JPS61130839A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPS61130839A JPS61130839A JP60263608A JP26360885A JPS61130839A JP S61130839 A JPS61130839 A JP S61130839A JP 60263608 A JP60263608 A JP 60263608A JP 26360885 A JP26360885 A JP 26360885A JP S61130839 A JPS61130839 A JP S61130839A
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- pressure
- pressure sensor
- semiconductor
- measuring device
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S73/00—Measuring and testing
- Y10S73/04—Piezoelectric
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、両端面がそれぞれ受圧ダイヤフラム分よびそ
れて隣接する補助ダイヤフラムを１旦持する受圧部本体
内ζｌこ半導＃、圧カセ／すが設置され、この半導体圧
力センサの両側にはそれぞれ結合通路が案内され、各結
合−ｉｉ路から（は半導体圧力センサの反対−に位置す
る端部にて、受圧ダイヤフラムに至る第１分岐通路と他
方つ受圧ダイヤフラムに＠接する補助ダイヤフラムに至
る第２分岐通路とが分岐されている差圧測定装置に関す
る。
れて隣接する補助ダイヤフラムを１旦持する受圧部本体
内ζｌこ半導＃、圧カセ／すが設置され、この半導体圧
力センサの両側にはそれぞれ結合通路が案内され、各結
合−ｉｉ路から（は半導体圧力センサの反対−に位置す
る端部にて、受圧ダイヤフラムに至る第１分岐通路と他
方つ受圧ダイヤフラムに＠接する補助ダイヤフラムに至
る第２分岐通路とが分岐されている差圧測定装置に関す
る。
この種の差圧測定装置は西独特許出願公開第３２２２６
２０号公報により公知である。この公知の差圧測定装置
においては、受圧ダイヤフラムＩｃ隣接する２個の補助
ダイヤフラムを過負荷保護手段として使用するために、
半導体圧力１ンサを受圧部本体内に設置することができ
、それによって差圧測定装置の全体構成を非常にコンパ
クトにまとめることができるという利点がある。
２０号公報により公知である。この公知の差圧測定装置
においては、受圧ダイヤフラムＩｃ隣接する２個の補助
ダイヤフラムを過負荷保護手段として使用するために、
半導体圧力１ンサを受圧部本体内に設置することができ
、それによって差圧測定装置の全体構成を非常にコンパ
クトにまとめることができるという利点がある。
しかしながらこの公知の差圧測定装置ｆに訃ける半導体
圧カセ／すは差圧の変化に対して非常に敏感に感応する
ので、有効な測定量を得るためには急激な差圧変化に対
してダンピッグ（制動）が必要である。
圧カセ／すは差圧の変化に対して非常に敏感に感応する
ので、有効な測定量を得るためには急激な差圧変化に対
してダンピッグ（制動）が必要である。
そこで本発明Ｖよ、補助ダイヤフラムによる過電荷保護
に不利な影響を与えることなくすべての使用条件ＶＣ＆
いて半導体圧力センサへの損傷と排除することのできる
機械的ダンピッグ手段を、冒頭で述べた種類の差圧測定
装置に取付けることを目的とする。
に不利な影響を与えることなくすべての使用条件ＶＣ＆
いて半導体圧力センサへの損傷と排除することのできる
機械的ダンピッグ手段を、冒頭で述べた種類の差圧測定
装置に取付けることを目的とする。
この目的を達成するために本発明は、冒頭で述べた４Ｍ
の差圧測定装置ｉ１において、少なくとも１つの結合通
路内にダンパを設け、補助ダイヤフラムの剛性よりは大
きいが半導体圧力センサの剛性よりは小さい剛性を有す
る補償ダイヤフラムを １設け、こ
の補償ダイヤフラムの両側には、半導体圧力センサとダ
ンパとの間の領域ｐＪＣ位置するそれぞれの結合通路と
接続することを特徴とする。
の差圧測定装置ｉ１において、少なくとも１つの結合通
路内にダンパを設け、補助ダイヤフラムの剛性よりは大
きいが半導体圧力センサの剛性よりは小さい剛性を有す
る補償ダイヤフラムを １設け、こ
の補償ダイヤフラムの両側には、半導体圧力センサとダ
ンパとの間の領域ｐＪＣ位置するそれぞれの結合通路と
接続することを特徴とする。
本発明てよる差圧測定装置ｔの主要な利点は、補償ダイ
ヤフラムと関連してダンパを設置することにｊす、高静
王の印加が突然停止されて受圧部水体内の今までその高
静王によってｌＥａさせられていた圧力面４液体が再び
膨張しても、半導体圧力センサが損傷を受けるのが排除
されることである。少なくとも１つの結合通路にダンパ
を設置することてより、圧力面４液体の膨張は異なった
速度で生じ、そルにより過圧が半導体圧力センサに流体
的に並列接続された補償ダイヤフラムによって吸収され
ない場合には、半導体圧力センサに過圧が作用するおそ
れがある。このような使用例での過圧による損傷の危険
は各結合導・Ｕ内にダンパと設けた場合にも生じ得る。
ヤフラムと関連してダンパを設置することにｊす、高静
王の印加が突然停止されて受圧部水体内の今までその高
静王によってｌＥａさせられていた圧力面４液体が再び
膨張しても、半導体圧力センサが損傷を受けるのが排除
されることである。少なくとも１つの結合通路にダンパ
を設置することてより、圧力面４液体の膨張は異なった
速度で生じ、そルにより過圧が半導体圧力センサに流体
的に並列接続された補償ダイヤフラムによって吸収され
ない場合には、半導体圧力センサに過圧が作用するおそ
れがある。このような使用例での過圧による損傷の危険
は各結合導・Ｕ内にダンパと設けた場合にも生じ得る。
というのは、半導体圧力センサの両ｌ１ｌｌ１の圧力伝
達液体の容積は通常具なっており、その相違を実際上は
回避することができないからである。
達液体の容積は通常具なっており、その相違を実際上は
回避することができないからである。
ところで特開昭５６−８７１９４号公報によれば、半導
体圧力センサを備えた差圧測定族ｒｔにおいて、受圧ダ
イヤフラムの受圧室から分岐された通路内にダンパを設
けることが知られている。しかしながらこの公知の差圧
測定装置においては、ダンパは本発明とは全く異なった
位置Ｋｄかれている。というのは、この公知の測定装置
ｆハ本発明とは全く異なった種類に属する差圧測定族′
：ｔに関するものであるからである。すなわちこの特開
昭５６−８７１９４号公報に開示された差圧測定装置に
おいては、半導体圧カセ／すのＡ負荷保護を行うために
、受圧部本体の両受圧ダイヤフラムの間でかつその受圧
ダイヤフラムに平行な面内に中心ダイヤフラムが配設さ
れ、この中心ダイヤフラムの両側から受圧ダイヤフラム
に至る通路および半導体圧力センサに至る通路が形成さ
れている。
体圧力センサを備えた差圧測定族ｒｔにおいて、受圧ダ
イヤフラムの受圧室から分岐された通路内にダンパを設
けることが知られている。しかしながらこの公知の差圧
測定装置においては、ダンパは本発明とは全く異なった
位置Ｋｄかれている。というのは、この公知の測定装置
ｆハ本発明とは全く異なった種類に属する差圧測定族′
：ｔに関するものであるからである。すなわちこの特開
昭５６−８７１９４号公報に開示された差圧測定装置に
おいては、半導体圧カセ／すのＡ負荷保護を行うために
、受圧部本体の両受圧ダイヤフラムの間でかつその受圧
ダイヤフラムに平行な面内に中心ダイヤフラムが配設さ
れ、この中心ダイヤフラムの両側から受圧ダイヤフラム
に至る通路および半導体圧力センサに至る通路が形成さ
れている。
従って半導体圧カセ７すは中心ダイヤフラムに対して流
体的に並列に配置される。しかして外部がら受圧ダイヤ
フラムを介して過負荷がこの公知の差圧測定装置の受圧
部本体（Ｃ伝達されると、受圧ダイヤフラムによって惹
き起こされた容積移動が中心ダイヤフラムの変位によっ
て吸収され、それゆえ半導体圧力センサは過負荷の影響
を受けない。
体的に並列に配置される。しかして外部がら受圧ダイヤ
フラムを介して過負荷がこの公知の差圧測定装置の受圧
部本体（Ｃ伝達されると、受圧ダイヤフラムによって惹
き起こされた容積移動が中心ダイヤフラムの変位によっ
て吸収され、それゆえ半導体圧力センサは過負荷の影響
を受けない。
このことは、高静圧によって圧縮させられている千力伝
ａ坂体がその高静圧の印加停止により突然膨張する場合
にもあてはまる。というのは、ダンパによって生ぜしめ
られる不均等な膨張は半導体圧カセ／すに並列ＶＣＩｔ
かれている中心ダイヤフラムのために半導体圧力センサ
に作用しないからである。しかしながらこのことは、中
心ダイヤフラムを上述の如く配設し、かつ半導体圧力セ
ンサを受圧部本体の外部においてこの受圧部本体にフラ
ンジにより結合された補助容器内に設置した場合【のみ
、可能となる。
ａ坂体がその高静圧の印加停止により突然膨張する場合
にもあてはまる。というのは、ダンパによって生ぜしめ
られる不均等な膨張は半導体圧カセ／すに並列ＶＣＩｔ
かれている中心ダイヤフラムのために半導体圧力センサ
に作用しないからである。しかしながらこのことは、中
心ダイヤフラムを上述の如く配設し、かつ半導体圧力セ
ンサを受圧部本体の外部においてこの受圧部本体にフラ
ンジにより結合された補助容器内に設置した場合【のみ
、可能となる。
本発明による差圧測定装置においては、補償ダイヤフラ
ムは有利には半導体圧力センサのすぐそばに隣接して設
けられ、一方の結合通路は半導体圧力センサと補償ダイ
ヤフラムとの間の領域に接り売され、しかも他方Ｖ結合
通路からは補助通路が補償ダイヤフラムの半導体圧カセ
／すとは反対側に位置する面側に案内される。このよう
な実施態様によれば特に、半導体圧力センサを設置する
室を補償ダイヤフラムを収納するためにも兼用すること
ができ、かつ結合通路と補償ダイヤフラムとを接続する
ために唯１つの補助通路を必要とするだけでよいという
利点が得られる。
ムは有利には半導体圧力センサのすぐそばに隣接して設
けられ、一方の結合通路は半導体圧力センサと補償ダイ
ヤフラムとの間の領域に接り売され、しかも他方Ｖ結合
通路からは補助通路が補償ダイヤフラムの半導体圧カセ
／すとは反対側に位置する面側に案内される。このよう
な実施態様によれば特に、半導体圧力センサを設置する
室を補償ダイヤフラムを収納するためにも兼用すること
ができ、かつ結合通路と補償ダイヤフラムとを接続する
ために唯１つの補助通路を必要とするだけでよいという
利点が得られる。
次に本発明の実ｊ、＠ Ａを図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例ｖＰＲ面図、第２図は第１図
のバー１析面図である。第１図および第２図に示された
本発明による差圧測定装置は、両端面２．３が蓋４．５
によって覆われている受圧部本体１を有している。両蓋
のそれぞれ図示されていない開口を通して、差圧測定装
置内には差圧を ）検出すべき流体
が導かれている。受圧部本体１と蓋４，５とはボルト６
．７およびナツト８，９によって互いに結合されている
。図面にかいて受圧部本体１の上方で蓋４と５との間に
は容器１０が設けられており、Ｃの容器１０内には差圧
測定装置の電子回路ちるいはその回路の一部が収納され
ている。なン理解を容易にするために、容器１０は図面
にはその輪郭だけが描かれているだけであろう 特に第１図から明らかなように、蓋４，５はそれぞれシ
ールリング！、１２を弁して受圧部本体１に押付けられ
ている。その受圧部本体１はその両端面２． ３がそれ
ぞれダイヤ７ラムベント１５．１４を形成するように構
成されている。受圧部本体１においてはその両端面２，
３にそれぞれ補助ダイヤフラム１５．１６がｆＩ接接合
されており、その場合にその補助ダイヤフラム１５．１
６はそれぞれのダイヤフラムベント１３．１４に密着す
るように成形されている。同様に、受圧部本体１０両端
面２，３にはそれぞれ受圧ダイヤフラム１７．１８が取
付けられている。補助ダイヤフラム１５．１６！ｉ！径
が受圧ダイヤフラム１７゜１８よりも小さく形成されて
いる。
のバー１析面図である。第１図および第２図に示された
本発明による差圧測定装置は、両端面２．３が蓋４．５
によって覆われている受圧部本体１を有している。両蓋
のそれぞれ図示されていない開口を通して、差圧測定装
置内には差圧を ）検出すべき流体
が導かれている。受圧部本体１と蓋４，５とはボルト６
．７およびナツト８，９によって互いに結合されている
。図面にかいて受圧部本体１の上方で蓋４と５との間に
は容器１０が設けられており、Ｃの容器１０内には差圧
測定装置の電子回路ちるいはその回路の一部が収納され
ている。なン理解を容易にするために、容器１０は図面
にはその輪郭だけが描かれているだけであろう 特に第１図から明らかなように、蓋４，５はそれぞれシ
ールリング！、１２を弁して受圧部本体１に押付けられ
ている。その受圧部本体１はその両端面２． ３がそれ
ぞれダイヤ７ラムベント１５．１４を形成するように構
成されている。受圧部本体１においてはその両端面２，
３にそれぞれ補助ダイヤフラム１５．１６がｆＩ接接合
されており、その場合にその補助ダイヤフラム１５．１
６はそれぞれのダイヤフラムベント１３．１４に密着す
るように成形されている。同様に、受圧部本体１０両端
面２，３にはそれぞれ受圧ダイヤフラム１７．１８が取
付けられている。補助ダイヤフラム１５．１６！ｉ！径
が受圧ダイヤフラム１７゜１８よりも小さく形成されて
いる。
受圧部本体１はダイヤフラム１７．１８の間の外周領域
に鉾状切欠部１９を有しており、この切欠部１９は図示
された実施例においては受圧部本体１の内部側にさらに
別の小寸法の切欠部２０を有している。林状切欠部１９
内には半導体圧力センサ２２の支持体２１が挿入されて
いる。この支持体２１には上部が閉鎖された縦孔２５が
設けられており、この縦孔２３内ではほうろう２４によ
って管体２５が保持されている。この管体２５は縦孔２
３から下方に向けて支持体２１よりも若干突出している
。管体２５のこの突出端部Ｎ’（は半導体圧力センサ２
２が気密に取付けられている。なお半導体圧力センサ２
２はたとえば西独・持許出願公開第２６１７７３１号公
報により公知である構成を持つことができる。
に鉾状切欠部１９を有しており、この切欠部１９は図示
された実施例においては受圧部本体１の内部側にさらに
別の小寸法の切欠部２０を有している。林状切欠部１９
内には半導体圧力センサ２２の支持体２１が挿入されて
いる。この支持体２１には上部が閉鎖された縦孔２５が
設けられており、この縦孔２３内ではほうろう２４によ
って管体２５が保持されている。この管体２５は縦孔２
３から下方に向けて支持体２１よりも若干突出している
。管体２５のこの突出端部Ｎ’（は半導体圧力センサ２
２が気密に取付けられている。なお半導体圧力センサ２
２はたとえば西独・持許出願公開第２６１７７３１号公
報により公知である構成を持つことができる。
特に第２図から明らかなように、担持体２１は横孔２６
を有しており、この横孔２６は縦孔２３から支持体２１
の外周面にまで達している。支持体２１が切欠部１９内
：Ｃ挿入された状態では、その横孔２６は受圧部本体１
の圧力云４通路２７と連通ずる。圧力伝達通路２７は横
孔２６および通、 路２８と共に結合通路２９を形成す
る。この結合ｉΦ路２９は図面においては半導体圧力セ
ンサ２２の上面に通じており、そして外部に対してはポ
ールノール３０によって密閉されている。
を有しており、この横孔２６は縦孔２３から支持体２１
の外周面にまで達している。支持体２１が切欠部１９内
：Ｃ挿入された状態では、その横孔２６は受圧部本体１
の圧力云４通路２７と連通ずる。圧力伝達通路２７は横
孔２６および通、 路２８と共に結合通路２９を形成す
る。この結合ｉΦ路２９は図面においては半導体圧力セ
ンサ２２の上面に通じており、そして外部に対してはポ
ールノール３０によって密閉されている。
支持体２１は６接接合部５１によって受圧部本体１の外
周縁に固定結合されている。その場合４凄ｔｉ合部３１
の溶接が行われても、当然のことながら、横孔２６から
圧力伝達通Ｉ＠２７に至る移行部領域では、横孔２６か
ら圧力伝達通路２７に至る連通口がその溶接によって閉
塞されることなく、その移行部の周囲に気密が得られる
Ｌうな処置がなされている。それゆえ圧力伝達通ｉ％２
７内の圧力が、支持体２１と受圧部本体１との間の境界
に形成されている円筒状細隙を伝わって、切欠部２０内
（で配置されている半導体圧力センサ２２の下面（（作
用するのが回避される。切欠部２０円には他の圧力伝達
通路５２が連通している。圧力伝達通４５２は通Ｗ＆５
Ｓに接続されており、この通路３３はその圧力伝達通＠
５２と共に結合通路３４を形成している。結合通路３４
はボールゾール３５によって外部に対して密閉されてい
る。なお両ボールンール３０，３５は押圧部材３６およ
びボルト６７によってそのンール部に押付けられている
。な訃また両結合通路２９．３４は受圧部本体１の端面
２，３に平行に位置する１つの平行平面内に設けられて
いる。
周縁に固定結合されている。その場合４凄ｔｉ合部３１
の溶接が行われても、当然のことながら、横孔２６から
圧力伝達通Ｉ＠２７に至る移行部領域では、横孔２６か
ら圧力伝達通路２７に至る連通口がその溶接によって閉
塞されることなく、その移行部の周囲に気密が得られる
Ｌうな処置がなされている。それゆえ圧力伝達通ｉ％２
７内の圧力が、支持体２１と受圧部本体１との間の境界
に形成されている円筒状細隙を伝わって、切欠部２０内
（で配置されている半導体圧力センサ２２の下面（（作
用するのが回避される。切欠部２０円には他の圧力伝達
通路５２が連通している。圧力伝達通４５２は通Ｗ＆５
Ｓに接続されており、この通路３３はその圧力伝達通＠
５２と共に結合通路３４を形成している。結合通路３４
はボールゾール３５によって外部に対して密閉されてい
る。なお両ボールンール３０，３５は押圧部材３６およ
びボルト６７によってそのンール部に押付けられている
。な訃また両結合通路２９．３４は受圧部本体１の端面
２，３に平行に位置する１つの平行平面内に設けられて
いる。
それぞれ２個θ受圧ダイヤフラム１７．１８と２個の補
助ダイヤフラム１５．１６とを備えた図示の実施例シζ
おいては、両結合１ｉＮｒ２９、３４からはそれぞれ第
１分岐路と第２分岐路が分岐されている。なお第２図に
おいてはそれぞれ結合通路２９の第１分岐路通路３日お
よび結合通路３４の ）第２分岐通路
３９が示されており、結き通路２９の第２分岐通路およ
び結合通路３４の第１分岐通路は示されていない。これ
らの分岐通路の内、結合通路２９の第１分岐通Ｌ＠３８
は受圧部本体１の端面２上の受圧ダイヤフラム１７に導
かれ、そして結合通路３４の第２分岐Ａｉ＠３９は同様
に受圧部本体１の端面２上の補助ダイヤフラム１５に導
かれている。なお結合通路２９０図示されていなＡ瀉２
分岐通路は受圧部本体１の端面３上の補助ダイヤフラム
１６に導かれ、そして結合通路６４の同様に図示されて
いない第１分岐通路は同様に受圧部本体１の端面ろ上の
受圧ダイヤフラム１８に導かれている。受圧部本体１の
内部の全ての通路および噴孔２６ならびに切欠部２０内
には圧力伝達液体が充填されている。
助ダイヤフラム１５．１６とを備えた図示の実施例シζ
おいては、両結合１ｉＮｒ２９、３４からはそれぞれ第
１分岐路と第２分岐路が分岐されている。なお第２図に
おいてはそれぞれ結合通路２９の第１分岐路通路３日お
よび結合通路３４の ）第２分岐通路
３９が示されており、結き通路２９の第２分岐通路およ
び結合通路３４の第１分岐通路は示されていない。これ
らの分岐通路の内、結合通路２９の第１分岐通Ｌ＠３８
は受圧部本体１の端面２上の受圧ダイヤフラム１７に導
かれ、そして結合通路３４の第２分岐Ａｉ＠３９は同様
に受圧部本体１の端面２上の補助ダイヤフラム１５に導
かれている。なお結合通路２９０図示されていなＡ瀉２
分岐通路は受圧部本体１の端面３上の補助ダイヤフラム
１６に導かれ、そして結合通路６４の同様に図示されて
いない第１分岐通路は同様に受圧部本体１の端面ろ上の
受圧ダイヤフラム１８に導かれている。受圧部本体１の
内部の全ての通路および噴孔２６ならびに切欠部２０内
には圧力伝達液体が充填されている。
受ＦＦ１部本体１の切欠部２０内には補償ダイヤフラム
４０が設けられており、この補償ダイヤフラム４０はそ
の縁部が図示されていない方法によって切欠部２０の底
部４１に溶接接合されている。
４０が設けられており、この補償ダイヤフラム４０はそ
の縁部が図示されていない方法によって切欠部２０の底
部４１に溶接接合されている。
補償ダイヤフラム４０のＦ方には圧力伝達液体が充填さ
れた空所４２が設けられており、この空所４２はその補
償ダイヤフラム４０が変形し得る大きさに形成されてい
る。この空所４２内には、一方の結合導管２９に案内さ
れている補助通路４５が連通している。従って補償ダイ
ヤフラム４０は半導体圧力センサ２２に対して平行に配
置される。
れた空所４２が設けられており、この空所４２はその補
償ダイヤフラム４０が変形し得る大きさに形成されてい
る。この空所４２内には、一方の結合導管２９に案内さ
れている補助通路４５が連通している。従って補償ダイ
ヤフラム４０は半導体圧力センサ２２に対して平行に配
置される。
図示の実施例においては、各結合通路２９．３４内には
半導体圧力センサ２２と分岐通路３８．５９の分岐口と
の間にダ／パ４４，４５がそれぞれ設けられている。こ
のダンパ４４，４５ｆｆ、半導体圧力センサ２２によっ
て検出される測定駄が短時間の急激な圧力衝撃の影響を
受けないように、換言すれば半導体圧力センサ２２に短
時間の急激な圧力衝撃が作用しないように働く。という
のは。
半導体圧力センサ２２と分岐通路３８．５９の分岐口と
の間にダ／パ４４，４５がそれぞれ設けられている。こ
のダンパ４４，４５ｆｆ、半導体圧力センサ２２によっ
て検出される測定駄が短時間の急激な圧力衝撃の影響を
受けないように、換言すれば半導体圧力センサ２２に短
時間の急激な圧力衝撃が作用しないように働く。という
のは。
センサは非常に敏感な動きをするので、短時間の急激な
圧力衝撃がセンサに作用した場合には、その圧力衝撃に
工ってセンサが破損されるおそれがあるからである。
圧力衝撃がセンサに作用した場合には、その圧力衝撃に
工ってセンサが破損されるおそれがあるからである。
差圧測定装置の通常の丈用吠趨においては、受圧部本体
１内従って同様にダンパ４４，４５と半導体圧力センサ
２２との間の領域内こり圧力＠４ｉｌ＆、体は静圧のた
めに圧縮させられている。その静圧が突然低下すると、
受圧部本体１円従って１ｆｆ１様にダンパ４４，４５と
半導体圧力センサ２２との間の領域内の圧力伝達液体が
膨張する。半導体圧力センサ２２の両側Ｖて接する圧力
伝達液体の容積は通常異なっているので、圧力伝達液体
がそのよって膨張すると、半導体圧力センサ２２を破損
してしまう差圧が発生する。しかしながらこの差圧測定
装置ｔ ｉＣおいては、補償ダイヤフラム４０の剛性が
補助ダイヤフラム１５．１６の剛性よりも大きくかつ半
導体圧力センサ２２の剛性よりも小さく設定されている
ので、半導体圧ガセンサ２２を破損してしまうような大
きな差圧はその補償ダイヤフラム４００作用によって阻
止され、それゆえそのような危険：２差圧は生じない。
１内従って同様にダンパ４４，４５と半導体圧力センサ
２２との間の領域内こり圧力＠４ｉｌ＆、体は静圧のた
めに圧縮させられている。その静圧が突然低下すると、
受圧部本体１円従って１ｆｆ１様にダンパ４４，４５と
半導体圧力センサ２２との間の領域内の圧力伝達液体が
膨張する。半導体圧力センサ２２の両側Ｖて接する圧力
伝達液体の容積は通常異なっているので、圧力伝達液体
がそのよって膨張すると、半導体圧力センサ２２を破損
してしまう差圧が発生する。しかしながらこの差圧測定
装置ｔ ｉＣおいては、補償ダイヤフラム４０の剛性が
補助ダイヤフラム１５．１６の剛性よりも大きくかつ半
導体圧力センサ２２の剛性よりも小さく設定されている
ので、半導体圧ガセンサ２２を破損してしまうような大
きな差圧はその補償ダイヤフラム４００作用によって阻
止され、それゆえそのような危険：２差圧は生じない。
、ｇ１図ｄ本発明の一実施例ＤｔＭ面図、第２図は第１
図における■−■断面図である。 １・・・受圧部本体、１５．４６・・・補助ダイヤフラ
ム、１７．１８・・・受圧ダイヤフラム、２２・・・半
導体圧力センサ、２９．３４・・・結合通路、４０・・
・補償ダイヤフラム、４４．４５・・ダンパ。
図における■−■断面図である。 １・・・受圧部本体、１５．４６・・・補助ダイヤフラ
ム、１７．１８・・・受圧ダイヤフラム、２２・・・半
導体圧力センサ、２９．３４・・・結合通路、４０・・
・補償ダイヤフラム、４４．４５・・ダンパ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）両端面がそれぞれ受圧ダイヤフラムおよびそれに隣
接する補助ダイヤフラムを担持する受圧部本体内に半導
体圧力センサが設置され、この半導体圧力センサの両側
にはそれぞれ結合通路が案内され、各結合通路からは半
導体圧力センサの反対側に位置する端部にて、受圧ダイ
ヤフラムに至る第１分岐通路と他方の受圧ダイヤフラム
に隣接する補助ダイヤフラムに至る第２分岐通路とが分
岐されている差圧測定装置において、少なくとも１つの
結合通路（２９、３４）内にダンパ（４４、４５）を設
け、補助ダイヤフラム（１５、１６）の剛性よりは大き
いが半導体圧力センサ（２２）の剛性よりは小さい剛性
を有する補償ダイヤフラム（４０）を設け、この補償ダ
イヤフラム（４０）の両側には、半導体圧力センサ （２２）とダンパ（４４、４５）との間の領域内に位置
するそれぞれの結合通路（２９、３４）を接続したこと
を特徴とする差圧側定装置。 ２）補償ダイヤフラム（４０）は半導体圧力センサ（２
２）のすぐそばに隣接して設けられ、一方の結合通路（
３４）は半導体圧力センサ（２２）と補償ダイヤフラム
（４０）との間の領域に接続され、他方の結合通路（２
９）からは補助通路（４３）が補償ダイヤフラム（４０
）の半導体圧力センサ（２２）とは反対側に位置する面
側に案内されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の差圧測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843443419 DE3443419A1 (de) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | Druckdifferenz-messgeraet mit einem halbleiter-drucksensor |
| DE3443419.4 | 1984-11-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130839A true JPS61130839A (ja) | 1986-06-18 |
Family
ID=6251391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60263608A Pending JPS61130839A (ja) | 1984-11-26 | 1985-11-22 | 差圧測定装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4637257A (ja) |
| EP (1) | EP0183640A1 (ja) |
| JP (1) | JPS61130839A (ja) |
| AU (1) | AU570394B2 (ja) |
| DE (1) | DE3443419A1 (ja) |
| ES (1) | ES8609706A1 (ja) |
| FI (1) | FI854649A (ja) |
| IN (1) | IN162349B (ja) |
| NO (1) | NO854351L (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10030838A1 (de) * | 1999-07-05 | 2001-01-11 | Luk Lamellen & Kupplungsbau | Verfahren zur Versorgung eines eine Getriebesteuerung aufweisenden Automatik-Getriebes und Automatik-Getriebe |
| DE102008054991A1 (de) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdruckmessumformer |
| DE102012202038A1 (de) * | 2012-02-10 | 2013-08-14 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Messvorrichtung mit einem Drucksensor |
| US8701496B1 (en) * | 2013-02-27 | 2014-04-22 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a pressure sensor having a two layer die structure |
| DE102017127138A1 (de) * | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckmessaufnehmer |
| DE102020133380A1 (de) * | 2020-12-14 | 2022-06-15 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Koplanarer Druckmessaufnehmer zur Bestimmung des Druckmesswertes eines Mediums |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE347276C (de) * | 1919-07-26 | 1922-01-12 | Farbenfab Vorm Bayer F & Co | Verfahren zum Drucken von Pigmenten auf Textilgeweben mit Acetylcellulose als Fixierungsmittel |
| IT1025881B (it) * | 1974-11-21 | 1978-08-30 | Nuovo Pignone Spa | Sistema di protezione alle sovra pressioni di un sensore a wafer di siligio di un trasmettitore di pressione differenziale |
| DE2712846A1 (de) * | 1976-03-24 | 1977-11-24 | Ict Instr Inc | Messumformer zum messen von druckunterschieden |
| GB1558770A (en) * | 1977-05-10 | 1980-01-09 | Bell & Howell Ltd | Differential pressure transducers |
| US4135407A (en) * | 1978-04-03 | 1979-01-23 | The Foxboro Company | Method and apparatus for overrange protection of the transducer in a differential pressure transmitter |
| DD154242A1 (de) * | 1980-11-03 | 1982-03-03 | Eberhard Borchers | Messumformer zum messen von druckdifferenzen |
| US4452069A (en) * | 1980-12-26 | 1984-06-05 | Nippon Soken, Inc. | Method of and apparatus for sensing knocking in internal combustion engine |
| GB2091883B (en) * | 1981-01-24 | 1984-04-26 | Skil Controls Ltd | Differential pressure transducer |
| DE3222620A1 (de) * | 1982-02-15 | 1983-08-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Druck- oder druckdifferenzmessgeraet mit einer vor ueberlastung geschuetzten drucksonsor-einrichtung |
| US4527428A (en) * | 1982-12-30 | 1985-07-09 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor pressure transducer |
| JPS59203936A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
| US4563901A (en) * | 1983-09-09 | 1986-01-14 | International Telephone & Telegraph Corp. | Transducer |
-
1984
- 1984-11-26 DE DE19843443419 patent/DE3443419A1/de not_active Withdrawn
-
1985
- 1985-10-31 NO NO854351A patent/NO854351L/no unknown
- 1985-11-15 US US06/798,564 patent/US4637257A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-11-18 EP EP85730152A patent/EP0183640A1/de not_active Withdrawn
- 1985-11-18 IN IN816/CAL/85A patent/IN162349B/en unknown
- 1985-11-22 JP JP60263608A patent/JPS61130839A/ja active Pending
- 1985-11-25 ES ES549254A patent/ES8609706A1/es not_active Expired
- 1985-11-25 AU AU50317/85A patent/AU570394B2/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-11-25 FI FI854649A patent/FI854649A/fi not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0183640A1 (de) | 1986-06-04 |
| US4637257A (en) | 1987-01-20 |
| FI854649A (fi) | 1986-05-27 |
| IN162349B (ja) | 1988-05-07 |
| ES549254A0 (es) | 1986-07-16 |
| FI854649A0 (fi) | 1985-11-25 |
| DE3443419A1 (de) | 1986-05-28 |
| NO854351L (no) | 1986-05-27 |
| AU570394B2 (en) | 1988-03-10 |
| AU5031785A (en) | 1986-06-05 |
| ES8609706A1 (es) | 1986-07-16 |
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