JPS6097313A - 表面状態観測装置 - Google Patents
表面状態観測装置Info
- Publication number
- JPS6097313A JPS6097313A JP20545983A JP20545983A JPS6097313A JP S6097313 A JPS6097313 A JP S6097313A JP 20545983 A JP20545983 A JP 20545983A JP 20545983 A JP20545983 A JP 20545983A JP S6097313 A JPS6097313 A JP S6097313A
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- Japan
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- opaque object
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は光拡散性物体上の不透明物体を明確に観測する
ことのできる表面状態観測装置に関するものである。
ことのできる表面状態観測装置に関するものである。
従来技術と問題点
プリント基板（ＭＳ拡散性物体）上の導体パターン（不
透明物体）を検出するのに、従来はテレビカメラ等が用
いられているが、この場合、次の理由によシ十分なＳ／
Ｎ比（基板と導体の明るさの比率）が得られなかった。
透明物体）を検出するのに、従来はテレビカメラ等が用
いられているが、この場合、次の理由によシ十分なＳ／
Ｎ比（基板と導体の明るさの比率）が得られなかった。
１）導体パターン表面がはんだの凝固表面である場合、
ブＣ沢によシ胛度が不安定となる。
ブＣ沢によシ胛度が不安定となる。
２）はんだメッキ等の白色パターンではエポキシ基板面
との十分な明度差が得られない。
との十分な明度差が得られない。
３）表面の傷等によシ影響を受ける。
また、これらの問題を改善するため、基板の裏側から照
明を行って表面層パターンをシルエットとして浮かび上
らせて観測する方式も採用されておシ、これはかなシＭ
効である。しかしながら、この方式は、基板裏面に全面
べたアース面がある場合や基板の中間層が表面側に影を
作る場合には使用でへなくなる。
明を行って表面層パターンをシルエットとして浮かび上
らせて観測する方式も採用されておシ、これはかなシＭ
効である。しかしながら、この方式は、基板裏面に全面
べたアース面がある場合や基板の中間層が表面側に影を
作る場合には使用でへなくなる。
発明の目的
本発明は上述の各種の問題点を解決するためのもので、
いかなる場合でも光拡散性物体上の不透明物体を明確に
観測、検出することのできる表面状態観測装置を提供す
ることを目的としている。
いかなる場合でも光拡散性物体上の不透明物体を明確に
観測、検出することのできる表面状態観測装置を提供す
ることを目的としている。
発明の構成
本発明では、表面に不透明物体が形成された光拡散物体
の該表面に不透明物体形成部に暗部を有し該暗部の周囲
に明部ｔ−ｉするパターンの元を投影する投影手段と、
前記明部よシ前記元拡散物体を経由して前記暗部よシ再
放射される元を観測して不透明物体を検出するテレビカ
メラ等の観測手段とよシなる構成とすることによシ上記
目的の達成を図っている。
の該表面に不透明物体形成部に暗部を有し該暗部の周囲
に明部ｔ−ｉするパターンの元を投影する投影手段と、
前記明部よシ前記元拡散物体を経由して前記暗部よシ再
放射される元を観測して不透明物体を検出するテレビカ
メラ等の観測手段とよシなる構成とすることによシ上記
目的の達成を図っている。
発明の実施例
以下、図面に関連して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明に係る表面状態観測装置の正面図で、図
中、１は投影手段、２はテレビカメラ（観測手段）、３
はテレビカメラ２に接続されたイメージ処理装置、４は
プリント板である。
中、１は投影手段、２はテレビカメラ（観測手段）、３
はテレビカメラ２に接続されたイメージ処理装置、４は
プリント板である。
投影手段１は、光源５と、コンデンサレンズ６と、マス
ク７と、投影レンズ８とよシなシ、光源５よりの元がコ
ンデンサレンズ６、マスク７ｔ−通シ投影レンズ８によ
ってプリント板８０表面に結像さり、るようになってい
る。この場合、マスク７の中心部には網状の円形マスク
パターン７ａが形成されているため、結像される）°ｃ
のパターン９は、第２図に示すように、明部１０の中心
部に暗部ＩＩが形成されたものとなる。なお、投影手段
１の光学系としては、マスクパターンを高屏像度、高コ
ントラストで対象面に結像させる必要があるため、収差
の少ないものにするとともに迷う℃全十分除去したもの
を用いることが望ましい。
ク７と、投影レンズ８とよシなシ、光源５よりの元がコ
ンデンサレンズ６、マスク７ｔ−通シ投影レンズ８によ
ってプリント板８０表面に結像さり、るようになってい
る。この場合、マスク７の中心部には網状の円形マスク
パターン７ａが形成されているため、結像される）°ｃ
のパターン９は、第２図に示すように、明部１０の中心
部に暗部ＩＩが形成されたものとなる。なお、投影手段
１の光学系としては、マスクパターンを高屏像度、高コ
ントラストで対象面に結像させる必要があるため、収差
の少ないものにするとともに迷う℃全十分除去したもの
を用いることが望ましい。
そこで、プリント板４の基板（光拡散性物体）上の導体
パターン（不透明物体）の例えばパッド部を観測する場
合には、プリント板４ｖ！？図示しないＸ、Ｙテーブル
等にょルパッド部１２が暗部１１内に入るように移動さ
せて観測を行う。この場合、暗部１１の周囲の明部１ｏ
に入射したブＣが第２図に波形矢印線で示すように基板
日に回シこんで暗部１１から再放射されるので、この部
分のり（面層パターンは影となって浮き出す。従って、
この再放射される光を対物レンズ１３ｉ通してテレビカ
メラ２によシ観測することによって、パッド部１２ｉ明
確がつ容易に検出することができる。またこの検出され
た像をイメージ処理装置３により処理（二値化処理等）
することができる。
パターン（不透明物体）の例えばパッド部を観測する場
合には、プリント板４ｖ！？図示しないＸ、Ｙテーブル
等にょルパッド部１２が暗部１１内に入るように移動さ
せて観測を行う。この場合、暗部１１の周囲の明部１ｏ
に入射したブＣが第２図に波形矢印線で示すように基板
日に回シこんで暗部１１から再放射されるので、この部
分のり（面層パターンは影となって浮き出す。従って、
この再放射される光を対物レンズ１３ｉ通してテレビカ
メラ２によシ観測することによって、パッド部１２ｉ明
確がつ容易に検出することができる。またこの検出され
た像をイメージ処理装置３により処理（二値化処理等）
することができる。
なお、再放射を観測する光学系においても、対象面の周
囲が非常に明るく照明されているため、この部分からの
元が迷光となって虚像を生じたシ観測対象のコントラス
トを減じないようにすることが必要である。
囲が非常に明るく照明されているため、この部分からの
元が迷光となって虚像を生じたシ観測対象のコントラス
トを減じないようにすることが必要である。
ところで、画像処理により像を処理する場合、明るさの
変動は二値化処理を困難にする。しかしながら、本発明
の場合は、明るさが変動した場合でも影として現われる
パターンシルエット部は同番 じ明るさく暗さ）であシ、二値化処理有利である。
変動は二値化処理を困難にする。しかしながら、本発明
の場合は、明るさが変動した場合でも影として現われる
パターンシルエット部は同番 じ明るさく暗さ）であシ、二値化処理有利である。
なお、明部１０に表面パターン１４Ａ、１４Ｂ等戸ある
場合、基板内へ侵入する）℃量が減少するが、プリント
板表面のパターンで覆われている割合は５０チ以下であ
るためこの減少の程度も５１Ｊ％以下で、実用上支障は
ない。
場合、基板内へ侵入する）℃量が減少するが、プリント
板表面のパターンで覆われている割合は５０チ以下であ
るためこの減少の程度も５１Ｊ％以下で、実用上支障は
ない。
上述の説明ではプリント板の表面パターンを検出する例
について述べたが、本発明は、基板表面に直接搭載され
る部分や基板表面の異物等の不透明物体を検出する場合
にも適用でき、またセジミツク基板上の不透明物体の検
出にも適用可能である。
について述べたが、本発明は、基板表面に直接搭載され
る部分や基板表面の異物等の不透明物体を検出する場合
にも適用でき、またセジミツク基板上の不透明物体の検
出にも適用可能である。
また、上述の説明でれマスクパターンが円形の例につい
て述べたが、必要に応じ矩形等のパターンを用い得るこ
とは勿論でおる。
て述べたが、必要に応じ矩形等のパターンを用い得るこ
とは勿論でおる。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれは、元拡散性物体上の
不透明物体を明確に観測、検出することが可能で、二値
化処理上有利である。実験の結果では、導体パターンと
基板との明るさの比２４コ、が、従来（普通の光で対象
ｉｆ＋ｉを照射した場合）２．５だったものが本発明の
場合は４になることが？ｉ’（Ｉ＋かめられている。
不透明物体を明確に観測、検出することが可能で、二値
化処理上有利である。実験の結果では、導体パターンと
基板との明るさの比２４コ、が、従来（普通の光で対象
ｉｆ＋ｉを照射した場合）２．５だったものが本発明の
場合は４になることが？ｉ’（Ｉ＋かめられている。
図面は本発明に係る表面状態観測装置６の実施例管示す
もので、第１図は装置の正面図、第２図は入射光結像及
び再放射光発生要領説明図である。 図中、１鉱投影手段、２はテレビカメラ（観測手段）、
３はイメージ処理装置、４はプリント板、７はマスク、
７ａはマスクパターン、 ９は投影光のパターン、１０
は明部、１１は暗部、１２はパッド部（不透明物体）で
ある。 特許出願人 富士通株式会社
もので、第１図は装置の正面図、第２図は入射光結像及
び再放射光発生要領説明図である。 図中、１鉱投影手段、２はテレビカメラ（観測手段）、
３はイメージ処理装置、４はプリント板、７はマスク、
７ａはマスクパターン、 ９は投影光のパターン、１０
は明部、１１は暗部、１２はパッド部（不透明物体）で
ある。 特許出願人 富士通株式会社
Claims (1)
- 表面に不透明物体が形成された光拡散性物体の該表面に
、前記不透明物体形成部に暗部を肩し該暗部の周囲に明
部を有するパターンの元を投影する投影手段と、前記明
部よシ前記元拡散物体を経由して前記暗部よシ再放射さ
れる光を観測して前記不透明物体を検出する観測手段と
よｐなることを特徴とする表面状態観測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20545983A JPS6097313A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 表面状態観測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20545983A JPS6097313A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 表面状態観測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097313A true JPS6097313A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0153766B2 JPH0153766B2 (ja) | 1989-11-15 |
Family
ID=16507224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20545983A Granted JPS6097313A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 表面状態観測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097313A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1713087A1 (fr) * | 2005-04-13 | 2006-10-18 | Areva NP | Procédé et dispositif de contrôle et de mesure visuels à distance d'un alésage et ensemble de contrôle et de mesure visuels d'alésages tels que des guidages d'un tube-guide d'un réacteur nucléaire à eau sous pression |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20545983A patent/JPS6097313A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1713087A1 (fr) * | 2005-04-13 | 2006-10-18 | Areva NP | Procédé et dispositif de contrôle et de mesure visuels à distance d'un alésage et ensemble de contrôle et de mesure visuels d'alésages tels que des guidages d'un tube-guide d'un réacteur nucléaire à eau sous pression |
| FR2884604A1 (fr) * | 2005-04-13 | 2006-10-20 | Framatome Anp Sas | Procede et dispositif de controle et de mesure visuels a distance d'un alesage et ensemble de controle et de mesure visuels d'alesages tels que des guidages d'un tube-guide d'un reacteur nucleaire a eau sous pression |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0153766B2 (ja) | 1989-11-15 |
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