JPS61127220A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、素子の外部との整合方式を改善して、高周技
でも容易に低慣失、低リップルを実現できるようＫした
弾性表面波装置に関する。

〔発明の背景〕

弾性民ｃｆＩ波素子の外部回路との整合には、従来から
り、　Ｃ，Ｒ素子を用いた整合回路が用いられて来た。

しかし、簡単で素子数が少なく、シかも低頂失、低す、
プルの弾性表面ｅＬ装置に必要なａ素共役整合を、ＵＨ
Ｆ帯の高周彼でも実現できる適用範囲の広い整合回路は
未だ苅られていない。

以Ｆ１簡単で素子数の少ない代表的な３種の従来例につ
いて問題点を説明する。

（匈　第１従来例：例えば特開昭５６−１５６０１５号
公報に開示されているような送受仮電極容量を打ち消す
並列インダクタンスを接続する方法は、複素共役整合を
実現する上で下記の問題がある。■送受波電極の放射コ
ンダクタンスｑａを外部回路でコンダクタンスＣｎ、（
電源内部コンダクタンス又は負荷コンダクタンス）に一
致させる必要があるので、送受ｒＲ電極の開口が限定さ
れる。多くの場合、外部回路コンダクタンスが大きいの
で（例えば純抵抗５０Ω。

即ちＧ、＝２０ｓＳ）　、開口が大よくなり、このため
弾性表面波基板面積が大εぐな〕、高価格となるだけで
な（、ＵＨＦ帯の高周波では成極指幅が１〜２．α島以
下と細くなることも相俟って電極指抵抗が大よくな勺、
１１１億指抵抗損が大となＪ）、ＩＪｔ損失化の大きな
障害となる。

［Ｆ］高周波では、弾性表面彼素子チ、プをパックージ
のビンと電気的に接続するポンディングワイヤのインダ
クタンスが無視できなくなシ、送受波電極アドミタンス
の直列インダクタンスとして作用し、１１素共役整合が
外れる欠点がある。開口、並列インダクタンスを補正し
たとしても、ワイヤインダクタンス忙ばらつきが存在す
ることから、整合のばらつきが生じ易い。

（ｂ）　　第２従来例：例えばＴｏｐｉｃｓ　ｉｎ　Ａ
ｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ、ｐ２７６、Ｆｉｇ、６４
７（Ｓｐｒｉｎｇｅｒ　ＶｅｒｌａｇＢｅｒｌｉｎ、１
９７Ｂ）　Ｋ見られる如く、送受ａｍｍに直列インダク
タンスを愛読する方法では複素共役整合の実現九対し次
の問題がある。■外部回路コンダクタンスＧＬから見た
複素兵役整合を実現するに際し、前記第１従来例と同様
に開口が大よくなる欠点ン有する。この問題につき、放
射コンダクタンスＧａとＦＩＬ　億８１Ｃｘの並列回路
で表わした送受波電極に直列インダクタンスＬ２を介し
て内部コンダクタンス化の電源を接続した第２図に示す
等、回路により説明する。角周彼数をωとして、電源コ
ンダクタンスＧＬから送受仮載極側を見たアドミタンス
Ｙｉｎ（ｊ・丹−２：次ｔ、により表される。

Ｙｉｎ　（ｊω）＝□＋ （、Ｊ’：：ｘＬｚ　）”＋ｍ”ＣＬ２Ｇａ）”中心角
周匝畝町れおいて、（４）武の虚部を零とする直列イン
ダクタンスＬ２はと なる。この際・Ｏアドミタンスはコンダクタンスのみと
なシ、 Ｙｉ　ｎ　（ｊ　　”ａ　、”　　＝Ｕ１＋ｓｏ２Ｃｍ
’／ＵＢ　　　　　　　・・・　・・（６ンの如く表さ
れる。（６）式のどとくηｎ（ｊ−。）はｔ極のみで定
まＣ１Ｇａと同程度であること、Ｙｉｎ（ｊ”ｏ）＝Ｇ
ｒＪとすることから、ＧａはＧＬと同程度とをシ、第１
従来例の場合の■と同蛾に開ロイ、大きくすること忙よ
る欠点が生ずる。

■Ｐ、損失、低リップルの弾性表面波装置の送呈彼鑞億
にとり必要な、送受ｆｆ成極の放射コンダクタンスＧａ
から外部回路を見た場合の複素共役整合が常忙可能では
ない。加えてＧＬとＧａの間の影像整合が実現されない
。すなわち、第２図の等価回路で、放射コンダクタンス
Ｇａから電源側を見たアドミタンスＹｏｕｔ（ｊ＃）は
次のよりに表される。

ｚ ””　（ｊ”　””　　　、Ｈ”ｏＬｚ（ｈ）２　＋’
　”　””　ｉｍＬ２　　’＊２（Ｌ２ＧＴＪ）２ １＋。２（Ｌ２−メ　　　°−°（７）ここで、中心角
ＭＪ波数ω０で、Ｙｏｕｔ　（Ｊω０）の虚部（ナセプ
タンスンを零とする直列インダクタンスＬ２が存在する
ためには、Ｉｌｔ＃＆容量ＣＩは次の関係を満足しなけ
ればならない。

Ｃ１４１゜＜Ｏｒ、／２　　　・・・・・　（８）すな
わち、電極容量によるナセブタンス、換言すれば開口を
小さくしなければならない。

これは周仮数が高い場合は寄生容量が加わることも相俟
って厳しい１ｔｒｌｌ限となる。このとき、Ｙｏｕｔの
虚部を零とする直列インピーダンスＬ２でア＝ｙ　テ、
１５＋　Ｅ　（１）Ｌ２と一致せず、Ｙｏｕｔ（ｊ　”
ａ　）もＧａとは一致しない。

（ｃ）　　第３従来例：２ｆｌ！ｌの９アクタンス素子
を用いて、複索共役整合を行なり方法が特開昭５６−２
７５２５号ＶＣ開示されている。しかし、この方法は、
通常の２電極構成の弾性表面波装置を対象とし、９アク
タンス素子の値を１ｔ［ｌｌｌ力ら見て複素共役整合と
なるように定める方法であることから、低損失、低リッ
プルを目的とした弾性表面波装置忙は適用でよない。こ
の公知例の代表的な場合につき、その等価回路を第３図
に示して説明する。第３因忙おいて、放射コンダクタン
スＧａと電極容１１ｋＣｚの並列回路で表わした送受ｔ
ＩｌＩＥ極釦、直列インダクタンスＬ２を接続し、さら
に電源＊に並列容容Ｃ５が接続されている。この図にお
いて、電源コンダクタンスＧＬから送受波電極側を見た
アドミタンスＹｉｎ　　（ｊ　”　）は次式で与えられ
る。

（ｊａ ”　　”　　”　）　”　　（、＊”ＣｘＬｚ）’＋Ｃ
”ＬｚＣ４；１）”　　”　　”Ｓ上記公知例は、（１
０）式の実部がＧとなるようＫ　、Ｌ２を定め、同氏の
虚部が零となるようにＣｓを与える手法である。しかし
、低損失、低す、プルの弾性表面波装置、特に３１を極
型弾性表面波素子の中央電極に対して必要な整合回路シ
アクタンス素子の値、送受波電極放射コンダクタンスを
与えることがでよない。すなわち、３１を極を弾性表面
波素子の、中央電極の弾性表ｆｆｉ彼′に極反射を抑圧
し低リップルを実現する忙は、放射コンダクタンスから
外部を見て複索共役整合されていることが不可欠である
が、上記公知例では与えられないのである。また通常の
送受２４極聾弾性表ｒＴＪ彼素子を対象としたため、放
射コンダクタンスから見たａ素共役整合は電極反射の点
で実は考えられなかった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記従来例のよ５を問題点が無く、広
い範囲の送受仮載憔放射コンダクタンスに対して、低損
失、低リップルな実現する２８υ 素子数の少ない整合回路、作シ易い送受波電極を持ち、
ばらつきが少なく量産性に優れた弾性表面波装置を提供
することにある。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するために本発明においては、従来見落
されていた送受ｆｌ電電極放射コンダクタンスから見た
複素共役整合を第１条件として実現することとし、寄生
素子の影響を受は雌い簡単な整合回路と電極放射コンダ
クタンス（もしくは開ロンの与え方を見出した。

第１区（ａ）に示す３１９：極型弾註表面波素子の等価
回路を用いて、これを説明する。この図では、中央電極
において、直列Ｋｍ続されるボンディングワイヤのイン
ダクタンスＬ２ｕｒのばらつきを吸収すべく、直列にイ
ンダクタンスＬ２３を接続し、１１Ｌ源關に並列容ｔｃ
ｓ又は並列インダクタンスＬ１を接続して、送受波成極
放射コンダクタンスから電源側を°見込んだ場合のアド
ミタンスＹｏｕｔの虚部な電極容量に関係なく零とし、
かつＹｏｕｔの実部に一致するよ５ＶＣ放射コンダクタ
ンスＧａを設定したものである。

この場合、％釦並列容量Ｃ８を用いる際の放射コンダク
タンスＧａからＩＥＩＩ側を寛込んだアドミタ（１１）
式のＹｏｕｔ（ｊｓ）の虚部を中心角周波数ωＱで零と
するインダクタンスＬ２が電極容量のｆｌｕ　ｉｃ　［
係なく存在するために、Ｃ５の膚たすべき条件は次式で
表される。

”ＯＣ８＞／Ｖ’−四コＬ　（＊、（：’ｚ−１コ＝ニ
］フ）　　　（＃ａＣＨ≧ＧＶ／２ン・・・・・　（１
２） Ｃｓ＞ｏ　　　（”ａｃｔｓ；Ｇｒ、／２ン　・・・・
・　（１３）この場合、直列インダクタンス’ｏ　（＝
Ｌ２ｓ＋Ｌシンは次のように与えられる。

Ｌ２ａ＝ｌＧａ２＋Ｃｓ＃ｏ（２Ｃｚ＊ｏ−、Ｃｓ５ｏ
　）±（Ｃｔ＋宍電−４（！、（Ｃｚ”ｏＺＪ÷（ｓｏ
・２ｃｓ＊ｏ・ｌ（Ｃｍ町）２＋　（ＡＪ　〕”　・・
・（１４）このように前記Ｍ２従来例（ｂ）に示した単
純な直列インダクタンス忙よる整合法では存在した（８
）代の制限が外れ、必ずＹｏｕｔの虚部を零とすること
ができる。放射コンダクタンスＧａとＹｏｕｔを複素共
役整合させ゛るため、更にＧａを（１１）式第１項に等
しく設定する。即ちＧａは次武で与える。

ＧＬ ””（、＋１１゜Ｌ２ｏ８）＋、。。Ｌ２ｑＬ）・・・
・・（１５）以上の如き整合回路を設け、その回路度数
ＩＪ２　。

Ｃ５ｔｓｔ極放射コンダクタンスＧ、を上記手法で設定
すれは中央ｉＥ極の１ｊｔｉ反射は・０で無くすことが
出来、低シツプル化が達成出来る。上記ではＣ３ｆ）値
からＵＢ　、　Ｌ２を決足したが、’Ｊａを与えてから
Ｃｓ　、　Ｌｘの１をめる範囲で決足でよる。実際には
、後者の方法、すなわち最初に素子のＱａを与える方法
を用い、可能なＣ３，Ｌ２の岨合せの中から、次ぎの（
１６）式で表される中央゛電極の′域方損失を零とする
又は零に近付切る（４．Ｌｘの組合わせを選ぶ。

Ｐ２７Ｐｏｏ＝４Ｇａ也＠１２／　（Ａ：＋Ａ：　）　
・・・・−（１６）＋ｚ１〕・・・・・（１７） ″“弘−・０六爺−・′）〕 Ａ；Ｃ３ｃｌＬ２伽〔ＣＩ ・・・・・（１８） 但し、ＰＯＯ：最大有能電力、Ｐ２；放射コンダクタン
スＧＢに於ける消費電力 このとよ、中央電極の弾性衣面彼の反射は零、損失も零
となり、ｓＩＬ極型弾性表ｒＩｆＪ仮装置の低損失化、
低リップル化が完全に達成できる。上記の事柄から達成
される例として、容易忙わかるものは、Ｃｓ”Ｃｍ、　
Ｌ２＝１／ａ＋２ｃｍ、　Ｇａ＝（ａｂａｃｉ）２１Ｇ
Ｌの組合わせでろって、このとｌ　ｉＥ［コンダクタン
スＧｂから見たアドミタンスＹｉｎは電と複素共役整合
している。これは前記（１０）式に代入して確かめられ
る。もちろん、Ｇａの値が上記の（・ｏｃｍ）”／　Ｇ
Ｌの場合にのみ低損失化、低り、プル化が達成されるの
では無く、充分に広い輻囲のＧａ釦対して、本発明釦よ
り中央電極な電源と影像整合でき、低遺失化、低リップ
ル化できる。

第１．２従来例の場合の如く、電源と影像整合できるＱ
ａの１直が唯１　ｇＩｉと限られず、Ｆ＆針自由度が著
しく拡大される。

一方、中央電極の損失忙関しては、放射コンダクタンス
Ｇａの設定によっては、ａｍコンダクタンス（ｊＬから
見て複素共役整合ができず、零とはならない場合もある
が、放射コンダクタンスＧａから見て複素共役整合され
ていれば良く、実際上は、Ｃ５，Ｌ、の選択により、充
分小さな損失で使用できる。逆の場合は全く当てはまら
ず、低リップル化は達成されない。これは多くの場合、
回路的にみて、第１凶（ａ）の中央電極と整合回路、電
源の等価回路が対称でないことから生じる。また素子の
値と中央電極の損失、電極反射抑８Ｅ度の関係を調べて
も、多くは上記反射抑圧度の極大（−’＝）、すなわち
９ツプル極小（零）と、損失の極小とは一致しない。こ
の際は、放射コンダクタンスＧａから見て複素共役整合
が成立する埴、才なわらす、プル極小となる値を選ぶ。

以上、電源測に並列容量Ｃ５を用いた場合について述べ
たが、Ｃ５の・代わりに並列インダクタンスＬ１を用い
た場合も、（１１）代り＋１１　（’　３を（〜ωＬ１
）と置＃換えて考えれば、同様にｆ数を設定でよる。但
し、高周波ではインダクタンス２個の相互誘導忙対する
対策が必要である。

〔発明の実施例〕

以Ｔ１本発明の好適な実施例を第１図（ｂ）Ｋよ〕説明
する。本実施例では、圧縮性基板１とＬ　テＬｉＮｂ０
ｉ　単結Ｊ＆　ｆ）　１２８°回ＥＹＩＩＩＩ力、）、
Ｘ軸方向＠搬を用い、圧電性基板１上に中央電極Ｃとし
て中心局（ｌｊｉ　ｄ　ｆｏ　＝　４０２．７８ＭＨｚ
、　３ｄＢ帯域幅３０旙ｉの対称重み付けされた５９．
５対の電極が、開口５００μ島で設けられている。この
中央電極の両側に、広搬路延長上に同一開口で等間隔に
並んだ５　ｊｌｉｉの１対の正規ｍ電極が外側電極とし
て設けられており、その主ピークは中央ｔ＠ｃの通過帯
域に電ね、主ピーク両側のトラップ及び副次ピークは、
中央゛電極Ｃ）低次ティドロープ群と重ねて、この低次
ナイドロープを押さえている。中央電極Ｃと外側成極４
，４′の間隔は夫々５００μ属で、これら電極の中間忙
は、夫々シールド電極５，５′が設けられている。これ
らの送受波電極はＡＪ蒸着膜で厚さＱ、１．ｕｒｌｍに
形成され、電極指はいずれもスズ９．ト型としである。

圧電性基板は其のａ：面をエポキシ系娯ペーストで力ン
バックージのステム（アース面となっているンに接着さ
れ、各電極のそれぞれ１ｇ号が印加される側のボングイ
ングバ、ドロは、ポンディングワイヤ７でカンパワゲー
ジのビン（図示省略ンにつながれ、これらのビンを介し
て外部の回路に接続されている。外ａｔ極４，４′は同
一負荷５．′に並列接続されているが、中央電極Ｃの信
号側は直列に接続された整合用インダクタンスＬ２５を
介して内部コンダクタンス−のＫｍ２に接続されており
、ＩＥ源出力端子〈は整合用Ｋ　’ｇ　ｔｃｓが並列接
続されている。ここで、外部回路は５０Ω系であシ、負
荷コンダクタンスＧＬ。

電源内部コンダクタンス電はいずれも２０ＩＩ＆Ｓであ
り、中央電極Ｃの放射コンダクタンスＧａは５．４＋１
１８，８遥Ｃ１はステムと電極間の寄生容３１ｉ２．７
１ｐＦを含めて７．５４ｐＦである。上記放射コンダク
タンスＧａと、この放射コンダクタンスから外部を見た
アドミタンスが複素共役整合となるように０３とＬ２は
（１４）式、（１５）式１ｃ従５のみならず、中央成極
損失が零となるよう釦、計算ａＶミーレーｉ／−１７Ｖ
ｃよシ設定した。その結果、並列容ｆｃ８１直列インダ
クタンスＬ２（但しワイヤインダクタｙ　スＬ、ｗｐ＝
　４　ｎｉｌを加えた１直］は、それぞし１５ｐＦ。

ｚａ、ｓｎＨと＃褌で求められた。

上記計算により求められた特性と、実検的に並列容ｊｉ
ｃｓを１２ｐＦ、直列インダクタンスＬ２（但しワイヤ
インダクタンスＬ２ｙ＝　４　ｎ）ｉとシ、ソれを加え
た値）を２６．６ｎＨとして得た特性を本実施例特性と
して第１図（Ｃ）ＶＣ示す。この図において横軸はＮＲ
ａ、赦をＮＨｚ単位で、縦軸は損失をｄＢ単位で表して
おシ、図中の２１は計算忙よる通過損失、２２は計算に
よる電極多重反射の抑圧度（Ｔｒ：ｐｌｅ　Ｔｒａｎｓ
ｉｔ　５ｕｐｐｒｅｓｓｉｏｎ、略称ＴＴＳ　）、２３
は実験による通過損失である。

計算では、中心周彼数における中央電極の損失は［１１
ｄＢで所盪通シ、フィルタとしての過通損失も１２．１
ｄＢでろＪ、ＴＴＳも中心４波数では無限大で、帯域内
全域Ｃ±１５Ｍ（ｚ　）でも４０ｄＢでめ）、十分和犬
きい。これに対して実検では、損失は１２．７ｄＢ、　
９　、プルも６１１１９．プ＃ハ０．１４ｄＪ３ｐｐ以
丁、群遅延時間９ツグルも６ｎｓ　ｐｐであシ、上記計
算と違わぬ結果が得られた。不実施例では、開口を広げ
過ぎずに作シ易く、かつ、中央点み付け１電極の交差１
雇の小さい部分による弾性茂面彼の回折の悪影響が小さ
い５ａｏｐｎａとしたが、中央成極の低りッグル化、低
損失化に対しては開口１００μＭ程度まで狭くしても七
分刊能でるる。

逆に同じ目的で本発明を用いると開口は１０００μ＃％
ａ度まで広くしても十分可能でるる。この嫌に、従来の
設計法では不可能でめった広い範囲の放射コンダクタン
ス開口に対して十分に低損失化、１氏９ツプル化がｏＪ
能となシ、設計自由度が向上した。これは弾性表面波素
子のばらつき、例えば成極幅が素子間でばらつきを生じ
、放射コンダクタンス、チセプタンスが開動を生じた場
合でも、あるいは外部回路コンダクタンスＱ−がばらつ
よを待つ場合でも、Ｌｘ、（’４．　ｃｙ）調整により
容易に対策でよる利点を示している。これは、前記第１
、第２従来例とは全く異なった利点かめる。また、本実
施例の中央電極整合を第１従来例の如く、並列インダク
タンスのみで行なつと、放射コンダクタンスを’ｉｌｌ
：ｍコンダクタンスと一致させねばならず、開口長は、
本実施例の場合の４７倍、１９５ｊＥＩとなり、圧電性
基板に倍の面積を要するだけでなく、嶺ａａ幅でろるた
め、歩＃シも大幅に減少してしまう。本実施列では、従
来例に比べ量産性が大幅に向上し、価格的にも従来比１
１５の大幅減となる大！Ｆを利点を持つ。特性の点でも
第１従来例の如く並列インダクタンスのみで行なうと、
ワイヤインダクタンスのりアクタンス分の影響が大きい
こと、電極指抵抗の影響が大きいことにより、中央′１
極の損失は５ｄＢにものぼり、９．プルも１ｄＢ以上と
なる。このことからも本実施例の幼果が大きいことが判
る。またワイヤインダクタンス分を見込みＧａを補正し
、結果として、開口１ａｉ４用いた場合でも、電極指抵
抗による損失がα７ｄＢ残留する。またワイヤインダク
タンスのばらつき、電極指幅のばらつきによる装＃を閾
の整合の変動を並列インダクタンスのみで補正すること
は不可能で、！ｌ、プルの大きな場合も避けられず、回
路の組立段階で調整不良が出る。これ忙対して、本発明
ではかかる問題は生じない。第２従来例による単純な直
列インダクタンス整合法は、適用を開口２００μｍ以下
に限られ、中央を極振幅頁み付けの交差幅の小さい部分
による回折の影４が生じ易く、ばらつき（対しても、上
記第１従来例を適用した場合と同じ問題が生ずる。本発
明ではこの様な問題は生じない。

〔発明の効果〕

以上発明したように本発明によれば、リアクタンス２素
子で、送受波電極放射コンダクタンスから見て複索共役
整合条件を膚だす簡単な整合回路が得られたため、広い
範囲の送受波電極コンダクタンスに対して、低損失、低
リップルが実現できる弾性式電波装置が得られた。この
ため、外部回路（負荷、電源）が与えられた場合でも、
回折等の二次効果や歩留シ、損失の点で有利な開０長で
、送受波電極が設計でき、低須失、低リップルが常忙得
られるよう釦なうた。

また、これだけでなく、外部回路または電極等に、装置
毎にばらつきが有る場合でも容易にこれが調整できるよ
うＫなった。これは単に弾性表面彼装置の低損失化（従
来１８ｄＢ−１０ｄＢ）や電子回路の低損失化、減分利
得、数分位相の改善、Ｓ／Ｎ改善が得られたのみならず
、これらを合わせると、低損失、低す、プルの弾性員面
改装置が安定して得られ、価格としては従来の半分以下
、回路のｔＡｍと組立における不良の大１＠減少（１／
３以下）などの大きな効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は３電極型弾性表面波木子の中央電極に本
発明を用いた場合を示す本＠明の原理ａ明月の等価回路
図、第１図（ｂ）は本発明実施例の模式的平面図、第１
図（Ｃ）は実施例の７４彼数特性図、第２図は第２従来
例による弾性表面改装置の整合回路を示す等１曲回路図
、第５図は第３従来列による弾性安面彼装置の整合回路
を示す等価回路図である。 １・・・圧電性基板、２・・・ｔ＃Ｎ１３・・・電源内
部コンダクタンス（ＧＬ）、５’・・・負荷コンダクタ
ンス（仇）、４．４′・・・外側電極、５，５′・・・
シールド電極、６．６′・・・ポンディ／グパ、ド、７
，７′・・・ポ／グイングクイヤ、１１・・・送受波電
極の等価回路、１２・・・中央電極の等価回路、１３．
１３’・・・外側電極の等価回路、Ｃ・・・中央電極、
Ｙｉｎ・・・電源内部コンダクタンスから見たアドミタ
ンス、Ｙ（＋ｕｔ・・・送受ａ１１１極放射コンダクタ
ンスから見たアドミタンス、Ｌ２ｓ・・・整合用直列イ
ンダクタンス、Ｌ２ｗＰ・・・ボンディングワイヤイン
ダクタンス、ＵＳ・・・整合用並列容ｆ、　ＣＭ・・・
送受波電極の容量ｓ　’Ｊａ・・・送受波電極の放射コ
ンダクタンス、電・・・外部回路コンダクタンス（負荷
、又はｔ＃内部コンダクタンス）。 代理人弁項士　高　橋　明　夫＼− 竿１　圀 了、、　　　　　　　（Ｑ） 名１　図 （ｂ） 舅１　図 （Ｃ） 牌叉艮（ＭＨｚ） １２図 業３　図 手続補正書（方式） 事件の表示 昭和　５９　　年特許願第　２４８１０３　　号発明の
名称　弾性表面波装置 補正をする者 事件との関係　特許出願人 名　　称　　　ｒ５１０１株式会社　　日　　立　製　
作　折代　　　理　　　人 補正の対象　明細書の発明の詳細な説明の欄補正の内容 ［応用物理の話題第２７６頁第６４７図（シープリンガ
−７エアラーク　ベルリン、　＋９７８　）（Ｔａｐｉ
ｅｚ　ｉｈ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　、　ｐ
　２７６　、　Ｆｉｌ　、　６４７（Ｓｐｒｉｒｇａｒ
　Ｆｓｒｌａ７　ＥｇｒＬｉｎ　、　１９７８　）　）
　Ｊ以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）弾性表面波基板上に、１個または並列接続して１組
   とした複数個の電極よりなる第１の送受波電極と、この
   第１の送受波電極と相互に弾性表面或を送受する１個ま
   たは並列接続して１組とした複数個の電極よりなる第２
   の送受波電極とを設け、かつ複数電極構成の場合は、第
   １、第２送受波電極に属する電極を交互に隣接配置した
   弾性表面波素子の、少なくとも第１の送受波電極に直列
   にインダクタンスＬ＿２を、更に此のインダクタンスの
   電源側に、内部コンダクタンスＧ＿Ｌを持つ電源端子対
   と並列に容量Ｃ＿ｓまたはインダクタンスＬ＿１を接続
   し、かつ、第１の送受波電極の放射コンダクタンスＧ＿
   ａから電源側を見たアドミタンスと此の放射コンダクタ
   ンスとが複素共役整合をなすように、前記直列インダク
   タンスＬ＿２の値と、前記並列容量Ｃ＿ｓまたは並列イ
   ンダクタンスＬ＿１の値とを設定したことを特徴とする
   弾性表面波装置。 ２）弾性表面素子の、第１の送受波電極を１個とし、そ
   の両側に第２の送受波電極を配設した特許請求の範囲第
   １項記載の弾性表面波装置。