JP2000266661A - フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置 - Google Patents
フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置Info
- Publication number
- JP2000266661A JP2000266661A JP11073979A JP7397999A JP2000266661A JP 2000266661 A JP2000266661 A JP 2000266661A JP 11073979 A JP11073979 A JP 11073979A JP 7397999 A JP7397999 A JP 7397999A JP 2000266661 A JP2000266661 A JP 2000266661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow cell
- wall surface
- sample fluid
- irradiation area
- particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 42
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料流体が相違しても照射領域が位置ずれを
起こさないフローセルを提供する。 【解決手段】 レーザ光Ｌａを照射して粒子検出部とし
ての照射領域Ｍを内部に形成し、この照射領域Ｍを通過
する試料流体６に含まれる粒子の粒径等の粒子情報を得
るためのフローセルにおいて、レーザ光Ｌａがフローセ
ル１の外壁面５ａに所定の入射角θ1（θ1≠０°）で入
射すると共に、フローセル１の内壁面５ｂから屈折角が
ほぼ０°で試料流体６に出射するように壁部５の形状を
形成した。
起こさないフローセルを提供する。 【解決手段】 レーザ光Ｌａを照射して粒子検出部とし
ての照射領域Ｍを内部に形成し、この照射領域Ｍを通過
する試料流体６に含まれる粒子の粒径等の粒子情報を得
るためのフローセルにおいて、レーザ光Ｌａがフローセ
ル１の外壁面５ａに所定の入射角θ1（θ1≠０°）で入
射すると共に、フローセル１の内壁面５ｂから屈折角が
ほぼ０°で試料流体６に出射するように壁部５の形状を
形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、粒子検出部として
の照射領域を内部に形成するフローセル及びこのフロー
セルを用いて照射領域を通過する試料流体に含まれる粒
子の粒径等の粒子情報を得る粒子測定装置に関する。
の照射領域を内部に形成するフローセル及びこのフロー
セルを用いて照射領域を通過する試料流体に含まれる粒
子の粒径等の粒子情報を得る粒子測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６に示すように、従来のフローセル１
００は、透明部材から成り、断面形状を四角形状として
所定長さの直線流路を有して形成されている。そして、
レーザ光Ｌａが透過するフローセル１００を構成する壁
部１０１の外壁面１０１ａと内壁面１０１ｂは平行に形
成されている。
００は、透明部材から成り、断面形状を四角形状として
所定長さの直線流路を有して形成されている。そして、
レーザ光Ｌａが透過するフローセル１００を構成する壁
部１０１の外壁面１０１ａと内壁面１０１ｂは平行に形
成されている。
【０００３】また、フローセル１００にレーザ光源から
レーザ光Ｌａを照射する場合には、図７に示すように、
レーザ光Ｌａを空気と外壁面１０１ａとの境界面に所定
の入射角θ11（θ11≠０°）で入射させ、屈折角θ12で
屈折させている。これは、レーザ光Ｌａを入射角θ11＝
０°としてフローセル１００の外壁面１０１ａに垂直に
入射させると、レーザ光Ｌａが外壁面１０１ａで反射し
て反射光の一部がレーザ光源に戻り、帰還ノイズとして
レーザ光Ｌａに重畳するのを防止するためである。
レーザ光Ｌａを照射する場合には、図７に示すように、
レーザ光Ｌａを空気と外壁面１０１ａとの境界面に所定
の入射角θ11（θ11≠０°）で入射させ、屈折角θ12で
屈折させている。これは、レーザ光Ｌａを入射角θ11＝
０°としてフローセル１００の外壁面１０１ａに垂直に
入射させると、レーザ光Ｌａが外壁面１０１ａで反射し
て反射光の一部がレーザ光源に戻り、帰還ノイズとして
レーザ光Ｌａに重畳するのを防止するためである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、フローセル１
００中を流れる試料流体（試料の溶媒）１０２の屈折率
によって、内壁面１０１ｂと試料流体１０２との境界面
におけるレーザ光Ｌａの屈折角が異なるため、試料流体
１０２中を進むレーザ光はＬａ１（試料流体の屈折率が
ｎ2の場合）又はＬａ２（試料流体の屈折率がｎ3の場
合）となり、流路の中心に設けられる粒子検出部として
の照射領域Ｍが位置ずれを起こしてしまう。即ち、スネ
ルの法則により、内壁面１０１ｂと試料流体１０２との
境界面にレーザ光Ｌａが入射角θ13（外壁面１０１ａと
内壁面１０１ｂが平行に形成されているので、θ13＝θ
12となる。）で入射すると、試料流体１０２の屈折率が
ｎ2の場合には、屈折角θ14となり、試料流体１０２の
屈折率がｎ3の場合には、屈折角θ15となるからであ
る。
００中を流れる試料流体（試料の溶媒）１０２の屈折率
によって、内壁面１０１ｂと試料流体１０２との境界面
におけるレーザ光Ｌａの屈折角が異なるため、試料流体
１０２中を進むレーザ光はＬａ１（試料流体の屈折率が
ｎ2の場合）又はＬａ２（試料流体の屈折率がｎ3の場
合）となり、流路の中心に設けられる粒子検出部として
の照射領域Ｍが位置ずれを起こしてしまう。即ち、スネ
ルの法則により、内壁面１０１ｂと試料流体１０２との
境界面にレーザ光Ｌａが入射角θ13（外壁面１０１ａと
内壁面１０１ｂが平行に形成されているので、θ13＝θ
12となる。）で入射すると、試料流体１０２の屈折率が
ｎ2の場合には、屈折角θ14となり、試料流体１０２の
屈折率がｎ3の場合には、屈折角θ15となるからであ
る。
【０００５】すると、屈折率ｎ2の試料流体に対応した
照射領域Ｍの位置に合せて設定されている集光手段は、
屈折率ｎ3の試料流体の場合には照射領域Ｍが位置ずれ
し、照射領域Ｍを通過する粒子による散乱光などを検出
することができない。従って、試料流体の違いにより、
粒径等の粒子情報を正確に検出することができないとい
う問題がある。
照射領域Ｍの位置に合せて設定されている集光手段は、
屈折率ｎ3の試料流体の場合には照射領域Ｍが位置ずれ
し、照射領域Ｍを通過する粒子による散乱光などを検出
することができない。従って、試料流体の違いにより、
粒径等の粒子情報を正確に検出することができないとい
う問題がある。
【０００６】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、試料流体が相違しても照射領域が位置ずれを起
こさず、試料流体に含まれる粒子の粒径等の粒子情報を
得ることができるフローセル及びこのフローセルを用い
た粒子測定装置を提供しようとするものである。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、試料流体が相違しても照射領域が位置ずれを起
こさず、試料流体に含まれる粒子の粒径等の粒子情報を
得ることができるフローセル及びこのフローセルを用い
た粒子測定装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく請
求項１に係る発明は、光を照射して粒子検出部としての
照射領域を内部に形成し、この照射領域を通過する試料
流体に含まれる粒子の粒径等の粒子情報を得るためのフ
ローセルにおいて、前記光がフローセルの外壁面に所定
の入射角θ（θ≠０°）で入射すると共に、フローセル
の内壁面から屈折角がほぼ０°で前記試料流体に出射す
るように壁部の形状を形成したものである。
求項１に係る発明は、光を照射して粒子検出部としての
照射領域を内部に形成し、この照射領域を通過する試料
流体に含まれる粒子の粒径等の粒子情報を得るためのフ
ローセルにおいて、前記光がフローセルの外壁面に所定
の入射角θ（θ≠０°）で入射すると共に、フローセル
の内壁面から屈折角がほぼ０°で前記試料流体に出射す
るように壁部の形状を形成したものである。
【０００８】請求項２に係る発明は、請求項１記載のフ
ローセルと、このフローセルの流路に光を照射して照射
領域を形成する光源と、前記照射領域の粒子の散乱光、
透過光又は回折光を検出処理する光学的検出処理手段を
備えるものである。
ローセルと、このフローセルの流路に光を照射して照射
領域を形成する光源と、前記照射領域の粒子の散乱光、
透過光又は回折光を検出処理する光学的検出処理手段を
備えるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
粒子測定装置の構成図、図２は本発明に係るフローセル
の断面図、図３はフローセルの壁部における光の透過経
路の説明図、図４及び図５はフローセルの他の実施の形
態の断面図である。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
粒子測定装置の構成図、図２は本発明に係るフローセル
の断面図、図３はフローセルの壁部における光の透過経
路の説明図、図４及び図５はフローセルの他の実施の形
態の断面図である。
【００１０】本発明に係る粒子測定装置は、図１に示す
ように、フローセル１、レーザ光源２、集光光学系３、
光電変換素子４などを備えて成る。フローセル１は、透
明部材から成り、所定長さの直線流路１ａを有し、全体
としてＬ型筒形状に屈曲している。直線流路１ａの中心
軸は、Ｘ方向と一致している。
ように、フローセル１、レーザ光源２、集光光学系３、
光電変換素子４などを備えて成る。フローセル１は、透
明部材から成り、所定長さの直線流路１ａを有し、全体
としてＬ型筒形状に屈曲している。直線流路１ａの中心
軸は、Ｘ方向と一致している。
【００１１】また、フローセル１は、図２に示すよう
に、断面形状が四角形状の壁部５からなり、内側の断面
形状は正方形であり、外側の断面形状は平行四辺形であ
る。従って、レーザ光Ｌａが入射する外壁面５ａとレー
ザ光Ｌａが出射する内壁面５ｂとは、平行ではなく、外
壁面５ａは内壁面５ｂに対して所定の角度（傾斜）を有
している。同様に、レーザ光Ｌａが入射する内壁面５ｃ
とレーザ光Ｌａが外部に出射する外壁面５ｄも平行では
なく、外壁面５ｄは内壁面５ｃに対して所定の角度（傾
斜）を有している。
に、断面形状が四角形状の壁部５からなり、内側の断面
形状は正方形であり、外側の断面形状は平行四辺形であ
る。従って、レーザ光Ｌａが入射する外壁面５ａとレー
ザ光Ｌａが出射する内壁面５ｂとは、平行ではなく、外
壁面５ａは内壁面５ｂに対して所定の角度（傾斜）を有
している。同様に、レーザ光Ｌａが入射する内壁面５ｃ
とレーザ光Ｌａが外部に出射する外壁面５ｄも平行では
なく、外壁面５ｄは内壁面５ｃに対して所定の角度（傾
斜）を有している。
【００１２】なお、所定長さの直線流路１ａを設けた理
由は、フローセル１に試料流体６を流したとき、試料流
体６の流れを層流にするためである。層流を得るための
条件としては、試料流体６の粘度、直線流路の長さ、流
路の断面形状及び流速などが挙げられ、直線流路１ａの
長さ及び流路の断面形状については、試料流体６の粘度
と流速を勘案して決定している。
由は、フローセル１に試料流体６を流したとき、試料流
体６の流れを層流にするためである。層流を得るための
条件としては、試料流体６の粘度、直線流路の長さ、流
路の断面形状及び流速などが挙げられ、直線流路１ａの
長さ及び流路の断面形状については、試料流体６の粘度
と流速を勘案して決定している。
【００１３】レーザ光源２は、フローセル１の直線流路
１ａの所定箇所にレーザ光Ｌａを照射して照射領域Ｍを
形成する。ここで、レーザ光Ｌａの光軸は、直線流路１
ａ内において直線流路１ａの中心軸とほぼ直交してい
る。
１ａの所定箇所にレーザ光Ｌａを照射して照射領域Ｍを
形成する。ここで、レーザ光Ｌａの光軸は、直線流路１
ａ内において直線流路１ａの中心軸とほぼ直交してい
る。
【００１４】また、図２に示すように、レーザ光Ｌａ
は、外壁面５ａに対して入射角θ1で入射している。こ
れは、上述のようにレーザ光Ｌａがフローセル１の外壁
面５ａに反射して反射光の一部がレーザ光源２に戻るの
を防止するためである。反射光の一部がレーザ光源２に
戻ると、帰還ノイズがレーザ光Ｌａに重畳するので好ま
しくないからである。
は、外壁面５ａに対して入射角θ1で入射している。こ
れは、上述のようにレーザ光Ｌａがフローセル１の外壁
面５ａに反射して反射光の一部がレーザ光源２に戻るの
を防止するためである。反射光の一部がレーザ光源２に
戻ると、帰還ノイズがレーザ光Ｌａに重畳するので好ま
しくないからである。
【００１５】集光光学系３は、フローセル１の直線流路
１ａの中心軸と一致する光軸を有し、照射領域Ｍにおい
てレーザ光Ｌａを受けた粒子が発する散乱光Ｌｓを集光
する機能を備える。なお、集光光学系３は、必ずしもフ
ローセル１の直線流路１ａの中心軸上に設ける必要はな
い。
１ａの中心軸と一致する光軸を有し、照射領域Ｍにおい
てレーザ光Ｌａを受けた粒子が発する散乱光Ｌｓを集光
する機能を備える。なお、集光光学系３は、必ずしもフ
ローセル１の直線流路１ａの中心軸上に設ける必要はな
い。
【００１６】光電変換素子４は、集光光学系３の光軸上
に設けられている。光電変換素子４は、粒子が照射領域
Ｍを通過する間に発する散乱光Ｌｓを電圧に変換する。
なお、集光光学系３以降の手段を光学的検出処理手段と
いう。
に設けられている。光電変換素子４は、粒子が照射領域
Ｍを通過する間に発する散乱光Ｌｓを電圧に変換する。
なお、集光光学系３以降の手段を光学的検出処理手段と
いう。
【００１７】以上のように構成した本発明に係るフロー
セル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置の作用に
ついて説明する。ここで、空気の屈折率をｎ0、フロー
セル１の壁部５の屈折率をｎ1、試料流体６の屈折率を
ｎ2又はｎ3とする。
セル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置の作用に
ついて説明する。ここで、空気の屈折率をｎ0、フロー
セル１の壁部５の屈折率をｎ1、試料流体６の屈折率を
ｎ2又はｎ3とする。
【００１８】図３に示すように、レーザ光源２から出射
されたレーザ光Ｌａが、空気と外壁面５ａとの境界面に
入射して屈折するときには、スネルの法則に従う。スネ
ルの法則によれば、入射角θ1と屈折角θ2との間に、以
下に示す数式（１）が成り立つ。
されたレーザ光Ｌａが、空気と外壁面５ａとの境界面に
入射して屈折するときには、スネルの法則に従う。スネ
ルの法則によれば、入射角θ1と屈折角θ2との間に、以
下に示す数式（１）が成り立つ。
【００１９】 ｎ0・ｓｉｎθ1＝ｎ1・ｓｉｎθ2 （１）
【００２０】次いで、レーザ光Ｌａは、壁部５を直進す
る。そして、内壁面５ｂと試料流体６との境界面では、
同様にスネルの法則に従い、入射角θ3と屈折率ｎ2の試
料流体６の屈折角θ4、又は入射角θ3と屈折率ｎ3の試
料流体６の屈折角θ5との間に、以下に示す数式（２）
が成り立つ。
る。そして、内壁面５ｂと試料流体６との境界面では、
同様にスネルの法則に従い、入射角θ3と屈折率ｎ2の試
料流体６の屈折角θ4、又は入射角θ3と屈折率ｎ3の試
料流体６の屈折角θ5との間に、以下に示す数式（２）
が成り立つ。
【００２１】 ｎ1・ｓｉｎθ3＝ｎ2・ｓｉｎθ4＝ｎ3・ｓｉｎθ5 （２）
【００２２】従って、試料流体６の屈折率の値（ｎ2又
はｎ3）に影響されずに照射領域Ｍの位置を一定にする
には、屈折角をほぼ等しくすればよい。数式（２）か
ら、その条件を満足させるには、ｓｉｎθ3＝ｓｉｎθ4
＝ｓｉｎθ5＝０、即ちレーザ光Ｌａを内壁面５ｂと試
料流体６との境界面に入射角θ3＝０°で入射させれば
よい。
はｎ3）に影響されずに照射領域Ｍの位置を一定にする
には、屈折角をほぼ等しくすればよい。数式（２）か
ら、その条件を満足させるには、ｓｉｎθ3＝ｓｉｎθ4
＝ｓｉｎθ5＝０、即ちレーザ光Ｌａを内壁面５ｂと試
料流体６との境界面に入射角θ3＝０°で入射させれば
よい。
【００２３】すると、屈折角θ4＝屈折角θ5＝０°とな
り、常に等しい屈折角（０°）でレーザ光Ｌａは試料流
体６中を進むことになる。なお、θ3は厳密に０°であ
る必要はなく、照射領域Ｍの位置ずれが許容できる範囲
内であればよい。従って、θ3は、ほぼ０°であればよ
い。
り、常に等しい屈折角（０°）でレーザ光Ｌａは試料流
体６中を進むことになる。なお、θ3は厳密に０°であ
る必要はなく、照射領域Ｍの位置ずれが許容できる範囲
内であればよい。従って、θ3は、ほぼ０°であればよ
い。
【００２４】そこで、内壁面５ｂと試料流体６との境界
面に入射角θ3＝０°でレーザ光Ｌａを入射させるため
には、図３に示すように、外壁面５ａと内壁面５ｂとの
なす角をθ5とすると、空気と外壁面５ａとの境界面に
おける屈折角θ2がθ5に等しくなる（θ2＝θ5）ように
すればよい。
面に入射角θ3＝０°でレーザ光Ｌａを入射させるため
には、図３に示すように、外壁面５ａと内壁面５ｂとの
なす角をθ5とすると、空気と外壁面５ａとの境界面に
おける屈折角θ2がθ5に等しくなる（θ2＝θ5）ように
すればよい。
【００２５】更に、数式（１）において、θ2＝θ5とし
て、どのくらいの入射角θ1で、レーザ光Ｌａを空気と
外壁面５ａとの境界面に入射させればよいかを求める。
入射角θ1は、空気の屈折率ｎ0、フローセル１の壁部５
の屈折率ｎ1、外壁面５ａと内壁面５ｂとのなす角θ6に
より決定され、以下に示す数式（３）になる。
て、どのくらいの入射角θ1で、レーザ光Ｌａを空気と
外壁面５ａとの境界面に入射させればよいかを求める。
入射角θ1は、空気の屈折率ｎ0、フローセル１の壁部５
の屈折率ｎ1、外壁面５ａと内壁面５ｂとのなす角θ6に
より決定され、以下に示す数式（３）になる。
【００２６】 θ1＝ｓｉｎ-1｛（ｎ1／ｎ0）ｓｉｎθ6｝ （３）
【００２７】従って、数式（３）を満たす角度θ1で、
レーザ光Ｌａを空気と外壁面５ａとの境界面に入射させ
れば、試料流体６の屈折率の値に関係せずに照射領域Ｍ
の位置を一定に維持することができる。
レーザ光Ｌａを空気と外壁面５ａとの境界面に入射させ
れば、試料流体６の屈折率の値に関係せずに照射領域Ｍ
の位置を一定に維持することができる。
【００２８】このようなフローセル１に試料流体６を流
すと、照射領域Ｍを通過する粒子にレーザ光Ｌａが照射
され、レーザ光Ｌａを受けた粒子が発する散乱光Ｌｓが
集光光学系３により集光される。
すと、照射領域Ｍを通過する粒子にレーザ光Ｌａが照射
され、レーザ光Ｌａを受けた粒子が発する散乱光Ｌｓが
集光光学系３により集光される。
【００２９】次いで、集光光学系３により集光した散乱
光Ｌｓが、光電変換素子４により電圧に変換される。そ
して、光電変換素子４により変換された電圧のピークの
数により粒子の数が、電圧の値により粒子の粒径が測定
される。
光Ｌｓが、光電変換素子４により電圧に変換される。そ
して、光電変換素子４により変換された電圧のピークの
数により粒子の数が、電圧の値により粒子の粒径が測定
される。
【００３０】また、本発明の実施の形態では、フローセ
ル１を一体で形成したが、図４に示すように、先ず外壁
面１５ａと内壁面１５ｂ及び内壁面１５ｃと外壁面１５
ｄを平行にした壁部１５からなるフローセル１０を形成
し、次いで同一の材質で形成した三角柱形状の部材２０
を各外壁面１５ａ，１５ｄに接着して、図２に示すフロ
ーセル１と同様な形状にすることができる。
ル１を一体で形成したが、図４に示すように、先ず外壁
面１５ａと内壁面１５ｂ及び内壁面１５ｃと外壁面１５
ｄを平行にした壁部１５からなるフローセル１０を形成
し、次いで同一の材質で形成した三角柱形状の部材２０
を各外壁面１５ａ，１５ｄに接着して、図２に示すフロ
ーセル１と同様な形状にすることができる。
【００３１】また、図５に示すように、フローセル１０
の各外壁面１５ａ，１５ｄに同一の材質で形成した部材
２１を接着して、レーザ光Ｌａが通過する各外壁面１５
ａ，１５ｄの一部分のみを必要な形状に形成してもよ
い。
の各外壁面１５ａ，１５ｄに同一の材質で形成した部材
２１を接着して、レーザ光Ｌａが通過する各外壁面１５
ａ，１５ｄの一部分のみを必要な形状に形成してもよ
い。
【００３２】また、本発明の実施の形態では、図２に示
すように、フローセル１の壁部５について、外壁面５ａ
と内壁面５ｂのなす角度と、外壁面５ｄと内壁面５ｃの
なす角度を等しくして対称に形成し、レーザ光Ｌａが外
壁面５ｄと空気との境界面で反射して光路を逆戻りしな
いようにした。
すように、フローセル１の壁部５について、外壁面５ａ
と内壁面５ｂのなす角度と、外壁面５ｄと内壁面５ｃの
なす角度を等しくして対称に形成し、レーザ光Ｌａが外
壁面５ｄと空気との境界面で反射して光路を逆戻りしな
いようにした。
【００３３】ところで、レーザ光Ｌａがフローセル１か
ら出射する部位であるフローセル１の内壁面５ｃと外壁
面５ｄの角度等の形態は、本発明の実施の形態に限定さ
れるものではない。即ち、本発明はレーザ光Ｌａがフロ
ーセル１内を流れる試料流体６に左右されることなく、
フローセル１の照射領域Ｍを確実に通過すれば足りるも
のである。従って、内壁面５ｃと内壁面５ｂが平行でな
くてもよく、外壁面５ａと外壁面５ｄが平行でなくても
よい。
ら出射する部位であるフローセル１の内壁面５ｃと外壁
面５ｄの角度等の形態は、本発明の実施の形態に限定さ
れるものではない。即ち、本発明はレーザ光Ｌａがフロ
ーセル１内を流れる試料流体６に左右されることなく、
フローセル１の照射領域Ｍを確実に通過すれば足りるも
のである。従って、内壁面５ｃと内壁面５ｂが平行でな
くてもよく、外壁面５ａと外壁面５ｄが平行でなくても
よい。
【００３４】なお、本発明の実施の形態においては、光
散乱式の粒子測定装置について説明したが、照射領域Ｍ
を通過する粒子の存在による透過光量の減少量を検出し
て粒子の数や粒径などを測定する光遮断式の粒子測定装
置、及び照射領域Ｍを通過する粒子の存在により生じる
回折光を検出する光回折式の粒子測定装置にも適用でき
る。
散乱式の粒子測定装置について説明したが、照射領域Ｍ
を通過する粒子の存在による透過光量の減少量を検出し
て粒子の数や粒径などを測定する光遮断式の粒子測定装
置、及び照射領域Ｍを通過する粒子の存在により生じる
回折光を検出する光回折式の粒子測定装置にも適用でき
る。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明のフローセル
によれば、試料流体の屈折率の大きさに影響されずに、
粒子検出部としての照射領域の位置を一定にすることが
できる。
によれば、試料流体の屈折率の大きさに影響されずに、
粒子検出部としての照射領域の位置を一定にすることが
できる。
【００３６】本発明の粒子測定装置によれば、試料流体
の屈折率の大きさに影響されずに、試料流体に含まれる
粒子の数及び粒子の粒径を測定することができる。
の屈折率の大きさに影響されずに、試料流体に含まれる
粒子の数及び粒子の粒径を測定することができる。
【図１】本発明に係る粒子測定装置の構成図
【図２】本発明に係るフローセルの断面図
【図３】フローセルの壁部における光の透過経路の説明
図
図
【図４】フローセルの他の実施の形態の断面図
【図５】フローセルの他の実施の形態の断面図
【図６】従来のフローセルの断面図
【図７】従来のフローセルの壁部における光の透過経路
の説明図
の説明図
１，１０…フローセル、２…レーザ光源、３…集光光学
系、４…光電変換素子、５…壁部、５ａ，５ｄ，１５
ａ，１５ｄ…外壁面、５ｂ，５ｃ，１５ｂ，１５ｃ…内
壁面、６…試料流体、Ｌａ…レーザ光、Ｍ…照射領域。
系、４…光電変換素子、５…壁部、５ａ，５ｄ，１５
ａ，１５ｄ…外壁面、５ｂ，５ｃ，１５ｂ，１５ｃ…内
壁面、６…試料流体、Ｌａ…レーザ光、Ｍ…照射領域。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月１９日（１９９９．３．１
９）
９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】そこで、内壁面５ｂと試料流体６との境界
面に入射角θ3＝０°でレーザ光Ｌａを入射させるため
には、図３に示すように、外壁面５ａと内壁面５ｂとの
なす角をθ6 とすると、空気と外壁面５ａとの境界面に
おける屈折角θ2がθ6 に等しくなる（θ2＝θ6 ）ように
すればよい。
面に入射角θ3＝０°でレーザ光Ｌａを入射させるため
には、図３に示すように、外壁面５ａと内壁面５ｂとの
なす角をθ6 とすると、空気と外壁面５ａとの境界面に
おける屈折角θ2がθ6 に等しくなる（θ2＝θ6 ）ように
すればよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】更に、数式（１）において、θ2＝θ6 とし
て、どのくらいの入射角θ1で、レーザ光Ｌａを空気と
外壁面５ａとの境界面に入射させればよいかを求める。
入射角θ1は、空気の屈折率ｎ0、フローセル１の壁部５
の屈折率ｎ1、外壁面５ａと内壁面５ｂとのなす角θ6に
より決定され、以下に示す数式（３）になる。
て、どのくらいの入射角θ1で、レーザ光Ｌａを空気と
外壁面５ａとの境界面に入射させればよいかを求める。
入射角θ1は、空気の屈折率ｎ0、フローセル１の壁部５
の屈折率ｎ1、外壁面５ａと内壁面５ｂとのなす角θ6に
より決定され、以下に示す数式（３）になる。
Claims (2)
- 【請求項１】 光を照射して粒子検出部としての照射領
域を内部に形成し、この照射領域を通過する試料流体に
含まれる粒子の粒径等の粒子情報を得るためのフローセ
ルにおいて、前記光がフローセルの外壁面に所定の入射
角θ（θ≠０°）で入射すると共に、フローセルの内壁
面から屈折角がほぼ０°で前記試料流体に出射するよう
に壁部の形状を形成したことを特徴とするフローセル。 - 【請求項２】 請求項１記載のフローセルと、このフロ
ーセルの流路に光を照射して照射領域を形成する光源
と、前記照射領域の粒子の散乱光、透過光又は回折光を
検出処理する光学的検出処理手段を備えることを特徴と
する粒子測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07397999A JP3530061B2 (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置 |
| US09/528,146 US6465802B1 (en) | 1999-03-18 | 2000-03-17 | Particle measurement apparatus flow cell useful for sample fluids having different refractive indexes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07397999A JP3530061B2 (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266661A true JP2000266661A (ja) | 2000-09-29 |
| JP3530061B2 JP3530061B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=13533739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07397999A Expired - Fee Related JP3530061B2 (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3530061B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005214967A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Wyatt Technol Corp | 高感度示差屈折計フローセルおよびその設計方法 |
| JP2009533687A (ja) * | 2006-04-11 | 2009-09-17 | グアヴァ テクノロジーズ インコーポレイテッド | キャピラリ−フローサイトメータの非対称毛管 |
| JP2019100867A (ja) * | 2017-12-04 | 2019-06-24 | 株式会社堀場製作所 | 粒子物性測定用セル及びこれを用いた粒子物性測定装置 |
| WO2021048962A1 (ja) * | 2019-09-11 | 2021-03-18 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
-
1999
- 1999-03-18 JP JP07397999A patent/JP3530061B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005214967A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Wyatt Technol Corp | 高感度示差屈折計フローセルおよびその設計方法 |
| JP2009533687A (ja) * | 2006-04-11 | 2009-09-17 | グアヴァ テクノロジーズ インコーポレイテッド | キャピラリ−フローサイトメータの非対称毛管 |
| JP2019100867A (ja) * | 2017-12-04 | 2019-06-24 | 株式会社堀場製作所 | 粒子物性測定用セル及びこれを用いた粒子物性測定装置 |
| JP7097175B2 (ja) | 2017-12-04 | 2022-07-07 | 株式会社堀場製作所 | 粒子物性測定用セル及びこれを用いた粒子物性測定装置 |
| WO2021048962A1 (ja) * | 2019-09-11 | 2021-03-18 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
| JPWO2021048962A1 (ja) * | 2019-09-11 | 2021-11-18 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
| JP7052925B2 (ja) | 2019-09-11 | 2022-04-12 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3530061B2 (ja) | 2004-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107991250B (zh) | 测量单元及气体分析装置 | |
| US8576396B2 (en) | Cell construction for light scatter detectors having self-focusing properties | |
| US4643566A (en) | Particle analyzing apparatus | |
| JP2008032659A (ja) | 粒子分析装置用光学系、及びそれを用いた粒子分析装置 | |
| JP2003515738A (ja) | 特に不透明液滴といったような実質的に球形の粒子のサイズを回折によって測定するための装置 | |
| JP5662742B2 (ja) | 粒径計測装置及び粒径計測方法 | |
| JP3530078B2 (ja) | フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置 | |
| EP1544600A1 (en) | Flow cell, and particle measurement device using the same | |
| US6465802B1 (en) | Particle measurement apparatus flow cell useful for sample fluids having different refractive indexes | |
| JP2000266661A (ja) | フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置 | |
| JP2006058224A (ja) | 測定器 | |
| CN112304864A (zh) | 光散射检测装置以及光散射检测方法 | |
| JP7140193B2 (ja) | 光散乱検出装置 | |
| JPH0277636A (ja) | 粒子測定装置 | |
| US20030179374A1 (en) | Method for illuminating particles contained in a medium for optical analysis, and optical particle analyser | |
| JP4299798B2 (ja) | 光熱変換測定装置，試料セル | |
| JP2001133384A (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
| JP2005337940A (ja) | 表面プラズモン共鳴装置 | |
| JP7187874B2 (ja) | 光散乱検出装置 | |
| US20230307884A1 (en) | Light emitting module | |
| JPH0136109Y2 (ja) | ||
| JPH0755490Y2 (ja) | 液体中の微粒子測定装置 | |
| JP3980457B2 (ja) | 散乱光測定装置 | |
| JP2687539B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| WO2021048962A1 (ja) | 光散乱検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040108 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040224 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040226 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3530061 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |