JPS61117170A - セラミツクスと金属体との接合方法 - Google Patents

セラミツクスと金属体との接合方法

Info

Publication number
JPS61117170A
JPS61117170A JP23586784A JP23586784A JPS61117170A JP S61117170 A JPS61117170 A JP S61117170A JP 23586784 A JP23586784 A JP 23586784A JP 23586784 A JP23586784 A JP 23586784A JP S61117170 A JPS61117170 A JP S61117170A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal
plate
ceramic
ceramics
copper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP23586784A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0234912B2 (ja
Inventor
渋谷 恭一
宮沢 陽一
幹夫 林
正一 橋口
井原 友水
江畑 儀弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Cement Co Ltd
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Sumitomo Cement Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology, Sumitomo Cement Co Ltd filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP23586784A priority Critical patent/JPH0234912B2/ja
Publication of JPS61117170A publication Critical patent/JPS61117170A/ja
Publication of JPH0234912B2 publication Critical patent/JPH0234912B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックスと金属体との接合方法の改良に
関する。
〔従来の技術〕
一般に、セラミックスは耐熱性、#庁耗性に富むことか
ら様々な産業分野において使用されており、セラミック
スと種々の金属体とを接合することが不可欠となる。従
来、このようなセラミックスと金属体との接合には、有
機系もしくは無機系の接着剤が用いられていた。しかし
ながら、有機系接着剤を利用した場合には、耐熱温度が
200℃程度であり、それ以上の高温では使用できず、
また無機系接着剤は耐熱温度は1000℃以上であるが
接合強度が不十分である、という欠点があった。そこで
、従来よりセラミックスと金属体とをvr接接合する方
法が検討されており1例えば、銅をアルミナ、ジルコニ
ア、マグネシア算の酸化物セラミックスと直接接合する
方法が提案されていた(英国特許第781045号又は
特開昭52−37914号)、これらの接合方法は銅板
をセラミックス基板上に重ね加熱して接着するものや、
酸化第−銅又は銅の融液によってセラミックス基板を濡
らして銅板を接着させるものである。
〔従来技術の問題点〕
ところで、このような従来の接合方法において、銅板は
加熱された後、冷却されるものであるが、銅とセラミッ
クスとは熱膨張率が大きく異なるため(銅の熱膨張率1
7〜18X lo−6/ ”0に対し例えばアルミナは
8 X10−6/”O) 、銅板の熱変形によって銅板
が接合されたセラミックスにひずみが発生することとな
る。そして、このひずみがセラミックスに残留したまま
で銅板と接合されるものであり、該ひずみがセラミック
ス内部の応力として作用するため、クラックが発生し、
セラミックス自体の強度が低下してしまう場合がある、
という欠点が存していた。
そこで、本発明の目的は、金属体と接合されたセラミッ
クスに生ずるひずみにより発生する内部応力を減少させ
、セラミックスのクラック発生を防止し、セラミックス
と金属体とを確実に接着させることが回部なセラミック
スと金属との接合方法を提供することにある。
〔技術的課題を解決するための手段〕
かかる目的達成のため本発明にあっては、セラミックス
よりも小型に形成された少なくとも一個の円形金属板あ
るいは少なくとも一個の円孔が開設された金属板を介し
て金属体−をセラミックスに接合させたものである。即
ち、金属板の形状については、金属板の大きさがセラミ
ックスよりも小さい場合には少なくとも一個の円形の金
属板を使用するものであり、上記円形は真円であること
が望ましい、矩形にした場合には、膨張率の相違により
発生するひずみがそれぞれの角部に集中し、それぞれの
四隅部と当接するセラミックスに内部応力が集中するか
らである。また、セラミックスと金属板とが等しい大き
さである場合には、少なくとも一個の円形の孔部が開設
された金属板を使用する0円形の孔部が開設されていた
場合には、セラミックスにかかる圧縮応力を緩和するこ
とができ、また応力集中を避けることもできるからであ
る0次に、厚さ!−以上のセラミックス上に金a板(M
えlfN板)ta21L、1000℃〜1200℃の大
気雰囲気の炉内において加熱後、炉から取り出し冷却す
る。そして、金属板を接合する金属体 (例えば鉄板)
をロー付けすることにより、金属板を介してセラミック
スと接合するものである。
〔作用〕
従って、本発明にあっては、金属体がセラミックスに接
合された場合であっても、ひずみの発生を減少させるこ
とができる。
〔実施例〕
以下、添付図面に示す実施例に基づき本発明の詳細な説
明する。
第1図及び第2図に示すように、厚さ1層層以上のセラ
ミックスたるアルミナ板!上にアルミナ板1よりも小型
に形成された金属板たる円形銅板2を複数個a置し、 
1100℃の雰囲気炉中において、10分間加熱した後
、炉から取り出して自然冷却する。その後、アルミナ板
1と接着した銅板表面を研磨し、第3図に示すように、
セラミックスたるアルミナ板1に接合させようとする金
属体としての鉄板(SS41)3を上記円形銅板2に銀
ロー6によりロー付けしたものである。また、第4図(
1)及び(2)は1円形銅板ではなく正方形からなる銅
板4を上記実施例で使用したセラミックス (アルミナ
板)1上に載置し、上記の場合と同一条件により金属体
 (鉄板)3を接合し、上記実施例の場合と比較した。
それぞれの接合片Bの剪断強度試験の結果を表1に示す
〈表1〉 上記表1により示された通り、円形銅板を使用した場合
には、正方形の銅板を用いた場合に比し、強度は20%
以と大さいものである。また、染色浸透液によりアルミ
ナ板のクラックのチェックを行ったところ1円形銅板を
使用した場合にはクラックは全く認められなかったが、
正方形の銅板を用いた場合には、正方形の四隅部にクラ
ックが多く発生し、また剪断強度のバラつきも大きいも
のであった。従って、銅板の形状を円形にした場合には
クラックの発生が防止され、信頼性は大幅に向上するこ
とが判明した。また、第5図に示すように、銅板の厚み
と剪断強度との関係については、室温において銅板の厚
さが0.5■謙の場合と21蕩の場合とでは。
2II11の場合の方が0.5mmの場合よりも、銅の
展性によりセラミックス内部の応力が減少するため、剪
断強度が3倍程度大きく、一方、厚さが1■膳以上とな
った場合での剪断強度の増大は小さい、従って、第5図
より接着強度は銅板の厚さによって大きく変化するもの
であることが明らかになり、また厚さ1厘厘以上の場合
には非常に大きな接着強度が得られることが判明するも
のである。
また、第6図乃至$8図は本発明に係るセラミックスと
金属体との接合方法の第二実施例を示す0本実施例にあ
っては、第8図及び第7図に示すように、前記第一実施
例において使用したアルミナ板l上に円形銅板2を複数
個載置し、更にこれらの円形銅板2の間隙に耐熱性を有
する接着剤5を充填した後加熱−冷却し、その後、第8
図に示すように、前記実施例と同様に金属板としての鉄
板3を銀ローBによりロー付するものである0本実施例
において使用される接着剤は無機系接着剤であって、珪
酸アルカリ系、シリカゲル系、リン酸塩系等が含まれる
。そして、主成分はシリカ、アルミナ、ジルコニアであ
り、耐ハ潟度は1200℃〜1300℃程度である。ま
た接着強度は2にgf/mrn’であって、熱膨張率は
4〜8XIO’/℃である。
本実施例に係るセラミックスと金属体との接合方法にあ
っては、金属体(鉄板)3と金属板(銅板)2との間が
ロー付されると共に接着剤5により金属体(鉄板)3は
セラミックス (アルミナ板)■に接着されているため
、接合強度を大きくすることがor能となる。また1本
実施例にあっては、接着剤5により金属板(銅板)2が
覆われ金属板(銅板)2が外気と遮断されるため、50
0℃以との高温に達した場合に発生する銅の酸化速度の
増大を防止できると共に他の酸化又は反応性ガスとの反
応を防止することができる。さらに、本実施例に使用さ
れる無機系接着剤は熱伝導率が低いため断熱効果が発揮
され、セラミックス表面が高車になった場合でもあって
も接合された金属の温度は比較的低温に抑えることがで
きる。
尚、上記各実施例にあっては、セラミックスと金属体と
の間に配設される金属板が銅から成る場合を例に採り説
明したが上記各実施例に限定されず、銅及び鉄、又は銅
及びニッケル等の銅を主成分とする合金であっても良い
、また。
接合する金属体についても、上記各実施例に限定されず
、ステンレス、耐熱鋳鋼等の鉄合金もしくはニッケル、
コバルト等の合金、アルミニウムの合金等が広く含まれ
る。さらに、銅板の厚み一形状を選択することにより、
熟サイクルの過酷な条件下においても適用することがで
き、また、セラミックス同士を接合する場合にも、本発
明を適用することができる。
〔効果〕
本発明は以上のような構成を有することから、金属体を
セラミックスと接合させた場合であっても、熱膨張率の
相違によりセラミックスに発生するひずみから生ずる内
部応力を減少することが可能となる。従って、セラミッ
クスにクラックが発生することもなく、セラミックス自
体の内部応力の集中による強度低下の防止を図ることが
でき、より確実にセラミックスと金属とを接合させるこ
とができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るセラミックスと金属体との接合方
法を示す平面図、第2図は第1図の■−■線断面図、f
JSs図は本発明に係るセラミックスと金属板との接合
方法を示す断面図、第4図(1)はセラミックスと略同
じ大きさの金属板をセラミックス上に載置した状態を示
す平面図、第4図(2)は同側面図、第5図は金属板と
剪断強度との関係を示すグラフ、第6図は本発明に係る
セラミックスと金属体との接合方法の他の実施例を示す
平面図、第7図は第6図のvt−vt線断面図、第8図
は本発明に係るセラミックスと金属体との接合方法の他
の実施例を示す断面図である。 1・・・セラミックス (アルミナ板)2・・・金属板
(銅板) 3・・・金属体(鉄板) 図面2・、コ゛′ごy=+=宝だなし)第 1 図 市 2 図 扇° 3 図 簗 4 図 石 5 7j (金属不及)@矛反硝4み 第 6 図 第 7 z ; 8 シ 手続補正店(方式〉 昭和60年6月27日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)セラミックスと金属体とを接合する方法において、
    セラミックスよりも小型に形成された少なくとも一個の
    円形金属板又は少なくとも一個の円孔が開設された金属
    板を介して金属体をセラミックスに接合させる方法。 2)上記金属体はロー付により上記金属板に接着される
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のセラミッ
    クスと金属体との接合方法。 3)上記金属体はロー付けにより上記金属板に接着され
    ると共に接着剤によりセラミックスに接着されることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載のセラミックスと
    金属体との接合方法。 4)上記金属板は銅又は銅を主成分とする合金かから成
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項、2項又は3
    項記載のセラミックスと金属体との接合方法。 5)上記金属板は厚さが0.5mm以上に形成されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項、2項、3項
    又は4項記載のセラミックスと金属体との接合方法。
JP23586784A 1984-11-08 1984-11-08 Seramitsukusutokinzokutaitonosetsugohoho Expired - Lifetime JPH0234912B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23586784A JPH0234912B2 (ja) 1984-11-08 1984-11-08 Seramitsukusutokinzokutaitonosetsugohoho

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23586784A JPH0234912B2 (ja) 1984-11-08 1984-11-08 Seramitsukusutokinzokutaitonosetsugohoho

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61117170A true JPS61117170A (ja) 1986-06-04
JPH0234912B2 JPH0234912B2 (ja) 1990-08-07

Family

ID=16992422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23586784A Expired - Lifetime JPH0234912B2 (ja) 1984-11-08 1984-11-08 Seramitsukusutokinzokutaitonosetsugohoho

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0234912B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4981761A (en) * 1988-06-03 1991-01-01 Hitachi, Ltd. Ceramic and metal bonded composite
WO1992008681A1 (en) * 1990-11-20 1992-05-29 The Welding Institute Joining method
US5194900A (en) * 1990-10-22 1993-03-16 Sharp Kabushiki Kaisha Developer cartridge having easily removable sealing material
JP2006220430A (ja) * 2005-02-08 2006-08-24 Jtekt Corp 圧力センサ及びその製造方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04125108U (ja) * 1991-05-07 1992-11-16 株式会社アイ・トワニー ホームごたつ用脚

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4981761A (en) * 1988-06-03 1991-01-01 Hitachi, Ltd. Ceramic and metal bonded composite
US5194900A (en) * 1990-10-22 1993-03-16 Sharp Kabushiki Kaisha Developer cartridge having easily removable sealing material
WO1992008681A1 (en) * 1990-11-20 1992-05-29 The Welding Institute Joining method
JP2006220430A (ja) * 2005-02-08 2006-08-24 Jtekt Corp 圧力センサ及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0234912B2 (ja) 1990-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61117170A (ja) セラミツクスと金属体との接合方法
JPH0777989B2 (ja) セラミックスと金属の接合体の製造法
EP0197397A2 (en) A method for bonding ceramics to a metal
JPH02124778A (ja) AlNセラミックス同志の接合体及びこれを用いた放熱装置
JPS6153174A (ja) セラミツク接合用緩衝材
JP2503778B2 (ja) 半導体装置用基板
JP4427379B2 (ja) 気密封止用材およびその製造方法
JPH02196075A (ja) 接合構造体
JPS59156974A (ja) セラミツクスとケイ素との接合方法
JP2503779B2 (ja) 半導体装置用基板
JPS63159264A (ja) セラミツクスと金属との高耐熱衝撃性接合方法および接合製品
JP2823222B2 (ja) マイクロストリップ線路サーキット
JPS5821424B2 (ja) 半導体材料支持用基板の製造方法
JPH01249669A (ja) セラミックス回路基板
JPS61117172A (ja) セラミツクスの接合構造
JPS60145972A (ja) セラミックス−金属接合体
JP2508545B2 (ja) 半導体装置用基板
JPH03112638A (ja) 直接結合された対称型金属積層物/基板構造物
JPS60251181A (ja) セラミツクと金属の鑞付方法
JPS61136969A (ja) サイアロンと金属の接合方法
JPH0376578B2 (ja)
JPS62182172A (ja) セラミツクスと金属との接合方法
JPH01141881A (ja) 多孔質セラミックスと金属との接合法
JPS62252376A (ja) アルミナセラミツクスと銅板との接合方法
JPS59174582A (ja) 金属とセラミツクスとの接合方法

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term