JPS61114242A - 多丁付ガラス原版の製造方法 - Google Patents
多丁付ガラス原版の製造方法Info
- Publication number
- JPS61114242A JPS61114242A JP59236441A JP23644184A JPS61114242A JP S61114242 A JPS61114242 A JP S61114242A JP 59236441 A JP59236441 A JP 59236441A JP 23644184 A JP23644184 A JP 23644184A JP S61114242 A JPS61114242 A JP S61114242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- effective
- original plate
- effective pattern
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/50—Mask blanks not covered by G03F1/20 - G03F1/34; Preparation thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は表裏両面のガラス原版の製造方法に係わり、特
に、多丁付と称して一枚のガラス乾板に複数個のパター
ンが形成され、しかも表裏両面のパターン位置の整合状
態の良好なガラス原版の製造方法に関″′ｆ′る。
に、多丁付と称して一枚のガラス乾板に複数個のパター
ンが形成され、しかも表裏両面のパターン位置の整合状
態の良好なガラス原版の製造方法に関″′ｆ′る。
（発明の技術的背景）
金属板をフォトエンチング法により表裏両面、ｉ゛り食
刻し、シャドウマスクやリードフレーノ、等の金属部品
を作１１ｊＷ−ｆろことは、得られた物品の精度が機械
加工によるものより優れるところから賞出されている。
刻し、シャドウマスクやリードフレーノ、等の金属部品
を作１１ｊＷ−ｆろことは、得られた物品の精度が機械
加工によるものより優れるところから賞出されている。
この場合、フォ］・エツチングパターンの原図となるマ
スク原版は、大きければ大きいほど一回露光あたりの部
品数が多くなるので、製造上有利であり１例えば、ンヤ
ドウマスクにあっては一回露光につき２枚以上のシャド
ウマスクパターンを露光形成できれば、それだけ製造能
力の向上につながることは明らかである。それには。
スク原版は、大きければ大きいほど一回露光あたりの部
品数が多くなるので、製造上有利であり１例えば、ンヤ
ドウマスクにあっては一回露光につき２枚以上のシャド
ウマスクパターンを露光形成できれば、それだけ製造能
力の向上につながることは明らかである。それには。
パターン原図の複数個を一括して一枚のガラス乾板に転
写することが一手段として考えられる。
写することが一手段として考えられる。
しかしながら、パターンジェネレーター等の描画装置に
て複数のパターンを描画することは、装置自体の描画面
積の制約のほかに、ショット数がパターンの数に比例し
て倍増し、描画時間が膨大なものとなり、実際上様々な
問題を生じて実用性に乏しい。しかも、フォトエツチン
グ法の場合。
て複数のパターンを描画することは、装置自体の描画面
積の制約のほかに、ショット数がパターンの数に比例し
て倍増し、描画時間が膨大なものとなり、実際上様々な
問題を生じて実用性に乏しい。しかも、フォトエツチン
グ法の場合。
両面焼付と称して、材料の金属板の表裏面にパターンを
位置合わせして形成し、エツチングすることが多（、単
に複数個の原図パターンを一枚のカラス乾板に転写する
と言っても、表裏の各パターンの位置は数ミクロン以下
の精度で正確に設定されねばｔ【らｔ【い。例えば、シ
ャトラフスフパターンの場合、ミクロン単位の精確な位
置決めを行なわないと１表面と裏面のパターンが整合せ
ず、シャドウマスクとして不良品を世４出させろという
問題がある。
位置合わせして形成し、エツチングすることが多（、単
に複数個の原図パターンを一枚のカラス乾板に転写する
と言っても、表裏の各パターンの位置は数ミクロン以下
の精度で正確に設定されねばｔ【らｔ【い。例えば、シ
ャトラフスフパターンの場合、ミクロン単位の精確な位
置決めを行なわないと１表面と裏面のパターンが整合せ
ず、シャドウマスクとして不良品を世４出させろという
問題がある。
（発明の目的）
本発明は、以上のような間粗点の生じないマスク原版の
製造方法であり、多丁付けであってしかも表裏二種のマ
スク原版に形成されたパターンの整合状態がミクロンオ
ーダーで精確なものを提供せんとするにある。
製造方法であり、多丁付けであってしかも表裏二種のマ
スク原版に形成されたパターンの整合状態がミクロンオ
ーダーで精確なものを提供せんとするにある。
（発明の構成）
ｆなわち、本発明は、複数回の露光により有効パターン
を多丁付けした一方の面のガラス原版に対して１個々に
独立した複数個の他方の面の有効パターン板を重ねて整
合させ、整合した状態の複数個の他方の而へ効パターン
板をバックアップによってその位置関係にて接合固定し
たあと一方の面の原版から分離し、しかる後、前記バッ
クアンプにて接合固定した複数個の他方の面の有効パタ
ーンを一枚のガラス乾板に転写することを特徴とする表
および裏の両面多丁付ガラス原版の製造方法である。
を多丁付けした一方の面のガラス原版に対して１個々に
独立した複数個の他方の面の有効パターン板を重ねて整
合させ、整合した状態の複数個の他方の而へ効パターン
板をバックアップによってその位置関係にて接合固定し
たあと一方の面の原版から分離し、しかる後、前記バッ
クアンプにて接合固定した複数個の他方の面の有効パタ
ーンを一枚のガラス乾板に転写することを特徴とする表
および裏の両面多丁付ガラス原版の製造方法である。
（発明の詳細な
説明の製造方法の一例を示す第１図および第２図に基い
て説明する。
て説明する。
第１図は、一方の面の原版（３）を作５ｙ、ｆるところ
を示すものであり、図において、単一パターンあるいは
一単位のパターン群を形成された有効パターン板ｆｉｌ
を用い、その有効パターン（１ａ）を大型のガラス乾板
（２）の上に僅数個形成する。かくするには、大型のガ
ラス乾板（２）の左側にまず有効パターン（１ａ）を転
写し１次にガラス乾板（２）の右側に有効パターン（１
ａ）あるいは有効パターンとは別種の有効パターンを転
写するという複数回の露光操作を行なえば良く、現像す
ることにより、大型のガラス乾板（２）の左右に有効パ
ターン（２ａ）（２ｂ）が形成され、一方の面の原版（
３１となるものである。
を示すものであり、図において、単一パターンあるいは
一単位のパターン群を形成された有効パターン板ｆｉｌ
を用い、その有効パターン（１ａ）を大型のガラス乾板
（２）の上に僅数個形成する。かくするには、大型のガ
ラス乾板（２）の左側にまず有効パターン（１ａ）を転
写し１次にガラス乾板（２）の右側に有効パターン（１
ａ）あるいは有効パターンとは別種の有効パターンを転
写するという複数回の露光操作を行なえば良く、現像す
ることにより、大型のガラス乾板（２）の左右に有効パ
ターン（２ａ）（２ｂ）が形成され、一方の面の原版（
３１となるものである。
一般にガラス乾板は、光が照射した部分が黒色の遮光部
となるものであるから、ネガ型の感光板と宣うことがで
きる。しｆこがって、有効パターン板ｉｌ＋がポジ型パ
ターンであれば、一方の面の原版（３１のパターンはネ
ガ型となる。しかし、この一方の面のガラス原版を別の
ガラス乾板に転写すれば、（これを反転するという）ポ
ジ型の原版が得られる。もちろん有効パターン（１ａ）
がネガ型であれば、原版１３）には直ちにポジ型のパタ
ーンが形成すれろ。しかしながら、このようなポジ型、
ネガ型パターンのいずれが形す又されるかということは
、反転操作により逆転できるのであるから１本発明では
、以後のＨピ述ではこだわらないことにする。
となるものであるから、ネガ型の感光板と宣うことがで
きる。しｆこがって、有効パターン板ｉｌ＋がポジ型パ
ターンであれば、一方の面の原版（３１のパターンはネ
ガ型となる。しかし、この一方の面のガラス原版を別の
ガラス乾板に転写すれば、（これを反転するという）ポ
ジ型の原版が得られる。もちろん有効パターン（１ａ）
がネガ型であれば、原版１３）には直ちにポジ型のパタ
ーンが形成すれろ。しかしながら、このようなポジ型、
ネガ型パターンのいずれが形す又されるかということは
、反転操作により逆転できるのであるから１本発明では
、以後のＨピ述ではこだわらないことにする。
第２（ｚｌは、他方の面の原版を作成する様子を示すも
のである。図において、他方の面の有効パターン板（４
）は、第１図の一方の面の有効パターン（１ａ）の裏面
に相当するものであり、この他方の面の有効パターン板
（４）を元にして同一もしくは別種の個々に独立した複
数個の他方の面の有効パターン板（４ａ） （４ｂ）
をまず複製する。この複数個−の他方の面の有効パタ
ーン板（４ａ）（４ｂ）を、第２図（ロ）に示すように
、第１図で作成した一方の面の原版（３１（多丁付けさ
れたガラス原版）に重ねて整合する。整合するとは、下
側の一方の面の原版（３）のパターンに、他方の面の有
効パターン板（４ａ）（４ｂ）のパターンが一致するよ
うに位置合わせすることである。整合した状態が得られ
たならば。
のである。図において、他方の面の有効パターン板（４
）は、第１図の一方の面の有効パターン（１ａ）の裏面
に相当するものであり、この他方の面の有効パターン板
（４）を元にして同一もしくは別種の個々に独立した複
数個の他方の面の有効パターン板（４ａ） （４ｂ）
をまず複製する。この複数個−の他方の面の有効パタ
ーン板（４ａ）（４ｂ）を、第２図（ロ）に示すように
、第１図で作成した一方の面の原版（３１（多丁付けさ
れたガラス原版）に重ねて整合する。整合するとは、下
側の一方の面の原版（３）のパターンに、他方の面の有
効パターン板（４ａ）（４ｂ）のパターンが一致するよ
うに位置合わせすることである。整合した状態が得られ
たならば。
第２図（）→に示すように、バックアップ（５１にて複
数個の有効パターン板（４ａ、）（４ｂ）を接合固定す
る。
数個の有効パターン板（４ａ、）（４ｂ）を接合固定す
る。
接合には接着剤を用いるのが一般的であり１位置合わせ
された状態で他方の面の有効パターン板（４ａ）（４ｂ
）が固定されろ。
された状態で他方の面の有効パターン板（４ａ）（４ｂ
）が固定されろ。
この場合１両面の原版（３）および有効パターン板（４
ａ）（４ｂ）は、ガラス板を基板とするガラス原版が艮
い。ガラス原版は自己保持性をもって剛性を有し、合成
樹脂フイルノ、を基体とするフィルム原版と異なり、原
版が折曲したりすることｔ（＜。
ａ）（４ｂ）は、ガラス板を基板とするガラス原版が艮
い。ガラス原版は自己保持性をもって剛性を有し、合成
樹脂フイルノ、を基体とするフィルム原版と異なり、原
版が折曲したりすることｔ（＜。
また熱膨張率も小さいから都合が只い。
第２図（ハ）のようにバックアップ（５）に３１：り固
定された他方の面の有効パターン板（４ａ ）（４ｂ）
Ｈｌ一方の面の原版１３）から分離される。バックアッ
プ（５１は、ポリ塩化ビニル７アクリル樹脂、ポリカー
ボネート等の合成樹脂、ガラス、金属等を材料とし窓枠
のよ５１（形状を呈し、複数個の有効パターン板（４ｎ
）（４ｂ）のそれぞれの有効パターン部に相当するとこ
ろが窓部とｊ【つているものである。
定された他方の面の有効パターン板（４ａ ）（４ｂ）
Ｈｌ一方の面の原版１３）から分離される。バックアッ
プ（５１は、ポリ塩化ビニル７アクリル樹脂、ポリカー
ボネート等の合成樹脂、ガラス、金属等を材料とし窓枠
のよ５１（形状を呈し、複数個の有効パターン板（４ｎ
）（４ｂ）のそれぞれの有効パターン部に相当するとこ
ろが窓部とｊ【つているものである。
第２図（ハ）のようにバックアップ（５）により固定さ
れた他方の面の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）の有効
パターン部は、第６図に示すようなプリンターにより大
型のガラス乾板（７）に一括転写することによって、他
方の面の多丁付原版（６）も完Ｆｆｊ、ｆる。
れた他方の面の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）の有効
パターン部は、第６図に示すようなプリンターにより大
型のガラス乾板（７）に一括転写することによって、他
方の面の多丁付原版（６）も完Ｆｆｊ、ｆる。
図面の第３図に基いて詳細に説明′ｆろと、プリンター
ベッド１１１１上にガラス乾板（７）を載置し、その感
光層（７ａ）と対向してパターン層が位置するように複
数個の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）をガラス乾板（
７）上に重ねる。複数個の有効パターン板（４ａ）（４
ｂ）は窓枠状のバックアップ（５１により一体に固着し
たものである。真空吸引用の可撓性シーＨ８１は、その
外端を保持枠（５→）に固定し、内端をバックアップ（
５）に固定する。第４図に、可撓性シー［８１と他方の
面の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）の位置関係を示す
。図によれば、可撓性シー日８）の窓あき部が露光部に
相当することが明らかである。
ベッド１１１１上にガラス乾板（７）を載置し、その感
光層（７ａ）と対向してパターン層が位置するように複
数個の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）をガラス乾板（
７）上に重ねる。複数個の有効パターン板（４ａ）（４
ｂ）は窓枠状のバックアップ（５１により一体に固着し
たものである。真空吸引用の可撓性シーＨ８１は、その
外端を保持枠（５→）に固定し、内端をバックアップ（
５）に固定する。第４図に、可撓性シー［８１と他方の
面の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）の位置関係を示す
。図によれば、可撓性シー日８）の窓あき部が露光部に
相当することが明らかである。
可撓性シート（８）に付設された真空排気管（１０）を
通じて、真空吸引を行なえば、当然ながら、可撓性シー
トにより被覆されたガラス乾板１９）およびバタ露光の
ための光源は、プリンターの上方に配置されろ。露光後
、ガラス乾板（７１を現像することにより、他方の面の
多丁付原版が得られろ。
通じて、真空吸引を行なえば、当然ながら、可撓性シー
トにより被覆されたガラス乾板１９）およびバタ露光の
ための光源は、プリンターの上方に配置されろ。露光後
、ガラス乾板（７１を現像することにより、他方の面の
多丁付原版が得られろ。
以上の第１図および第２図では多丁付された有効パター
ンはそれぞれ同一のパターンという印象を与えるが１本
発明では多丁付された有効パターンが別種のものであっ
てもさしつかえない。要は。
ンはそれぞれ同一のパターンという印象を与えるが１本
発明では多丁付された有効パターンが別種のものであっ
てもさしつかえない。要は。
表裏のパターンの位置関係が正確に一致することが大切
である。
である。
（発明の効果）
本発明は以上のようｊｃものであり１本発明によれば、
基本的に一枚付けの原稿パターンを大型のガラス乾板に
多丁付けするものであり、パターンジェネレーター等の
描画装置にて複数個の原稿パターンを遂−描画するのと
は異なり、描画装置自体の描画面積の制約が無（、また
描画装置を長時間独占使用する弊害もない。
基本的に一枚付けの原稿パターンを大型のガラス乾板に
多丁付けするものであり、パターンジェネレーター等の
描画装置にて複数個の原稿パターンを遂−描画するのと
は異なり、描画装置自体の描画面積の制約が無（、また
描画装置を長時間独占使用する弊害もない。
また１本発明では、表裏両面の原版のパターンを整合さ
せるという難点も解決している。ひとつは、伸縮性の少
ない、折曲することのないガラス乾板を用いた製造方法
であることにも依るが、まず、一方の原版のパターンと
整合するように他方の面の複数個の有効パターン板を重
ねて位置合わせする工程があることがあげられろ。
せるという難点も解決している。ひとつは、伸縮性の少
ない、折曲することのないガラス乾板を用いた製造方法
であることにも依るが、まず、一方の原版のパターンと
整合するように他方の面の複数個の有効パターン板を重
ねて位置合わせする工程があることがあげられろ。
さらに付は加えれば、本発明に用いる第６図のプリンタ
ーによれば、真空密着するための可撓性シート（８）が
露光部において中抜きになっているので、ガラス乾板（
７）や複数個の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）の中央
部に具空圧が付力されず、したがっテカラス乾板（７）
等の湾曲によりパターンにズレな生じろことが無い。し
かも、収縮応力の発生源となる可撓性シート（８）の中
央部が存在しないので複数個の有効パターン板（４ａ）
（４ｂ）が真空密着中に所定位置から中央方向ヘミクロ
ンオーダーのズレな生じろことも防止されている。
ーによれば、真空密着するための可撓性シート（８）が
露光部において中抜きになっているので、ガラス乾板（
７）や複数個の有効パターン板（４ａ）（４ｂ）の中央
部に具空圧が付力されず、したがっテカラス乾板（７）
等の湾曲によりパターンにズレな生じろことが無い。し
かも、収縮応力の発生源となる可撓性シート（８）の中
央部が存在しないので複数個の有効パターン板（４ａ）
（４ｂ）が真空密着中に所定位置から中央方向ヘミクロ
ンオーダーのズレな生じろことも防止されている。
以上のように、本発明の多丁付ガラス原版の製造方法に
よれば、多丁付された各パターンの表裏両面の位置関係
が正確に一致し、実用上優れた両面多丁付ガラス原版が
得られるのである。
よれば、多丁付された各パターンの表裏両面の位置関係
が正確に一致し、実用上優れた両面多丁付ガラス原版が
得られるのである。
図面は１本発明の多丁付ガラス原版の製造方法の一実施
例を示し、第１図（イ）（口１は一方の面の原版を作成
するところを示ｆ説明図、第２図（イ）〜（ニ）は。 他方の面の原版を作Ｆ１ｉ、ｆろ様子を示す説明図であ
り、第６図は１本発明に用いるプリンターの一例を示す
説明部品断面図、第４図は１本発明に用いる真空吸引用
の可撓性シートと複数個の他方の面の有効パターン板の
関係を示す斜視図である。 Ｉｌｌ・・・有効パターン板 （２）・・・ガラス乾板 （３１・・・一方の面の原版 （４１・・他方の面の有効パターン板 （５）・・・バノクアノグ （６）・・・使方の面の原版
例を示し、第１図（イ）（口１は一方の面の原版を作成
するところを示ｆ説明図、第２図（イ）〜（ニ）は。 他方の面の原版を作Ｆ１ｉ、ｆろ様子を示す説明図であ
り、第６図は１本発明に用いるプリンターの一例を示す
説明部品断面図、第４図は１本発明に用いる真空吸引用
の可撓性シートと複数個の他方の面の有効パターン板の
関係を示す斜視図である。 Ｉｌｌ・・・有効パターン板 （２）・・・ガラス乾板 （３１・・・一方の面の原版 （４１・・他方の面の有効パターン板 （５）・・・バノクアノグ （６）・・・使方の面の原版
Claims (1)
- 複数回の露光により有効パターンを多丁付けした一方の
面のガラス原版に対して、個々に独立した複数個の他方
の面の有効パターン板を重ねて整合させ、整合した状態
の複数個の他方の面の有効パターン板をバックアップに
よってその位置関係にて接合固定したあと一方の面の原
版から分離し、しかる後、前記バックアップにて接合固
定した複数個の他方の面の有効パターンを一枚のガラス
乾板に転写することを特徴とする表および裏の両面多丁
付ガラス原版の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59236441A JPS61114242A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 多丁付ガラス原版の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59236441A JPS61114242A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 多丁付ガラス原版の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114242A true JPS61114242A (ja) | 1986-05-31 |
| JPS6323542B2 JPS6323542B2 (ja) | 1988-05-17 |
Family
ID=17000798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59236441A Granted JPS61114242A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 多丁付ガラス原版の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61114242A (ja) |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP59236441A patent/JPS61114242A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6323542B2 (ja) | 1988-05-17 |
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