JPS61141759U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61141759U JPS61141759U JP2351385U JP2351385U JPS61141759U JP S61141759 U JPS61141759 U JP S61141759U JP 2351385 U JP2351385 U JP 2351385U JP 2351385 U JP2351385 U JP 2351385U JP S61141759 U JPS61141759 U JP S61141759U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- exchange chamber
- opening
- closing lid
- comes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断側面図、第２
図は従来例の縦断側面図、第３図はウエハの装填
する方向を示している図である。 １……交換室、２……開閉蓋、３……軸、４…
…Ｏリング、５……基体、６……真空排気系、７
……ゲートバルブ、８……ウエハ、９……ローダ
ー、１０……試料室、１１……ステージ、１２…
…ウエハホルダー、１３……真空ピンセツト。
図は従来例の縦断側面図、第３図はウエハの装填
する方向を示している図である。 １……交換室、２……開閉蓋、３……軸、４…
…Ｏリング、５……基体、６……真空排気系、７
……ゲートバルブ、８……ウエハ、９……ローダ
ー、１０……試料室、１１……ステージ、１２…
…ウエハホルダー、１３……真空ピンセツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料室とエアロツクバルブを介して連通する
試料交換室において、試料交換室は、交換室本体
と開閉蓋より成り該交換室本体の開閉蓋とＯリン
グ等のシール体を介して接する面が試料を交換す
る位置において試料を導入するための試料ホルダ
ーの上面よりも下部に存在するように該交換室本
体の開閉蓋と接する面を設けたことを特徴とする
試料交換室。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載の試料交
換室において、試料交換室本体の開閉蓋とＯリン
グ等のシール体を介して接する面が斜めに切断さ
れた平面で構成し、試料を導入するための試料ホ
ルダーの上面の一部が該交換室本体の開閉蓋と接
する面よりも下部に存在することを特徴とする試
料交換室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2351385U JPS61141759U (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2351385U JPS61141759U (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61141759U true JPS61141759U (ja) | 1986-09-02 |
Family
ID=30516815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2351385U Pending JPS61141759U (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61141759U (ja) |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP2351385U patent/JPS61141759U/ja active Pending
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