JPS6097262A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6097262A JPS6097262A JP58204720A JP20472083A JPS6097262A JP S6097262 A JPS6097262 A JP S6097262A JP 58204720 A JP58204720 A JP 58204720A JP 20472083 A JP20472083 A JP 20472083A JP S6097262 A JPS6097262 A JP S6097262A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- ultrasonic
- ultrasonic head
- head
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/35—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams
- G10K11/352—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams by moving the transducer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/0009—Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
- G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技 術 分 野
本発明は超音波顕微鏡、特に超音波ヘッドおよびこれに
対応する高周波回路、弊合器等の回路部分をユニットに
して着脱自在にした超音波顕微鏡に閃するものである。
対応する高周波回路、弊合器等の回路部分をユニットに
して着脱自在にした超音波顕微鏡に閃するものである。
従 来 技 術
第１図は従来の超音波顕微鏡の試料保持装置および超音
波ヘッド走査装置の構成を示すものである。超音波ヘッ
ド１は、超音波顕微鏡本体の信号処理系に接離自在に接
続される入出力用の同軸ケーブル２が接続された圧電ト
ランスジューサ８と、こノ圧電トランスジューサ３から
の超音波を収束する音響レンズ４とをホルダ５に保持し
て構成され、そのホルダ５を超音波顕微鏡本体に取付け
た加振器６のアーム７の先端部にねじ８により着脱自在
に装着されて、加振器６の作動によりアーム７の長手方
向（Ｘ軸方向）に振動する。一方、試料１０はＸ軸と直
交する紙面垂直方向（Ｙ軸方向）に移動可能なステージ
１１に設けたゴニオメータ１ｚの試料保持台１８上に保
持される。
波ヘッド走査装置の構成を示すものである。超音波ヘッ
ド１は、超音波顕微鏡本体の信号処理系に接離自在に接
続される入出力用の同軸ケーブル２が接続された圧電ト
ランスジューサ８と、こノ圧電トランスジューサ３から
の超音波を収束する音響レンズ４とをホルダ５に保持し
て構成され、そのホルダ５を超音波顕微鏡本体に取付け
た加振器６のアーム７の先端部にねじ８により着脱自在
に装着されて、加振器６の作動によりアーム７の長手方
向（Ｘ軸方向）に振動する。一方、試料１０はＸ軸と直
交する紙面垂直方向（Ｙ軸方向）に移動可能なステージ
１１に設けたゴニオメータ１ｚの試料保持台１８上に保
持される。
このようにして、超音波ヘッド１をＸ軸方向に振動させ
ると共に、試料１０をＹ軸方向に移動させながら、超音
波ヘッドｌから水等の超音波伝達媒体１４を介して試料
１０に超音波を投射することにより、試料１０を二次元
走査してその超音波像を得るよう構成されている。
ると共に、試料１０をＹ軸方向に移動させながら、超音
波ヘッドｌから水等の超音波伝達媒体１４を介して試料
１０に超音波を投射することにより、試料１０を二次元
走査してその超音波像を得るよう構成されている。
しかし、上述した従来の超音波顕微鏡においては、超音
波の周波数を変えて試料１０を観察する際、その都度ね
じ８を脱着して対応する周波数の超音波ヘッドを装着し
なければならないと共に、その超音波ヘッドの交換に応
じて超音波顕微鏡本体の信号処理系の高周波回路、整合
器等を、交換装着した超音波ヘッドに対応するものに交
換しなければならない等の極めて煩雑な作業を必要とす
る不具合がある。
波の周波数を変えて試料１０を観察する際、その都度ね
じ８を脱着して対応する周波数の超音波ヘッドを装着し
なければならないと共に、その超音波ヘッドの交換に応
じて超音波顕微鏡本体の信号処理系の高周波回路、整合
器等を、交換装着した超音波ヘッドに対応するものに交
換しなければならない等の極めて煩雑な作業を必要とす
る不具合がある。
発 明 の 目 的
本発明の目的は、上述した不具合を解決し、超音波ヘッ
ドおよびこれに対応する回路部分を容易かつ確実に交換
装着し得るよう適切に構成した超音波顕微鏡を提供しよ
うとするものである。
ドおよびこれに対応する回路部分を容易かつ確実に交換
装着し得るよう適切に構成した超音波顕微鏡を提供しよ
うとするものである。
発 明 の 概 要
本発明の超音波顕微鏡は、所定の方向に振動可能に支持
された超音波ヘッドおよびこの超音波ヘッドに対応する
高周波回路、整合器等の回路部分を有するユニットと、
このユニットを超音波顕微鏡本体に対して着脱自在に装
着する機構と、前記ユニットの超音波顕微鏡本体への装
着に応じて、前記超音波ヘッドを加振器に着脱自在に連
結する機構および前記回路部分を信号処理系に接離自在
に接続する機構とを具えることを特徴とするものである
。
された超音波ヘッドおよびこの超音波ヘッドに対応する
高周波回路、整合器等の回路部分を有するユニットと、
このユニットを超音波顕微鏡本体に対して着脱自在に装
着する機構と、前記ユニットの超音波顕微鏡本体への装
着に応じて、前記超音波ヘッドを加振器に着脱自在に連
結する機構および前記回路部分を信号処理系に接離自在
に接続する機構とを具えることを特徴とするものである
。
実 施 例
第２図は本発明の超音波顕微鏡の要部の一例の構成を示
す斜視図である。加振器２１は超音波顕微鏡本体（以下
単に本体という）に取付け、そのアーム２２の先端部に
は二個の磁石２８．２４を離間対向して設ける。本体に
は着脱自在なユニット２５を案内して所定の位置に装着
するためのガイドレール２６を設けると共に、その所定
の装着位置においてユニット２５の側壁に設けた二個の
コネクタ２７Ａ、１２８１（第８図参照）とそれぞ°れ
接続される対応するコネクタ２７Ｂ、２８Ｂを設ける。
す斜視図である。加振器２１は超音波顕微鏡本体（以下
単に本体という）に取付け、そのアーム２２の先端部に
は二個の磁石２８．２４を離間対向して設ける。本体に
は着脱自在なユニット２５を案内して所定の位置に装着
するためのガイドレール２６を設けると共に、その所定
の装着位置においてユニット２５の側壁に設けた二個の
コネクタ２７Ａ、１２８１（第８図参照）とそれぞ°れ
接続される対応するコネクタ２７Ｂ、２８Ｂを設ける。
ユニット２５には、本体への所定の装着位置において、
加振器２１による振動方向に変位可能に支持して支持棒
２９を貫通して設け、この支持棒２９のユニット２５か
ら突出する一端に、超音波の投射方向が支持棒２９の長
手方向となるように超音波ヘッド３０を、他端に磁石８
１をそれぞれ取付け、本体への所定の装着位置において
磁石８１が加振器２１のアーム２２に設けた磁石２３．
２４間に位置して、これら磁石の斥力によって加振器２
１と結合して超音波ヘッド８０を支持棒２９と共にＸ軸
方向に振動させるようにする。
加振器２１による振動方向に変位可能に支持して支持棒
２９を貫通して設け、この支持棒２９のユニット２５か
ら突出する一端に、超音波の投射方向が支持棒２９の長
手方向となるように超音波ヘッド３０を、他端に磁石８
１をそれぞれ取付け、本体への所定の装着位置において
磁石８１が加振器２１のアーム２２に設けた磁石２３．
２４間に位置して、これら磁石の斥力によって加振器２
１と結合して超音波ヘッド８０を支持棒２９と共にＸ軸
方向に振動させるようにする。
第３図はユニット２５の内部の構成を示すもので、支持
棒２９は磁石８１を取付けた近傍においてその長手方向
と直交する方向に取付けた板ばね３２．８３によって平
行に変位するように支持する。このユニット２５内には
装着した超音波ヘッド３０と対応し、信号処理系におい
て超音波ヘッドの交換に応じて変更される高周波回路、
整合器等を有する回路ブロック８４を設け、この回路プ
ルツク８４をコネクタ２７Ａおよび本体側のコネクタ２
７Ｂを介して、本体側の信号処理系に接続することによ
り、超音波ヘッド８０に対応する所定の信号処理系が構
成されるようにする。また、本例では加振器２１による
超音波ヘッド８０の振動をモーショナルフィードバック
制御するために、支持棒２９に発光ダイオード８５を取
付けると共に、これと対向して固定位置に光センサ８６
（浜松テレビ株式会社製；１次元型半導体装置検出器：
８１８５２ ）を取付ける。これら発光ダイオード８５
および光センサ８６への給電は、本体側からコネクタ２
８Ｂおよび２８Ａを介して行なうと共に、光センサ８６
からの位置検出信号はコネクタ２８Ａおよび２８Ｂを介
して本体側に供給して加振器２１をモーショナルフィー
ドバック制御する。更に、本例ではコネクタ２８Ａに本
体側のコネクタ２８Ｂと協働して超音波ヘッド８０に関
する情報、例えば使用周波数、用途（生体観察用、金属
観察用、ｖ−２曲線用）、開口角、焦点距離等を識別し
得るようにそのコネクタビンを配列し、その情報を・ユ
ニット２５の装着により本体側において表示するように
する。
棒２９は磁石８１を取付けた近傍においてその長手方向
と直交する方向に取付けた板ばね３２．８３によって平
行に変位するように支持する。このユニット２５内には
装着した超音波ヘッド３０と対応し、信号処理系におい
て超音波ヘッドの交換に応じて変更される高周波回路、
整合器等を有する回路ブロック８４を設け、この回路プ
ルツク８４をコネクタ２７Ａおよび本体側のコネクタ２
７Ｂを介して、本体側の信号処理系に接続することによ
り、超音波ヘッド８０に対応する所定の信号処理系が構
成されるようにする。また、本例では加振器２１による
超音波ヘッド８０の振動をモーショナルフィードバック
制御するために、支持棒２９に発光ダイオード８５を取
付けると共に、これと対向して固定位置に光センサ８６
（浜松テレビ株式会社製；１次元型半導体装置検出器：
８１８５２ ）を取付ける。これら発光ダイオード８５
および光センサ８６への給電は、本体側からコネクタ２
８Ｂおよび２８Ａを介して行なうと共に、光センサ８６
からの位置検出信号はコネクタ２８Ａおよび２８Ｂを介
して本体側に供給して加振器２１をモーショナルフィー
ドバック制御する。更に、本例ではコネクタ２８Ａに本
体側のコネクタ２８Ｂと協働して超音波ヘッド８０に関
する情報、例えば使用周波数、用途（生体観察用、金属
観察用、ｖ−２曲線用）、開口角、焦点距離等を識別し
得るようにそのコネクタビンを配列し、その情報を・ユ
ニット２５の装着により本体側において表示するように
する。
本実施例においては、それぞれ異なる超音波ヘッドを、
上述したように対応する高周波回路、整合器等の回路ブ
ロック等と共にユニットにして、本体に着脱自在に装着
するようにする。このようにすれば、ユニットの脱着の
みによって、超音波ヘッドおよびこれに対応する回路部
分の交換を尚時にしかも確実に行なうことができるから
、その交換作業が極めて簡単になる。また、本１実施例
においては、各ユニットに超音波ヘッドの位置検出機構
を設けて、加振器２１による超音波ヘッドのＸ軸方向の
振動にモーショナルフィードバックをかけるようにした
から、試料の走査を一定速度で行なうことができ、した
がって画質の良好な超音波像を得ることができる。更に
、本実施例においてはユニットの本体への装着により、
該ユニットが有する超音波ヘッドに関する情報を表示さ
せるようにしたから、所望の超音波ヘッドを有するか否
かを容易に確認することができる。また、加振器・２１
のアーム２２に設けた磁石２１３．２４と、ユニット２
６の超音波ヘッド８０を保持する支持棒２９に設けた磁
石８１とを斥力によって結合させるものであるから、超
音波の投射方向に加振器２１が不所望に振動しても、結
合時における磁石３］とアーム２２との間の隙間により
、その不所望な振動が吸収されて超音波ヘッド８０に伝
達させることはない。
上述したように対応する高周波回路、整合器等の回路ブ
ロック等と共にユニットにして、本体に着脱自在に装着
するようにする。このようにすれば、ユニットの脱着の
みによって、超音波ヘッドおよびこれに対応する回路部
分の交換を尚時にしかも確実に行なうことができるから
、その交換作業が極めて簡単になる。また、本１実施例
においては、各ユニットに超音波ヘッドの位置検出機構
を設けて、加振器２１による超音波ヘッドのＸ軸方向の
振動にモーショナルフィードバックをかけるようにした
から、試料の走査を一定速度で行なうことができ、した
がって画質の良好な超音波像を得ることができる。更に
、本実施例においてはユニットの本体への装着により、
該ユニットが有する超音波ヘッドに関する情報を表示さ
せるようにしたから、所望の超音波ヘッドを有するか否
かを容易に確認することができる。また、加振器・２１
のアーム２２に設けた磁石２１３．２４と、ユニット２
６の超音波ヘッド８０を保持する支持棒２９に設けた磁
石８１とを斥力によって結合させるものであるから、超
音波の投射方向に加振器２１が不所望に振動しても、結
合時における磁石３］とアーム２２との間の隙間により
、その不所望な振動が吸収されて超音波ヘッド８０に伝
達させることはない。
なお、本発明は上述した例にのみ限定されるものではな
く、幾多の変形または変更が可能である。
く、幾多の変形または変更が可能である。
例えば、支持棒２９をユニット２５内におし）で所定の
方向に変位可能に支持する機構は、第４図Ｇこ示すよう
に、支持棒２９にこれと直交して案内軸４０を設け、こ
の案内軸４０の支持棒２９の両側の端部を固定部材４１
から貫通させて板ばね４２により案内軸４０の長手方向
に変位可能に固定部材４１に支持するよう構成すること
もできる。また、上述した例では加振器２１のアーム２
２に設けた磁石２８．２４と、超音波ヘッド８０を保持
する支持棒２９に設けた磁石８１とを斥力により、結合
させるようにしたが、これらを吸引力によって結合させ
るようにすることもできるし、このような磁気的結合以
外の機械的連結機構によって加振器２１のアーム２２と
支持棒２９とを連結させるよう構成することもできる。
方向に変位可能に支持する機構は、第４図Ｇこ示すよう
に、支持棒２９にこれと直交して案内軸４０を設け、こ
の案内軸４０の支持棒２９の両側の端部を固定部材４１
から貫通させて板ばね４２により案内軸４０の長手方向
に変位可能に固定部材４１に支持するよう構成すること
もできる。また、上述した例では加振器２１のアーム２
２に設けた磁石２８．２４と、超音波ヘッド８０を保持
する支持棒２９に設けた磁石８１とを斥力により、結合
させるようにしたが、これらを吸引力によって結合させ
るようにすることもできるし、このような磁気的結合以
外の機械的連結機構によって加振器２１のアーム２２と
支持棒２９とを連結させるよう構成することもできる。
発 明 の 効 果
以上述べたように、本発明によれば超音波ヘッドおよび
これと対応する高周波回路、整合器等の回路部分をユニ
ットにして超音波顕微鏡本体に対して着脱自在に装着し
得るようにしたから、ユニットを交換装着する簡単な作
業により、所望の超音波ヘッドおよびこれと対応する回
路部分を同時にしかも確実に交換装着することができ、
本発明の目的を有効に達成することができる。
これと対応する高周波回路、整合器等の回路部分をユニ
ットにして超音波顕微鏡本体に対して着脱自在に装着し
得るようにしたから、ユニットを交換装着する簡単な作
業により、所望の超音波ヘッドおよびこれと対応する回
路部分を同時にしかも確実に交換装着することができ、
本発明の目的を有効に達成することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の超音波顕微鏡の要部の構成を示す図、
第２図は本発明の超音波顕微鏡の要部の一例の構成を示
す斜視図、 ・ 第８図は第２°図に示すユニットの内部の構成を示
す図、 第４図は本発明の変形例を示す図である。 ２１・・・加振器 ２２・・・アーム ２３．２４，８１・・・磁石 ２５・・・ユニット２６
・・・ガイドレール ２７Ａ、２７Ｂ、２８Ａ、２８Ｂ・・・コネクタ２９・
・・支持棒 ３ｏ・・・超音波ヘッド８２ 、８８ 用
板ばね ３４・・・回路ブ四ツク３５・・・発光ダイオ
ード３６川光センサ４０・・・案内軸 ４１・・・固定
部材４２・・・板ばね。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第１図 第２図 ２イ
す斜視図、 ・ 第８図は第２°図に示すユニットの内部の構成を示
す図、 第４図は本発明の変形例を示す図である。 ２１・・・加振器 ２２・・・アーム ２３．２４，８１・・・磁石 ２５・・・ユニット２６
・・・ガイドレール ２７Ａ、２７Ｂ、２８Ａ、２８Ｂ・・・コネクタ２９・
・・支持棒 ３ｏ・・・超音波ヘッド８２ 、８８ 用
板ばね ３４・・・回路ブ四ツク３５・・・発光ダイオ
ード３６川光センサ４０・・・案内軸 ４１・・・固定
部材４２・・・板ばね。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第１図 第２図 ２イ
Claims (1)
- Ｌ 所定の方向に振動可能に支持された超音波ヘッドお
よびこの超音波ヘッドに対応する高周波回路、整合器等
の回路部分を有するユニットと、このユニットを超音波
顕微鏡本体に対して着脱自在に装着する機構と、前記ユ
ニットの超音波顕微鏡本体への装着に応じて、前記超音
波ヘッドを加振器に着脱自在に連結する機構および前記
回路部分を信号処理系に接離自在に接続する機構とを具
えることを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204720A JPS6097262A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204720A JPS6097262A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097262A true JPS6097262A (ja) | 1985-05-31 |
Family
ID=16495189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204720A Pending JPS6097262A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097262A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62111548U (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-16 | ||
| CN106949994A (zh) * | 2016-01-07 | 2017-07-14 | 上银科技股份有限公司 | 用于线性滑轨的预压力检测方法 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58204720A patent/JPS6097262A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62111548U (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-16 | ||
| CN106949994A (zh) * | 2016-01-07 | 2017-07-14 | 上银科技股份有限公司 | 用于线性滑轨的预压力检测方法 |
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