JPS61144548A - 微粒子計数装置 - Google Patents
微粒子計数装置Info
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- JPS61144548A JPS61144548A JP59266132A JP26613284A JPS61144548A JP S61144548 A JPS61144548 A JP S61144548A JP 59266132 A JP59266132 A JP 59266132A JP 26613284 A JP26613284 A JP 26613284A JP S61144548 A JPS61144548 A JP S61144548A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 26
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
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- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1456—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
- G01N15/1459—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は微粒子計数装置、特に流体に含まれるミクロン
ないしサブミクロンオーダの微粒子の検出に好適な微粒
子計数装置に関するものである。
ないしサブミクロンオーダの微粒子の検出に好適な微粒
子計数装置に関するものである。
従来のこの種装置としては、例えば“大気汚染粒子の粒
径分布の計測技術：中江茂（電総研）、産業と環境、７
ａ１９８−１０４（１９７Ｂ） ’の文献に記載されて
いるものがある。この装置は第５図に示すように、光源
１０から発する光１５Ａを集光レンズ１１を用いてオリ
フィス１２の位置に収れんし、このオリフィス１２内を
流通する流体に含まれる粒子に照射し、この粒子からの
散乱光１５Ｂが楕円型ミラ１３（または集光レンズ）に
より反射され、図に示す左方の一点１４へ集束され・る
ように構成されている。
径分布の計測技術：中江茂（電総研）、産業と環境、７
ａ１９８−１０４（１９７Ｂ） ’の文献に記載されて
いるものがある。この装置は第５図に示すように、光源
１０から発する光１５Ａを集光レンズ１１を用いてオリ
フィス１２の位置に収れんし、このオリフィス１２内を
流通する流体に含まれる粒子に照射し、この粒子からの
散乱光１５Ｂが楕円型ミラ１３（または集光レンズ）に
より反射され、図に示す左方の一点１４へ集束され・る
ように構成されている。
そして、上記集束点１４には、フォトマル（図示せず）
が設置されて・いるため、前記オリフィス１２を流体中
の粒子が一個ずつ通過するごとに散乱光によるパルス信
号を発生し、このパルス信号により粒子数を測定するも
のであり、比較的に散乱角の大きい散乱光を用いて計測
する方法である。ところが、前記粒子の直径が特に小さ
い粒子の散乱光の強度は、散乱角の大きいもの程低下す
る傾向があるので、微粒子の計測に前記のように散乱角
の大きい散乱光を用〜・た場合には、感度が低下する不
都合を生ずる。
が設置されて・いるため、前記オリフィス１２を流体中
の粒子が一個ずつ通過するごとに散乱光によるパルス信
号を発生し、このパルス信号により粒子数を測定するも
のであり、比較的に散乱角の大きい散乱光を用いて計測
する方法である。ところが、前記粒子の直径が特に小さ
い粒子の散乱光の強度は、散乱角の大きいもの程低下す
る傾向があるので、微粒子の計測に前記のように散乱角
の大きい散乱光を用〜・た場合には、感度が低下する不
都合を生ずる。
一方、光強度の大きい小角散乱光を集光し、フォトマル
により検出するためには、直進光と散乱光とのずれがか
なり太き（なる位置、すなわち、オリフィス１２からか
なり離れた位［１４にフォトマルを設置する必要がある
ため、装置全体は大型化する恐れがある。
により検出するためには、直進光と散乱光とのずれがか
なり太き（なる位置、すなわち、オリフィス１２からか
なり離れた位［１４にフォトマルを設置する必要がある
ため、装置全体は大型化する恐れがある。
本発明は上記のような先行技術の諸問題を解消し、流体
中に含まれる微粒子を、光強匿の大きい小角散乱光を用
いて高感度に検出できる小型な微粒子計数装置を提供す
ることを目的とするものである。
中に含まれる微粒子を、光強匿の大きい小角散乱光を用
いて高感度に検出できる小型な微粒子計数装置を提供す
ることを目的とするものである。
本発明は上記目的を達成するために、微粒子を含む流体
が定速度で通過するオリフィスと、このオリフィスヘレ
ーザ光を照射するレーザ発振器とを備える微粒子計数装
置において、前記オリフィスに対し前記レーザ発振器と
反対側に、・そのオリフィスからの透過光および散乱光
な反射するための平行な一対の反射鏡と、この両反射鏡
からの反射光の強度中心のずれを検出するための位置セ
ンサとを順次に配設したことを特徴とする。
が定速度で通過するオリフィスと、このオリフィスヘレ
ーザ光を照射するレーザ発振器とを備える微粒子計数装
置において、前記オリフィスに対し前記レーザ発振器と
反対側に、・そのオリフィスからの透過光および散乱光
な反射するための平行な一対の反射鏡と、この両反射鏡
からの反射光の強度中心のずれを検出するための位置セ
ンサとを順次に配設したことを特徴とする。
以下、本発明の微粒子計数装置の一実施例を図面につい
て説明する。
て説明する。
第１図は同実施例の構成の概要を示す図である。この図
において、１はレーザ発振器、２は微粒子を含有する流
体の流通する配管で、この配管２には前記レーザ発振器
１に対向・する部分に、前記微粒子を一個ずつ流通させ
るためのオリフィス２人が形成されている。５Ａ、３Ｂ
はそのオリフィス２人に対し前記レーザ発振器１と反対
側に、前記オリフィス２人内の微粒子６からの透過光８
および散乱光９（第２図参照）を反射するために平行に
配設した一対の反射鏡である。４は反射鏡３Ａ、３Ｂか
らの反射光の強度中心のずれを検出するための位置セン
ナ、５は位置センサ４からの出力を入力して前記微粒子
数を計数するカウンターである。
において、１はレーザ発振器、２は微粒子を含有する流
体の流通する配管で、この配管２には前記レーザ発振器
１に対向・する部分に、前記微粒子を一個ずつ流通させ
るためのオリフィス２人が形成されている。５Ａ、３Ｂ
はそのオリフィス２人に対し前記レーザ発振器１と反対
側に、前記オリフィス２人内の微粒子６からの透過光８
および散乱光９（第２図参照）を反射するために平行に
配設した一対の反射鏡である。４は反射鏡３Ａ、３Ｂか
らの反射光の強度中心のずれを検出するための位置セン
ナ、５は位置センサ４からの出力を入力して前記微粒子
数を計数するカウンターである。
次に上記のような構成からなる本実施例の作用を第２図
について説明する。
について説明する。
前記オリフィス２人の部分に微粒子６が存在しない場合
には、レーザ発振器１（第１図）からのレーザ光７は、
そのまま直進する透過光８に対して垂直よりわずかに傾
斜して設置された一対の反射鏡５Ａ、３Ｂ間を繰返し反
射された後に位置センサ４の中心部に達する。
には、レーザ発振器１（第１図）からのレーザ光７は、
そのまま直進する透過光８に対して垂直よりわずかに傾
斜して設置された一対の反射鏡５Ａ、３Ｂ間を繰返し反
射された後に位置センサ４の中心部に達する。
一方、前記オリフィス２人の部分に微粒子６が 。
存在する場合には、微粒子６による散乱光９は、一対の
反射ｆａ５に、５Ｂ間を繰返し反射される間に透過光８
とのずれが増幅され、位置センサ４の中心からずれた位
置に達する。このため、ビームにゆがみを生じて位置セ
ンサ４により前記微粒子６を検出し、この検出数をカウ
ンタ５により計測することが可能である。
反射ｆａ５に、５Ｂ間を繰返し反射される間に透過光８
とのずれが増幅され、位置センサ４の中心からずれた位
置に達する。このため、ビームにゆがみを生じて位置セ
ンサ４により前記微粒子６を検出し、この検出数をカウ
ンタ５により計測することが可能である。
なお、透過光８に対する反射鏡３４．３Ｂの角度が垂直
に近い桿、透過光８が位置センサ４に達するまでの反射
回数が多くなるため、装置全体を小型化するには、垂直
に対してわずかに傾斜させて設置することが効果的であ
る。
に近い桿、透過光８が位置センサ４に達するまでの反射
回数が多くなるため、装置全体を小型化するには、垂直
に対してわずかに傾斜させて設置することが効果的であ
る。
以上説明したように、本発明によれば、流体中に含まれ
る微粒子による光強度の大きい小角散乱光を位置センサ
により検出し、ミクロンないしサブミクロンオーダの微
粒子の計数を行うと共に、装置全体の小屋化をはかるこ
とができる。
る微粒子による光強度の大きい小角散乱光を位置センサ
により検出し、ミクロンないしサブミクロンオーダの微
粒子の計数を行うと共に、装置全体の小屋化をはかるこ
とができる。
第１図および第２図は本発明に係わる微粒子計数装置の
一実施例の構成を示す概略図およびその作用の説明図、
第３図は従来の微粒子計数装置の一例を示す概略構成図
である。 １・・・レーザ発振器、 ２Ａ ・・・オリフィス
、３Ａ、５Ｂ・・・反射鏡、 ４・・・位置センサ
、８・・・透過光、 ９・・・散乱光。 代私弁理士高橋明夫 第２図 午 第３図
一実施例の構成を示す概略図およびその作用の説明図、
第３図は従来の微粒子計数装置の一例を示す概略構成図
である。 １・・・レーザ発振器、 ２Ａ ・・・オリフィス
、３Ａ、５Ｂ・・・反射鏡、 ４・・・位置センサ
、８・・・透過光、 ９・・・散乱光。 代私弁理士高橋明夫 第２図 午 第３図
Claims (1)
- 微粒子を含む流体が定速度で通過するオリフィスと、こ
のオリフィスへレーザ光を照射するレーザ発振器とを備
える微粒子計数装置において、前記オリフィスに対し前
記レーザ発振器と反対側に、そのオリフィスからの透過
光および散乱光を反射するための平行な一対の反射鏡と
、この両反射鏡からの反射光の強度中心のずれを検出す
るための位置センサとを順次に配設したことを特徴とす
る微粒子計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59266132A JPS61144548A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 微粒子計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59266132A JPS61144548A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 微粒子計数装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144548A true JPS61144548A (ja) | 1986-07-02 |
Family
ID=17426771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59266132A Pending JPS61144548A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 微粒子計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144548A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5247188A (en) * | 1992-01-23 | 1993-09-21 | High Yield Technology | Concentrator funnel for vacuum line particle monitors |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP59266132A patent/JPS61144548A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5247188A (en) * | 1992-01-23 | 1993-09-21 | High Yield Technology | Concentrator funnel for vacuum line particle monitors |
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