JPS61125737A - アルミニウム押出形材の溝開口端面加工方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ＩＣ製品の製造過程におけるウェハ等を搬
送するためのアルミニウム押出形材製ツカセット或いは
ラックの支持溝の開口端部の加工方法および装置に関す
るものである。

（従来の技術） 従来、この種のアルミニウム押出形材の溝にウェハ等を
傷付けることなく容易に挿脱させるため。

溝開口端を拡開させる必要があシ、その加工はアルミニ
ウム押出形材を所定の長さに切断した彼、パリ取シ、ペ
ングー矯正を行なって、開溝加工し、　　゛該溝のパリ
取りを行なってアルマイト加工を行なうもので、％Ｋｌ
ｆｌ溝加工については特殊形状の刃物やドリルを用いて
機械的に切削を行なって所望の形状に仕上げるものであ
ったので、必然的にパリを生じ、これを除去するため、
パフ又はブラシ等を用いた横機的なパリ取り加工が不可
欠であった。しかしこのパリ取り加工は多量の粉塵が飛
散し、作業者の健康にもとよシ環境、更には粉塵爆発等
の問題点もあり、その対策に苦慮しているのが現状であ
った。父上記開溝加工時ドリルを用いる場合にはｌ乃至
２ａＩ＃程度の溝しか加工できないので、加工数が非常
に多く作業能率が悪いはかシでなく、品質にバラツキを
生じ易い欠点があった。

（発明が解決しようとする問題点） そこで、この発明は上記従来の欠点に鑑み、これを−挙
（解決したものであって、機械的開溝加工、パリ取り加
工を省略でき、加工時間を短縮して作業能率を向上し、
加工コストを低減する上、ウニ八等を傷付けることなく
挿脱できる極めて平滑な面をもった溝開口端を迅速容易
に加工すると共Ｋ、加工作業環境を改善しうるアルｆ　
ニウム押出形材の溝開口端面の加工方法および装置を得
るにある。

（問題点を解決するための手段） これを達成する手段として、この発明は、多数の溝を有
するアルミニウム押出形材を所定の長さに切断した後、
加工後の溝の開口端面形状と同一形状を有する多数の電
極を設けた電極部材を加工すべき前記アルミニウム押出
形材の切断端面に当接し、加工すべきアルミニウム押出
形材の切断端面部に電解液を供給しつつ通電する加工方
法と、上記方法の装置として、電極ホルダーベース上に
多数の溝を有するアルミニウム押出形材である被加工物
の切断開口端面を載置する載置部を設けると共に、核被
加工物の加工後の溝開口端面の形状と同一形状を有する
多数の電極を設けた１丁極板を被加工物の少なくとも上
下いずれかに当接しうるように構成し、さらに上記電極
ホルダベースに被加工物と電極板に電解液を流通する！
解流路を形成したものである。

（実施例） この発明の方法および装置を図面に示す一実施例につい
て以下詳細に説明する。

（ｆｌｉｔアルミニウム押出形材よりなるカセット体で
あって、断面方形状の中空体で、且つ内壁の対向する壁
面にウニ八等を収納支持する多数の平行する＾（２）が
形成された長寸の形材をカセット体用に所定の寸法に切
断する。（３）は電極ホルダーベースで、その上面に下
部電極板（４）を載置すると共に、電極ホルダーベース
（３）の−側面から下部電極板（４）中央上面に開口す
る電解液流路（５）を穿設する。（６）は上部電極板で
あって、上下両電極板（４）　（６１には両側に平行す
るように夫々電極（７）が形成されてＩＡ；ｂｏこの電
極（７１ｄ第４図に示すように截頭三角錐状の突起（８
）を多数列設し、この突起（８）はカセット体ｉｌ＋の
溝（２）の加工後の形状と同一形状に形成されている。

例、ｔはカセット体（１）の溝の幅（Ａ）を３朋、深さ
の）を４ｆｉとした場合、突起（８）の幅Ｃ）を３ｆｉ
、上端角（α）を３０［、上端から下端に向う減衰角（
β）を１５度、−の減屓角＜ｒ＞を１５度としたテーパ
状に形成されている。そして下部電極板（４）の電極（
７）にカセット体（１）を嵌合すると共に［極（７１の
突起（８）とカセット体（１）の溝（２）との間に間隙
を設けて載置し、さらにカセット体（１）上に上部Ｎ、
電極板６１の電極（７）を嵌合すると共に電極（７）の
突起（８）とカセット体（１）の溝（２）との間に間隙
を設けて＠置する。その後。

電源…側を上−下部ｆ！極板（４１（６１の電極（７）
に、又Ｈ側をカセット体（１）に接続し、電解液として
硝酸ナトリウムを雷２＠ホルダーベース（３）の電解液
流路（５）より　０．２〜２４３　／　ｗ’ａｌの流量
でカセット体内に送り込み、カセット体（１）の溝（２
）の上下端部と上下両電極板（４１（６）の電極（力の
夫々の突起（８）との間隙より流出させる（第２図矢印
参照）と共に、電源よりカセット体（１）と上下電槙板
（４）（６１間に１５”ｌｉ’の電圧、６００Ａの電流
を４０秒間印加すると、１％（２）と突起（８）との間
で電解加工作用が生じてｌ＆！］１％幅の小さな溝（２
）の隅角部より同幅になるように電解作用が進み、第５
図破線に示す如く電極（力の突起（８１の形状と相似形
状に溝（２）の両端部は拡開状に加工され、パリ取り加
工を施すことなく平滑な拡開面をもった溝を形成したカ
セット体（１）を得ることができる。

なお、上記実施例に２いては、カセット体（１１の上下
両端に電極板（４１（６ｉを設けたが、これを上下いず
れか一方のみとし、カセット体（１）の溝（２）の一端
のみを加工するよう釦しても良い。

（発明の効果） 以上、実施例について詳述したように、この発明は、電
解作用による加工であるので、長尺の加工面も一気に加
工でき、従来の機械的切削加工に比べて極めて能率的で
あり、又パリ取り加工等の後加工も省略できるので、全
体的作業工程を大幅に短縮改善することができる上、電
極は殆んど消耗することなく長期に亘って使用できるの
で、治工具費を低減でき、上記作業工程、作業時間の短
縮と併せて製品のコストダウンを計ることができる。さ
らにパリ取り加工時に生ずる作業者の健康、珈魁）の悪
化をも同時く解決することができる。その上製品の溝面
は電解加工によって極めて平滑な、且つ製品にバラツキ
のない精度の高いものであるから、ＩＣ１１４品のウニ
八等を傷付け〜ることなく取扱うことのできるアルミニ
ウム形材製のカセット体を得ることができる優れた効果
を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に用いられる装置の分解斜
視図、第２図は同じく加工時の一部切断せる斜視図、第
３図はアルミニウム形材製カセット体の雌端部の斜視図
、第４図は電極部分の斜視図、第５図は溝端部と電極の
突起との嵌合状態の斜視図、第６図は溝端部加工後の斜
視図を示す。 （１）・・・アルミニウム形材製のカセット体、（２）
・・・溝、（３）・・・電極ホルダーベース、（４）・
・・下部電極板、（５１・・・電解液流路、（６）・・
・上部電極板、（７）・・・電極、（８）・・・突起。 特許出願人　代理人弁理士　　藤木三幸第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）多数の溝を有するアルミニウム押出形材を所定の
   長さに切断した後、加工後の溝の開口端面形状と同一形
   状を有する多数の電極を設けた電極部材を加工すべき前
   記アルミニウム押出形材の切断端面に当接し、加工すべ
   きアルミニウム押出形材の切断端面部に電解液を供給し
   つつ通電し、該端面部を電解加工することを特徴とする
   アルミニウム押出形材の溝開口端面加工方法。
2. （２）電極ホルダーベース上に多数の溝を有するアルミ
   ニウム押出形材である被加工物の切断開口端面を載置す
   る載置部を設けると共に、該被加工物の加工後の溝開口
   端面の形状と同一形状を有する多数の電極を設けた電極
   板を被加工物の少なくとも上下いずれかに当接しうるよ
   うに構成し、さらに上記電極ホルダーベースに被加工物
   と電極板に電解液を流通する電解流路を形成したことを
   特徴とするアルミニウム押出形材の溝開口端面加工装置
   。