JP7463605B1 - 超音波映像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】既存の構造では実現できないＸ軸方向の速度域においても精度よく対象部位の映像化を実現することができる超音波映像装置を提供する。
【解決手段】超音波映像装置１００は、被検体１０に超音波を照射して、その透過波により超音波の照射部を映像化する超音波映像装置であって、超音波を送信する第１のプローブ１１を保持する第１のプローブホルダ１２を支持する第１の支持フレーム１３と、透過波を受信する第２のプローブ２１を保持する第２のプローブホルダ２２を支持する第２の支持フレーム２３とを、ステージ３９に載置された被検体１０をスキャンする方向を示すＸ軸方向に向けて配設し、Ｘ軸方向に平行に駆動する。
【選択図】図２

Description

本発明は、超音波映像装置に関する。

超音波映像装置は、プローブが取り付けられているプローブホルダを、Ｘ軸方向に被検体の一方端部から他方端部まで駆動し、他方端部に到達後、Ｙ軸方向に一定量駆動後に、再びＸ軸方向に他方端部から一方端部まで駆動する。これを繰り返すことにより、被検体全面をスキャンする。

特許文献１には、透過型の超音波映像システムにおいて、プローブホルダは、第１超音波探触部を固定するためのホルダであり、第１Ｚ軸走査部を介して±Ｚ軸方向に駆動可能であること、Ｌ字金具は、第２超音波探触部を固定するための金具であり、第２Ｚ軸走査部を介して±Ｚ軸方向に駆動可能であることが開示されている。

特許第６３９７６００号公報（図３、段落００５０）

半導体ウェハは、集積度を高めるとともに、１枚の半導体ウェハから多くの集積回路チップを切り出すために、積層数を多くし、直径を大型化してきた。このような半導体ウェハの欠陥を抽出するためには、反射型の超音波映像装置のように、超音波を対象物に照射してその反射波を取得するやり方は、信号強度が低下してしまい、精度良い検査が困難である。

特許文献１に開示された超音波映像装置においては、第１超音波探触部から超音波を被検体に向けて送信し、第２超音波探触部により被検体を透過した透過信号を受信する。これにより、反射法による超音波映像装置と比較して、積層数の多い被検体を検査する場合であっても、所望の検査対象面において、高解像度の検査画像を取得可能とすることができる。

さらに、市販されている超音波映像装置では、半導体ウェハの直径の大型化には、プローブホルダを支持する支持フレームを３００ｍｍと長くすることで対応してきた。また、市場では、更なる生産性向上のために、タクトタイムの短縮が求められている。

しかしながら、特許文献１の超音波映像装置では、プローブホルダをＸ軸方向と垂直に配設してＸ軸方向にスキャンするために、一定速度以上になるとブレが生じ、対象部位の映像化の精度に影響を及ぼすことが分かった。従って、プローブホルダをＸ軸方向と垂直に配設してＸ軸方向にスキャンする構造では、市場ニーズのタクトタイム短縮に対応できない課題がある。

本発明は、前記課題に鑑みなされたものであって、既存の構造では実現できないＸ軸方向の速度域においても精度よく対象部位の映像化を実現することができる超音波映像装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明の超音波映像装置は、Ｘ軸方向に被検体の一方端部から他方端部まで駆動し、他方端部に到達後、Ｙ軸方向に一定量駆動後に、再びＸ軸方向に他方端部から一方端部まで駆動することを繰り返して被検体全体に超音波を照射して、その透過波により前記超音波の照射部を映像化する超音波映像装置であって、前記超音波を送信する第１のプローブを保持する第１のプローブホルダを支持する第１の支持フレームと、前記透過波を受信する第２のプローブを保持する第２のプローブホルダを支持する第２の支持フレームと、前記被検体を載置するステージと、前記ステージの載置面の垂直方向に配置する前記ステージの囲み枠を示すプローブホルダ把持フレームと、を備え、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構を介して前記第１のプローブホルダを前記プローブホルダ把持フレームに取り付け、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構を介して前記第２のプローブホルダを前記プローブホルダ把持フレームに取り付けて、前記第１の支持フレームの長手方向および前記第２の支持フレームの長手方向がステージに載置された前記被検体をスキャンする方向を示すＸ軸方向に平行になるよう配設し、前記Ｘ軸方向に平行に駆動するとともに、前記第１のプローブホルダは、前記第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構により、前記第１の支持フレームの動きに同期してＸ軸方向に移動し、前記第２のプローブホルダは、前記第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構により、前記第２の支持フレームの動きに同期してＸ軸方向に移動することを特徴とする。本発明のその他の態様については、後記する実施形態において説明する。

本発明によれば、既存の構造では実現できないＸ軸方向の速度域においても精度よく対象部位の映像化を実現することができる。

本実施形態に係る透過法の超音波映像装置の構成を示す図である。 本実施形態に係るスキャン部の概略を示す図である。 本実施形態に係るスキャン部の詳細を示す正面図である。 本実施形態に係るスキャン部の駆動方法を示す図である。 本実施形態に係る支持フレームの配設方向の変更を示す図である。 本実施形態に係るＸ軸方向の駆動範囲と補強部材の設置位置を示す図である。 本実施形態に係るプローブホルダ把持機構の詳細を示す図である。 本実施形態に係るＺ軸方向の駆動範囲を示す図である。

本発明を実施するための実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る透過法の超音波映像装置１００の構成を示す図である。
超音波映像装置１００は、制御装置５０とスキャン部３０（メカ部）と超音波プローブ（第１のプローブ１１、第２のプローブ２１（図３参照））を含んで構成する。超音波映像装置１００は、被検体１０（図２、図３参照）の検査範囲に、プローブを介して予め定めた間隔で設定した照射点に超音波を照射してその透過波を取得し、該透過波の中から検査対象とする接合界面の波形を示す界面エコーを抽出し、該界面エコーの信号強度から画素化情報を生成する処理を全ての照射点または特定の照射点に施し、生成した照射点の画素化情報に基づき接合界面の画像を生成して欠陥を見つけ出す。

制御装置５０は、超音波プローブの走査位置の制御処理、超音波の送受信の制御処理等をする処理部５１と、第１のプローブ１１から超音波を照射し、第２のプローブ２１で透過波を取得し超音波画像を生成する画像生成部５２と、入出力部５３とを有する。

スキャン部３０は、ステージ３９上に第１のプローブ１１を保持する第１のプローブホルダ１２、第２のプローブ２１を保持する第２のプローブホルダ２２と、を含んで構成される。第１のプローブホルダ１２は、第１の制御部１９を介して制御され、第２のプローブホルダ２２は、第２の制御部２９を介して制御される。

超音波映像装置１００は、ステージ３９に載置された被検体１０（図２、図３参照）の上部を第１のプローブホルダ１２によって保持された第１のプローブ１１が移動しながら超音波を送信し、被検体１０の下部を第２のプローブホルダ２２によって保持された第２のプローブ２１が移動しながら被検体を透過した透過波を受信する。受信した透過波によって、超音波照射部の画像を生成する。超音波映像装置１００には、生成する画像をより鮮明とすることが求められる。従って、第１のプローブ１１、第２のプローブ２１は、可能な限りブレを抑制する必要がある。本実施形態は、この課題を解決するものである。なお、図２において、第１のプローブ１１から超音波を送信し、第２のプローブ２１が透過波を受信としているが、第２のプローブ２１から超音波を送信し、第１のプローブ１１が透過波を受信してもよい。

本実施形態では、前記課題を解決する方法として、プローブの支持フレームの配設と駆動方向を対策することで実現している。以下詳細に説明する。

図２は、本実施形態に係るスキャン部３０の概略を示す図である。図３は、本実施形態に係るスキャン部３０の詳細を示す正面図である。図４は、本実施形態に係るスキャン部３０の駆動方法を示す図である。なお、図２は、図３における第１のプローブホルダ１２および第２のプローブホルダ２２のプローブホルダ把持機構４７（例えば、ケーシング３２、プローブホルダ把持フレーム３１等を含む機構）を省略した図である。また、図３において、ステージ３９の脚部は省略した。図３のプローブホルダ把持機構４７については、図７を参照して後述する。

図２に示すスキャン部３０は、超音波を送信する第１のプローブ１１を保持する第１のプローブホルダ１２を支持する第１の支持フレーム１３と、透過波を受信する第２のプローブ２１を保持する第２のプローブホルダ２２を支持する第２の支持フレーム２３と、第１の支持フレーム１３と第２の支持フレーム２３を取り付けるフレーム支持部３４と、フレーム支持部３４を駆動するＸ軸駆動軸４１を含んで構成する。第１の支持フレーム１３および第２の支持フレーム２３は、ステージ３９に載置された被検体１０をスキャンする方向を示すＸ軸方向に向けて配設する。この状態において、フレーム支持部３４をＸ軸駆動軸４１により、Ｘ軸方向に駆動することにより、第１の支持フレーム１３および第２の支持フレーム２３をＸ軸方向に平行に駆動する。

ステージ３９の外側には、Ｙ軸駆動軸４２、第１のＹ軸ガイド４４、第２のＹ軸ガイド４５をステージ３９のＹ軸方向と平行に配設している。Ｙ軸駆動軸４２、第１のＹ軸ガイド４４、第２のＹ軸ガイド４５上には、Ｘ軸駆動軸４１を載置する載置台４６が配設されている。フレーム支持部３４を介して、第１の支持フレーム１３と第２の支持フレーム２３を駆動するＸ軸駆動軸４１は、Ｘ軸方向と平行に配設している。このような構成により、Ｘ軸駆動軸は、Ｙ軸駆動軸によりＹ軸方向に平行に駆動することが可能である。

図４は、図３の上面図であり、第１のプローブホルダ１２を支持する第１の支持フレーム１３がＸ軸方向に駆動できること、すなわち、第２のプローブホルダ２２を支持する第２の支持フレーム２３がＸ軸方向に移動できることを示している。また、載置台４６がＹ軸方向に移動できることを示している。詳細については、図７を参照して後述する。

以上の構成により、スキャン部３０は、プローブが取り付けられているプローブホルダを、Ｘ軸方向に被検体の一方端部から他方端部まで駆動し、他方端部に到達後、Ｙ軸方向に一定量駆動後に、再びＸ軸方向に他方端部から一方端部まで駆動することができる。これを繰り返すことにより、スキャン部３０は、被検体全面をスキャンできる。

本実施形態においては、プローブが動作するときのブレを抑制するために、第１の支持フレーム１３および第２の支持フレーム２３をフレーム支持部３４にＸ軸方向に向けて取り付け、Ｘ軸駆動軸４１が動作することで、第１の支持フレーム１３および第２の支持フレーム２３がＸ軸方向に駆動することが第１のポイントとなる。

図５は、本実施形態に係る支持フレームの配設方向の変更を示す図である。従来タイプのスキャン部３０は、構成５Ａに示すように、プローブホルダの支持フレームをＸ軸方向に対して垂直となるように配設し、支持フレームの長手方向がＸ軸方向に対して垂直となるように動作していた。その結果、慣性力の影響により、一定速度以上で駆動すると、ブレが生じることとなった。従って、それ以上の速度では、プローブホルダを動かすことができず、単位時間当たりの作業量に限界があった。慣性力の影響は、Ｘ軸方向の両端部近傍において、すなわちプローブのＸ軸方向の動作開始または動作停止のときに顕著である。なお、課題でも説明したように、３００ｍｍの半導体ウェハの場合、プローブホルダを支持する支持フレームを３００ｍｍ以上と長くすることが要求される。

本実施形態では、構成５Ｂに示すように、支持フレームの長手方向をＸ軸方向に対して平行となるように動作することとした。これにより、慣性力の影響を抑制し、ブレの発生を抑制することを実現した。

さらに本実施形態ではブレを抑制するために、次の二つの点を工夫している。
第１は、図６に示すふたつの支持フレームを補強する補強部材３５を設けたこと、
第２は、図７に示すプローブホルダ把持機構４７を設けたこと、である。

＜支持フレームを補強する補強部材＞
図６は、本実施形態に係るＸ軸方向の駆動範囲と補強部材３５の設置位置を示す図である。図６の位置状態６Ａの場合、Ｘ軸方向の被検体１０の左端をカバーし、位置状態６Ｂの場合、Ｘ軸方向の被検体１０の右端をカバーしている。図６に示すように、第１の支持フレーム１３と第２の支持フレーム２３との間に、少なくとも１本の補強部材３５を設けた。具体的には、第１のプローブホルダ１２および第２のプローブホルダ２２がＸ軸方向の駆動範囲を駆動するときに、ステージ３９に接触しない位置に、第１の支持フレーム１３と第２の支持フレーム２３を接続する少なくとも１本の補強部材３５を設けた。

＜プローブホルダ把持機構＞
図７は、本実施形態に係るプローブホルダ把持機構４７の詳細を示す図である。プローブホルダ把持機構４７は、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４および第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４を有するプローブホルダ把持フレーム３１と、プローブホルダ把持フレーム３１よりも大きい同形状のケーシング３２などを含んで構成されている。

具体的には、ステージ３９の垂直方向に配置するステージ３９の囲み枠を示すプローブホルダ把持フレーム３１を備えている。プローブホルダ把持フレーム３１は、矩形フレーム構造を有しており、ステージ３９のＸ軸方向およびＺ軸方向を取り囲むようにし、Ｙ軸方向にステージ３９が貫通するように配設している（図４参照）。

第１のプローブホルダ１２は、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４を介してプローブホルダ把持フレーム３１に取り付け、同様に第２のプローブホルダ２２は、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４を介してプローブホルダ把持フレーム３１に取り付けられている。

以上説明したように、本実施形態ではプローブホルダのブレ、つまりプローブのブレを抑制するための構造を備えている。このような構造のもと、プローブホルダの具体的な動き、並びにプローブの配置と焦点距離の調整について、どのようにするか以下説明する。

第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４および第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４は、一般的なリニアガイド構造を採用している。リニアガイドは、回転運動で実現していたベアリングを応用し、重いものを軽く、まっすぐに動かす働きをする機械要素部品である。なお、この構造に限定する必要は無い。

第１のプローブホルダ１２は、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４により、第１の支持フレーム１３の動きに同期してＸ軸方向に移動し、第２のプローブホルダ２２は、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４により、第２の支持フレーム２３の動きに同期してＸ軸方向に移動する。

次に、第１のプローブ１１および第２のプローブ２１の配置について説明する。
第１のプローブ１１および第２のプローブ２１は、図７に示すプローブホルダ把持機構４７に示すように、第１のプローブ１１の中心点と、第２のプローブ２１の中心点を、鉛直方向で同一直線上に配置する。この構造により、ブレ防止の抑制構造を採用したうえで、第１のプローブ１１および第２のプローブ２１は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に同期して動く。

次に、プローブの焦点距離の調整について説明する。
図７に図示するように、プローブホルダ把持フレーム３１の外側にプローブホルダ把持フレーム３１より大きく同形状のケーシング３２を備える。ケーシング３２は、Ｙ軸駆動軸の動きに伴ってＹ軸方向のみに駆動する載置台４６にＸ軸駆動軸４１と共に固定され、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向には駆動せずに、載置台４６とともにＹ軸方向にのみ駆動する。プローブホルダ把持フレーム３１は、ステージに鉛直に交わる方向をＺ軸方向とすると、プローブホルダ把持フレーム３１の両側辺に配置する一対の把持フレームＺ軸ガイド機構３６，３６を介して、ケーシング３２に取り付けられている。なお、把持フレームＺ軸ガイド機構３６は、前述したリニアガイドを用いている。

プローブホルダ把持フレーム３１は、プローブホルダ把持フレーム３１の上部に取り付けた把持フレーム駆動モータ３３と、把持フレーム駆動モータ３３に接続したボールスクリューネジ３７の動きにより駆動力を付与され、一対の把持フレームＺ軸ガイド機構３６，３６により、ケーシング３２内をＺ軸方向に移動する。

このプローブホルダ把持フレーム３１が動作することにより、第１のプローブホルダ１２および第２のプローブホルダ２２がＺ軸方向に動作することを、図８のＺ軸方向の駆動範囲を用いて説明する。

図８は、本実施形態に係るＺ軸方向の駆動範囲を示す図である。図８の位置状態８Ａの場合、プローブホルダ把持フレーム３１がＺ軸方向の上側に位置する場合であり、位置状態８Ｂの場合、プローブホルダ把持フレーム３１がＺ軸方向の下側に位置する場合である。

第１のプローブホルダ１２は、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４を介してプローブホルダ把持フレーム３１に取り付けられている。また、第１のプローブホルダ１２は、第１のプローブホルダＺ軸ガイド機構１５を介して第１の支持フレーム１３に取り付けられ、Ｚ軸方向には第１の支持フレーム１３から独立して移動する。

第２のプローブホルダ２２は、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４を介してプローブホルダ把持フレーム３１に取り付けられている。また、第２のプローブホルダ２２は、第２のプローブホルダＺ軸ガイド機構２５を介して第２の支持フレーム２３に取り付けられ、Ｚ軸方向には第２の支持フレーム２３から独立して移動する。

第１のプローブホルダ１２および第２のプローブホルダ２２は、プローブホルダ把持フレーム３１がＺ軸方向に移動することに同期してＺ軸方向に移動する。すなわち、第１のプローブ１１と第２のプローブ２１が、その離間距離を保持したままＺ軸方向に同期して移動する。

なお、Ｚ軸方向の動作量は、第１のプローブ１１から照射した超音波を被検体に焦点距離を設定するように調整する。第２のプローブ２１は、被検体からの透過波を受信するだけなので、特に焦点距離を設定する必要は無い。

以上、本実施形態の超音波映像装置１００は、次の特徴を有する。
（１）超音波映像装置１００は、被検体１０に超音波を照射して、その透過波により超音波の照射部を映像化する超音波映像装置であって、超音波を送信する第１のプローブ１１を保持する第１のプローブホルダ１２を支持する第１の支持フレーム１３と、透過波を受信する第２のプローブ２１を保持する第２のプローブホルダ２２を支持する第２の支持フレーム２３とを、ステージ３９に載置された被検体１０をスキャンする方向を示すＸ軸方向に向けて配設し、Ｘ軸方向に平行に駆動する。これによれば、既存の構造では実現できないＸ軸方向の速度域においても精度よく対象部位の映像化を実現することができる。

（２）前記（１）の超音波映像装置１００であって、ステージ３９の垂直方向に配置するステージ３９の囲み枠を示すプローブホルダ把持フレーム３１を備え、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４を介して第１のプローブホルダ１２をプローブホルダ把持フレーム３１に取り付け、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４を介して第２のプローブホルダ２２をプローブホルダ把持フレーム３１に取り付ける（図７参照）。

（３）前記（２）の超音波映像装置１００であって、第１のプローブホルダ１２は、第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構１４により、第１の支持フレーム１３の動きに同期してＸ軸方向に移動し、第２のプローブホルダ２２は、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構２４により、第２の支持フレーム２３の動きに同期してＸ軸方向に移動する（図３、図６参照）。

（４）前記（２）の超音波映像装置１００であって、プローブホルダ把持フレーム３１の外側にプローブホルダ把持フレーム３１より大きい形状のケーシング３２を備え、プローブホルダ把持フレーム３１は、ステージに鉛直に交わる方向をＺ軸方向とすると、プローブホルダ把持フレームの両側辺に配置する一対の把持フレームＺ軸ガイド機構３６を介して、ケーシング３２に取り付ける（図７参照）。

（５）前記（４）の超音波映像装置１００であって、プローブホルダ把持フレーム３１は、プローブホルダ把持フレーム３１に取り付けた把持フレーム駆動モータ３３から駆動力を付与され、一対の把持フレームＺ軸ガイド機構３６，３６に沿って、ケーシング３２内をＺ軸方向に移動する（図８参照）。

（６）前記（５）の超音波映像装置１００であって、第１のプローブ１１の中心点と、第２のプローブ２１の中心点と、を、鉛直方向で同一直線上に配置する（図７参照）。

（７）前記（６）の超音波映像装置１００であって、第１のプローブホルダ１２を、第１のプローブホルダＺ軸ガイド機構１５を介して第１の支持フレーム１３に取り付け、第２のプローブホルダ２２を、第２のプローブホルダＺ軸ガイド機構２５を介して第２の支持フレーム２３に取り付け、第１のプローブホルダＺ軸ガイド機構１５と第２のプローブホルダＺ軸ガイド機構２５により、プローブホルダ把持フレーム３１のＺ軸方向の移動に同期して、第１のプローブ１１および第２のプローブ２１は、第１のプローブ１１と第２のプローブ２１の離間距離を保持したままＺ軸方向に移動し、第１のプローブの焦点距離を調整する（図８参照）。

（８）前記（１）の超音波映像装置１００であって、ステージ３９の外側に、Ｙ軸駆動軸４２をステージ３９のＹ軸方向と平行に配設し、フレーム支持部３４を介して、第１の支持フレーム１３と第２の支持フレーム２３を駆動するＸ軸駆動軸４１をＸ軸方向と平行に配設し、Ｘ軸駆動軸４１は、Ｙ軸駆動軸４２により、Ｙ軸方向に平行に駆動する（図３、図４参照）。

（９）前記（１）の超音波映像装置１００であって、超音波映像装置１００は、第１の支持フレーム１３と第２の支持フレーム２３を接続する少なくとも１本の補強部材３５を有し、第１のプローブホルダ１２および第２のプローブホルダ２２がＸ軸方向の駆動範囲を駆動するときに、補強部材３５がステージ３９に接触しない位置に、補強部材３５を配置する（図６参照）。

なお、本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。また、前記した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

１０ 被検体
１１ 第１のプローブ
１２ 第１のプローブホルダ
１３ 第１の支持フレーム
１４ 第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構
１５ 第１のプローブホルダＺ軸ガイド機構
１９ 第１の制御部
２１ 第２のプローブ
２２ 第２のプローブホルダ
２３ 第２の支持フレーム
２４ 第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構
２５ 第２のプローブホルダＺ軸ガイド機構
２９ 第２の制御部
３０ スキャン部
３１ プローブホルダ把持フレーム
３２ ケーシング
３３ 把持フレーム駆動モータ
３４ フレーム支持部
３５ 補強部材
３６ 把持フレームＺ軸ガイド機構
３７ ボールスクリューネジ
３９ ステージ
４１ Ｘ軸駆動軸
４２ Ｙ軸駆動軸
４４ 第１のＹ軸ガイド
４５ 第２のＹ軸ガイド
４６ 載置台
４７ プローブホルダ把持機構
５０ 制御装置
５１ 処理部
５２ 画像生成部
５３ 入出力部
１００ 超音波映像装置

Claims (7)

1. Ｘ軸方向に被検体の一方端部から他方端部まで駆動し、他方端部に到達後、Ｙ軸方向に一定量駆動後に、再びＸ軸方向に他方端部から一方端部まで駆動することを繰り返して被検体全体に超音波を照射して、その透過波により前記超音波の照射部を映像化する超音波映像装置であって、
   前記超音波を送信する第１のプローブを保持する第１のプローブホルダを支持する第１の支持フレームと、前記透過波を受信する第２のプローブを保持する第２のプローブホルダを支持する第２の支持フレームと、前記被検体を載置するステージと、前記ステージの載置面の垂直方向に配置する前記ステージの囲み枠を示すプローブホルダ把持フレームと、を備え、
   第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構を介して前記第１のプローブホルダを前記プローブホルダ把持フレームに取り付け、第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構を介して前記第２のプローブホルダを前記プローブホルダ把持フレームに取り付けて、
   前記第１の支持フレームの長手方向および前記第２の支持フレームの長手方向がステージに載置された前記被検体をスキャンする方向を示すＸ軸方向に平行になるよう配設し、前記Ｘ軸方向に平行に駆動するとともに、
   前記第１のプローブホルダは、前記第１のプローブホルダＸ軸ガイド機構により、前記第１の支持フレームの動きに同期してＸ軸方向に移動し、
   前記第２のプローブホルダは、前記第２のプローブホルダＸ軸ガイド機構により、前記第２の支持フレームの動きに同期してＸ軸方向に移動する
   ことを特徴とする超音波映像装置。
2. 請求項１に記載の超音波映像装置であって、
   前記プローブホルダ把持フレームの外側に前記プローブホルダ把持フレームより大きい形状のケーシングを備え、
   前記プローブホルダ把持フレームは、前記ステージの載置面に垂直に交わる方向をＺ軸方向とすると、前記プローブホルダ把持フレームの両側辺に配置する一対の把持フレームＺ軸ガイド機構を介して、前記ケーシングに取り付ける
   ことを特徴とする超音波映像装置。
3. 請求項２に記載の超音波映像装置であって、
   前記プローブホルダ把持フレームは、前記プローブホルダ把持フレームに取り付けた把持フレーム駆動モータから駆動力を付与され、前記一対の把持フレームＺ軸ガイド機構に沿って、前記ケーシング内をＺ軸方向に移動する
   ことを特徴とする超音波映像装置。
4. 請求項３に記載の超音波映像装置であって、
   前記第１のプローブの中心点と、前記第２のプローブの中心点とを、鉛直方向で同一直線上に配置する
   ことを特徴とする超音波映像装置。
5. 請求項４に記載の超音波映像装置であって、
   前記第１のプローブホルダを、第１のプローブホルダＺ軸ガイド機構を介して前記第１の支持フレームに取り付け、前記第２のプローブホルダを、第２のプローブホルダＺ軸ガイド機構を介して前記第２の支持フレームに取り付け、
   前記第１のプローブホルダＺ軸ガイド機構と前記第２のプローブホルダＺ軸ガイド機構により、前記プローブホルダ把持フレームのＺ軸方向の移動に同期して、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１のプローブと前記第２のプローブの離間距離を保持したままＺ軸方向に移動し、前記第１のプローブの焦点距離を調整する
   ことを特徴とする超音波映像装置。
6. 請求項１に記載の超音波映像装置であって、
   前記ステージの外側に、Ｙ軸駆動軸を前記ステージのＹ軸方向と平行に配設し、
   フレーム支持部を介して、前記第１の支持フレームと前記第２の支持フレームを駆動するＸ軸駆動軸を前記Ｘ軸方向と平行に配設し、
   前記Ｘ軸駆動軸は、前記Ｙ軸駆動軸により、前記Ｙ軸方向に平行に駆動する
   ことを特徴とする超音波映像装置。
7. 請求項１に記載の超音波映像装置であって、
   前記超音波映像装置は、前記第１の支持フレームと前記第２の支持フレームを接続する少なくとも１本の補強部材を有し、前記第１のプローブホルダおよび前記第２のプローブホルダが前記Ｘ軸方向の駆動範囲を駆動するときに、前記補強部材が前記ステージに接触しない位置に、前記補強部材を配置する
   ことを特徴とする超音波映像装置。

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