JPS6112169A - 画像読取装置 - Google Patents
画像読取装置Info
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- JPS6112169A JPS6112169A JP59131160A JP13116084A JPS6112169A JP S6112169 A JPS6112169 A JP S6112169A JP 59131160 A JP59131160 A JP 59131160A JP 13116084 A JP13116084 A JP 13116084A JP S6112169 A JPS6112169 A JP S6112169A
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- Japan
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- turned
- group
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、画像読取装置に関する。
ファクシミリ装置の原稿読取部等、画像処理装置の画像
読取手段には、ラインイメージセンサによシ画像の1ラ
インを画素に分解して光電変換する装置が広く用いられ
ている。
読取手段には、ラインイメージセンサによシ画像の1ラ
インを画素に分解して光電変換する装置が広く用いられ
ている。
ラインイメージセンサは、複数の受光素子(例えばフォ
トダイオード)を−列に配置した受光部と、各受光素子
の受光信号を順次選択して出力する信号選択部からな)
、その基本的な構成を第1図に示す。
トダイオード)を−列に配置した受光部と、各受光素子
の受光信号を順次選択して出力する信号選択部からな)
、その基本的な構成を第1図に示す。
図において、静電容量cdは受光素子であるフォトダイ
オードPDの接合容量を示し、静電容量CLはフォトダ
イオードPDから次段回路(例えばアンプ等)までの配
線等に生じる容量を示す。なお、抵抗Rは出力を読み出
すための電流制限抵抗であυ、スイッチSWはMOSス
イッチ等の半導体素子等からなる。
オードPDの接合容量を示し、静電容量CLはフォトダ
イオードPDから次段回路(例えばアンプ等)までの配
線等に生じる容量を示す。なお、抵抗Rは出力を読み出
すための電流制限抵抗であυ、スイッチSWはMOSス
イッチ等の半導体素子等からなる。
まず、スイッチSWをオンして静電容量cdおよびCL
を充電し、そののちにスイッチSWをオフして画信号の
蓄積状態にする。
を充電し、そののちにスイッチSWをオフして画信号の
蓄積状態にする。
この蓄積状態では、受光量すなわち読取画像の対応する
画素輝度に応じた大きさの光電流工がフオドダイオード
PDに発生して静電容量cdに充電された電荷が放電さ
れる。
画素輝度に応じた大きさの光電流工がフオドダイオード
PDに発生して静電容量cdに充電された電荷が放電さ
れる。
そして、再度スイッチSWをオンしたとき、このオン間
隔(すなわち画情報の蓄積期間)をTとすると、電荷保
存則によシフオドダイオードPDの出力電圧V。utは
次式(1)であられされる。
隔(すなわち画情報の蓄積期間)をTとすると、電荷保
存則によシフオドダイオードPDの出力電圧V。utは
次式(1)であられされる。
vou、=vD−(工、・T/(cd+CL))
・・・・・・(1)一方、蓄積期間Tで流れた光電流I
によって静電容量C4に充電された電荷が全て放電さ
れる場合のフォトダイオードFDの出力V。utすなわ
ち飽和出力vIIatは、次式(II)であられされる
。
・・・・・・(1)一方、蓄積期間Tで流れた光電流I
によって静電容量C4に充電された電荷が全て放電さ
れる場合のフォトダイオードFDの出力V。utすなわ
ち飽和出力vIIatは、次式(II)であられされる
。
■sat = CL ・vrl (Ct、 + Cd)
−−(II)したがりて、蓄積期間Tで流れ
た光電流工すなわち当該画素の輝度に対応して、フォト
ダイオードPDの出力V。utがVDからv、a、まで
変化する。
−−(II)したがりて、蓄積期間Tで流れ
た光電流工すなわち当該画素の輝度に対応して、フォト
ダイオードPDの出力V。utがVDからv、a、まで
変化する。
これによシ、画素濃度に対応した画信号を得ることがで
きる。
きる。
さて、A4判原稿を8ドツト/簡で読み取るラインイメ
ージセンサは、読取幅を216調とすると1728組の
上述したフォトダイオードFDおよびスイッチ謂から構
成されている。
ージセンサは、読取幅を216調とすると1728組の
上述したフォトダイオードFDおよびスイッチ謂から構
成されている。
このようなラインイメージセンサを、まとめて1つの素
子とみなして駆動した場合、上述した静電容量CLが非
常に大きくなる。上式(I[)を参照すれば、このよう
に静電容量C4に比べて静電容量CLが大きくなると飽
和出力vllatのレベルが低下するので、ダイナミッ
クレンジが狭くなシ好ましくない。
子とみなして駆動した場合、上述した静電容量CLが非
常に大きくなる。上式(I[)を参照すれば、このよう
に静電容量C4に比べて静電容量CLが大きくなると飽
和出力vllatのレベルが低下するので、ダイナミッ
クレンジが狭くなシ好ましくない。
そこで従来、ラインイメージセンサの受光セルを複数の
プロ、りに分割し、それぞれのブロック毎に駆動するこ
とでダイナミックレンジの低下を防止していた。例えば
、1728個のフォトダイオードFDとスイッチSWの
組を、64個ずっ27のブロックに分割していた。
プロ、りに分割し、それぞれのブロック毎に駆動するこ
とでダイナミックレンジの低下を防止していた。例えば
、1728個のフォトダイオードFDとスイッチSWの
組を、64個ずっ27のブロックに分割していた。
このような従来装置の一例を第2図に示す。この例では
、フォトダイオードPDとスイッチ歴ヲm個ずつn個の
ブロックBLI〜BLnに分割しておシ、それぞれのプ
ロ、りBLI = BLnの出力はスイッチSLI〜S
Lnを介してアンプ厨に加えられる。
、フォトダイオードPDとスイッチ歴ヲm個ずつn個の
ブロックBLI〜BLnに分割しておシ、それぞれのプ
ロ、りBLI = BLnの出力はスイッチSLI〜S
Lnを介してアンプ厨に加えられる。
そして、第3図(&)〜(1)に示したように各スイッ
チSLI 、 SL2−” * 5WII 〜SW1m
+ ・・’ −’ + 5Wnl 〜swnmが制御部
(図示路)によって作動され、画信号vaが1ライン分
出力される。
チSLI 、 SL2−” * 5WII 〜SW1m
+ ・・’ −’ + 5Wnl 〜swnmが制御部
(図示路)によって作動され、画信号vaが1ライン分
出力される。
まず、ブロックBLIを選択するスイッチSL1をオン
した状態で、スイッチ5w1i〜SWI mを順次充電
期間だけオンし各フォトダイオードFDの出力信号を順
次アンプ届に加える。
した状態で、スイッチ5w1i〜SWI mを順次充電
期間だけオンし各フォトダイオードFDの出力信号を順
次アンプ届に加える。
ブロックBLIの読出しを終えると、スイッチSLIを
オフすると同時にスイッチSL2をオンし、ブロックB
L2についての読出しを行ない、この後は同様にして順
次プロ、りBLnまでの各ブロックに対する読出・制御
がなされる。
オフすると同時にスイッチSL2をオンし、ブロックB
L2についての読出しを行ない、この後は同様にして順
次プロ、りBLnまでの各ブロックに対する読出・制御
がなされる。
ところで、各受光セルから信号を読み出すさい、上述し
たように静電容量C4とCLを充電するため、スイッチ
SWのオン状態をある時間(以下これを充電時間という
)持続させる必要がある。この充電時間は、静電容量c
dとCLの和に抵抗R(の値)を乗じて得られる時定数
によって定まる。
たように静電容量C4とCLを充電するため、スイッチ
SWのオン状態をある時間(以下これを充電時間という
)持続させる必要がある。この充電時間は、静電容量c
dとCLの和に抵抗R(の値)を乗じて得られる時定数
によって定まる。
通常、受光セルからの出力幅をある程、度確保する必要
があるため、抵抗RO値をあまシ小さくすることができ
ず、したがって、充電時間もある程度以下にすることが
できない。
があるため、抵抗RO値をあまシ小さくすることができ
ず、したがって、充電時間もある程度以下にすることが
できない。
これらのことから、従来、1つの受光セルについての読
出時間がある程度必要となυ、その結果1ライン分の画
信号を読み出す時間がかなシ長くなるという問題を生じ
ていた。
出時間がある程度必要となυ、その結果1ライン分の画
信号を読み出す時間がかなシ長くなるという問題を生じ
ていた。
なお、各ブロックを同時に駆動して読み出し時間を短縮
することも考えられるが、パラレル/シリアル変換回路
等の変換手段によって1ラインの時系列的な信号に変換
する必要があ)、装置が複雑になるのでスペース的およ
びコスト的に不利である。
することも考えられるが、パラレル/シリアル変換回路
等の変換手段によって1ラインの時系列的な信号に変換
する必要があ)、装置が複雑になるのでスペース的およ
びコスト的に不利である。
また、受光セル自体の応答特性を改善することで読出時
間を短縮することも考えられるが、フォトダイオードの
接合容量を小さくすると飽和出力vsatが低下して出
力幅が小さくなるので好ましくないO 〔目的〕 本発明は、上述した従来技術の欠点を解消するためにな
されたものであシ、1ラインの画信号の読み出し時間を
大幅に短縮できる画像読取装置を提供することを目的と
している。
間を短縮することも考えられるが、フォトダイオードの
接合容量を小さくすると飽和出力vsatが低下して出
力幅が小さくなるので好ましくないO 〔目的〕 本発明は、上述した従来技術の欠点を解消するためにな
されたものであシ、1ラインの画信号の読み出し時間を
大幅に短縮できる画像読取装置を提供することを目的と
している。
本発明は、上述した目的を達成するため、ブロック内を
いくつかのグループに分け、それぞれのグループで同時
に受光セルがオン作動する期間を設けることで各グルー
プを並行して駆動し、これによって1ラインの画信号の
読み出し時間を短縮するようにしている。
いくつかのグループに分け、それぞれのグループで同時
に受光セルがオン作動する期間を設けることで各グルー
プを並行して駆動し、これによって1ラインの画信号の
読み出し時間を短縮するようにしている。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施例を詳細に
説明する。
説明する。
第4図は、本発明の一実施例を示している。
図において、フォトダイオードおよびこのフォトダイオ
ードをオンするスイッチをm個(mは偶数)ずつn個の
ブロックに分割し、さらに、各ブロックで走査開始方向
からの並び順が奇数番目のものでグループGPII、
GP21j・・・、GPnlを、偶数番目のものでグル
ープGP12. GP22.−= 、 GPn2をそれ
ぞれ形成する。
ードをオンするスイッチをm個(mは偶数)ずつn個の
ブロックに分割し、さらに、各ブロックで走査開始方向
からの並び順が奇数番目のものでグループGPII、
GP21j・・・、GPnlを、偶数番目のものでグル
ープGP12. GP22.−= 、 GPn2をそれ
ぞれ形成する。
グループGPII、 GP21. ・、 GPnlには
それぞれ抵抗R11、R21、・・−、Rn1を介して
電源VDが供給され、その出力信号はスイッチ5LII
、 5L21゜・・・、 5Lnlを介してアンプAM
1に加えられる。
それぞれ抵抗R11、R21、・・−、Rn1を介して
電源VDが供給され、その出力信号はスイッチ5LII
、 5L21゜・・・、 5Lnlを介してアンプAM
1に加えられる。
グルー7’ GP12. GP22.− 、 GPn2
にはそれぞれ抵抗R12、R22、−、Rn 2を介し
て電源VDが供給され、その出力信号はスイッチ5L1
2.5L22゜・・・、 5Ln2を介してアンプAM
2に加えられる。
にはそれぞれ抵抗R12、R22、−、Rn 2を介し
て電源VDが供給され、その出力信号はスイッチ5L1
2.5L22゜・・・、 5Ln2を介してアンプAM
2に加えられる。
アンfAM 1 、 AM 2の出力はそれぞれ信号処
理回路PUI、PU2に加えられてサンプル/ホールド
等の処理がなされ、信号処理回路PU 1jPU 2の
出力はそれぞれスイッチSWI、SW2を介して画信号
vlLとして次段装置へ出力される。
理回路PUI、PU2に加えられてサンプル/ホールド
等の処理がなされ、信号処理回路PU 1jPU 2の
出力はそれぞれスイッチSWI、SW2を介して画信号
vlLとして次段装置へ出力される。
そして、本実施例ではグループGPII、 GP21.
・・・。
・・・。
GPnlを順次駆動するとともに少しずらしたタイミン
グでグループGP12. GP22.・・・、 GPn
2を順次駆動しておシ、2つのグループ系列を並行して
駆動することで1ラインの読み出し時間を約Aに短縮し
ている。
グでグループGP12. GP22.・・・、 GPn
2を順次駆動しておシ、2つのグループ系列を並行して
駆動することで1ラインの読み出し時間を約Aに短縮し
ている。
この駆動例を第5図(、)〜(、)のタイミングチャー
トに示す。なお、これらの図では論理Lレベルがオン状
態あるいは作動状態をあられしている。
トに示す。なお、これらの図では論理Lレベルがオン状
態あるいは作動状態をあられしている。
まず、スイッチ5LIIがオンし、これに時間τ1だけ
遅れてスイッチ5L12がオンし、この状態でグループ
GPIIのスイッチSWI 1が充電時間τだけオンす
る。
遅れてスイッチ5L12がオンし、この状態でグループ
GPIIのスイッチSWI 1が充電時間τだけオンす
る。
これによシ、当該フォトダイオードからの信号がアンプ
AMIで増幅されて信号PS 1が得られ、また、この
信号PS1の出力タイミングに同期して信号処理回路P
U 1が作動する。このときは、スイッチSW1がオン
しているので信号処理回路PUIの出力信号がスイッチ
s′w1を介し画信号v8として出力される。
AMIで増幅されて信号PS 1が得られ、また、この
信号PS1の出力タイミングに同期して信号処理回路P
U 1が作動する。このときは、スイッチSW1がオン
しているので信号処理回路PUIの出力信号がスイッチ
s′w1を介し画信号v8として出力される。
また、スイッチSWI 1がオンしてから時間τ1だけ
遅れてグループGP12のスイッチSWI 2が充電時
間τだけオンする。
遅れてグループGP12のスイッチSWI 2が充電時
間τだけオンする。
これによシ、当該フォトダイオードからの信号がアンプ
AM2で増幅されて信号SP 2が得られ、また、この
信号EIP 2の出力タイミングに同期して信号処理回
路PU 2が作動する。このときはスイッチSW 1が
オフされてスイッチ歴2がオンされているので、信号処
理回路PU 2の出力信号がスイッチSW2を介して画
信号V&として出力される@このスイッチSWI 2の
オン期間中にスイッチSWI 1がオフし、それに続い
てスイッチSWI 3が充電時間τだけオンされる。
AM2で増幅されて信号SP 2が得られ、また、この
信号EIP 2の出力タイミングに同期して信号処理回
路PU 2が作動する。このときはスイッチSW 1が
オフされてスイッチ歴2がオンされているので、信号処
理回路PU 2の出力信号がスイッチSW2を介して画
信号V&として出力される@このスイッチSWI 2の
オン期間中にスイッチSWI 1がオフし、それに続い
てスイッチSWI 3が充電時間τだけオンされる。
したがって、グループGPIIの次のフォトダイオード
からの信号が読み出され、アンプAMIで増幅されたの
ちに信号処理回路PU 1で所定の処理を受け、スイッ
チSWIを介して画信号vaとして出力される。
からの信号が読み出され、アンプAMIで増幅されたの
ちに信号処理回路PU 1で所定の処理を受け、スイッ
チSWIを介して画信号vaとして出力される。
スイッチSWI 2がオフされ、スイッチSVI/13
がオンされてから時間τ1だけ遅れてスイッチ5W14
が時間τ蔦だけオンされる。
がオンされてから時間τ1だけ遅れてスイッチ5W14
が時間τ蔦だけオンされる。
したがって、グループGP12の次のフォトダイオード
からの信号が読み出され、アンプAM2で増幅されため
ちに信号処理回路PU 2で所定の処理を受け、スイッ
チsw 2を介して画信号vaとして出力される。
からの信号が読み出され、アンプAM2で増幅されため
ちに信号処理回路PU 2で所定の処理を受け、スイッ
チsw 2を介して画信号vaとして出力される。
そして、以上の各スイッチの切換による駆動処理が順次
各グループCPII、 GPI2の後続するフォトセン
サについてなされる。
各グループCPII、 GPI2の後続するフォトセン
サについてなされる。
また、グループGP11の最後のスイッチSVI/1
(m−1)がオンしてから時間τ1を経過した時点で、
グループGPIIを選択するスイッチ5LIIがオフさ
れると同時にグルー76GP21を選択するスイッチ5
L21がオンされ、これ以後はグループGP21の駆動
処理がグループGPIIと同様になされる。
(m−1)がオンしてから時間τ1を経過した時点で、
グループGPIIを選択するスイッチ5LIIがオフさ
れると同時にグルー76GP21を選択するスイッチ5
L21がオンされ、これ以後はグループGP21の駆動
処理がグループGPIIと同様になされる。
さらに、グループGP12の最後のスイッチSW1mが
オンしてから時間τ1を経過した時点で、グループGP
12を選択するスイッチ5L12がオフされると同時に
グループGP22を選択するスイッチ5L22がオンさ
れ、これ以後はグループGP22の駆動処理がグループ
GP12と同様になされる。
オンしてから時間τ1を経過した時点で、グループGP
12を選択するスイッチ5L12がオフされると同時に
グループGP22を選択するスイッチ5L22がオンさ
れ、これ以後はグループGP22の駆動処理がグループ
GP12と同様になされる。
これらの駆動処理が、順次後続するグループについて行
なわれ、これによって1ラインの画信号v!Lが読み出
される。
なわれ、これによって1ラインの画信号v!Lが読み出
される。
なお、グループGPilとGPI2 (i = 1 j
2 、・=、n)の駆動タイミングの遅延時間τ1は、
充電時間τよシも小さい値であれば、処理系との整合を
考慮して適宜定めてよい。
2 、・=、n)の駆動タイミングの遅延時間τ1は、
充電時間τよシも小さい値であれば、処理系との整合を
考慮して適宜定めてよい。
また、信号処理回路PU1.PU2はサンプル/ホール
ドに限らず、アナログ/デジタル変換を行なってもよい
。なお、スイッチSW 1 、 SW 2の後段回路で
これらの処理をする場合には、この位置に信号処理回路
PUI、PU2は必要がなく除去できる。
ドに限らず、アナログ/デジタル変換を行なってもよい
。なお、スイッチSW 1 、 SW 2の後段回路で
これらの処理をする場合には、この位置に信号処理回路
PUI、PU2は必要がなく除去できる。
このように、本実施例ではグルーfGPilの系列とG
PI2の系列を時間的に少しずらしながらそれぞれ並行
に駆動しているので、1ラインの画信号vaを読み出す
さいに要する時間は、従来装置の約晃となシ、高速な読
み出しを実現できる。
PI2の系列を時間的に少しずらしながらそれぞれ並行
に駆動しているので、1ラインの画信号vaを読み出す
さいに要する時間は、従来装置の約晃となシ、高速な読
み出しを実現できる。
ところで、上述した実施例では各プロ、りを構成するm
個の7オトセンサを並び順に2つのグループに分け、そ
れぞれのグループ系列を並行に駆動しているが、このグ
ループに分ける数は2つに限らず3つ以上にしてもよい
。その場合、そのグループに分けた数をnとすると1ラ
インの画信号v、の読出時間は1/lになる。 ′ 〔効果〕 以上説明したように、本発明によれば各ブロックを構成
する複数のフォトセンサ(受光セル)をその並び順に複
数のグループに分け、それぞれのグループを並行して駆
動しているので1ライン分の画信号を読み出すさいに要
する時間を大幅に短縮できるという利点を得る。また、
そのための周辺回路も極く簡単に構成でき、スペース的
およびコスト的に有利である。
個の7オトセンサを並び順に2つのグループに分け、そ
れぞれのグループ系列を並行に駆動しているが、このグ
ループに分ける数は2つに限らず3つ以上にしてもよい
。その場合、そのグループに分けた数をnとすると1ラ
インの画信号v、の読出時間は1/lになる。 ′ 〔効果〕 以上説明したように、本発明によれば各ブロックを構成
する複数のフォトセンサ(受光セル)をその並び順に複
数のグループに分け、それぞれのグループを並行して駆
動しているので1ライン分の画信号を読み出すさいに要
する時間を大幅に短縮できるという利点を得る。また、
そのための周辺回路も極く簡単に構成でき、スペース的
およびコスト的に有利である。
第1図はイメージセンサの基本構成を示す等価回路図、
第2図はラインイメージセンサの読出回路の従来例を示
したブロック図、第3図(a)〜(1)は第2図に示し
た回路の動作を示したタイミング図、第4図は本発明の
一実施例に係る装置を示したプロ、り図、第5図(a)
〜(、)は第4図に示した装置の動作を示すタイミング
図である。 SW 1 、 SW 2.5WII 〜SW1m、 5
W21〜SW2m、 −。 5Wnl 〜SWnm、 5LII jSL12.5L
21 、5L22.−、8Lnl 。 5Ln2−スイッチ、AM 1 、 AM 2 ・・・
アンプ、PUI。 PU 2・・・信号処理回路、R11、R12、R21
゜R22、−、Rn 1 、 Rn 2−抵抗、GPI
1 、GPI2 。 GP21.GP22.−、GPnl、GPn2−ダV−
プ。
第2図はラインイメージセンサの読出回路の従来例を示
したブロック図、第3図(a)〜(1)は第2図に示し
た回路の動作を示したタイミング図、第4図は本発明の
一実施例に係る装置を示したプロ、り図、第5図(a)
〜(、)は第4図に示した装置の動作を示すタイミング
図である。 SW 1 、 SW 2.5WII 〜SW1m、 5
W21〜SW2m、 −。 5Wnl 〜SWnm、 5LII jSL12.5L
21 、5L22.−、8Lnl 。 5Ln2−スイッチ、AM 1 、 AM 2 ・・・
アンプ、PUI。 PU 2・・・信号処理回路、R11、R12、R21
゜R22、−、Rn 1 、 Rn 2−抵抗、GPI
1 、GPI2 。 GP21.GP22.−、GPnl、GPn2−ダV−
プ。
Claims (1)
- ラインイメージセンサ内に一列に配置されている複数個
の受光セルを所定数のブロックに分割して順次各ブロッ
クを選択し駆動する画像読取装置において、各ブロック
を構成する受光セルをその並び順に複数のグループに分
けるとともにこれらの各グループをそれぞれ選択するグ
ループ選択手段を備え、異なるグループに属する受光セ
ルを少なくとも2つ同時にオン作動する期間を設けると
ともに、これらのグループに対応した上記グループ選択
手段を同時に作動する期間を設けて各グループを並行し
て駆動することを特徴とした画像読取装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59131160A JPS6112169A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 画像読取装置 |
CA000482442A CA1263175A (en) | 1984-05-28 | 1985-05-27 | Image reader for image processing apparatus |
US06/738,187 US4677496A (en) | 1984-05-28 | 1985-05-28 | Image reader for image processing apparatus |
GB08513327A GB2160058B (en) | 1984-05-28 | 1985-05-28 | Line image sensor for image processing apparatus |
DE19853519069 DE3519069A1 (de) | 1984-05-28 | 1985-05-28 | Bildleser fuer eine bildverarbeitungseinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59131160A JPS6112169A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 画像読取装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6112169A true JPS6112169A (ja) | 1986-01-20 |
Family
ID=15051401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59131160A Pending JPS6112169A (ja) | 1984-05-28 | 1984-06-27 | 画像読取装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6112169A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0478270A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | イメージセンサ |
US7631769B2 (en) | 2002-12-13 | 2009-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Fluid control device and method of manufacturing the same |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP59131160A patent/JPS6112169A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0478270A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | イメージセンサ |
US7631769B2 (en) | 2002-12-13 | 2009-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Fluid control device and method of manufacturing the same |
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