JPS61115945U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61115945U JPS61115945U JP19838984U JP19838984U JPS61115945U JP S61115945 U JPS61115945 U JP S61115945U JP 19838984 U JP19838984 U JP 19838984U JP 19838984 U JP19838984 U JP 19838984U JP S61115945 U JPS61115945 U JP S61115945U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic package
- cylinder
- helium
- leak test
- special stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000001307 helium Substances 0.000 claims 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims 4
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す正面断面図、
第２図は本考案の一実施例を示す平面図、第３図
は従来装置を示す断面図である。 １……真空室、２ａ，２ｂ……ガスケツト、３
……蓋、４……板ガスケツト、５……セラミツク
パツケージ、７……シリンダー、８……ガス吹き
付け管、９……専用台、１０……押さえ板、１１
……固定ネジ、１２……取手、１３……流体接続
口。
第２図は本考案の一実施例を示す平面図、第３図
は従来装置を示す断面図である。 １……真空室、２ａ，２ｂ……ガスケツト、３
……蓋、４……板ガスケツト、５……セラミツク
パツケージ、７……シリンダー、８……ガス吹き
付け管、９……専用台、１０……押さえ板、１１
……固定ネジ、１２……取手、１３……流体接続
口。
Claims (1)
- ヘリウムリーク試験室蓋にシリンダーを固定し
、専用台にのせたセラミツクパツケージをシリン
ダーで押すことにより専用台とセラミツクパツケ
ージの気密を保持し、外周より吹き出し管を通し
てヘリウムガスを一定方向から一定位置に一定量
のヘリウムガスを吹き付け可能としたことを特徴
とするセラミツクパツケージヘリウムリーク試験
治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19838984U JPS61115945U (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19838984U JPS61115945U (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61115945U true JPS61115945U (ja) | 1986-07-22 |
Family
ID=30757339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19838984U Pending JPS61115945U (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61115945U (ja) |
-
1984
- 1984-12-29 JP JP19838984U patent/JPS61115945U/ja active Pending