JPS5833803A - 高速レ−ザトリミング装置 - Google Patents
高速レ−ザトリミング装置Info
- Publication number
- JPS5833803A JPS5833803A JP56131321A JP13132181A JPS5833803A JP S5833803 A JPS5833803 A JP S5833803A JP 56131321 A JP56131321 A JP 56131321A JP 13132181 A JP13132181 A JP 13132181A JP S5833803 A JPS5833803 A JP S5833803A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- laser
- laser beam
- trimmed
- systems
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザトリ識ング装置に関するものである。
レーザモリ之ング装置は、第１図に示すようにＮａ：Ｙ
ＡＧレーザ発振器１．スキャン光学部２゜ｍ定ｍｓ、プ
ローブ３．パーツハンドフ５．コント璽−ラ８．コンソ
ール７およびコンビ為−夕９とその周辺装置ｌＯとから
構成される。トリミングは次のようなプ覧セスで実行さ
れる。即ち、シリミング試料４をパーツへンドラ５に載
せて、これをトリミング位置まで移動させた後、トリ電
ング試料の電極にプローブを接触させてから、各素子の
トリ叱ングが行われる。ＦＩＪ々ングする素子の値は、
トリミング目標値とｊＩ庫部６中のコンパレータ６３と
６５で比較されて、これらが一致するまでレーザ光をビ
ームメジシ璽す２１と２２で回路の一部に沿って移動さ
せ、これをけずりとることによつてシリミング目標値に
調整される。そのために次のような前処理が必要である
。
ＡＧレーザ発振器１．スキャン光学部２゜ｍ定ｍｓ、プ
ローブ３．パーツハンドフ５．コント璽−ラ８．コンソ
ール７およびコンビ為−夕９とその周辺装置ｌＯとから
構成される。トリミングは次のようなプ覧セスで実行さ
れる。即ち、シリミング試料４をパーツへンドラ５に載
せて、これをトリミング位置まで移動させた後、トリ電
ング試料の電極にプローブを接触させてから、各素子の
トリ叱ングが行われる。ＦＩＪ々ングする素子の値は、
トリミング目標値とｊＩ庫部６中のコンパレータ６３と
６５で比較されて、これらが一致するまでレーザ光をビ
ームメジシ璽す２１と２２で回路の一部に沿って移動さ
せ、これをけずりとることによつてシリミング目標値に
調整される。そのために次のような前処理が必要である
。
ピ） トリミングする素子ごとに、各電極に接触してい
るプ曹−ブのチャネルをＤＣスキャナ６１によりｉ１定
部６に接続する・ （→ 素子を訃リミングするごとに、トリミング目標値
をフンパレータにセットする。
るプ曹−ブのチャネルをＤＣスキャナ６１によりｉ１定
部６に接続する・ （→ 素子を訃リミングするごとに、トリミング目標値
をフンパレータにセットする。
（ハ） トリミングの切り出し点ごとにビームボジシ１
すでレーザ光の位置決め（ボジシＩＩＪＬングという）
をする。
すでレーザ光の位置決め（ボジシＩＩＪＬングという）
をする。
この１ｌＮｄ：ＹＡＧレーザ発振器からレーザ光を出し
、これを指定された速度と向きにビームボジシ冒すで移
動させて、トリミング動作が行われる。
、これを指定された速度と向きにビームボジシ冒すで移
動させて、トリミング動作が行われる。
トリミングされた素子の値に対し、目標値に対して許容
範囲内にあるかという良否判定（ファイナルテストとい
う）がなされる。また素子の値そのものが測定＠６４に
より測定されるようなケースもある。これまでのレーザ
トリミング装置では、１つの素子のトリミングが終了し
ないと上述のようなトリミングの前後処理はできない。
範囲内にあるかという良否判定（ファイナルテストとい
う）がなされる。また素子の値そのものが測定＠６４に
より測定されるようなケースもある。これまでのレーザ
トリミング装置では、１つの素子のトリミングが終了し
ないと上述のようなトリミングの前後処理はできない。
トリミングでけずりとられてカッドされる長さを１ｍ、
レーザ光の移動するトリミング速度を５０調／ｍｅとす
るとこのときの）９１１！ング所要時間は２０ｍ５ｅｃ
となるが、トリミング前処理中、チャネルの接続やトリ
文ング目標値のセラＦではリレーの切り換えがあり、ま
たレーザ光の位置決めではビームｌジャ冒す中のガルバ
ノメータ形オプティカルスキャナを移動させる（１０−
の移動に４ｍ５ｏかかる）ので、これらの動作が行われ
ている時間のほかにその後に各々数ｍｗｃ〜十数ｍ５ｅ
ｅのセ） ＩＪソングイムを必要とする。このように実
際のトリミング動作が行われていない処理には、トリ叱
ング時間に匹敵するほどの時間を要して、トリミングプ
ロセス全体の処理効率を低下させる大きな要因となって
いる。
レーザ光の移動するトリミング速度を５０調／ｍｅとす
るとこのときの）９１１！ング所要時間は２０ｍ５ｅｃ
となるが、トリミング前処理中、チャネルの接続やトリ
文ング目標値のセラＦではリレーの切り換えがあり、ま
たレーザ光の位置決めではビームｌジャ冒す中のガルバ
ノメータ形オプティカルスキャナを移動させる（１０−
の移動に４ｍ５ｏかかる）ので、これらの動作が行われ
ている時間のほかにその後に各々数ｍｗｃ〜十数ｍ５ｅ
ｅのセ） ＩＪソングイムを必要とする。このように実
際のトリミング動作が行われていない処理には、トリ叱
ング時間に匹敵するほどの時間を要して、トリミングプ
ロセス全体の処理効率を低下させる大きな要因となって
いる。
トリミングが終った素子のファイナルテストと次にトリ
ミングする素子に対するボジショニ゛ングを一時に行い
、また各種セトリングタイムを同時にとって、トリミン
グ前後処理を並列化してこの処理時間を短縮することは
実施されてきたが、トリ建ングプ！七ス中でこの処理時
間の占める割合を極小に押えることはかなわなかった。
ミングする素子に対するボジショニ゛ングを一時に行い
、また各種セトリングタイムを同時にとって、トリミン
グ前後処理を並列化してこの処理時間を短縮することは
実施されてきたが、トリ建ングプ！七ス中でこの処理時
間の占める割合を極小に押えることはかなわなかった。
本発明の目的は、トリミング間の処理時間を短縮できる
高速レーザトリミング装置を提供することである。
高速レーザトリミング装置を提供することである。
次に本発明の一実施例を詳細に説明する。
本発明による高速レーザ訃り攬ンダ装置では第１ｖ！Ｊ
のように、光路切り換え器２６により、１つのＮｄ：Ｙ
ＡＧレーザ発振ａｌｌから発射されるレーザ光を２つあ
るビームボジシ冒す系２１と２２の１つにふり分けて、
再び集光系２５により１つの光路にまとめられるスキャ
ン光学部２と、コンパレータ（６３と６５）を２つもっ
ていて、これらがＤＣスキャナによるプ田−プチャネル
接続系を還して一時に２つの被トリミング素子値をモ品
タリングできる測定ＩＳ６が装備されていることは特徴
とする。
のように、光路切り換え器２６により、１つのＮｄ：Ｙ
ＡＧレーザ発振ａｌｌから発射されるレーザ光を２つあ
るビームボジシ冒す系２１と２２の１つにふり分けて、
再び集光系２５により１つの光路にまとめられるスキャ
ン光学部２と、コンパレータ（６３と６５）を２つもっ
ていて、これらがＤＣスキャナによるプ田−プチャネル
接続系を還して一時に２つの被トリミング素子値をモ品
タリングできる測定ＩＳ６が装備されていることは特徴
とする。
ビームボジシ１すとコンパレータは１つずつが組になっ
て用いられ、これら２組（系）を交互に使用してトリミ
ングが行われる。第３図のタイムチャードに示す）９文
ング１と２力、′−々の系に対応している。この図では
各シーケンスに付けられている動作や状態を、正論理の
タイムチャートで示している系２によるトリミング２が
終るとレーザ光の光路を系１に切り換える。このとき系
ｌでは、次の素子のトリミングに対する前処理が終了し
たならば、すぐにトリミング１を始めることができる。
て用いられ、これら２組（系）を交互に使用してトリミ
ングが行われる。第３図のタイムチャードに示す）９文
ング１と２力、′−々の系に対応している。この図では
各シーケンスに付けられている動作や状態を、正論理の
タイムチャートで示している系２によるトリミング２が
終るとレーザ光の光路を系１に切り換える。このとき系
ｌでは、次の素子のトリミングに対する前処理が終了し
たならば、すぐにトリミング１を始めることができる。
またトリミング２を終えた系２では、この素子のファイ
ナルテストをするためコンパレータ２へ７アイナルテス
トの上下限値（比較参照値）をセッシして結果を調べた
あと、今系１でトリミングが始まった素子の次にトリミ
ングする素子に対するヤリミング目標値をコンパレータ
にセットする。この素子へのポジシ１ニングは、トリミ
ング２を終えた素子のファイナルテストと同時に始める
。このようにして系２で次にトリミングするための前処
理動作を行い、その後これら動作に必要な七シリングタ
イムがとられたことをタイマにより確認すれば、次の素
子に対する）９４ング前処理は終了する。この状態でト
リミング１が終れば、トリミング２を開始することが可
能である。
ナルテストをするためコンパレータ２へ７アイナルテス
トの上下限値（比較参照値）をセッシして結果を調べた
あと、今系１でトリミングが始まった素子の次にトリミ
ングする素子に対するヤリミング目標値をコンパレータ
にセットする。この素子へのポジシ１ニングは、トリミ
ング２を終えた素子のファイナルテストと同時に始める
。このようにして系２で次にトリミングするための前処
理動作を行い、その後これら動作に必要な七シリングタ
イムがとられたことをタイマにより確認すれば、次の素
子に対する）９４ング前処理は終了する。この状態でト
リミング１が終れば、トリミング２を開始することが可
能である。
上に述べたように２つの系を交互に使ってトリミングさ
せ、１つの系で成る素子のトリミングを実行している間
に、もう１つの系では、１つ前の素子のファイナルテス
トと、その後に次にトリミングする素子の前処理を行う
ことによりて、素子のトリをング間処理時間を大幅に短
縮することができる。なおりＣスキャナにより次の素子
のプロ−プチャネルを接続する動作は、そのトリミング
目標値をコンパレータに七ツＦするのとＦｅ２時に行わ
れる。
せ、１つの系で成る素子のトリミングを実行している間
に、もう１つの系では、１つ前の素子のファイナルテス
トと、その後に次にトリミングする素子の前処理を行う
ことによりて、素子のトリをング間処理時間を大幅に短
縮することができる。なおりＣスキャナにより次の素子
のプロ−プチャネルを接続する動作は、そのトリミング
目標値をコンパレータに七ツＦするのとＦｅ２時に行わ
れる。
２つのコンパレータの比較結果は割り込みと状態センス
により、常にみることができるが、ビームボジシ１す系
は、第２図の光路切り換え器２６によって切り換えられ
る。この図にはスキャン光学部を示すが％２つの光路の
選択は図中２６４のブラッグ戻射形超音波光偏向器によ
り行われる。
により、常にみることができるが、ビームボジシ１す系
は、第２図の光路切り換え器２６によって切り換えられ
る。この図にはスキャン光学部を示すが％２つの光路の
選択は図中２６４のブラッグ戻射形超音波光偏向器によ
り行われる。
超音波により、レーザ光が回折して進むので、超音波の
発生をオン／オフして２つの光路は比較的高速度で切り
分けられる、ビームボジシ嘗す２１と２２では、レーザ
光の位置決めをするために、７５Ｘ７５■の領域内で指
定されたＸＹ座標に対応して２組のガルバノメータ形オ
プティカルスキャナに取付けられたミラー（２１１，２
１２゜２〜２１および２２２）を回転させてレーザ光を
ふらせる。２つに分けられた光路はハーフ識う−２５１
により１つにまとめられて、集光レンズ２５２で、トリ
ミング試料４の上で焦点を結ぶように集光される。
発生をオン／オフして２つの光路は比較的高速度で切り
分けられる、ビームボジシ嘗す２１と２２では、レーザ
光の位置決めをするために、７５Ｘ７５■の領域内で指
定されたＸＹ座標に対応して２組のガルバノメータ形オ
プティカルスキャナに取付けられたミラー（２１１，２
１２゜２〜２１および２２２）を回転させてレーザ光を
ふらせる。２つに分けられた光路はハーフ識う−２５１
により１つにまとめられて、集光レンズ２５２で、トリ
ミング試料４の上で焦点を結ぶように集光される。
二重化されている系のうち一方が障害をおこしたときは
、これを切り離して、他方の正常な系だけで動作するモ
ードに切り換えられて、トリミングの続行が可能な７工
イルソフト機能をもっていることも、この装置の大きな
特長である。
、これを切り離して、他方の正常な系だけで動作するモ
ードに切り換えられて、トリミングの続行が可能な７工
イルソフト機能をもっていることも、この装置の大きな
特長である。
第１図は本発明の一実施例を示す高速レーザトリ之ング
装置のブロック図、第２図は、その中のスキャン光学部
の概略図、第３図は高速レーザＦリミング装置の動作を
タイムチャー酬で表現したものである。 １はＮａ：ＹＡＧレーザ発振器とその電源および冷却部
、２はスキャン光学部、２１と２２はビームボジシ璽す
、２３と２４はピームポジシ曹すのドツイパ、２５は集
光系、２６は光路切り換え器、２７はテレビカメラとモ
ニタ、３はプ窒−ブ、４はトリミング試料、５はパーツ
ハンドフ、６は測定部、６１はＤＣスキャナ、６２は測
定系切り換、を部、６３と６５はコンパレータ、６４は
測定器、７はコンソール、８Ｇ１コントｐ−ラ、９はコ
ンビエータ、１０はコンビ為−夕の周辺装置、２１１゜
２２１．２１２および２２２はガルバノメータ形オプテ
ィカルスキャナに取り付けられたミラー（前２つはＸ軸
層、後２つはＹ軸用）、２１３は固定屓射ミラー、２６
１と２６２はＸＹ軸光珈調整之ラう、２６３はビームエ
キスパンダ、２６４はブラッグ反射形超音波光偏向器、
２５１はバー７ミフー、２５２は集光レンズ％２５３は
ダイク胃イック電ツー。 第１図
装置のブロック図、第２図は、その中のスキャン光学部
の概略図、第３図は高速レーザＦリミング装置の動作を
タイムチャー酬で表現したものである。 １はＮａ：ＹＡＧレーザ発振器とその電源および冷却部
、２はスキャン光学部、２１と２２はビームボジシ璽す
、２３と２４はピームポジシ曹すのドツイパ、２５は集
光系、２６は光路切り換え器、２７はテレビカメラとモ
ニタ、３はプ窒−ブ、４はトリミング試料、５はパーツ
ハンドフ、６は測定部、６１はＤＣスキャナ、６２は測
定系切り換、を部、６３と６５はコンパレータ、６４は
測定器、７はコンソール、８Ｇ１コントｐ−ラ、９はコ
ンビエータ、１０はコンビ為−夕の周辺装置、２１１゜
２２１．２１２および２２２はガルバノメータ形オプテ
ィカルスキャナに取り付けられたミラー（前２つはＸ軸
層、後２つはＹ軸用）、２１３は固定屓射ミラー、２６
１と２６２はＸＹ軸光珈調整之ラう、２６３はビームエ
キスパンダ、２６４はブラッグ反射形超音波光偏向器、
２５１はバー７ミフー、２５２は集光レンズ％２５３は
ダイク胃イック電ツー。 第１図
Claims (1)
- レーザ発振器と、レーザ光を走査するスキャン光学部と
、トリミング中の試料の電気的特性値を測定比較する測
走部とを含むレーザトリ１ング装置において、前記スキ
ャン光学部中にレーザ光を移動させるビームポジシＷニ
ング系を二系統設けさらに測定部中にもトリミング中に
試料の電気的特性値をモニタリングするコンパレータ系
を二系統設け、これら二系統を切換える手段を具備した
ことを特徴とする高速レーず）リミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56131321A JPS5833803A (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 高速レ−ザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56131321A JPS5833803A (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 高速レ−ザトリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5833803A true JPS5833803A (ja) | 1983-02-28 |
Family
ID=15055215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56131321A Pending JPS5833803A (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 高速レ−ザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5833803A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61189605A (ja) * | 1985-02-19 | 1986-08-23 | 松下電器産業株式会社 | 抵抗トリミング装置 |
| WO2002018090A1 (fr) * | 2000-08-29 | 2002-03-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Appareil d'usinage laser |
| US6849824B2 (en) | 2002-12-26 | 2005-02-01 | Hitachi Via Mechanics, Ltd. | Multibeam laser drilling apparatus |
| US7521650B2 (en) | 2003-03-14 | 2009-04-21 | Hitachi Via Mechanics, Ltd. | Laser machining apparatus |
-
1981
- 1981-08-21 JP JP56131321A patent/JPS5833803A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61189605A (ja) * | 1985-02-19 | 1986-08-23 | 松下電器産業株式会社 | 抵抗トリミング装置 |
| WO2002018090A1 (fr) * | 2000-08-29 | 2002-03-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Appareil d'usinage laser |
| US6875951B2 (en) | 2000-08-29 | 2005-04-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining device |
| DE10193737B4 (de) * | 2000-08-29 | 2009-07-30 | Mitsubishi Denki K.K. | Laserbearbeitungsvorrichtung |
| US6849824B2 (en) | 2002-12-26 | 2005-02-01 | Hitachi Via Mechanics, Ltd. | Multibeam laser drilling apparatus |
| US7521650B2 (en) | 2003-03-14 | 2009-04-21 | Hitachi Via Mechanics, Ltd. | Laser machining apparatus |
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