的）
この発明の目的は、取付部の構成および取付作業をそれ
ほど複雑にすることなく、接着剤を用いる簡単な方法で
、ミラーの面精度を低下させないようにしたミラーの精
密取付方法を提供することにある。
ほど複雑にすることなく、接着剤を用いる簡単な方法で
、ミラーの面精度を低下させないようにしたミラーの精
密取付方法を提供することにある。
（発明の構成と効果）
上記の目的を達成するために、この発明は、ミラーの裏
面に当接してミラーの位置決め基準面となる基準凸部を
取付台の所定位置に複数個形成するとともに、この基準
凸部の周辺にこれの上面より所定量低くした接着剤塗布
面を形成し、かつ上記基準凸部と上記接着剤塗布面との
間にこの接着剤塗布面より低い逃げ溝を環状に形成して
おき、上記接着剤塗布面にこれと上記基準凹部との高低
差を埋めるに足りる量の接着剤を塗布し、上記ミラーを
上記基準凸部に当接して位置決めし、上記ミラーと上記
接着剤塗布面との間から押し出される余剰接着剤を上記
逃げ溝に吸収するようにしたことを特徴とする。
面に当接してミラーの位置決め基準面となる基準凸部を
取付台の所定位置に複数個形成するとともに、この基準
凸部の周辺にこれの上面より所定量低くした接着剤塗布
面を形成し、かつ上記基準凸部と上記接着剤塗布面との
間にこの接着剤塗布面より低い逃げ溝を環状に形成して
おき、上記接着剤塗布面にこれと上記基準凹部との高低
差を埋めるに足りる量の接着剤を塗布し、上記ミラーを
上記基準凸部に当接して位置決めし、上記ミラーと上記
接着剤塗布面との間から押し出される余剰接着剤を上記
逃げ溝に吸収するようにしたことを特徴とする。
この方法によれば、基準凸部の上面（基準面）に接着剤
は付かず、この面にミラーの背面が直接当接して位置決
めされ、ミラーと接着剤塗布面との間に接着剤が自然に
充填された状態になる。したがって、接着剤がミラーを
歪める要因にはならず、基準凸部との当接によってミラ
ーは高い面精度を保って取付台に固着される。
は付かず、この面にミラーの背面が直接当接して位置決
めされ、ミラーと接着剤塗布面との間に接着剤が自然に
充填された状態になる。したがって、接着剤がミラーを
歪める要因にはならず、基準凸部との当接によってミラ
ーは高い面精度を保って取付台に固着される。
（実施例の説明）
第１図及び第２図はこの発明の一実施例を示している。
図において、１０は長方形の平面ミラー、１２はミラー
１０の取付台である。取付台１２には円柱状の突起から
なる基準凸部１４が３か所に形成されている。各基準凸
部１４は取付台１２のベース面１２ａから一定高さに形
成されており、３個の基準凸部１４の上面は同一平面を
なすように高精度に仕上げられている。これら基準凸部
１４の上面がミラー１０の取付基準面である。
１０の取付台である。取付台１２には円柱状の突起から
なる基準凸部１４が３か所に形成されている。各基準凸
部１４は取付台１２のベース面１２ａから一定高さに形
成されており、３個の基準凸部１４の上面は同一平面を
なすように高精度に仕上げられている。これら基準凸部
１４の上面がミラー１０の取付基準面である。
基準凸部１４の周囲には、ドーナツ板形をなしてベース
面１２ａから隆起した接着剤塗布面１６が形成されてお
り、この塗布面１６と基準凸部１４との間には環状の逃
げ溝１８が基準凸部１４をとり囲う堀のように形成され
ている。塗布面１６の高さは基準凸部１４の高さより一
定寸法だけ低くなっている。逃げ溝１８はベース面１２
ａと同じ深さになっている。
面１２ａから隆起した接着剤塗布面１６が形成されてお
り、この塗布面１６と基準凸部１４との間には環状の逃
げ溝１８が基準凸部１４をとり囲う堀のように形成され
ている。塗布面１６の高さは基準凸部１４の高さより一
定寸法だけ低くなっている。逃げ溝１８はベース面１２
ａと同じ深さになっている。
ミラー１０を取付台１２に固着するには、まず第２図（
Ａ）に示すように、適度な粘性を有する液状の接着剤２
０を塗布面１６に盛り上げるように塗布する。このとき
盛り上がった接着剤２０が基準凸部１４の上面より高く
なるようにする。
Ａ）に示すように、適度な粘性を有する液状の接着剤２
０を塗布面１６に盛り上げるように塗布する。このとき
盛り上がった接着剤２０が基準凸部１４の上面より高く
なるようにする。
次に第２図（Ｂ）に示すように、ミラー１０の裏面側を
基準凸部１４の上面に載置する。すると、ミラー１０の
自重により接着剤２０が上方から押えられ、周辺へ流動
する。つまり、ミラー１０が基準凸部１４の上面に正し
く当接したとき、ミラー１０と塗布面１６との間隔部分
を接着剤２０が埋め、余剰接着剤は内側の逃げ溝１８お
よび塗布面１６の外側へ自然に流動する。ここで注目す
べきことは、基準凸部１４をとり囲む環状に逃げ溝１８
が形成されているので、余剰接着剤はこの逃げ溝１８に
吸収され、基準凸部１４の上面とミラー１０の間に余剰
接着剤が進入することはない点である。したがってミラ
ー１０Ｇよ、その裏面が基準凸部１４の上面に直接当接
した状態で位置決めされ、接着材２０が硬化することに
よって取付は台１２に固着される。接着剤２０はミラー
１０に余分な力を加えることがなく、したがってミラー
１０は歪まず、高い面精度が維持される。
基準凸部１４の上面に載置する。すると、ミラー１０の
自重により接着剤２０が上方から押えられ、周辺へ流動
する。つまり、ミラー１０が基準凸部１４の上面に正し
く当接したとき、ミラー１０と塗布面１６との間隔部分
を接着剤２０が埋め、余剰接着剤は内側の逃げ溝１８お
よび塗布面１６の外側へ自然に流動する。ここで注目す
べきことは、基準凸部１４をとり囲む環状に逃げ溝１８
が形成されているので、余剰接着剤はこの逃げ溝１８に
吸収され、基準凸部１４の上面とミラー１０の間に余剰
接着剤が進入することはない点である。したがってミラ
ー１０Ｇよ、その裏面が基準凸部１４の上面に直接当接
した状態で位置決めされ、接着材２０が硬化することに
よって取付は台１２に固着される。接着剤２０はミラー
１０に余分な力を加えることがなく、したがってミラー
１０は歪まず、高い面精度が維持される。
なお、基準凸部１４の形状、数、配列態様などは勿論図
示した実施例に限定されない。基準凸部１４の設計上注
意すべき点は、ミラー１０を基準突部１４上に載置した
とき、ミラー１０の自重によるミラー１０自身の歪みが
最小になるようにすることである。
示した実施例に限定されない。基準凸部１４の設計上注
意すべき点は、ミラー１０を基準突部１４上に載置した
とき、ミラー１０の自重によるミラー１０自身の歪みが
最小になるようにすることである。
第１図は本発明の方法の一実施例を示すミラーと取付台
の斜視図、第２図（Ａ）（Ｂ）はミラーの接着工程を示
す断面図である。 １０・・・ミラー、１２・・・取付台、１２ａ・・・ベ
ース面、１４・・・基準凸部、１６・・・接着剤塗布面
、１８・・・逃げ溝、２０・・・接着剤。
の斜視図、第２図（Ａ）（Ｂ）はミラーの接着工程を示
す断面図である。 １０・・・ミラー、１２・・・取付台、１２ａ・・・ベ
ース面、１４・・・基準凸部、１６・・・接着剤塗布面
、１８・・・逃げ溝、２０・・・接着剤。
Claims (1)
- （１）高い面精度を保つてミラーを取付台上に固着する
方法であつて、ミラーの裏面に当接してミラーの位置決
め基準面となる基準凸部を取付台の所定位置に複数個形
成するとともに、この基準凸部の周辺にこれの上面より
所定量低くした接着剤塗布面を形成し、かつ上記基準凸
部と上記接着剤塗布面との間にこの接着剤塗布面より低
い逃げ溝を堀状に形成しておき、上記接着剤塗布面にこ
れと上記基準凸部との高低差を埋めるに足りる量の接着
剤を塗布し、上記ミラーを上記ミラーを上記基準凸部に
当接して位置決めし、上記ミラーと上記接着剤塗布面と
の間から押し出される余剰接着剤を上記逃げ溝に吸収す
るようにしたことを特徴とするミラーの精密取付方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13296384A JPS6114828A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ミラ−の精密取付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13296384A JPS6114828A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ミラ−の精密取付方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6114828A true JPS6114828A (ja) | 1986-01-23 |
Family
ID=15093593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13296384A Pending JPS6114828A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ミラ−の精密取付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6114828A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1143519A2 (en) * | 2000-04-04 | 2001-10-10 | Lucent Technologies Inc. | Apparatus and method for assembling optical devices |
| JP2009008883A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Konica Minolta Business Technologies Inc | レーザ走査光学装置内におけるミラー部材の固定構造 |
| JP2016150967A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | 学校法人立教学院 | 光学機器に使用するための鏡をプレートに接着させる方法 |
| EP3540491A4 (en) * | 2016-11-09 | 2020-06-03 | Nippon Seiki Co., Ltd. | MIRROR UNIT |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP13296384A patent/JPS6114828A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1143519A2 (en) * | 2000-04-04 | 2001-10-10 | Lucent Technologies Inc. | Apparatus and method for assembling optical devices |
| EP1143519A3 (en) * | 2000-04-04 | 2007-05-02 | Lucent Technologies Inc. | Apparatus and method for assembling optical devices |
| JP2009008883A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Konica Minolta Business Technologies Inc | レーザ走査光学装置内におけるミラー部材の固定構造 |
| JP2016150967A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | 学校法人立教学院 | 光学機器に使用するための鏡をプレートに接着させる方法 |
| EP3540491A4 (en) * | 2016-11-09 | 2020-06-03 | Nippon Seiki Co., Ltd. | MIRROR UNIT |
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