JPS61140043A - Ｘ線管のｘ線出射窓 - Google Patents
Ｘ線管のｘ線出射窓Info
- Publication number
- JPS61140043A JPS61140043A JP59262551A JP26255184A JPS61140043A JP S61140043 A JPS61140043 A JP S61140043A JP 59262551 A JP59262551 A JP 59262551A JP 26255184 A JP26255184 A JP 26255184A JP S61140043 A JPS61140043 A JP S61140043A
- Authority
- JP
- Japan
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- ray
- exit window
- rolling
- thin
- fused
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
- H01J35/18—Windows
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ＬＬＬ
本発明は、ベリリウム薄板を基にして構成されたＸ線管
のＸ線出射窓に関する。
のＸ線出射窓に関する。
１１え１
Ｘ線発生装置はＸＮＩＡ管と、高電圧発生装置と、制御
装置とから構成されており、Ｘ線管は該Ｘ線発生装置の
Ｘ線を発生させる真空管装置である。
装置とから構成されており、Ｘ線管は該Ｘ線発生装置の
Ｘ線を発生させる真空管装置である。
第１図にかかるＸ線管の封入型ものの概略断面を示ず。
内部を真空にした真空容器１の中で陰樗のタングステン
フィラメント２に電流を通じて加熱し熱電子を放出させ
、対陰極３である例えば金属ターゲットの陽極と陰極の
間に高電圧発生装置により高電圧を印加して熱電子を陽
極の金属ターゲットに衝突させＸ線を発生せしめる。該
Ｘ線は容器に設けられたＸ線を出射させるためのＸ線出
射窓４を通過して外部へ出る。工業用の分析用Ｘ線管の
場合には比較的長い波長の水性Ｘ線を使用することがあ
るので、Ｘ線出射窓を形成する物質はマイカ、ベリリウ
ム等のＸ線透過率高いものが使用されている。第２図は
Ｘ線出射窓に用いるベリリウム（以下、Ｂｅと記載する
。）、ＡＩ、及びマイカの薄板各々−Ｘ線を通過させた
場合のＸ線の波長のＸ線透過率特性を示すグラフである
。Ａは板厚０．０２５ｍｍのＢｅ薄板の特性曲線、Ｂは
板厚０．１３ｍ’ｍのＢｅ薄板の特性曲線、Ｃは板厚０
．０１３ｍｍのマイカ薄板の特性曲線、Ｄは板厚１．０
２ｍｍのＢｅｌ板の特性曲線、及びＥは板厚０．０２５
ｍｍの△１簿板のＸ線透過率特性曲線をそれぞれ示す。
フィラメント２に電流を通じて加熱し熱電子を放出させ
、対陰極３である例えば金属ターゲットの陽極と陰極の
間に高電圧発生装置により高電圧を印加して熱電子を陽
極の金属ターゲットに衝突させＸ線を発生せしめる。該
Ｘ線は容器に設けられたＸ線を出射させるためのＸ線出
射窓４を通過して外部へ出る。工業用の分析用Ｘ線管の
場合には比較的長い波長の水性Ｘ線を使用することがあ
るので、Ｘ線出射窓を形成する物質はマイカ、ベリリウ
ム等のＸ線透過率高いものが使用されている。第２図は
Ｘ線出射窓に用いるベリリウム（以下、Ｂｅと記載する
。）、ＡＩ、及びマイカの薄板各々−Ｘ線を通過させた
場合のＸ線の波長のＸ線透過率特性を示すグラフである
。Ａは板厚０．０２５ｍｍのＢｅ薄板の特性曲線、Ｂは
板厚０．１３ｍ’ｍのＢｅ薄板の特性曲線、Ｃは板厚０
．０１３ｍｍのマイカ薄板の特性曲線、Ｄは板厚１．０
２ｍｍのＢｅｌ板の特性曲線、及びＥは板厚０．０２５
ｍｍの△１簿板のＸ線透過率特性曲線をそれぞれ示す。
このグラフより、Ｘ線出射窓用物質としては極薄いＢｅ
薄板が適することが分る。
薄板が適することが分る。
ベリリウムは比重が比較的小さく軽い、硬度が大きく堅
い、比熱が大きく熱伝導率が良い、核的性質が良い、音
の伝播速成が早い等数々の優れた特徴を持った金属であ
るけれども、加工性が他の金属と比較して苔しく劣る。
い、比熱が大きく熱伝導率が良い、核的性質が良い、音
の伝播速成が早い等数々の優れた特徴を持った金属であ
るけれども、加工性が他の金属と比較して苔しく劣る。
特に延性が乏しく常温での圧延は通常の方法ではほとん
ど出来ない。
ど出来ない。
従来からＸ線管のＸ線出射窓用のＢｅ薄板を得る手段と
して第３図（ａ）に示す熱間圧延方法や、第３図（ｂ）
に示す真空蒸着方法等が用いられていた。
して第３図（ａ）に示す熱間圧延方法や、第３図（ｂ）
に示す真空蒸着方法等が用いられていた。
熱間圧延方法においては、第３図（ａ）の工程に示され
るようにＢｅ薄板が形成される。まず、粉末化工程Ｓ！
にてＢｅインゴットを粉砕して２００メシユ以下の粉末
とし、次に真空ホットプレス工程Ｓ２によってＢｅホッ
トプレスブロックを作る。次に、得られた［３ｅホツト
プレスブロツクをステンレス鋼等の板でサンドイッチし
て周辺を溶接した後、該ブロックを加熱しつつローラ間
に繰返し通過せしめ徐々に該ブロックを所望の厚さに圧
延する熱間交差圧延工程Ｓ３によってＢｅ薄板を仕上げ
ていた。
るようにＢｅ薄板が形成される。まず、粉末化工程Ｓ！
にてＢｅインゴットを粉砕して２００メシユ以下の粉末
とし、次に真空ホットプレス工程Ｓ２によってＢｅホッ
トプレスブロックを作る。次に、得られた［３ｅホツト
プレスブロツクをステンレス鋼等の板でサンドイッチし
て周辺を溶接した後、該ブロックを加熱しつつローラ間
に繰返し通過せしめ徐々に該ブロックを所望の厚さに圧
延する熱間交差圧延工程Ｓ３によってＢｅ薄板を仕上げ
ていた。
また、真空蒸着力法においては、第３図（’ｂ ）に示
すスローチャートの如く、まず、基板ｒ＄備工程Ｓ ｎ
にて基板となる銅、アルミニウム等の板を用意し、次に
蒸着工程Ｓ １２において真空装置の真空雰囲気中でＢ
ｅを該基板上に所望の厚さに蒸着し、しかるのちにエツ
チング等の手段で基板を取除く除去工程Ｓ １３を経て
Ｂｅ薄板を得ていた。
すスローチャートの如く、まず、基板ｒ＄備工程Ｓ ｎ
にて基板となる銅、アルミニウム等の板を用意し、次に
蒸着工程Ｓ １２において真空装置の真空雰囲気中でＢ
ｅを該基板上に所望の厚さに蒸着し、しかるのちにエツ
チング等の手段で基板を取除く除去工程Ｓ １３を経て
Ｂｅ薄板を得ていた。
熱間圧延方法によるＢｅ薄板の製造は、煩Ｘｔな工程を
必要としているので１ｑられた３ｅ薄板は非常に高価な
ものになってしまう。同時に熱間圧延方法は、粉末化工
程や熱間交差圧延工程等においてＢｅが熱せられる機会
が多いため人体に有害な酸化ベリリウムを多く発生させ
る。また、酸化ベリリウムの発生によって高純度の８６
ｇ板を得ることが難しので、熱間圧延方法による３ｅ薄
板はｘｓｏａ：ａｕｏｉ°８−ゞ゛４−ゞ“°１０１都
合の良い８１４板とは言えなかった。高純度のＢｅ薄板
を得ようとした場合、各工程を不活性ガスや真空雰囲気
に保つ必要が在り、さらに高価なものになってしまう等
の欠点が在った。
必要としているので１ｑられた３ｅ薄板は非常に高価な
ものになってしまう。同時に熱間圧延方法は、粉末化工
程や熱間交差圧延工程等においてＢｅが熱せられる機会
が多いため人体に有害な酸化ベリリウムを多く発生させ
る。また、酸化ベリリウムの発生によって高純度の８６
ｇ板を得ることが難しので、熱間圧延方法による３ｅ薄
板はｘｓｏａ：ａｕｏｉ°８−ゞ゛４−ゞ“°１０１都
合の良い８１４板とは言えなかった。高純度のＢｅ薄板
を得ようとした場合、各工程を不活性ガスや真空雰囲気
に保つ必要が在り、さらに高価なものになってしまう等
の欠点が在った。
また真空Ｍ着方法の場合は高純度の薄板は１ｑられるも
のの材料の歩留が悪いという欠点を持つと同時に機械的
強度が熱間圧延方法によるＢｅと比較して著しく劣ると
いう等の欠点が在った。
のの材料の歩留が悪いという欠点を持つと同時に機械的
強度が熱間圧延方法によるＢｅと比較して著しく劣ると
いう等の欠点が在った。
Ｒ」Ｊと漿１一
本発明の目的は機械的強度の高いＸ線出射窓を提供する
ことである。
ことである。
本発明によるＸ線管のＸ線出射窓は、融体超急冷法によ
って生成されたベリリウムを冷間圧延したベリリウム薄
板からなることを特徴とする。
って生成されたベリリウムを冷間圧延したベリリウム薄
板からなることを特徴とする。
実施例
以下、本発明の一実施例を添附図面をに基づいて説明す
る。
る。
第４図はＢｅ薄板の融体超急冷法及び冷間圧延法による
Ｂｅ薄板の製法を示すフローチャートである。かかる融
体超急冷法では、Ｂｅインゴットを融解してＢｅの熔融
体として融体超急冷法＆Ｓ２＋によってＢｅｄ帯を作る
。次に得られたＢｅ１ｆｆ帯を冷間圧延工程３２２によ
って冷間圧延してＢｅ薄板を仕上げる。
Ｂｅ薄板の製法を示すフローチャートである。かかる融
体超急冷法では、Ｂｅインゴットを融解してＢｅの熔融
体として融体超急冷法＆Ｓ２＋によってＢｅｄ帯を作る
。次に得られたＢｅ１ｆｆ帯を冷間圧延工程３２２によ
って冷間圧延してＢｅ薄板を仕上げる。
第５図（ａ）及び（ｂ）は融体超急冷工程Ｓ２＋による
Ｂｅ薄帯の製法及び装置の概略を示した図である。加熱
容器３１内にＢｅｆｌｎ材を入れ加熱装置３２で融解し
、加熱容器３１内をＡｒ等の不活性ガスで加圧して熔Ｍ
Ｂｅ２０をノズル孔から噴出させ、回転している冷却用
ロール３３表面に吹付は熔融Ｂｅ２Ｏを急冷せしめてＢ
ｅ薄帯２１を得る。第５図（ａ）には近接した一対の冷
」用ロール間の微小間隙に熔融Ｂｅを噴出ぼしめる双ロ
ール方法、第５図（１））には単一の冷Ｗ用ロール表面
に熔融Ｂｅを噴出せしめる単ロール方法による融体超急
冷法［３ｅ簿帯の製法を示している。
Ｂｅ薄帯の製法及び装置の概略を示した図である。加熱
容器３１内にＢｅｆｌｎ材を入れ加熱装置３２で融解し
、加熱容器３１内をＡｒ等の不活性ガスで加圧して熔Ｍ
Ｂｅ２０をノズル孔から噴出させ、回転している冷却用
ロール３３表面に吹付は熔融Ｂｅ２Ｏを急冷せしめてＢ
ｅ薄帯２１を得る。第５図（ａ）には近接した一対の冷
」用ロール間の微小間隙に熔融Ｂｅを噴出ぼしめる双ロ
ール方法、第５図（１））には単一の冷Ｗ用ロール表面
に熔融Ｂｅを噴出せしめる単ロール方法による融体超急
冷法［３ｅ簿帯の製法を示している。
また、熔融Ｂｅを急激に冷却凝固Ｖしめ３ｅ薄帯又は線
材を得る融体超急冷工程はこれら双ロール方法、単ロー
ル方法に限定されるものではなく、例えば第６図（ａ＞
ないしくｆ）に概略を示すその他の融体超急冷法でも良
い。すなわち、第６図（ａ）の如き滴下する熔！Ｂｅ２
Ｏを一対の６朗板間にて瞬時にプレスし急冷するピスト
ンアンビ方法や、第６図（ｂ）の如き水平に回転する冷
却ドラム４２の垂直内側壁に熔融Ｂｅ２Ｏを噴出せしめ
急冷する回転ドラム法や、第６図（Ｃ）の如き垂直に回
転する冷却ドラム４３の水平内側壁に熔融Ｂｅを噴出せ
しめ急冷する内壁法や、第６図（ｄ）の如き冷却用液体
４４中に仲良した冷」用ノズル４５に熔融Ｂｅ２Ｏを噴
出せしめ急冷する溶湯噴射法や、第６図（ｅ）の如き回
転する冷却ローラ４６の外側面を熔融８ｅ２０溜池に接
触せしめ急冷引出しする熔ＩＩ引法や、第６図（ｆ）の
如き熔融Ｂｅ２Ｏを回転する冷ＩＪ］ローラ４７の外側
面に滴下せしめ急冷する滴下掃引法等の融体超急冷法に
よりＢｅ薄帯２１を（ｑでもよい。なお、第５図の装置
と同−又は対応する部分については同じ参照符号を用い
ていおり、上記以外の部分は第５図の装置と同様であり
、以下の実施例についても同様である。
材を得る融体超急冷工程はこれら双ロール方法、単ロー
ル方法に限定されるものではなく、例えば第６図（ａ＞
ないしくｆ）に概略を示すその他の融体超急冷法でも良
い。すなわち、第６図（ａ）の如き滴下する熔！Ｂｅ２
Ｏを一対の６朗板間にて瞬時にプレスし急冷するピスト
ンアンビ方法や、第６図（ｂ）の如き水平に回転する冷
却ドラム４２の垂直内側壁に熔融Ｂｅ２Ｏを噴出せしめ
急冷する回転ドラム法や、第６図（Ｃ）の如き垂直に回
転する冷却ドラム４３の水平内側壁に熔融Ｂｅを噴出せ
しめ急冷する内壁法や、第６図（ｄ）の如き冷却用液体
４４中に仲良した冷」用ノズル４５に熔融Ｂｅ２Ｏを噴
出せしめ急冷する溶湯噴射法や、第６図（ｅ）の如き回
転する冷却ローラ４６の外側面を熔融８ｅ２０溜池に接
触せしめ急冷引出しする熔ＩＩ引法や、第６図（ｆ）の
如き熔融Ｂｅ２Ｏを回転する冷ＩＪ］ローラ４７の外側
面に滴下せしめ急冷する滴下掃引法等の融体超急冷法に
よりＢｅ薄帯２１を（ｑでもよい。なお、第５図の装置
と同−又は対応する部分については同じ参照符号を用い
ていおり、上記以外の部分は第５図の装置と同様であり
、以下の実施例についても同様である。
さらに、より高純度のＢ、 ｅ薄帯２１を得るためには
、融体超急冷装置全体を不活性ガスまたは真空雰囲気に
すればよい。
、融体超急冷装置全体を不活性ガスまたは真空雰囲気に
すればよい。
次に冷間圧延工程Ｓ２２においては、融体超急冷工程に
よって得られたＢｅ薄帯２１を第７図に示すように近接
した一対の冷却ロール３５間の微小間隙に通過せしめ冷
間圧延してＢｅｔａ板２３を１ｑる。第７図には一方向
一段圧延を示したが、得ようとする形状によって交差圧
延方法や多段圧延機械等を用いてもよい。
よって得られたＢｅ薄帯２１を第７図に示すように近接
した一対の冷却ロール３５間の微小間隙に通過せしめ冷
間圧延してＢｅｔａ板２３を１ｑる。第７図には一方向
一段圧延を示したが、得ようとする形状によって交差圧
延方法や多段圧延機械等を用いてもよい。
このようにして極薄化したＢｅ薄板を所定の形状に成形
してＸ線出射窓を得る。
してＸ線出射窓を得る。
かかる融体超急冷法の単ロール又は双ロール法によって
得られたＢｅ１ｌ帯は厚さが３０〜７０μｍの多結晶体
であり、各々の結晶粒径は１０μｍ以下と非常に小さい
。また液体状態から凝固する際の方向が一定方向である
ため比較的７１Ｑ １１１正しく結晶粒子が並んでいる
。つまり結晶粒子の配向性が良い。
得られたＢｅ１ｌ帯は厚さが３０〜７０μｍの多結晶体
であり、各々の結晶粒径は１０μｍ以下と非常に小さい
。また液体状態から凝固する際の方向が一定方向である
ため比較的７１Ｑ １１１正しく結晶粒子が並んでいる
。つまり結晶粒子の配向性が良い。
Ｈ＊ （７） ＊ ｆＪ ＪＥＥ ｔ Ｒｉ （Ｄ ＊
？ ＊ ｙ“−ｙｖ：ｘｏ＊＝ 。
？ ＊ ｙ“−ｙｖ：ｘｏ＊＝ 。
によるＢｅ粉末の粒径は７０μｍ前後と結晶粒が非常に
大きく、また結晶の方向はランダムなので、吸着ガスの
端も多く、熱間圧延でなければ延性を示さない。しかし
融体超急冷法による［３ｅ薄板は上記したような微細構
造組織を持つため冷間圧延でも充分な延性を示し、従来
非常に困難とされていた厚さ１０μｍ以下の高純度Ｂｅ
薄板を容易に得ることが出来る。また、引張り強度等の
機械的強度も従来の真空蒸着方法によるＢｅｌ板よりも
大きく、かつ熱間圧延によるＢｅｌ板と同様に若しくは
それ以上のＢｅｌ板を得ることが出来る。
大きく、また結晶の方向はランダムなので、吸着ガスの
端も多く、熱間圧延でなければ延性を示さない。しかし
融体超急冷法による［３ｅ薄板は上記したような微細構
造組織を持つため冷間圧延でも充分な延性を示し、従来
非常に困難とされていた厚さ１０μｍ以下の高純度Ｂｅ
薄板を容易に得ることが出来る。また、引張り強度等の
機械的強度も従来の真空蒸着方法によるＢｅｌ板よりも
大きく、かつ熱間圧延によるＢｅｌ板と同様に若しくは
それ以上のＢｅｌ板を得ることが出来る。
このよして得られた極薄いＢｅ板はＸ線出射窓として極
めて優れた性質を有するものである。
めて優れた性質を有するものである。
第８図は融体超急冷法により（ｑられたＢｅ簿帯を冷間
圧延工程で圧延した場合の圧延回数とＢｅ薄板厚との関
係を示したグラフである。曲線△が半径１００ｍｍの冷
却ロールのＢｅ薄板に対する圧延荷重１０００ｋｑの場
合、曲線Ｂが半径５０ｍｍの冷却ロールのＢｅ薄板に対
する圧延荷重１０００ｋＣＩの場合、曲線Ｃが半径５Ｑ
ｍｍの冷却ロールのＢｅ７７ＩＪ板に対する圧延荷重２
０００ｋｑの場合の各々の各圧延回数とＢｅ板厚の関係
を示す。
圧延工程で圧延した場合の圧延回数とＢｅ薄板厚との関
係を示したグラフである。曲線△が半径１００ｍｍの冷
却ロールのＢｅ薄板に対する圧延荷重１０００ｋｑの場
合、曲線Ｂが半径５０ｍｍの冷却ロールのＢｅ薄板に対
する圧延荷重１０００ｋＣＩの場合、曲線Ｃが半径５Ｑ
ｍｍの冷却ロールのＢｅ７７ＩＪ板に対する圧延荷重２
０００ｋｑの場合の各々の各圧延回数とＢｅ板厚の関係
を示す。
この結果からも分るようにロール径は小さく圧延荷重は
大きい方が好ましい。ロール径と圧延荷重を適当に選ぶ
ことにより圧延回数を減らすこともできる。
大きい方が好ましい。ロール径と圧延荷重を適当に選ぶ
ことにより圧延回数を減らすこともできる。
上記実施例では融体超急冷法Ｂｅ薄帯に冷間圧延を施し
たものについて説明したが、融体超急冷法によらず真空
蒸着等のＰＶＤ方法やＣＶＤ方法によって得られたＢｅ
ｌ板に関しての冷間圧延を施した場合には、やはり圧延
の効果による伸び及びＢｅｌ板の厚さの減少は見られる
。しかしながら融体超急冷法で得たＢｅ薄板に比べると
同一条件下の冷間圧延よる伸びは小さくまた得られた冷
間圧延薄板の強度も劣る。
たものについて説明したが、融体超急冷法によらず真空
蒸着等のＰＶＤ方法やＣＶＤ方法によって得られたＢｅ
ｌ板に関しての冷間圧延を施した場合には、やはり圧延
の効果による伸び及びＢｅｌ板の厚さの減少は見られる
。しかしながら融体超急冷法で得たＢｅ薄板に比べると
同一条件下の冷間圧延よる伸びは小さくまた得られた冷
間圧延薄板の強度も劣る。
また冷間圧延工程の際、一般に被圧延物の表面にはロー
ル而が転写されているが、外見上、真空蒸着方法で得ら
れるものとおなじような梨地のＢｅ薄板を得たいのなら
ば、仕上の際に仕り面が梨地の冷却ロールを用いればよ
い。
ル而が転写されているが、外見上、真空蒸着方法で得ら
れるものとおなじような梨地のＢｅ薄板を得たいのなら
ば、仕上の際に仕り面が梨地の冷却ロールを用いればよ
い。
発明の効果
上記した如く本発明によれば、機械的強度が小さいとい
う問題を克服しかつ真空蒸着方法により得られるような
高純度のＢｅ簿板からはっているので、強く、優れたＸ
線透過特性を有するＸ線出射窓が得られる。また、その
製造工程に於いて熱間交差圧延のような複雑な製造工程
を必要としないために製造コストを減らすことが出来る
。
う問題を克服しかつ真空蒸着方法により得られるような
高純度のＢｅ簿板からはっているので、強く、優れたＸ
線透過特性を有するＸ線出射窓が得られる。また、その
製造工程に於いて熱間交差圧延のような複雑な製造工程
を必要としないために製造コストを減らすことが出来る
。
第１図は従来のＸ線管の概略断面図であり、第２図はｘ
１１出射窓物質の透過率を示ずグラフであり、第３図（
ａ）及び（ｂ）は熱間圧延方法及び真空蒸着方法を示す
フローチャートであり、第４図は本発明によるベリリウ
ム薄板の製造方法を示すフローチャートであり、第５図
（ａ）及び（ｂは融体超急冷法によるベリリウム薄帯の
製法を示す概略断面図であり、第６図（ａ）ないしくｆ
）は種々の融体超急冷法を示す説明図であり、第７図は
冷間圧延方法を示す概略断面図であり、第８図は８ｅＲ
９帯の厚さと伸び率との関係を示すグラフである。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・真空容器 ２・・・・・・タングステンフィラメント３・・・・・
・対陰極 ４・・・・・・Ｘ線出射窓 ２０・・・・・・ベリリウム ２１・・・・・・ベリリウム薄帯 ３０・・・・・・冷却ローラ ３１・・・・・・加熱容器 ３２・・・・・・加熱装置 ３５・・・・・・圧延ローラ
１１出射窓物質の透過率を示ずグラフであり、第３図（
ａ）及び（ｂ）は熱間圧延方法及び真空蒸着方法を示す
フローチャートであり、第４図は本発明によるベリリウ
ム薄板の製造方法を示すフローチャートであり、第５図
（ａ）及び（ｂは融体超急冷法によるベリリウム薄帯の
製法を示す概略断面図であり、第６図（ａ）ないしくｆ
）は種々の融体超急冷法を示す説明図であり、第７図は
冷間圧延方法を示す概略断面図であり、第８図は８ｅＲ
９帯の厚さと伸び率との関係を示すグラフである。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・真空容器 ２・・・・・・タングステンフィラメント３・・・・・
・対陰極 ４・・・・・・Ｘ線出射窓 ２０・・・・・・ベリリウム ２１・・・・・・ベリリウム薄帯 ３０・・・・・・冷却ローラ ３１・・・・・・加熱容器 ３２・・・・・・加熱装置 ３５・・・・・・圧延ローラ
Claims (1)
- 融体超急冷法によつて生成されたベリリウムを冷間圧延
したベリリウム薄板からなることを特徴とするＸ線管の
Ｘ線出射窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59262551A JPS61140043A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | Ｘ線管のｘ線出射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59262551A JPS61140043A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | Ｘ線管のｘ線出射窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61140043A true JPS61140043A (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=17377377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59262551A Pending JPS61140043A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | Ｘ線管のｘ線出射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61140043A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001068053A (ja) * | 1999-07-17 | 2001-03-16 | Bruker Saxonia Analytik Gmbh | 電子源による電離箱 |
-
1984
- 1984-12-12 JP JP59262551A patent/JPS61140043A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001068053A (ja) * | 1999-07-17 | 2001-03-16 | Bruker Saxonia Analytik Gmbh | 電子源による電離箱 |
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