JPS61102042U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61102042U JPS61102042U JP18609984U JP18609984U JPS61102042U JP S61102042 U JPS61102042 U JP S61102042U JP 18609984 U JP18609984 U JP 18609984U JP 18609984 U JP18609984 U JP 18609984U JP S61102042 U JPS61102042 U JP S61102042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connection terminal
- board
- substrate
- measurement
- probe card
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例のプローブカー
ドの、第２の基板Ｂが被測定ＩＣと接触する側か
らの斜視図である。第２図は、第１図のプローブ
カードの、第２の基板Ｂ上への測定検査回路の搭
載を行う側からの斜視図である。 １，１…：接触片、２：支持枠、３，３…：接
触ソケツト、４，４…：プリント配線、５，５…
：接続ピン、６，６…：接続ピン５，５…の配線
用端子、７：支持台、８，８…：プローブ針９，
９…の配線用端子、９，９…：プローブ針、１０
，１０…：スルーホール、Ａ：第１の基板、Ｂ：
第２の基板。
ドの、第２の基板Ｂが被測定ＩＣと接触する側か
らの斜視図である。第２図は、第１図のプローブ
カードの、第２の基板Ｂ上への測定検査回路の搭
載を行う側からの斜視図である。 １，１…：接触片、２：支持枠、３，３…：接
触ソケツト、４，４…：プリント配線、５，５…
：接続ピン、６，６…：接続ピン５，５…の配線
用端子、７：支持台、８，８…：プローブ針９，
９…の配線用端子、９，９…：プローブ針、１０
，１０…：スルーホール、Ａ：第１の基板、Ｂ：
第２の基板。
Claims (1)
- 測定装置との接続端子を有する第１の基板と被
測定ＩＣと接続端子を有する第２の基板とを取外
自在に接続結合してなるプローブカードにおいて
、前記被測定ＩＣとの接続端子及び第１の基板と
の接続端子に配線され並びに測定検査回路を任意
に接続できる接続端子を設けた測定検査回路搭載
部を第２の基板上に備えたことを特徴とするプロ
ーブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18609984U JPS61102042U (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18609984U JPS61102042U (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61102042U true JPS61102042U (ja) | 1986-06-28 |
Family
ID=30743562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18609984U Pending JPS61102042U (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61102042U (ja) |
-
1984
- 1984-12-10 JP JP18609984U patent/JPS61102042U/ja active Pending