JPS61104309U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61104309U JPS61104309U JP18976084U JP18976084U JPS61104309U JP S61104309 U JPS61104309 U JP S61104309U JP 18976084 U JP18976084 U JP 18976084U JP 18976084 U JP18976084 U JP 18976084U JP S61104309 U JPS61104309 U JP S61104309U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- thin film
- work function
- air counter
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示した説明図、第
２図は第１図における空気カウンタ及び計測回路
の具体例を示した説明図、第３図は空気カウンタ
の動作信号波形図、第４，５図は本考案の他の実
施例を空気カウンタ部分について示した説明図、
第６，７，８図は本考案による計測状態を示した
説明図、第９図は第８図の実施例で用いるフアイ
バー支持スタンドの他の実施例を示した説明図、
第１０図は複数の空気カウンタに共通の光源装置
を使用した本考案の他の実施例を示した説明図、
第１１図は従来の空気カウンタと光源装置の配置
構成を示した説明図である。 １：空気カウンタ、２：試料、３ａ：試料本体
、３ｂ：薄膜、４：光源装置、５：光源、６：分
光器、７：スリツト、１０：光フアイバー、１１
：計測回路、１２：信号ケーブル、１３：ケース
、１４：窓、１５：陽極、１６：高圧電源、１７
：第１格子電極、１８：第２格子電極、１９：増
幅器、２０：第１パルス発生器、２１：第２パル
ス発生器、２２：計数手段、２３：演算手段、２
４：表示手段、２５：遮光板、２６：計測ユニツ
ト、２７，３０：フレキシブルチユーブ、２８，
３１：ホルダー、２９，３２：スタンド、３３：
垂直ポスト、３４：アーム、３５：アームジヨイ
ント、３６：計測対象物。
２図は第１図における空気カウンタ及び計測回路
の具体例を示した説明図、第３図は空気カウンタ
の動作信号波形図、第４，５図は本考案の他の実
施例を空気カウンタ部分について示した説明図、
第６，７，８図は本考案による計測状態を示した
説明図、第９図は第８図の実施例で用いるフアイ
バー支持スタンドの他の実施例を示した説明図、
第１０図は複数の空気カウンタに共通の光源装置
を使用した本考案の他の実施例を示した説明図、
第１１図は従来の空気カウンタと光源装置の配置
構成を示した説明図である。 １：空気カウンタ、２：試料、３ａ：試料本体
、３ｂ：薄膜、４：光源装置、５：光源、６：分
光器、７：スリツト、１０：光フアイバー、１１
：計測回路、１２：信号ケーブル、１３：ケース
、１４：窓、１５：陽極、１６：高圧電源、１７
：第１格子電極、１８：第２格子電極、１９：増
幅器、２０：第１パルス発生器、２１：第２パル
ス発生器、２２：計数手段、２３：演算手段、２
４：表示手段、２５：遮光板、２６：計測ユニツ
ト、２７，３０：フレキシブルチユーブ、２８，
３１：ホルダー、２９，３２：スタンド、３３：
垂直ポスト、３４：アーム、３５：アームジヨイ
ント、３６：計測対象物。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 試料本体の光電的仕事関数より大きい光電的仕
事関数を有する薄膜を被覆してなる試料に、試料
本体の光電的仕事関数以上で薄膜の光電的仕事関
数未満のエネルギーを試料表面への光の照射で与
えて試料本体から電子を放出させ、該放出電子の
内の薄膜を通り抜けた電子のみを空気カウンタで
検出して薄膜の膜厚を計測する膜厚計測装置に於
いて、 前記空気カウンタから光源装置を分離配置し、
該光源装置からの光を光フアイバーで導いて前記
空気カウンタに相対した試料部位に照射したこと
を特徴とする膜厚計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18976084U JPS61104309U (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18976084U JPS61104309U (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104309U true JPS61104309U (ja) | 1986-07-02 |
Family
ID=30747208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18976084U Pending JPS61104309U (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61104309U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262005A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Rikagaku Kenkyusho | 膜厚計測方法 |
| JPS6339603U (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-15 |
-
1984
- 1984-12-14 JP JP18976084U patent/JPS61104309U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262005A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Rikagaku Kenkyusho | 膜厚計測方法 |
| JPS6339603U (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-15 |
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