JPS61139284A - 圧電振動子の駆動方法 - Google Patents
圧電振動子の駆動方法Info
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- JPS61139284A JPS61139284A JP59261363A JP26136384A JPS61139284A JP S61139284 A JPS61139284 A JP S61139284A JP 59261363 A JP59261363 A JP 59261363A JP 26136384 A JP26136384 A JP 26136384A JP S61139284 A JPS61139284 A JP S61139284A
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- JP
- Japan
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は発音体、振動型ポンプ、振動型ファン等に使用
される圧電振動子の駆動方法に関する。
される圧電振動子の駆動方法に関する。
セラミックスまたは高分子材料等で作られた１枚の圧電
体の両面に電極を設けてなる圧電振動子または２枚以上
の圧電体を貼り合わせ、その貼り合わせ面及び両面にそ
れぞれ電極を設けてなる圧電振動子は、その振動を利用
する発音体、ポンプ。
体の両面に電極を設けてなる圧電振動子または２枚以上
の圧電体を貼り合わせ、その貼り合わせ面及び両面にそ
れぞれ電極を設けてなる圧電振動子は、その振動を利用
する発音体、ポンプ。
ファン等に使用されている。
従来方法は、第６図示のように圧電振動子１の電極２．
３間に交流電源４の電圧Ｅを印加して圧電振動子１を振
動させ駆動させていた。
３間に交流電源４の電圧Ｅを印加して圧電振動子１を振
動させ駆動させていた。
しかしながら従来方法では、圧電振動子ｌを駆動するの
に比較的高い交流電圧または大きな交流電流を必要とす
るという問題点があった。
に比較的高い交流電圧または大きな交流電流を必要とす
るという問題点があった。
本発明方法は上記の問題点を解決するためになされたも
のであって、その第１方法は第１．第３図示のように圧
電振動子１の電極２．３間に交流電源゛４より得た電圧
を印加して圧電振動子ｌを駆動する方法において、圧電
振動子１に共振コイル５を直列または並列に接続して電
気的直列または並列共振回路を形成し、圧電振動子１を
電気的に共振駆動するようにしたものである。
のであって、その第１方法は第１．第３図示のように圧
電振動子１の電極２．３間に交流電源゛４より得た電圧
を印加して圧電振動子ｌを駆動する方法において、圧電
振動子１に共振コイル５を直列または並列に接続して電
気的直列または並列共振回路を形成し、圧電振動子１を
電気的に共振駆動するようにしたものである。
このように圧電振動子１の静電容量と共振コイル５で直
列共振回路または並列共振回路を形成し、この共振回路
を交流電源４例えば商用電源の周波数Ｆ＝５０Ｈｚまた
は６０Ｈｚで共振させることにより圧電振動子ｌを共振
させない従来の場合よりも大幅に低い交流電圧または小
さい電流で駆動出力を低下させることなく駆動すること
ができる。
列共振回路または並列共振回路を形成し、この共振回路
を交流電源４例えば商用電源の周波数Ｆ＝５０Ｈｚまた
は６０Ｈｚで共振させることにより圧電振動子ｌを共振
させない従来の場合よりも大幅に低い交流電圧または小
さい電流で駆動出力を低下させることなく駆動すること
ができる。
第２方法は第４図示のように圧電振動子１の電極２．３
間に交流電ｍ４より得た電圧を印加して圧電振動子ｌを
駆動する方法において、圧電振動子１に共振コイル５と
抵抗６を直列または並列に接続して電気的直列または並
列共振回路を形成し、圧電振動子１を電気的に共振駆動
するようにしたものである。
間に交流電ｍ４より得た電圧を印加して圧電振動子ｌを
駆動する方法において、圧電振動子１に共振コイル５と
抵抗６を直列または並列に接続して電気的直列または並
列共振回路を形成し、圧電振動子１を電気的に共振駆動
するようにしたものである。
このように圧電振動子１の静電容量と共振コイル５と抵
抗６で直列共振回路または並列共振回路を形成し、この
共振回路を交流電源４の周波数例えばＦ＝５０Ｈｚまた
は６０Ｈｚで共振させる場合において、抵抗６により共
振時のＱ値を低くして共振幅を広くすることにより周波
数が異なる地域にも適用を可能とし、・かつ圧電振動子
１を共振させない従来の場合よりも低い交流電圧または
小さい電流で駆動出力を低下させることなく５０Ｈｚ、
６０Ｈｚのいずれの電源でも周波数変換機を使用せず
に駆動ゝすることができる。
抗６で直列共振回路または並列共振回路を形成し、この
共振回路を交流電源４の周波数例えばＦ＝５０Ｈｚまた
は６０Ｈｚで共振させる場合において、抵抗６により共
振時のＱ値を低くして共振幅を広くすることにより周波
数が異なる地域にも適用を可能とし、・かつ圧電振動子
１を共振させない従来の場合よりも低い交流電圧または
小さい電流で駆動出力を低下させることなく５０Ｈｚ、
６０Ｈｚのいずれの電源でも周波数変換機を使用せず
に駆動ゝすることができる。
このように圧電振動子ｌの静電容量と共振コイル５で、
または当該静電容量と共振コイル５と抵抗６とで直列共
振回路または並列共振回路を形成し、共振駆動すること
により低い交流電圧または小さい電流で駆動することが
できる。
または当該静電容量と共振コイル５と抵抗６とで直列共
振回路または並列共振回路を形成し、共振駆動すること
により低い交流電圧または小さい電流で駆動することが
できる。
第１図（ａｌ 、 （ｂｌはそれぞれ１個の圧電振動子
を駆動する本発明の第１方法を実施するための回路図で
ある。
を駆動する本発明の第１方法を実施するための回路図で
ある。
第１図（ａ） 、 （ｂ）において１は複数枚のセラミ
ックス系′または有機系の圧電体７を貼り合わせ、その
貼り合わせ面及び両面にそれぞれ電極２．３を設けてな
る積層型の圧電振動子、例えば２枚の圧電体７．７を用
いた２層型（バイモルフ型）のものである。圧電振動子
１は１枚の圧電体の両面に電極を設けてなる単層型のも
のであってもよい。４は交流電源である。
ックス系′または有機系の圧電体７を貼り合わせ、その
貼り合わせ面及び両面にそれぞれ電極２．３を設けてな
る積層型の圧電振動子、例えば２枚の圧電体７．７を用
いた２層型（バイモルフ型）のものである。圧電振動子
１は１枚の圧電体の両面に電極を設けてなる単層型のも
のであってもよい。４は交流電源である。
第１方法は圧電振動子ｌをコンデンサと見なして共振コ
イル５とで共振回路を形成し、圧電振動子１を電気的に
共振駆動するものである。
イル５とで共振回路を形成し、圧電振動子１を電気的に
共振駆動するものである。
第１図（ａｌは１個の圧電振動子１と共振コイル５を直
列に接続した場合、第１図（ｂ）は並列に接続した場合
で、それぞれ電気的直列共振回路及び並列共振回路を形
成する。
列に接続した場合、第１図（ｂ）は並列に接続した場合
で、それぞれ電気的直列共振回路及び並列共振回路を形
成する。
電気的共振周波数をＦ、ヘルツ、圧電振動子ｌの静電容
量をＣファラッド１共振コイル５のインダクタンスをＬ
ヘンリーとし、回路損失抵抗を無視すると、共振周波数
Ｆ、は で表される。
量をＣファラッド１共振コイル５のインダクタンスをＬ
ヘンリーとし、回路損失抵抗を無視すると、共振周波数
Ｆ、は で表される。
（１）式の３変数のうち２変数が与えられれば１変数は
計算できる。
計算できる。
圧電振動子１の静電容量Ｃはその寸法及び貼り合わせ枚
数によって定まり、また交流電源４の周波数Ｆも商用電
源を使用すれば、Ｆ＝５０Ｈｚまたは６０Ｈｚとわかっ
ているので（１１式よりインダクタンスＬを求めること
ができる。
数によって定まり、また交流電源４の周波数Ｆも商用電
源を使用すれば、Ｆ＝５０Ｈｚまたは６０Ｈｚとわかっ
ているので（１１式よりインダクタンスＬを求めること
ができる。
このようにして求めたインダクタンスＬの共振ゝコイル
５を用いて電気的直列共振回路または並列共振回路を形
成すると、その直列共振特性及び並列共振特性は第２図
（ａ）及び由）の如くなり、回路電流Ｉは直列共振の場
合、最大となり、並列共振の場合最小となる。
５を用いて電気的直列共振回路または並列共振回路を形
成すると、その直列共振特性及び並列共振特性は第２図
（ａ）及び由）の如くなり、回路電流Ｉは直列共振の場
合、最大となり、並列共振の場合最小となる。
直列共振駆動の場合は印加電圧Ｅが一定で回路電流■が
共振させない従来の場合よりも大幅に大きくなるので、
共振させない従来の場合の駆動出力よりも大幅に大きな
駆動出力を得ることができる。このことは従来の駆動出
力と同一出力を得るのに印加電圧Ｅの大きさを従来より
も大幅に低くてき゛、低電圧電源を用いることができる
ことを意味する。換言すれば圧電振動子１を従来よりも
低い交流電圧で駆動出力を低下させることなく駆動する
ことができる。
共振させない従来の場合よりも大幅に大きくなるので、
共振させない従来の場合の駆動出力よりも大幅に大きな
駆動出力を得ることができる。このことは従来の駆動出
力と同一出力を得るのに印加電圧Ｅの大きさを従来より
も大幅に低くてき゛、低電圧電源を用いることができる
ことを意味する。換言すれば圧電振動子１を従来よりも
低い交流電圧で駆動出力を低下させることなく駆動する
ことができる。
また並列共振駆動の場合は印加電圧Ｅが一定で回路電流
Ｉが共振させない従来の場合よりも大幅に小さくなるの
で、圧電振動子１を従来の回路電流よりも大幅に小さい
電流で駆動出力を低下させることなく駆動することがで
きる。
Ｉが共振させない従来の場合よりも大幅に小さくなるの
で、圧電振動子１を従来の回路電流よりも大幅に小さい
電流で駆動出力を低下させることなく駆動することがで
きる。
第３図（ａｌ 、 （ｂ）はそれぞれ複数個の圧電振動
子を駆動する本発明の第１方法を実施するための回路図
である。
子を駆動する本発明の第１方法を実施するための回路図
である。
このように複数個の圧電振動子１の並列回路に共振コイ
ル５を直列または並列に接続して電気的直列または並列
共振回路を形成すれば、複数個の圧電振動子１を交流型
ａ４で共振駆動することができる。
ル５を直列または並列に接続して電気的直列または並列
共振回路を形成すれば、複数個の圧電振動子１を交流型
ａ４で共振駆動することができる。
交流電源４に商用電源を用いて周波数Ｆ＝５０Ｈｚまた
は６０Ｈｚに共振させた場合、第２図（ａｌ 、 （ｂ
ｌ示の共振特性から明らかなように共振周波数Ｆ、＝Ｆ
＝５０１１ｚまたは６０Ｈｚからずれると、急激にＱ値
が低下するので、５０Ｈｚまたは６０Ｈｚの電源でしか
圧電振動子１を駆動できない。５０Ｈｚ、 ６０Ｈｚの
いずれの電源でも駆動できるようにするためには特別に
周波数変換機が必要である。
は６０Ｈｚに共振させた場合、第２図（ａｌ 、 （ｂ
ｌ示の共振特性から明らかなように共振周波数Ｆ、＝Ｆ
＝５０１１ｚまたは６０Ｈｚからずれると、急激にＱ値
が低下するので、５０Ｈｚまたは６０Ｈｚの電源でしか
圧電振動子１を駆動できない。５０Ｈｚ、 ６０Ｈｚの
いずれの電源でも駆動できるようにするためには特別に
周波数変換機が必要である。
そこで、抵抗を用いて共振時のＱ値を低くすると、共振
幅が広がり、５０Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも
周波数変換機を用いることなく圧電振動子ｌを駆動でき
る。
幅が広がり、５０Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも
周波数変換機を用いることなく圧電振動子ｌを駆動でき
る。
第４図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ１個の圧電振動子
を駆動する本発明の第２方法を実施するための回路図で
、５０Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも駆動できる
ようにしたものである。
を駆動する本発明の第２方法を実施するための回路図で
、５０Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも駆動できる
ようにしたものである。
第４図（ａｌは第１図（ａｌにおいて抵抗６を直列に接
続した場合、第４図（ｂｌは第１図（ｂｌにおいて抵抗
６を並列に接続した場合である。
続した場合、第４図（ｂｌは第１図（ｂｌにおいて抵抗
６を並列に接続した場合である。
この共振回路を商用電源４の周波数Ｆ＝５０Ｈｚと６０
Ｈｚの間の周波数、例えば５５Ｈｚに設定し、抵抗６の
抵抗値を適当に選定することにより共振時のＱ値を低く
して共振幅を広げれば、第５図＋ａｌの直列共振特性及
び第５図（ｂ）の並列共振特性を得ることができ、５０
Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも周波数変換機を用
いることなく圧電振動子１を駆動できるものである。
Ｈｚの間の周波数、例えば５５Ｈｚに設定し、抵抗６の
抵抗値を適当に選定することにより共振時のＱ値を低く
して共振幅を広げれば、第５図＋ａｌの直列共振特性及
び第５図（ｂ）の並列共振特性を得ることができ、５０
Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも周波数変換機を用
いることなく圧電振動子１を駆動できるものである。
直列共振駆動の場合は直列共振現象を利用しているので
、共振させない従来の場合よりも回路電流Ｉを大きくで
きるから、従来よりも低い交流電圧で駆動出力を低下さ
せることなく圧電振動子１を駆動することができ、また
並列共振駆動の場合は並列共振現象を利用しているので
、共振させない場合よりも回路電流Ｉを小さくできるか
ら、従来よりも小さい回路電流で駆動出力を低下させる
ことなく圧電振動子１を駆動することができることは明
らかである。
、共振させない従来の場合よりも回路電流Ｉを大きくで
きるから、従来よりも低い交流電圧で駆動出力を低下さ
せることなく圧電振動子１を駆動することができ、また
並列共振駆動の場合は並列共振現象を利用しているので
、共振させない場合よりも回路電流Ｉを小さくできるか
ら、従来よりも小さい回路電流で駆動出力を低下させる
ことなく圧電振動子１を駆動することができることは明
らかである。
この第２方法は第３図（ａｌ 、 （ｂ）の回路におい
ても適用することができ、複数個の圧電振動子１を５０
Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも駆動することがで
きる。
ても適用することができ、複数個の圧電振動子１を５０
Ｈｚ、 ６０Ｈｚのいずれの電源でも駆動することがで
きる。
本発明方法は共振コイル５を用いているので、交流電源
４に混入する雑音インパルスを整形できるから、異音を
発生することなく、圧電振動子を駆動することができる
。従って必ずしも正弦波の電源を用いる必要はなく、矩
形波のような電源を用いても異音を発生せず、かつ圧電
振動子に機械的悪影響を与えるパルスショックを防ぐこ
とができる。
４に混入する雑音インパルスを整形できるから、異音を
発生することなく、圧電振動子を駆動することができる
。従って必ずしも正弦波の電源を用いる必要はなく、矩
形波のような電源を用いても異音を発生せず、かつ圧電
振動子に機械的悪影響を与えるパルスショックを防ぐこ
とができる。
本発明方法は圧電振動子を用いたポンプ、ファン、発音
体等の駆動にも応用できることは勿論である。
体等の駆動にも応用できることは勿論である。
上述のように本発明の第１方法によれば圧電振動子ｌの
静電容量と共振コイル５で直列共振回路または並列共振
回路を形成し、この共振回路を交流電源４の周波数で共
振させることにより圧電振動子１を共振させない従来の
場合よりも大幅に低い交流電圧または小さい電流で駆動
出力を低下させることなく駆動することができる。
静電容量と共振コイル５で直列共振回路または並列共振
回路を形成し、この共振回路を交流電源４の周波数で共
振させることにより圧電振動子１を共振させない従来の
場合よりも大幅に低い交流電圧または小さい電流で駆動
出力を低下させることなく駆動することができる。
第２方法によれば圧電振動子１の静電容量と共振コイル
５と抵抗６で直列共振回路または並列共振回路を形成し
、この共振回路を使用する交流電源４の中間周波数に設
定し、抵抗６により共振時のＱ゛値を低くして共振幅を
広くすることにより周波数の異なる交流電源でも周波数
変換機を使用せずに駆動することができる。
５と抵抗６で直列共振回路または並列共振回路を形成し
、この共振回路を使用する交流電源４の中間周波数に設
定し、抵抗６により共振時のＱ゛値を低くして共振幅を
広くすることにより周波数の異なる交流電源でも周波数
変換機を使用せずに駆動することができる。
第１図（ａｌ 、 ｆｂ）はそれぞれ１個の圧電振動子
を駆動する本発明の第１方法を実施するための回路図で
、第１図（ａｌは１個の圧電振動子と共振コイルを直列
に接続した場合、第１図（ｂｌは並列に接続した場合の
回路例である。第２図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ第
１図（ａｌ 、 （ｂｌの回路の共振特性曲線図、第３
図（ａ）。 （ｂｌはそれぞれ複数個の圧電振動子を駆動する本発明
の第１方法を実施するための回路図で、第３図ｆａ）は
複数個の圧電振動子の並列回路に直列共振コイルを直列
に接続した場合、第３図山）は並列に接続した場合の回
路図である。第４図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ１個
の圧電振動子を駆動する本発明の第２方法を実施するた
めの回路図で、第４図（ａｌは１個の圧電振動子と共振
コイルと抵抗を直列に接続した場合、第４図（ｂｌは並
列に接続した場合の回路例である。第５図（ａｌ 、
（ｂ）はそれぞれ第４図（ａ） 、 （ｂ）の回路の共
振特性曲線図、第６図は従来方法の説明用回路図である
。 ■・・・・・・圧電振動子、２．３・・・・・・電極、
４・・・・・・商用電源、５・・・・・・共振コイル、
６・・・・・・抵抗。 （Ｅｌ） （ｂ） 答２目 淳２圓 （ａ） ０．） ５０Ｌｔ−１１６０Ｈｚ ５０＞（ｚ
ＢθＧＨｚ答ｇ目 （ａ） （ｂ） 箋５自 ＄、＋目 （ａ） （ｈ） 淳θ目
を駆動する本発明の第１方法を実施するための回路図で
、第１図（ａｌは１個の圧電振動子と共振コイルを直列
に接続した場合、第１図（ｂｌは並列に接続した場合の
回路例である。第２図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ第
１図（ａｌ 、 （ｂｌの回路の共振特性曲線図、第３
図（ａ）。 （ｂｌはそれぞれ複数個の圧電振動子を駆動する本発明
の第１方法を実施するための回路図で、第３図ｆａ）は
複数個の圧電振動子の並列回路に直列共振コイルを直列
に接続した場合、第３図山）は並列に接続した場合の回
路図である。第４図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ１個
の圧電振動子を駆動する本発明の第２方法を実施するた
めの回路図で、第４図（ａｌは１個の圧電振動子と共振
コイルと抵抗を直列に接続した場合、第４図（ｂｌは並
列に接続した場合の回路例である。第５図（ａｌ 、
（ｂ）はそれぞれ第４図（ａ） 、 （ｂ）の回路の共
振特性曲線図、第６図は従来方法の説明用回路図である
。 ■・・・・・・圧電振動子、２．３・・・・・・電極、
４・・・・・・商用電源、５・・・・・・共振コイル、
６・・・・・・抵抗。 （Ｅｌ） （ｂ） 答２目 淳２圓 （ａ） ０．） ５０Ｌｔ−１１６０Ｈｚ ５０＞（ｚ
ＢθＧＨｚ答ｇ目 （ａ） （ｂ） 箋５自 ＄、＋目 （ａ） （ｈ） 淳θ目
Claims (2)
- （１）圧電振動子の電極間に交流電源より得た電圧を印
加して圧電振動子を駆動する方法において、圧電振動子
に共振コイルを直列または並列に接続して電気的直列ま
たは並列共振回路を形成し、圧電振動子を電気的に共振
駆動するようにしたことを特徴とする圧電振動子の駆動
方法。 - （２）圧電振動子の電極間に交流電源より得た電圧を印
加して圧電振動子を駆動する方法において、圧電振動子
に共振コイルと抵抗を直列または並列に接続して電気的
直列または並列共振回路を形成し、圧電振動子を電気的
に共振駆動するようにしたことを特徴とする圧電振動子
の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59261363A JPS61139284A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 圧電振動子の駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59261363A JPS61139284A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 圧電振動子の駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61139284A true JPS61139284A (ja) | 1986-06-26 |
Family
ID=17360797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59261363A Pending JPS61139284A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 圧電振動子の駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61139284A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5083056A (en) * | 1989-03-14 | 1992-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Displacement generating apparatus |
| US6459190B1 (en) | 2000-08-11 | 2002-10-01 | Piezomotor Uppsala Ab | Switched actuator control |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946692A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-16 | 日本電気株式会社 | 振動子駆動回路 |
-
1984
- 1984-12-10 JP JP59261363A patent/JPS61139284A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946692A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-16 | 日本電気株式会社 | 振動子駆動回路 |
Cited By (2)
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| US5083056A (en) * | 1989-03-14 | 1992-01-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Displacement generating apparatus |
| US6459190B1 (en) | 2000-08-11 | 2002-10-01 | Piezomotor Uppsala Ab | Switched actuator control |
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