JPS61101408A - 黒鉛材の精製法及び精製装置 - Google Patents
黒鉛材の精製法及び精製装置Info
- Publication number
- JPS61101408A JPS61101408A JP59220966A JP22096684A JPS61101408A JP S61101408 A JPS61101408 A JP S61101408A JP 59220966 A JP59220966 A JP 59220966A JP 22096684 A JP22096684 A JP 22096684A JP S61101408 A JPS61101408 A JP S61101408A
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- gas
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は黒鉛材を高純度化するために行なう精製法及び
精製装置に関するものでるる。
精製装置に関するものでるる。
（従来技術）
精製処理された黒鉛材は含有する不純物が極めて少なく
、また耐熱性、化学的安定性および熱的性質に優れてい
るという特徴を有するため、半導体製造に使用されるヒ
ーターおよびルツボ、分光分析用電極、原子炉用黒鉛等
に広く使用されている。
、また耐熱性、化学的安定性および熱的性質に優れてい
るという特徴を有するため、半導体製造に使用されるヒ
ーターおよびルツボ、分光分析用電極、原子炉用黒鉛等
に広く使用されている。
これらの用途で使用される黒鉛材は高純度でなければな
らない。例えば半導体製造において黒鉛製のヒーターる
るいはルツボの純度が不充分な場合は、それからの不純
物の放出による製品の汚染のため、不良品の発生るるい
は製品歩留シの低下を招き、また分光分析用電極の場合
は９分析精度の悪化を招く結果となる。
らない。例えば半導体製造において黒鉛製のヒーターる
るいはルツボの純度が不充分な場合は、それからの不純
物の放出による製品の汚染のため、不良品の発生るるい
は製品歩留シの低下を招き、また分光分析用電極の場合
は９分析精度の悪化を招く結果となる。
従ってこれらの用途に使用される精製された黒鉛材の純
度は不純物元素１１ｉ類当たシの濃度が数ｐｐｍ以下で
、さらに全不純物濃度がｉ ｏ ｐｐｍ以下でめること
が要求されている。
度は不純物元素１１ｉ類当たシの濃度が数ｐｐｍ以下で
、さらに全不純物濃度がｉ ｏ ｐｐｍ以下でめること
が要求されている。
従来よシ黒鉛材の精製処理は９例えば第３図の横断面図
に示すよう精製装置を用いて行なっていた。第３図の従
来法では、精製する黒鉛材（図示せず）を収納した箱型
の黒鉛製ヒーター容器２を図示しないが横型電気炉の電
極間に導電性の黒鉛粉を介して設置し、黒鉛製ヒーター
容器２の周囲はコークス粉等からなる断熱材５で覆い、
また黒鉛製ヒーター容器２の底部には精製用ガスを供給
する黒鉛製のガス供給管３を、また上部には反応したガ
スを排出する黒鉛製の排気管４ｔ−それぞれ設置してい
た。なお９図において１は精製装置用電気炉の炉壁でる
る。このような精製装置を用いて黒鉛材の精製処理を行
なう場合は、まず黒鉛製ヒーター容器２に電流を流しジ
ュール発熱によシ黒鉛製ヒーター容器２１に２５００〜
２７００℃の所定温度に加熱する。次いで精製ガス供給
用黒鉛管３よシＣＣ１ｚＦｚ 、 ＣＣｌ４などのハロ
ゲン化合物からなる精製用ガスを流す。このときハロゲ
ン化合物のガスは高温雰囲気中で熱分解し、塩素ガス。
に示すよう精製装置を用いて行なっていた。第３図の従
来法では、精製する黒鉛材（図示せず）を収納した箱型
の黒鉛製ヒーター容器２を図示しないが横型電気炉の電
極間に導電性の黒鉛粉を介して設置し、黒鉛製ヒーター
容器２の周囲はコークス粉等からなる断熱材５で覆い、
また黒鉛製ヒーター容器２の底部には精製用ガスを供給
する黒鉛製のガス供給管３を、また上部には反応したガ
スを排出する黒鉛製の排気管４ｔ−それぞれ設置してい
た。なお９図において１は精製装置用電気炉の炉壁でる
る。このような精製装置を用いて黒鉛材の精製処理を行
なう場合は、まず黒鉛製ヒーター容器２に電流を流しジ
ュール発熱によシ黒鉛製ヒーター容器２１に２５００〜
２７００℃の所定温度に加熱する。次いで精製ガス供給
用黒鉛管３よシＣＣ１ｚＦｚ 、 ＣＣｌ４などのハロ
ゲン化合物からなる精製用ガスを流す。このときハロゲ
ン化合物のガスは高温雰囲気中で熱分解し、塩素ガス。
弗素ガス等ハロゲンガスとなシ、これが黒鉛材の中に浸
透し黒鉛材が含有している不純物と反応してハロゲン化
合物のガスとなって外部に排出される。所定時間精製用
ガスを流した後、精製用ガスおよび通電をストップし、
電気炉の冷却を行なう。
透し黒鉛材が含有している不純物と反応してハロゲン化
合物のガスとなって外部に排出される。所定時間精製用
ガスを流した後、精製用ガスおよび通電をストップし、
電気炉の冷却を行なう。
室温まで冷却した後、黒鉛材を電気炉から取シ出す。
ところがこの従来方法では、電気炉の冷却時特に黒鉛製
ヒーター容器周辺の温度が１０００℃以上のとき、断熱
材５のコークス粉の中に滞留していた不純物のハロゲン
化合物のガスが黒鉛製ヒーター容器２の内部に拡散した
シ、るるいは周囲のコークス粉自身の持っている不純物
が、高温雰囲気中で励起されて活性な原子となシ内部に
拡散し。
ヒーター容器周辺の温度が１０００℃以上のとき、断熱
材５のコークス粉の中に滞留していた不純物のハロゲン
化合物のガスが黒鉛製ヒーター容器２の内部に拡散した
シ、るるいは周囲のコークス粉自身の持っている不純物
が、高温雰囲気中で励起されて活性な原子となシ内部に
拡散し。
一度精製された黒鉛材を汚染するという不具合があるた
め、製品に要求される不純物濃度が年々きびしくなるこ
とに対応出来なくなって来た。
め、製品に要求される不純物濃度が年々きびしくなるこ
とに対応出来なくなって来た。
（発明の目的）
本発明の目的は、このような実情に鑑みて従来技術に見
られる上記欠点を改良して、電気炉冷却時の汚染を防ぎ
、製品歩留シの向上および要求される純度の黒鉛材を製
造しうる精製法及び精製装置を提供することにるる。
られる上記欠点を改良して、電気炉冷却時の汚染を防ぎ
、製品歩留シの向上および要求される純度の黒鉛材を製
造しうる精製法及び精製装置を提供することにるる。
（発明の構成）
本発明は、°黒鉛製ケースに黒鉛材を充填し、該黒鉛製
ケースをその周囲に間隙を設けて黒鉛製ヒーター容器内
に収納し、黒鉛製ヒーター容器を加熱し精製ガスを黒鉛
製ケースに通して黒鉛材を精製後、冷却時だ前記間隙に
精製ガス及び／又は非酸化性のガスを流す黒鉛材の精製
法並びに黒鉛材を充填しガスの出入口を有する黒鉛製ケ
ース、黒鉛製ケースを収納しガスの出入口を有する黒鉛
製ヒーター容器、精製ガス及び非酸化性ガスを導入する
ガス供給管ならびに排気管を備え、黒鉛製ケースをその
周囲に間隙を設けて黒鉛製ヒーター容器に収納し、黒鉛
製ヒーター容器の入口及び出口にガス供給管及びガス排
気管を連結した黒鉛材の精製装置に関する。
ケースをその周囲に間隙を設けて黒鉛製ヒーター容器内
に収納し、黒鉛製ヒーター容器を加熱し精製ガスを黒鉛
製ケースに通して黒鉛材を精製後、冷却時だ前記間隙に
精製ガス及び／又は非酸化性のガスを流す黒鉛材の精製
法並びに黒鉛材を充填しガスの出入口を有する黒鉛製ケ
ース、黒鉛製ケースを収納しガスの出入口を有する黒鉛
製ヒーター容器、精製ガス及び非酸化性ガスを導入する
ガス供給管ならびに排気管を備え、黒鉛製ケースをその
周囲に間隙を設けて黒鉛製ヒーター容器に収納し、黒鉛
製ヒーター容器の入口及び出口にガス供給管及びガス排
気管を連結した黒鉛材の精製装置に関する。
本発明において、黒鉛製ヒーター容器の加熱方式に制限
はないが、取９扱いの点で電気抵抗加熱方式が好ましい
。黒鉛製ヒーター容器及び黒鉛製ケースの形状９寸法は
、前記加熱方式、充填する黒鉛材の形状９寸法等によシ
適宜選定する。黒鉛製ヒーター容器内には黒鉛材を充填
した黒鉛製ケースを収納するが、黒鉛製ヒーター容器と
黒鉛製ケース外周との間に間隙を設ける。間隙の大きさ
は３０ＩＩＩＩ１１以上が好ましい。間隙が小さいと黒
鉛製ヒーター容器外から拡散してくる不純物が黒鉛製ケ
ース内にも入る場合がるる。ガス供給管は黒鉛製でめシ
、黒鉛材を精製する為に黒鉛製ヒーター容器の入口を貫
通して黒鉛製ケースの入口に連結するものは必須である
が、このほか拡散してくる不純物を前記間隙に精製ガス
及び／又は非酸化性のガスを送シ込んで黒鉛製ヒーター
容器外に排出させる為に、第１図に示すようにパージガ
ス供給管９を黒鉛製ヒーター容器２に取シ付けてもよい
。
はないが、取９扱いの点で電気抵抗加熱方式が好ましい
。黒鉛製ヒーター容器及び黒鉛製ケースの形状９寸法は
、前記加熱方式、充填する黒鉛材の形状９寸法等によシ
適宜選定する。黒鉛製ヒーター容器内には黒鉛材を充填
した黒鉛製ケースを収納するが、黒鉛製ヒーター容器と
黒鉛製ケース外周との間に間隙を設ける。間隙の大きさ
は３０ＩＩＩＩ１１以上が好ましい。間隙が小さいと黒
鉛製ヒーター容器外から拡散してくる不純物が黒鉛製ケ
ース内にも入る場合がるる。ガス供給管は黒鉛製でめシ
、黒鉛材を精製する為に黒鉛製ヒーター容器の入口を貫
通して黒鉛製ケースの入口に連結するものは必須である
が、このほか拡散してくる不純物を前記間隙に精製ガス
及び／又は非酸化性のガスを送シ込んで黒鉛製ヒーター
容器外に排出させる為に、第１図に示すようにパージガ
ス供給管９を黒鉛製ヒーター容器２に取シ付けてもよい
。
排気管も黒鉛製でろ９黒鉛製ヒーター容器の出口に連結
される。このように構成した精製装置を炉内に収納し９
周囲にコークス粉のような断熱材５を充填し９例えば黒
鉛製ヒーター容器に電流を通じて抵抗加熱を行なう。黒
鉛製ヒーター容器の加熱温度は２６００℃前後が精製の
為に好ましく。
される。このように構成した精製装置を炉内に収納し９
周囲にコークス粉のような断熱材５を充填し９例えば黒
鉛製ヒーター容器に電流を通じて抵抗加熱を行なう。黒
鉛製ヒーター容器の加熱温度は２６００℃前後が精製の
為に好ましく。
この温度でガス供給管から黒鉛製ケース内に精製ガスを
通し黒鉛材を精製する。精製ガスはノ・ロゲンガス又は
上記温度以下で分解してノーロゲンガスを生ずるハロゲ
ン化合物のガスを用いる。黒鉛製ケースを通過したガス
は黒鉛製ケースの出口を経て排気管１０から炉外に排出
される。加熱が終ると精製ガス及び／又は非酸化性のガ
スを、第１図に示すパージガス供給管９から間隙６に流
し込んだシ、第２図に示すようにガス供給管３からケー
ス８全通して出口（排気孔１１）から対流によシ間隙６
内に循環させて、黒鉛製ヒーター容器の外部から拡散し
てくる不純物全排気管から炉外に排出させながら冷却す
る。
通し黒鉛材を精製する。精製ガスはノ・ロゲンガス又は
上記温度以下で分解してノーロゲンガスを生ずるハロゲ
ン化合物のガスを用いる。黒鉛製ケースを通過したガス
は黒鉛製ケースの出口を経て排気管１０から炉外に排出
される。加熱が終ると精製ガス及び／又は非酸化性のガ
スを、第１図に示すパージガス供給管９から間隙６に流
し込んだシ、第２図に示すようにガス供給管３からケー
ス８全通して出口（排気孔１１）から対流によシ間隙６
内に循環させて、黒鉛製ヒーター容器の外部から拡散し
てくる不純物全排気管から炉外に排出させながら冷却す
る。
（作用）
以上に述べた精製方法及び精製装置によシ、黒鉛材の精
製を行ない、冷却時間隙に精製ガス及び／又は非酸化性
のガスを送シ込み、黒鉛製ヒーター容器の外部から拡散
してくる不純物を１間隙でのガスの流動によシ排気管か
ら炉の外部に排出して精製された黒鉛材の汚染を防止す
る。
製を行ない、冷却時間隙に精製ガス及び／又は非酸化性
のガスを送シ込み、黒鉛製ヒーター容器の外部から拡散
してくる不純物を１間隙でのガスの流動によシ排気管か
ら炉の外部に排出して精製された黒鉛材の汚染を防止す
る。
（実施例）
次に実施例を説明する。実施例に示される精製装置は本
発明を制限するものではない。
発明を制限するものではない。
実施例１
第１図は本発明の一実施例になる精製装置を収納した抵
抗加熱方式の横形電気炉の断面図でるる。
抗加熱方式の横形電気炉の断面図でるる。
幅４００ｍｍ５奥行４００ｍｍ及び高さ４００−の黒鉛
製ケース８を９幅５００閣、奥行５００口及び高さ５０
０ａｍの黒鉛製ヒーター容器２の中に５０−の間隙を設
けて収納した。７は支持台でδる。
製ケース８を９幅５００閣、奥行５００口及び高さ５０
０ａｍの黒鉛製ヒーター容器２の中に５０−の間隙を設
けて収納した。７は支持台でδる。
黒鉛製のガス供給管３ｔ−黒鉛製ヒーター容器２の底部
に設けた入口孔を貫通して黒鉛製ケース８の底部に設け
た入口孔に連結し、黒鉛製のノく−ジガス供給管９を黒
鉛製ヒーター容器２の底部に設けた入口孔に連結した後
この精製装置を横形電気炉に収納し、黒鉛製ケース８の
中に厚さ５０ｍｍ＋幅５０ｍｍ及び長さ１５０ｍｍの人
造黒鉛材（日立化成工業■製、商品名ＦＤ−１１）５個
を充填して排気管１０を連結した蓋をし、黒鉛製ヒータ
ー容器２にも排気管４を連結し之蓋をして、黒鉛製ヒー
ター容器２の周囲にコークス粉からなる断熱材５を充填
した。黒鉛製ヒーター容器２と横形電気炉の両電柩の間
には黒鉛粉を充填して両電極間に交流電流を通じジュー
ル発熱によシ黒鉛製ヒーター容器２を２６００℃に昇温
した後、ガス供給管３からＣＣｌｚ Ｆｚガスを毎分５
Ｉ！で５時間流して人造黒鉛材を精製した。このろと通
電を停止し、ガス供給管３からのＣＣ１ｚ Ｆｚガスの
送入を止め、窒素ガスを毎分１０Ｉ！の割合でパージガ
ス供給管９から間隙６に送入しながら冷却した。
に設けた入口孔を貫通して黒鉛製ケース８の底部に設け
た入口孔に連結し、黒鉛製のノく−ジガス供給管９を黒
鉛製ヒーター容器２の底部に設けた入口孔に連結した後
この精製装置を横形電気炉に収納し、黒鉛製ケース８の
中に厚さ５０ｍｍ＋幅５０ｍｍ及び長さ１５０ｍｍの人
造黒鉛材（日立化成工業■製、商品名ＦＤ−１１）５個
を充填して排気管１０を連結した蓋をし、黒鉛製ヒータ
ー容器２にも排気管４を連結し之蓋をして、黒鉛製ヒー
ター容器２の周囲にコークス粉からなる断熱材５を充填
した。黒鉛製ヒーター容器２と横形電気炉の両電柩の間
には黒鉛粉を充填して両電極間に交流電流を通じジュー
ル発熱によシ黒鉛製ヒーター容器２を２６００℃に昇温
した後、ガス供給管３からＣＣｌｚ Ｆｚガスを毎分５
Ｉ！で５時間流して人造黒鉛材を精製した。このろと通
電を停止し、ガス供給管３からのＣＣ１ｚ Ｆｚガスの
送入を止め、窒素ガスを毎分１０Ｉ！の割合でパージガ
ス供給管９から間隙６に送入しながら冷却した。
実施例２
第２図に示すように実施例１の精製装置でパージガス供
給管９がなく、黒鉛製ケース８の蓋に排気管１００代ｆ
ｉＫ排気孔１１を設けた精製装置に実施例１と同じ黒鉛
材を詰め実施例１と同様に横型電気炉に収納し、実施例
１と同様にして通電し２６００℃で精製した後、冷却時
ガス供給管３からＣＣ１２Ｆ２ガス（毎分５／）及び窒
素ガス（毎分２０Ｉりの混合ガスを流し、黒鉛製ヒータ
ー容器の温度が１０００℃になってから窒素ガスだけを
流した。冷却時のこれらのガスは黒鉛製ケース８の蓋に
設けられた排気孔１１から１部は直接、残部は間＠６を
循環してから排気管４から炉外に排出されるようになっ
ている。
給管９がなく、黒鉛製ケース８の蓋に排気管１００代ｆ
ｉＫ排気孔１１を設けた精製装置に実施例１と同じ黒鉛
材を詰め実施例１と同様に横型電気炉に収納し、実施例
１と同様にして通電し２６００℃で精製した後、冷却時
ガス供給管３からＣＣ１２Ｆ２ガス（毎分５／）及び窒
素ガス（毎分２０Ｉりの混合ガスを流し、黒鉛製ヒータ
ー容器の温度が１０００℃になってから窒素ガスだけを
流した。冷却時のこれらのガスは黒鉛製ケース８の蓋に
設けられた排気孔１１から１部は直接、残部は間＠６を
循環してから排気管４から炉外に排出されるようになっ
ている。
比較例
第３図の精製装置を用いて実施例と同様の精製を行なっ
た。精製方法は、まず黒鉛製ヒーター容器２が２６００
℃になつ几時、黒鉛製のガス供給管３よりｃｃｌｚＦｚ
ガスを５Ｉ！／分の割合で供給した。５時間後通電を停
止し９次いでガス供給管３からＣＣ１２Ｆ２ガス（毎分
５１り及び窒素ガス（毎分２０１りの混合ガスを１００
０℃になるまで流して冷却した。炉温が１０００’Ｃま
で低下した時ＣＣｌ２Ｆ２ガスの供給を停止し、窒素ガ
スのみを２０１！／分供給しながら室温まで冷却した。
た。精製方法は、まず黒鉛製ヒーター容器２が２６００
℃になつ几時、黒鉛製のガス供給管３よりｃｃｌｚＦｚ
ガスを５Ｉ！／分の割合で供給した。５時間後通電を停
止し９次いでガス供給管３からＣＣ１２Ｆ２ガス（毎分
５１り及び窒素ガス（毎分２０１りの混合ガスを１００
０℃になるまで流して冷却した。炉温が１０００’Ｃま
で低下した時ＣＣｌ２Ｆ２ガスの供給を停止し、窒素ガ
スのみを２０１！／分供給しながら室温まで冷却した。
実施例１，２および比較例において精製した黒鉛材の不
純物濃度の測定結果を第１表に示す。第１表の結果よシ
実厖例１，２は比較例に対して黒鉛材の不純物濃度が極
めて低くなっていることが判明した。
純物濃度の測定結果を第１表に示す。第１表の結果よシ
実厖例１，２は比較例に対して黒鉛材の不純物濃度が極
めて低くなっていることが判明した。
第 １ 茨 （単位： ｐｐｍ）
（発明の効果）
本発明になる黒鉛材の精製方法及び精製装置によれば、
従来の黒鉛材の精製法及び精製装置の場合に比較して極
めて不純物の少ない黒鉛材を得ることが出来、その効果
は非常に大きい。
従来の黒鉛材の精製法及び精製装置の場合に比較して極
めて不純物の少ない黒鉛材を得ることが出来、その効果
は非常に大きい。
第１図は本発明の一実施例ばなる精製装置を収納した電
気炉の断面図、第２図は本発明他の実施ハ 例になる精製装置を収納した電気炉の断面図、第３図は
従来の精製装置を示す断面図でるる。 符号の説明 １・・・炉壁 ２・・・黒鉛′ａζ−ター容器 ３・・・ガス供給ｆ ４・・・排気管５・・・
断熱材 ６・・・間隙７・・・支持台
８・・・黒鉛製ケース９・・・パージガス供給管 ｌＯ・・・排気管 １１・・・排気孔第 １ 口 ２ −−−−−一邑釦覧ヒー９− ”；ｉ” ’ｋｒ３
−−−−ｍ−η°′人イ夾ｙ＞’ｆ４、 ｔＯ−−
−−Ｔｅ１−？Ｌ菅 ｔ−−−−−−−ｒ：隋、 ｇ −−−−−一黒鉛覧ブース １１−−−−−− （枦！Ｌ托
気炉の断面図、第２図は本発明他の実施ハ 例になる精製装置を収納した電気炉の断面図、第３図は
従来の精製装置を示す断面図でるる。 符号の説明 １・・・炉壁 ２・・・黒鉛′ａζ−ター容器 ３・・・ガス供給ｆ ４・・・排気管５・・・
断熱材 ６・・・間隙７・・・支持台
８・・・黒鉛製ケース９・・・パージガス供給管 ｌＯ・・・排気管 １１・・・排気孔第 １ 口 ２ −−−−−一邑釦覧ヒー９− ”；ｉ” ’ｋｒ３
−−−−ｍ−η°′人イ夾ｙ＞’ｆ４、 ｔＯ−−
−−Ｔｅ１−？Ｌ菅 ｔ−−−−−−−ｒ：隋、 ｇ −−−−−一黒鉛覧ブース １１−−−−−− （枦！Ｌ托
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、黒鉛製ケースに黒鉛材を充填し、該黒鉛製ケースを
その周囲に間隙を設けて黒鉛製ヒーター容器内に収納し
、黒鉛製ヒーター容器を加熱し、精製ガスを黒鉛製ケー
スに通して黒鉛材を精製後、冷却時に前記間隙に精製ガ
ス及び／又は非酸化性のガスを流すことを特徴とする黒
鉛材の精製法。 ２、黒鉛材を充填しガスの出入口を有する黒鉛製ケース
、黒鉛製ケースを収納しガスの出入口を有する黒鉛製ヒ
ーター容器、精製ガス及び非酸化性ガスを導入するガス
供給管ならびに排気管を備え、黒鉛製ケースをその周囲
に間隙を設けて黒鉛製ヒーター容器に収納し、黒鉛製ヒ
ーター容器の入口及び出口にガス供給管及びガス排気管
を連結した黒鉛材の精製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59220966A JPS61101408A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 黒鉛材の精製法及び精製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59220966A JPS61101408A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 黒鉛材の精製法及び精製装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101408A true JPS61101408A (ja) | 1986-05-20 |
| JPH0526722B2 JPH0526722B2 (ja) | 1993-04-19 |
Family
ID=16759342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59220966A Granted JPS61101408A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 黒鉛材の精製法及び精製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101408A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH0283205A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 | Tokai Carbon Co Ltd | 高純度黒鉛微粉の製造方法 |
| JPH0556739U (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-27 | 三菱自動車エンジニアリング株式会社 | テレスコピック・チルト式ステアリング構造 |
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| WO1994027909A1 (en) * | 1993-05-21 | 1994-12-08 | Stratmin Inc. | Process and apparatus for the purification of graphite |
| JP2004521056A (ja) * | 2000-12-26 | 2004-07-15 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 凝集した内因性点欠陥が実質的に存在しない鉄濃度の低い単結晶シリコンの製造方法および製造装置 |
| JP4096557B2 (ja) * | 2000-04-25 | 2008-06-04 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶ウエーハ及びシリコン単結晶の製造方法並びにシリコン単結晶ウエーハの製造方法 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP59220966A patent/JPS61101408A/ja active Granted
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| JPH0526722B2 (ja) | 1993-04-19 |
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