JPS61104245A - オンラインｘ線回折装置 - Google Patents
オンラインｘ線回折装置Info
- Publication number
- JPS61104245A JPS61104245A JP22409784A JP22409784A JPS61104245A JP S61104245 A JPS61104245 A JP S61104245A JP 22409784 A JP22409784 A JP 22409784A JP 22409784 A JP22409784 A JP 22409784A JP S61104245 A JPS61104245 A JP S61104245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- slit
- diffraction
- ray
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
例えば圧延鋼板の＠造工程中にお−て〜その鋼板中にお
けるオーステナイトの量を測定する場合〜あるーは合金
化さｎた亜鉛鍍金日板における鋸金層の合金化度、従っ
て鉄の濃度を個定する場合等にオンラインＸ線回折装置
が用いられる◎すなわち圧延さ九た試料の帯状鋼板を一
定の速度で走行させると同時にその試料の表面に所定の
波長のＸ線を入射させて、一定の方向へ回折した）：線
の強度を測定することＫよリーオーステナイトの量ある
ーは上記合金化度等を検出するものである口このような
オンラインＸ線回折装置にお−てｒｌ−１Ｘ線源として
通常は銅、コバルトまたｔｓ７ａ−五等をターゲットと
したＸ線管を用−て、そのＸａ線を利用する。また測定
ヘッド部の幾何学的条件および゛試料の状態等から試料
面に対するＸ線の入射角並びに回折Ｘ線の取出角を出来
るだけ大きくする必要がある。しかし試料の回折格子定
数ｄおよびＸ線の波長ｌが決まると回折角＃はブラッグ
の式２ｄｊｊｓ＃−畦（−は正の整数）によって定まり
・波長１を大きくすることによって９も大きくなる。従
って上記入射角および取出角を大きくするためにりｇ−
ムをターゲットとしたＸｉｌ管を用−ることが多い。か
つ前述のようなオンラインの測定にお−では走行する帯
状銅板等の試料が常時波打って上下に変動する。このた
めＸ線源から試料面におけるＸ＠の入射点までの距Ｓ〜
並びＫその入射点から回折！＠の検出器までの距離が常
時変動して一空気によるＸ線の吸収量が変化する口従っ
て試料表面に対するＸ線の入射角および取出角を大きく
しただけでは上述のようなパスラインの変動にもＬ賃！
≦１シー−・ル −４− Ｌ ｚ ／−と≧−−−−−
−−−−−−−−−−人□□□□□□□□□□□：＝−
一一一一一一一−−一一一一−−一一一一−−−−−−
−−−−−−−−一一一一一一一一一一一一一一一一一
一一一一一一一−とが不可能で・空気によるＸ線の吸収
散乱によって誠本を生ずる。本発明はオンラインＸ線回
折装置におけ力この誤差を除去しようとする−のである
。
けるオーステナイトの量を測定する場合〜あるーは合金
化さｎた亜鉛鍍金日板における鋸金層の合金化度、従っ
て鉄の濃度を個定する場合等にオンラインＸ線回折装置
が用いられる◎すなわち圧延さ九た試料の帯状鋼板を一
定の速度で走行させると同時にその試料の表面に所定の
波長のＸ線を入射させて、一定の方向へ回折した）：線
の強度を測定することＫよリーオーステナイトの量ある
ーは上記合金化度等を検出するものである口このような
オンラインＸ線回折装置にお−てｒｌ−１Ｘ線源として
通常は銅、コバルトまたｔｓ７ａ−五等をターゲットと
したＸ線管を用−て、そのＸａ線を利用する。また測定
ヘッド部の幾何学的条件および゛試料の状態等から試料
面に対するＸ線の入射角並びに回折Ｘ線の取出角を出来
るだけ大きくする必要がある。しかし試料の回折格子定
数ｄおよびＸ線の波長ｌが決まると回折角＃はブラッグ
の式２ｄｊｊｓ＃−畦（−は正の整数）によって定まり
・波長１を大きくすることによって９も大きくなる。従
って上記入射角および取出角を大きくするためにりｇ−
ムをターゲットとしたＸｉｌ管を用−ることが多い。か
つ前述のようなオンラインの測定にお−では走行する帯
状銅板等の試料が常時波打って上下に変動する。このた
めＸ線源から試料面におけるＸ＠の入射点までの距Ｓ〜
並びＫその入射点から回折！＠の検出器までの距離が常
時変動して一空気によるＸ線の吸収量が変化する口従っ
て試料表面に対するＸ線の入射角および取出角を大きく
しただけでは上述のようなパスラインの変動にもＬ賃！
≦１シー−・ル −４− Ｌ ｚ ／−と≧−−−−−
−−−−−−−−−−人□□□□□□□□□□□：＝−
一一一一一一一−−一一一一−−一一一一−−−−−−
−−−−−−−−一一一一一一一一一一一一一一一一一
一一一一一一一−とが不可能で・空気によるＸ線の吸収
散乱によって誠本を生ずる。本発明はオンラインＸ線回
折装置におけ力この誤差を除去しようとする−のである
。
本発明の装置は、試料の表面位置がこの表面と直角な方
向へ移動する場合において、その試料に平行Ｘ線を所定
の角度で入射させ、かつ所定の方向へ回折したＸ線を検
出すると共に回折Ｘ線検出器の前面に例えば檜形の窓を
有するスリットを設けることＫより、江′料表面位置の
変動に伴う回折Ｘ線の移動に応じてその検出効率が変化
するようＫしたものである。すなわち試料の表面位置が
移動すると、Ｘ線源から試料面までの距離並びに試、斜
面からＸ線検出器までの距離が変化するため、吸収散乱
の割合が変化する。この割合は上記距離の変化ｋＪｉ例
１−１かつ距離すなわちパスラインの変化は回折Ｘ線の
位置の変化に対応するから１通常は前述のようにスリッ
トの窓をほぼズに形にす４つで、Ｉ請ψへ也話ｒｊ
コ」トーーーＸ線強度の検出誤差を防止し得る作用効果
がある０第１図は本発明実施例の構成を示した図で、例
えば残留オーステナイトの量を測定しようとするＶ造工
程中の帯状鋼板を試料とし、この試料１は矢印αのよう
に一定の速度で走行している口従って上記試料１は一般
ＫｔａＩＪｌおよびｆで示したように常時揺動してその
表面の位置が該表面と直角・な方向へ変動する。このよ
うな試料ｌの上部に設けた基台２に例えばクロームター
ゲットのｘＩｉｌｉｌ管３よりなるＸ線源とその前面に
配置したソーラースリット６を設けである。第２図、第
３図はこのスリット６のＸ−Ｙ断面を例示したものであ
る口これに伴ってそのＸ線通路中の空気によるＸ線の一
スリット４を介して試料１に夕ａ−ムのｇａ線を図のよ
うに例えば６０度の角度で入射させる口その入射ｘ綜Ｐ
の一部は試料面で回折するから一定の方向、例えば試料
面と４５度の角度をなす方向へ回折Ｘ線グが発生し、こ
のＸ線ｆがソーラースリット６を通って検出器５で検出
される。しかし試料１が鎖線１′あるーはｌでボしたよ
うに移動すると一回折ＸＨｑは点線ｑ′あるいはｌ′で
示したように移動するから、前記入射Ｘ線ｐおよび回折
ＸＷ；Ａ量が空気中を通過する距離すなわちパスライン
が変化する口このため空気によるＸ線の吸収散乱の度合
が変化して検出されるＸ線の強度に変動を生ずる。
向へ移動する場合において、その試料に平行Ｘ線を所定
の角度で入射させ、かつ所定の方向へ回折したＸ線を検
出すると共に回折Ｘ線検出器の前面に例えば檜形の窓を
有するスリットを設けることＫより、江′料表面位置の
変動に伴う回折Ｘ線の移動に応じてその検出効率が変化
するようＫしたものである。すなわち試料の表面位置が
移動すると、Ｘ線源から試料面までの距離並びに試、斜
面からＸ線検出器までの距離が変化するため、吸収散乱
の割合が変化する。この割合は上記距離の変化ｋＪｉ例
１−１かつ距離すなわちパスラインの変化は回折Ｘ線の
位置の変化に対応するから１通常は前述のようにスリッ
トの窓をほぼズに形にす４つで、Ｉ請ψへ也話ｒｊ
コ」トーーーＸ線強度の検出誤差を防止し得る作用効果
がある０第１図は本発明実施例の構成を示した図で、例
えば残留オーステナイトの量を測定しようとするＶ造工
程中の帯状鋼板を試料とし、この試料１は矢印αのよう
に一定の速度で走行している口従って上記試料１は一般
ＫｔａＩＪｌおよびｆで示したように常時揺動してその
表面の位置が該表面と直角・な方向へ変動する。このよ
うな試料ｌの上部に設けた基台２に例えばクロームター
ゲットのｘＩｉｌｉｌ管３よりなるＸ線源とその前面に
配置したソーラースリット６を設けである。第２図、第
３図はこのスリット６のＸ−Ｙ断面を例示したものであ
る口これに伴ってそのＸ線通路中の空気によるＸ線の一
スリット４を介して試料１に夕ａ−ムのｇａ線を図のよ
うに例えば６０度の角度で入射させる口その入射ｘ綜Ｐ
の一部は試料面で回折するから一定の方向、例えば試料
面と４５度の角度をなす方向へ回折Ｘ線グが発生し、こ
のＸ線ｆがソーラースリット６を通って検出器５で検出
される。しかし試料１が鎖線１′あるーはｌでボしたよ
うに移動すると一回折ＸＨｑは点線ｑ′あるいはｌ′で
示したように移動するから、前記入射Ｘ線ｐおよび回折
ＸＷ；Ａ量が空気中を通過する距離すなわちパスライン
が変化する口このため空気によるＸ線の吸収散乱の度合
が変化して検出されるＸ線の強度に変動を生ずる。
第４因の直ｇｓはＸ線のパスラインを４０ｏｍ島とした
場合におけるその変化分りと、前記ソーラースリット６
の２を祷形でなく、従来の通り矩形にした場合における
検出器５の出力Ｍとの関係を示したものである。また直
線Ｔは回折Ｘ線の取出角が９０度の場合で・他の条件は
直線８と同一である。
場合におけるその変化分りと、前記ソーラースリット６
の２を祷形でなく、従来の通り矩形にした場合における
検出器５の出力Ｍとの関係を示したものである。また直
線Ｔは回折Ｘ線の取出角が９０度の場合で・他の条件は
直線８と同一である。
このような装置にお−で、Ｘ線管３からソーラの影響か
生ずる。
生ずる。
かつ第１図によって明らかなように試料１の位置かｌ′
あるいは１″のように移動すると、回折ｘｇ４ｑの位置
はｌ・、Ｊｒのように平行移動を生ずる。従って本発明
はこの現象を利用して前述の強度変化を補償したもので
一検出器５の前面に設けたソーラースリット６の窓を第
２図または第３図に示したように身形に形成しである口
このため基準位置の回折ｘａｑが〆のように移動して、
Ｘ線のパスラインが短縮すると１回折Ｘ線ｑ′が怪形ス
リット６における短かり底辺に近い部分を通過するよう
になって、その通過率が低下する□また回折Ｘ線９がｉ
ｌのように移動してパスラインが坩大すると、回折Ｘ％
ｆ′Ｆｉ祷形スリット６における長い底辺に近一部分を
通過して透過率か上昇する。すなわちパスラインの変化
によって空気によるＸ線の吸収散乱が増減すると、スリ
ット６の透過率がこれを補償するように変化する０この
ため上記スリットをスリット６で補償して回折１８強度
の測定値に及ぼす影響を除去することができる口 なお上記実施例はソーラースリット６を稜形に形成して
パスラインの変動を補償する場合について説明したが、
例えばソーラースリットの入射口あるいはＸ線検出器の
入射窓等に＾を形の窓を有するスリット板を配置するか
・あるいはソーラースリットの各間隙にその間隙の位置
に対応した数の遮蔽体を挿入する等の手段によっても同
様の作用効果を得ることができる。またパスラインの変
化によるＸ線の空気吸収は回折角によって相違するから
、その各回折角に応じて複数個のｘＢ検出器を設立する
場合は、各検出器毎にそれぞれ員なるスリットを設ける
。
あるいは１″のように移動すると、回折ｘｇ４ｑの位置
はｌ・、Ｊｒのように平行移動を生ずる。従って本発明
はこの現象を利用して前述の強度変化を補償したもので
一検出器５の前面に設けたソーラースリット６の窓を第
２図または第３図に示したように身形に形成しである口
このため基準位置の回折ｘａｑが〆のように移動して、
Ｘ線のパスラインが短縮すると１回折Ｘ線ｑ′が怪形ス
リット６における短かり底辺に近い部分を通過するよう
になって、その通過率が低下する□また回折Ｘ線９がｉ
ｌのように移動してパスラインが坩大すると、回折Ｘ％
ｆ′Ｆｉ祷形スリット６における長い底辺に近一部分を
通過して透過率か上昇する。すなわちパスラインの変化
によって空気によるＸ線の吸収散乱が増減すると、スリ
ット６の透過率がこれを補償するように変化する０この
ため上記スリットをスリット６で補償して回折１８強度
の測定値に及ぼす影響を除去することができる口 なお上記実施例はソーラースリット６を稜形に形成して
パスラインの変動を補償する場合について説明したが、
例えばソーラースリットの入射口あるいはＸ線検出器の
入射窓等に＾を形の窓を有するスリット板を配置するか
・あるいはソーラースリットの各間隙にその間隙の位置
に対応した数の遮蔽体を挿入する等の手段によっても同
様の作用効果を得ることができる。またパスラインの変
化によるＸ線の空気吸収は回折角によって相違するから
、その各回折角に応じて複数個のｘＢ検出器を設立する
場合は、各検出器毎にそれぞれ員なるスリットを設ける
。
＃；１図は本発明実旅例の構成を示した図、第２図は第
１図におけるＸ−Ｙ断面図、第３図は第１図のＸ−Ｙ断
面の他の例を示した図、第４図は本２ｉｉ明の原理を説
明するための線図である。なお図におりて、１は試料−
２は基台、３はＸ線管為４はソーラースリット、５はｘ
ａ 検出５ ｓ ６ｔ；ｊ ソーラースリットである。 特許呂願人 理学電機工業株式会社 １ｉｊ Ｆ−ｍ−！ 代通人 弁理士益田曲也：ｌ−″−・・１合二一一二
１図におけるＸ−Ｙ断面図、第３図は第１図のＸ−Ｙ断
面の他の例を示した図、第４図は本２ｉｉ明の原理を説
明するための線図である。なお図におりて、１は試料−
２は基台、３はＸ線管為４はソーラースリット、５はｘ
ａ 検出５ ｓ ６ｔ；ｊ ソーラースリットである。 特許呂願人 理学電機工業株式会社 １ｉｊ Ｆ−ｍ−！ 代通人 弁理士益田曲也：ｌ−″−・・１合二一一二
Claims (1)
- 表面の位置が該表面と直角な方向へ変動する試料におけ
る上記表面に所定の波長の平行Ｘ線を一定の角度で入射
させるＸ線源と、上記試料から一定の方向へ回折した平
行Ｘ線が入射するように設置されたＸ線検出器と、前記
試料表面の位置変動に伴う上記回折Ｘ線の位置変動に応
じて上記Ｘ線検出器に入射する回折Ｘ線の量が変化する
ように形成されたスリットとを具備したことを特徴とす
るオンラインＸ線回折装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22409784A JPS61104245A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | オンラインｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22409784A JPS61104245A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | オンラインｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104245A true JPS61104245A (ja) | 1986-05-22 |
| JPH0550699B2 JPH0550699B2 (ja) | 1993-07-29 |
Family
ID=16808493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22409784A Granted JPS61104245A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | オンラインｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61104245A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55158544A (en) * | 1979-05-29 | 1980-12-10 | Kawasaki Steel Corp | On-line measuring method of and apparatus for aggregation structure |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP22409784A patent/JPS61104245A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55158544A (en) * | 1979-05-29 | 1980-12-10 | Kawasaki Steel Corp | On-line measuring method of and apparatus for aggregation structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0550699B2 (ja) | 1993-07-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |