JPS61119069A - 抵抗トリミング装置 - Google Patents
抵抗トリミング装置Info
- Publication number
- JPS61119069A JPS61119069A JP59241136A JP24113684A JPS61119069A JP S61119069 A JPS61119069 A JP S61119069A JP 59241136 A JP59241136 A JP 59241136A JP 24113684 A JP24113684 A JP 24113684A JP S61119069 A JPS61119069 A JP S61119069A
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- JP
- Japan
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- cut
- resistance value
- value
- trimming
- comparator
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
- H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
- H01C17/242—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by laser
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザービームにより抵抗値をトリミングす
る抵抗トリミング装置に関するものである。
る抵抗トリミング装置に関するものである。
従来の技術
゛抵抗トリミング装置は、・・イブリッドＩＣの普及等
にともない広く利用されている。近年とくに、抵抗値精
度の向上、トリミングタクトの短縮等の要求が強くなっ
てきている。
にともない広く利用されている。近年とくに、抵抗値精
度の向上、トリミングタクトの短縮等の要求が強くなっ
てきている。
抵抗値を高精度にトリミングする方法としては、従来、
第２図のような英文字のＬのようにトリミングするＬカ
ットが用いられてきた。Ｌカットでは導体１に抵抗計測
器のプローブをあて、抵抗体２に一定電流を流し、抵抗
体２の両端の電圧を監視しながら、まず、開始点３より
第１カット目標点５に向かい、トリミングする。抵抗体
の抵抗値はトリミングすることにより徐々に大きくなっ
てゆく。次に、所定値（た逅えは目標抵抗値の９０％）
に達する場所４（ターン点という）で９０度まがり、目
標抵抗値までトリミングする。導体と平行な方向（３→
６の方向）のカットは抵抗値変化が大きく、導体と垂直
な方向（４→６の方向）のカットは変化が小さいため、
最終抵抗値の精度は、いわゆるストレートカットやサー
ペンタインカットに比べて良い。
第２図のような英文字のＬのようにトリミングするＬカ
ットが用いられてきた。Ｌカットでは導体１に抵抗計測
器のプローブをあて、抵抗体２に一定電流を流し、抵抗
体２の両端の電圧を監視しながら、まず、開始点３より
第１カット目標点５に向かい、トリミングする。抵抗体
の抵抗値はトリミングすることにより徐々に大きくなっ
てゆく。次に、所定値（た逅えは目標抵抗値の９０％）
に達する場所４（ターン点という）で９０度まがり、目
標抵抗値までトリミングする。導体と平行な方向（３→
６の方向）のカットは抵抗値変化が大きく、導体と垂直
な方向（４→６の方向）のカットは変化が小さいため、
最終抵抗値の精度は、いわゆるストレートカットやサー
ペンタインカットに比べて良い。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、Ｌカットにおいてもターン点の位置が抵
抗体の中央にあるか端の方にあるかによって、抵抗値変
化の割合が異なる。たとえば、抵抗体２の初期抵抗値が
大きい場合は、ターン点が４ａのように抵抗体のわずか
に入ったところとなる。すると４ａ→６ａの方向にカッ
トした時の抵抗値変化は小さい。逆に、初期捩抗値が小
さい場合は、ターン点は４ｂのように深くなる。そのだ
め４ｂ→６ｂの方向にカットした時、抵抗値が大きく変
化する。したがって、ターン点が４ａの時は抵抗値が所
定の目標値まで上らなかったり、逆に４ｂの時は精度が
悪化したりする。
抗体の中央にあるか端の方にあるかによって、抵抗値変
化の割合が異なる。たとえば、抵抗体２の初期抵抗値が
大きい場合は、ターン点が４ａのように抵抗体のわずか
に入ったところとなる。すると４ａ→６ａの方向にカッ
トした時の抵抗値変化は小さい。逆に、初期捩抗値が小
さい場合は、ターン点は４ｂのように深くなる。そのだ
め４ｂ→６ｂの方向にカットした時、抵抗値が大きく変
化する。したがって、ターン点が４ａの時は抵抗値が所
定の目標値まで上らなかったり、逆に４ｂの時は精度が
悪化したりする。
ところで、ターン点の抵抗値の設定方法としては、目標
抵抗値の何チとする絶対値的な方法と、初期値計測を行
ない目標抵抗値と初期抵抗値の差の何チとする相対値的
な方法との二通りの方法が用いられている。
抵抗値の何チとする絶対値的な方法と、初期値計測を行
ない目標抵抗値と初期抵抗値の差の何チとする相対値的
な方法との二通りの方法が用いられている。
絶対値的な方法によると、初期値計測の必要がないので
タクトの短縮は行なえるが、ターン点の位置が初期抵抗
値によりばらつき、前記のように、目標値に達しなかっ
たυ、精度が悪化したりするばかりでなく、初期抵抗値
がターン点抵抗値より大きい場合はまったクトリミング
できないという大きな問題がある。
タクトの短縮は行なえるが、ターン点の位置が初期抵抗
値によりばらつき、前記のように、目標値に達しなかっ
たυ、精度が悪化したりするばかりでなく、初期抵抗値
がターン点抵抗値より大きい場合はまったクトリミング
できないという大きな問題がある。
一方、相対値的な方法では、初期抵抗値が大きく変化し
ても比較的ターン点の位置のばらつきは小さくなる。タ
ーン後にトリミングによって切り上げる抵抗値は初期値
が大きいほど（つまり手前でターンする時はど）少なく
なるので、目標値に達しないという不良も少なくなる。
ても比較的ターン点の位置のばらつきは小さくなる。タ
ーン後にトリミングによって切り上げる抵抗値は初期値
が大きいほど（つまり手前でターンする時はど）少なく
なるので、目標値に達しないという不良も少なくなる。
しかしながら、必ず初期値計測と演算が必要なため、ト
リミングのタクトを短縮できず、生産性が悪いという大
きな欠点がある。
リミングのタクトを短縮できず、生産性が悪いという大
きな欠点がある。
本発明は、上記問題点を解消するためになされたもので
、初期抵抗値の値にかかわらずタクトアップをはかりか
つ高精度にトリミングを行なう抵抗トリミング装置を提
供するものである。
、初期抵抗値の値にかかわらずタクトアップをはかりか
つ高精度にトリミングを行なう抵抗トリミング装置を提
供するものである。
問題点を解決するための手段
この目的を達するために本発明の抵抗トリミング装置は
、抵抗計測器の計測値と設定値を比較する比較器とＸ−
Ｙ２軸同時動作可能なスキャナ制御装置から構成されて
いる。
、抵抗計測器の計測値と設定値を比較する比較器とＸ−
Ｙ２軸同時動作可能なスキャナ制御装置から構成されて
いる。
作 用
初期抵抗値と設定抵抗値を比較器で直接比較することに
より演算をなくして時間短縮をはかり、従来のＬカット
と２軸間時動作による斜め力、ノドを自動的に切り換え
ることにより、いかなる初期値の抵抗においても、高速
・高精度のトリミングを実現するものである。
より演算をなくして時間短縮をはかり、従来のＬカット
と２軸間時動作による斜め力、ノドを自動的に切り換え
ることにより、いかなる初期値の抵抗においても、高速
・高精度のトリミングを実現するものである。
実施例
以下本発明の一実施例について述べる。
本発明では、抵抗体の初期抵抗値により、第１図のよう
な斜めカットと、第２図のＬカットを選択してトリミン
グする０第１図において、１は導体、２は抵抗体、３は
トリミング開始点、７は斜めカットのターン点である。
な斜めカットと、第２図のＬカットを選択してトリミン
グする０第１図において、１は導体、２は抵抗体、３は
トリミング開始点、７は斜めカットのターン点である。
第３図は、初期抵抗値とカット形式の関係を示したもの
である。Ｒ８は斜めカット判定抵抗値、ＲＬはＬカット
ターン点抵抗値、ＲＦは目標抵抗値である。初期抵抗値
がＲ８以下の時はＬカット、Ｒ８より大きい時は斜め（
４５度）のカットをするＺ 第４図は本実施例の構成を示したブロック図、第５図は
同概略図である。７は中央制御装置、８は抵抗計測値を
中央制御装置に入力するだめのＡ／Ｄ 変換器、９は比
較器に対して計測値と比較するための設定値を出力する
だめのＤ／Ａ変換器、１０は計測値と設定値を比較する
比較器、１１は抵抗計測器、１２はｘ−Ｙ方向の２軸が
同時動作可能なスキャナ制御装置、１３はＸ軸ガルバノ
メ大の時ＯＮする。）。レーザー発振器１６から出たレ
ーザービームは、まずＸ軸ガルバノメータ１３についた
Ｘ軸スキャナミラー１３ａで反射され、続けてＹ軸ガル
バノメータ１４についたＹ軸スキα ヤナミラー１４１Ｂで反射され光学系を通して基板上の
抵抗体を加工する。Ｘ軸ガルバノメータ１３を動かすこ
とによりＸ軸方向に、Ｙ軸ガルバノメータ１４を動かす
ことによりＹ軸方向にレーザービームをスキャンするこ
とができる。通常のズトレートカソトやサーペンタイン
カットは１軸のみを、またＬカットも１軸ずつ単独に動
かす事によりトリミングを行なっている。
である。Ｒ８は斜めカット判定抵抗値、ＲＬはＬカット
ターン点抵抗値、ＲＦは目標抵抗値である。初期抵抗値
がＲ８以下の時はＬカット、Ｒ８より大きい時は斜め（
４５度）のカットをするＺ 第４図は本実施例の構成を示したブロック図、第５図は
同概略図である。７は中央制御装置、８は抵抗計測値を
中央制御装置に入力するだめのＡ／Ｄ 変換器、９は比
較器に対して計測値と比較するための設定値を出力する
だめのＤ／Ａ変換器、１０は計測値と設定値を比較する
比較器、１１は抵抗計測器、１２はｘ−Ｙ方向の２軸が
同時動作可能なスキャナ制御装置、１３はＸ軸ガルバノ
メ大の時ＯＮする。）。レーザー発振器１６から出たレ
ーザービームは、まずＸ軸ガルバノメータ１３についた
Ｘ軸スキャナミラー１３ａで反射され、続けてＹ軸ガル
バノメータ１４についたＹ軸スキα ヤナミラー１４１Ｂで反射され光学系を通して基板上の
抵抗体を加工する。Ｘ軸ガルバノメータ１３を動かすこ
とによりＸ軸方向に、Ｙ軸ガルバノメータ１４を動かす
ことによりＹ軸方向にレーザービームをスキャンするこ
とができる。通常のズトレートカソトやサーペンタイン
カットは１軸のみを、またＬカットも１軸ずつ単独に動
かす事によりトリミングを行なっている。
以下、動作を第６図の動作７０−チャートにしたがって
説明する。
説明する。
置はまずＤ／Ａ変換器９に斜めカット判定値を出力し、
比較器１ｏの出力を見て、ＯＮであれば斜めカットに、
ＯＦ ＦであればＬカットに決定する。
比較器１ｏの出力を見て、ＯＮであれば斜めカットに、
ＯＦ ＦであればＬカットに決定する。
斜めカットの場合は、まず実際のカット速度が変らない
ように各軸の移動速度を１／ｒ２に下げる。
ように各軸の移動速度を１／ｒ２に下げる。
つぎに、抵抗目標値をＤ／Ａ 変換器９に出力する。
度方向に移動しながらトリミングする。途中、抵抗値が
目標値に達するまでに斜めカットターン点を越えたら、
１軸を停止し第１図の導体１と垂直な方向（７→６の方
向）の移動に切り換えトリミングを続ける。抵抗値が目
標値に達するか、トリミング最終点６まで達した時点で
レーザー制御装置１５によりレーザービームを停止しト
リミングを終了する。
目標値に達するまでに斜めカットターン点を越えたら、
１軸を停止し第１図の導体１と垂直な方向（７→６の方
向）の移動に切り換えトリミングを続ける。抵抗値が目
標値に達するか、トリミング最終点６まで達した時点で
レーザー制御装置１５によりレーザービームを停止しト
リミングを終了する。
Ｌカットの場合は、ターフ点抵抗値をＤ／Ａ変換器９に
出力し、比較器１ｏの出力をチェックしながらまず第１
図の導体１と平行な方向（３→５の方向）にトリミング
する。抵抗値がターン点抵抗値に達するか、第１カット
目標点に達すると、今度は抵抗目標値をＤ／Ａ 変換
器９に出力しなおし導体１と垂直な方向（４→６の方向
）にトリミングする。抵抗値が目標値に達するか、トリ
ミング最終点６まで達した時点で、レーザービームを停
止しトリミングを終了する。
出力し、比較器１ｏの出力をチェックしながらまず第１
図の導体１と平行な方向（３→５の方向）にトリミング
する。抵抗値がターン点抵抗値に達するか、第１カット
目標点に達すると、今度は抵抗目標値をＤ／Ａ 変換
器９に出力しなおし導体１と垂直な方向（４→６の方向
）にトリミングする。抵抗値が目標値に達するか、トリ
ミング最終点６まで達した時点で、レーザービームを停
止しトリミングを終了する。
以上のように本実施例によれば、判定をすべてＤ／Ａ変
換器と比較器で行なっているため、計測値をＡ／Ｄ変換
して中央制御装置が演算を行ない判定する方法と比して
短時間で処理できる０また、初期値が大きい場合目標値
に近い部分（最後のつめの部分）のトリミングが斜めカ
ットであるため抵抗値変化の割合が小さく、まだ初期値
が小さい場合でも目標値に近い部分は導体と垂直な方向
のトリミングであるためやはね抵抗値変化の割合が小さ
いので精度の高いトリミングを行なう事ができる。
換器と比較器で行なっているため、計測値をＡ／Ｄ変換
して中央制御装置が演算を行ない判定する方法と比して
短時間で処理できる０また、初期値が大きい場合目標値
に近い部分（最後のつめの部分）のトリミングが斜めカ
ットであるため抵抗値変化の割合が小さく、まだ初期値
が小さい場合でも目標値に近い部分は導体と垂直な方向
のトリミングであるためやはね抵抗値変化の割合が小さ
いので精度の高いトリミングを行なう事ができる。
発明の効果
以上のように本発明は、計測値と設定値を比較する比較
器とレーザービームを所定の斜め方向、に走査する２軸
間時動作可能なスキャナ制御装置を設け、初期抵抗値を
比較器で判定して、Ｌカットと斜めカットの自動切り換
えを行なうことにより、タクトをそこなうことなく初期
抵抗値の大小にかかわらず高精度にトリミングすること
ができ、その効果は犬なるものがある。
器とレーザービームを所定の斜め方向、に走査する２軸
間時動作可能なスキャナ制御装置を設け、初期抵抗値を
比較器で判定して、Ｌカットと斜めカットの自動切り換
えを行なうことにより、タクトをそこなうことなく初期
抵抗値の大小にかかわらず高精度にトリミングすること
ができ、その効果は犬なるものがある。
第１図は斜めカットの例を示す図、第２図はＬカットの
例を示す区、第３図は本実施例における初期抵抗値に対
するカットパターンを示す図、第４図は本実施例におけ
る構成のブロック図、第５１ｉＶＩ Ｉ−＋ −に−中
モトカーＩ Ｗ Ｊ？、ｔＡ−ｒ ４１１ｉ ｄ６ ｔ
ｒｚ佃琴ｍ Ｊｉｍ ’＊ ａ Ｔｉ？ Ｉｒす
１実施例における動作フローチャートである。 ９・・Ｄ／Ａ変換器、１ｏ・・比較器、１１・・抵抗計
測器、１２・・スキャナ制御装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図 第４図 ｑ−−ｒ＠１．挟＆ ｔｏ−一健軟４、 ｒｓ−４−で−制着１ 内−、−Ｙ＃ズキｆアミヲ− 第 ０ 図
例を示す区、第３図は本実施例における初期抵抗値に対
するカットパターンを示す図、第４図は本実施例におけ
る構成のブロック図、第５１ｉＶＩ Ｉ−＋ −に−中
モトカーＩ Ｗ Ｊ？、ｔＡ−ｒ ４１１ｉ ｄ６ ｔ
ｒｚ佃琴ｍ Ｊｉｍ ’＊ ａ Ｔｉ？ Ｉｒす
１実施例における動作フローチャートである。 ９・・Ｄ／Ａ変換器、１ｏ・・比較器、１１・・抵抗計
測器、１２・・スキャナ制御装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図 第４図 ｑ−−ｒ＠１．挟＆ ｔｏ−一健軟４、 ｒｓ−４−で−制着１ 内−、−Ｙ＃ズキｆアミヲ− 第 ０ 図
Claims (1)
- 抵抗計測器と、この抵抗計測器により計測した計測値
と設定値を比較する比較器と、スキャナミラーを取り付
けたガルバノメータを１軸または２軸同時に動作させ、
かつその速度を可変できるスキャナ制御装置とを有し、
初期抵抗値を比較器で判定した結果によりＬカットと斜
めカットを自動切り換えすることを特徴とする抵抗トリ
ミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241136A JPS61119069A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 抵抗トリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241136A JPS61119069A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 抵抗トリミング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119069A true JPS61119069A (ja) | 1986-06-06 |
| JPH0374006B2 JPH0374006B2 (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=17069810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59241136A Granted JPS61119069A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 抵抗トリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61119069A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1271567A2 (en) * | 2001-06-28 | 2003-01-02 | Yazaki Corporation | Resistance value adjusting method |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP59241136A patent/JPS61119069A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1271567A2 (en) * | 2001-06-28 | 2003-01-02 | Yazaki Corporation | Resistance value adjusting method |
| EP1271567A3 (en) * | 2001-06-28 | 2003-11-19 | Yazaki Corporation | Resistance value adjusting method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0374006B2 (ja) | 1991-11-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |