JPS6095886A - Method of producing thin film el panel - Google Patents

Method of producing thin film el panel

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Publication number
JPS6095886A
JPS6095886A JP58203368A JP20336883A JPS6095886A JP S6095886 A JPS6095886 A JP S6095886A JP 58203368 A JP58203368 A JP 58203368A JP 20336883 A JP20336883 A JP 20336883A JP S6095886 A JPS6095886 A JP S6095886A
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JP
Japan
Prior art keywords
thin film
panel
glass substrate
glass plate
glass
Prior art date
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Application number
JP58203368A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
利昭 石井
猪原 章夫
岸下 博
上出 久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 11LL艮 この発明は、交流ミツの印加によってEL(E 1ec
tro L uminescence )発光を呈する
WiRtAEL素子を使用した薄III E、 Lパネ
ルの製造方法の改良に関し、特に透光性前面基板とfv
曲面板の接着工程が改良された薄膜E、 Lパネルの製
造方法にPAづる。
[Detailed Description of the Invention] 11LL This invention provides EL (E 1ec
Regarding the improvement of the manufacturing method of thin III E, L panels using WiRtAEL elements exhibiting light emission (e.g.
PA is introduced to the manufacturing method of thin film E and L panels with an improved curved board bonding process.

L」し久方」[ 従来、交流動作の薄膜El素子に関して、発光層に規則
的に高い電界(106V/am程度)を印す11シ、絶
縁耐圧、発光vJ亭および動f′[の安定性なと2(高
めるために、0.1〜2.0重11796のMll、(
あるいはCU、ΔII、 Brなど)をドープしたZl
l S、Zn 3eなどの半導体発光層をY2O,。
Conventionally, for AC-operated thin-film El elements, a high electric field (approximately 106 V/am) is regularly applied to the light-emitting layer. 2 (to increase, 0.1-2.0 weight 11796 Mll, (
or CU, ΔII, Br, etc.) doped Zl
Semiconductor light emitting layer such as lS, Zn3e, Y2O, etc.

i+o、、などの誘電体薄膜でサンドインチした3Fl
ll填のZnS:Mn(またはZll se : N4
n )ELF子が開発されてJ5す、光光諸特性の向上
が確かψられている。この薄膜ELi子はIKI−(Z
の交流電界の印加によって高輝度発光し、しがも良η命
であるという特徴を有している。
3Fl sandwiched between dielectric thin films such as i+o, etc.
ZnS:Mn (or Zllse: N4
n) Since the ELF element was developed, it has been confirmed that various optical characteristics have been improved. This thin film ELi device is IKI-(Z
It emits high-intensity light when an alternating current electric field is applied to it, and is characterized by its long life.

また、このl腰ELffi子の発光に関しては、印加電
ITEをW?圧していく過程と高電圧側より降圧しくい
く過程で、同じ印加電圧に対しての発光輝度が異なると
いうヒスプリシス特性を有しくいることが発見されてお
り、このヒステリシスへ性を有ザる簿膜r= L素子に
印加電圧を電圧づる過程において、光、電界、15など
がf1与されると、峙膜EL素子はその強度に対応した
発光輝度の状態に励起され、光、電界、熱などを除去し
元の状態に戻しても発光輝度が高くなった状態に菌まる
といったメ;り一現のが存在することが知られている。
Also, regarding the light emission of this ELffi child, change the applied voltage ITE to W? It has been discovered that the process of increasing the voltage and the process of decreasing the voltage from the high voltage side have a hysteresis characteristic in which the luminance differs for the same applied voltage. r= In the process of increasing the voltage applied to the L element, when light, electric field, 15, etc. It is known that even if the light is removed and the light is returned to its original state, there is a possibility that bacteria will continue to grow in the state where the luminance is increased.

このメモリー現象を有効に活用し7て、[tlEL素子
をメモリー素子に利用する薄膜EL素子応用技術がJ9
在産業界で研究!i1発途上にある。
By making effective use of this memory phenomenon, [J9
Research in the local industry! i1 is in the process of being launched.

薄膜「1−素子の一例としてzns:〜1n薄膜EL素
子の基本的構造を第1図に正面断面図で示す。
As an example of a thin film 1-element, the basic structure of a zns:~1n thin film EL element is shown in a front sectional view in FIG.

第1図を参照して、ガラス基板1上にはIn2O、、S
nO・などの材料からなる透明型t!lj 2が、さら
にj喬明汚(々2のに)こfR層してY;05.TlO
2、八〇−p O,、Sl s Nう、S10□l【ど
か?うなる第1の誘電体層aが、スパックあるいは電子
ビーム蒸着法などの方法により重畳形成されている。第
1の誘電体層3上には、Z!Is:Mnn焼結ベンツ1
を電子ビーム蒸着することにより得られるZIIS発光
H4が形成されている。この際蒸着用のZn3:Mll
焼結ペレッ1〜には、活性物質となるM nが目的に応
じたlIr!1に設定されたベレットが用いられる。
Referring to FIG. 1, on the glass substrate 1 are In2O, S
Transparent type t! made of materials such as nO. 05. TIO
2, 80-p O,, Sl s N, S10□l [Where? The warping first dielectric layer a is formed in an overlapping manner by a method such as spacing or electron beam evaporation. On the first dielectric layer 3, Z! Is: Mnn sintered benz 1
The ZIIS luminescence H4 obtained by electron beam evaporation is formed. At this time, Zn3 for vapor deposition: Mll
In the sintered pellets 1~, the active substance Mn is lIr! depending on the purpose. A bellet set to 1 is used.

ZnS発光層4上には、第1の誘電体層3と同様の材質
からなる第2のrR′R体層5が積Mぎれており、さら
に第2の誘電体WI5の上面にはAuなどからなる背面
電極6が蒸着形成されている。透明l!極2と背面N極
6とは互いに直交する方向に配列されて交流電源7に接
続され、薄膜Eし素子が駆動される。
A second rR'R layer 5 made of the same material as the first dielectric layer 3 is stacked on the ZnS light-emitting layer 4, and the upper surface of the second dielectric WI5 is coated with Au, etc. A back electrode 6 is formed by vapor deposition. Transparent! The pole 2 and the rear N pole 6 are arranged in directions orthogonal to each other and are connected to an AC power source 7 to drive the thin film element.

電極2.6間に交流電圧を印加すると、ZnS発光層4
の両側の誘電体M3,5間に該交流電圧が誘起されるこ
とになり、したがってZns光光膚4内に発生した電界
Gこよって伝導化に励起されかつ加速されて十分なlネ
ルギを得た電子が、直接Mn発光センターを励起し、励
起されたMn発光センターが基底状態に戻る際に黄色の
発光を行なう、、プなわら、高電界で加速された〜了が
7n光光鴨4中の発光センターであるZnサイトに入っ
たMO原子の電子を励起し、該電子が基底状態に落ちる
とき、略々5850人をピークに幅広い波長M域で強い
発光を?する。
When an AC voltage is applied between the electrodes 2.6, the ZnS light emitting layer 4
The alternating current voltage is induced between the dielectrics M3 and 5 on both sides of the Zns, and therefore the electric field G generated in the Zns light skin 4 is excited and accelerated into conduction to obtain sufficient l energy. The electrons directly excite the Mn luminescent center, and when the excited Mn luminescent center returns to the ground state, it emits yellow light. When the electrons of the MO atoms that have entered the Zn site, which is the luminescent center, are excited, and the electrons fall to the ground state, strong light is emitted in a wide wavelength range of M with a peak of approximately 5,850. do.

上記のごとき1f13¥1を有するWI膜EL素子はス
ペース・ファクタの利点を生かした平面薄型ディスプレ
イ・アバイスとして、文字および図形を含む□コンピュ
ータの出力表示端末機器その他種々の表示@讃に文字、
記号、静止画像、動画像などの表示手段として利用する
ことができる。この薄IRE[表示装置は、第1図にお
ける透明電極2および背面電極6で構成される電極構造
、すなわち互いに直交Jるごとく帯状に複数本配列され
た第1の電極群および第2の電極群からなるマトリック
ス電極構造において、透明電極2と背面電極6が平面図
的に見て交差した位置を表示画面の1桧素として表示を
実行する。
The WI film EL element having the above 1f13¥1 can be used as a flat thin display device that takes advantage of the space factor, and can be used for computer output display terminal equipment and other various displays, including characters and graphics.
It can be used as a means of displaying symbols, still images, moving images, etc. This thin IRE [display device] has an electrode structure composed of the transparent electrode 2 and the back electrode 6 shown in FIG. In the matrix electrode structure consisting of the following, display is performed using the position where the transparent electrode 2 and the back electrode 6 intersect in plan view as one element of the display screen.

第2図に基づいて説明すると、ガラス基板1上に二定ピ
ッチ間隔で平行配列された透明Wl惰に、第1の誘電体
層3、ZnS発光層4が順次積層され、ZnS発光層4
上には516NllIと5leN4映王に重畳されたA
楚20. !11とからなる第2の誘電体層5が2層構
造で・積層されており、さらに上・記透明電極2と直交
す・る方向に一定ピッチ間隔をもって平行配列された背
面電極6が第2のM電体FH5上に設けられ、WI膜′
Eし素子が構成されている。この薄膜El−子を封止す
るため、ガラス基板1にスペーサ1oを介して□背面ガ
ラス板11が対向配置され;ガラス基板1、スペーサ1
0、および背面ガラスM′11の各接合部は接着剤12
で接着・密封され、’thmE1素子に対する外囲器が
構成されている。外囲器内には薄膜EL素子が内蔵され
るととも一しリコシオイル、真空グリースなどの薄膜E
ll累4保護用注入流体13が充填封入されている。注
入流体13に要求される条件としては、(1)ピンホー
ルへの浸透性があり、(2)絶縁耐圧が^く、(3)耐
熱性、耐湿性に優れ、(4)薄膜Eし素子構成膜と反応
せず、(5)蒸気圧、熱膨―係数の小さい流動性1n質
であることが望ましいが、特にピンホールへの浸透性が
あり絶縁耐圧があるi度高いこ左およびM膜EL素子構
成膠と反応しdいことを要する。スペーサ10にはシリ
コンオンルなど注入用の微小注入孔14が1来ないし数
個設けられている。また透明電極2および背面電極6の
リード端子部15け、ガラス基板1と背面ガラス板11
の接合部を介して、外囲器外部のガラス基板1上へその
一端が延設され、駆動制御用回路(図示せず)と電気的
に接続されている。
To explain based on FIG. 2, a first dielectric layer 3 and a ZnS light emitting layer 4 are sequentially laminated on transparent layers arranged in parallel at two constant pitches on a glass substrate 1.
Above is A superimposed on 516NllI and 5leN4 Eio.
Chu 20. ! A second dielectric layer 5 consisting of 11 and 11 is laminated in a two-layer structure, and furthermore, back electrodes 6 are arranged in parallel at a constant pitch in a direction perpendicular to the transparent electrode 2. is provided on the M electric body FH5, and the WI film'
An E element is constructed. In order to seal this thin film element, a □ back glass plate 11 is arranged to face the glass substrate 1 with a spacer 1o in between; glass substrate 1, spacer 1
0, and each joint of the back glass M'11 is coated with adhesive 12.
This is adhered and sealed to form an envelope for the 'thmE1 element. A thin film EL element is built into the envelope, and a thin film EL element such as licorice oil or vacuum grease is used.
A protective injection fluid 13 is filled and sealed. The conditions required for the injection fluid 13 are (1) permeability into pinholes, (2) high dielectric strength, (3) excellent heat resistance and moisture resistance, and (4) thin film E element. It is desirable to have a fluid quality that does not react with the constituent membranes and (5) has a low vapor pressure and coefficient of thermal expansion. It is required that the membrane does not react with the glue that makes up the EL element. The spacer 10 is provided with one or several micro injection holes 14 for injection of silicone or the like. In addition, the lead terminal portions 15 of the transparent electrode 2 and the back electrode 6, the glass substrate 1 and the back glass plate 11
One end thereof extends onto the glass substrate 1 outside the envelope through the joint portion, and is electrically connected to a drive control circuit (not shown).

第3図は、薄膜ELパネルの例を示す断面正面図である
FIG. 3 is a cross-sectional front view showing an example of a thin film EL panel.

第3図において、ガラス基板1上に透明電極2が帯状に
一定ピッチ間隔をもって平行配列され、簿膜EL素子1
6が構成されている。この薄膜E1素子16を収納する
ごとく皿状の背面ガラス板17がガラス基板1上に重畳
され、その内部間隙にlff1lEI−素子が内蔵され
る。ガラス基板′Iと背面ガラス板17の接合部は、光
硬化性樹脂、エポキシ樹脂などの接着剤で接着されて密
封されている。背面ガラス板17としては、ソーダガラ
ス、ボウ珪酸ガラスなどが使用され、EL素子構造部の
収納部分がサンドエツチングなどにより深さ1ミリ程度
に凹陥成形されている。
In FIG. 3, transparent electrodes 2 are arranged parallel to each other in a band shape at a constant pitch on a glass substrate 1, and a film EL element 1 is arranged on a glass substrate 1.
6 are configured. A dish-shaped rear glass plate 17 is superimposed on the glass substrate 1 so as to accommodate the thin film E1 element 16, and the lff11EI- element is housed in the internal gap thereof. The joint between the glass substrate 'I and the rear glass plate 17 is sealed and bonded with an adhesive such as a photocurable resin or an epoxy resin. The back glass plate 17 is made of soda glass, silicate glass, or the like, and the housing portion of the EL element structure is recessed to a depth of about 1 mm by sand etching or the like.

このカラス基板1と、背面ガラス板17の接着に際して
は、従来、樹脂II!12の厚みを均一にし接着信頼性
を向上させるため、樹脂中にガラス繊維、ガラスピーズ
、アルミナなどを混入し、この樹脂を塗布1ノた後、ガ
ラス基板1と背面ガラス板17とを貼り合わせ、ばねな
どにより加圧しっつ接着層を形成する方法が用いられて
いた。第4図(△)および第4図(B)は、このカラス
基板1ど脊面ガラス板17との接着工程を説明づるため
の略図的正面Ivi面図および平面図を示す。第4図(
△)から明らかなように、この接着工程では、背面ガラ
ス板17の上刃に複数個のばわ19を配直し、このばね
19の付勢力により背面ガラス板17@ガラス基板1に
押し付けるもの了ある。しかしながら、従来の製造方法
では、ばね19は、第4図(B)から明らかなように(
+印て示1ように)、11面ガラス板17の上面に均苓
に分散配置されていたため、矢印X、Yで示づように凹
陥成形部の上面にもばね19が配置されていた。したが
って接着の際には、第4図(C)に示すように、V¥而
面ラス板17の中央の凹陥部上面にもばね19の悶勢力
が動き、背面ガラス板17が湾曲した状態となり、結果
接着層12の厚みを均一にし1ηないという欠点かあっ
た。の□みならずばね19を取り去った際にけ、背jr
iガラス扱17とガラス基板1内に残留応力が発生し、
そのため接着層12において樹脂が剥離したり、あるい
はガラス基板1もしくは背面ガラス板17においてクラ
ックがn1したリリ−るという欠点もあったつ11久1
肛 それゆえに、この発明の目的は、透光性前面基板(とず
4面様とが強固に接合された?W膜Eしパネルを製造づ
−る方法を提供することにある。
Conventionally, when bonding the glass substrate 1 and the back glass plate 17, resin II! In order to make the thickness of 12 uniform and improve adhesion reliability, glass fiber, glass beads, alumina, etc. are mixed into the resin, and after applying this resin once, the glass substrate 1 and the back glass plate 17 are bonded together. , a method of forming a pressurized adhesive layer using a spring or the like was used. 4(Δ) and FIG. 4(B) show a schematic front view Ivi and a plan view for explaining the process of bonding the glass substrate 1 to the spine glass plate 17. Figure 4 (
As is clear from △), in this bonding process, a plurality of springs 19 are rearranged on the upper blade of the back glass plate 17, and the back glass plate 17 is pressed against the glass substrate 1 by the biasing force of the springs 19. be. However, in the conventional manufacturing method, the spring 19 is (
Since the springs 19 were evenly distributed on the upper surface of the 11-sided glass plate 17 (as shown by the + mark 1), the springs 19 were also arranged on the upper surface of the concave molded portion as shown by arrows X and Y. Therefore, when bonding, as shown in FIG. 4(C), the agonizing force of the spring 19 also moves on the upper surface of the central recess of the V-face glass plate 17, causing the rear glass plate 17 to become curved. As a result, there was a drawback that the thickness of the adhesive layer 12 could not be made uniform by 1η. Not only that, but when spring 19 is removed, the back
i Residual stress occurs within the glass handle 17 and the glass substrate 1,
As a result, there were drawbacks such as peeling of the resin in the adhesive layer 12 or cracks in the glass substrate 1 or rear glass plate 17.
Therefore, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a panel made of a 2W membrane in which a light-transmitting front substrate (four sides) is firmly bonded.

及豊立11 この発明は、要約すれば、透、光性前面基板と背面板と
からなる外聞器内に、薄膜E’L素子と、該IIIEl
素子に対重る絶縁性保護・流体とを収納しT、なるa1
j膜E L−パネルの製造方法において、透光性前面基
板に背面板を接着し密封するに際し、接判部分のみに接
着方向に圧力を加えた状態で透光性前面基板と背面板と
を接着することを特徴とする、wI膜ELパネルの製造
方法である。
11. To summarize, this invention includes a thin film E'L element and the
T, which stores the insulating protection and fluid that overlaps the element, becomes a1
In the manufacturing method of the membrane E L-panel, when bonding and sealing the back plate to the translucent front substrate, the translucent front substrate and the back plate are bonded together while applying pressure in the adhesion direction only to the contact area. This is a method for manufacturing a wI film EL panel, which is characterized by adhesion.

この発明のその他の特徴は、以下の実施例の説明により
明らかとなろう。
Other features of the invention will become clear from the following description of the embodiments.

K塵14」わL 第5図(A)おJび第5図<8)は、この発明の一実施
例を説明するだめの略図的正面断面図おまび平面図であ
り、従来技術の説明で示した第4図(A)および第4図
(B)に相当する図である。
Figures 5(A) and 5<8) are a schematic front cross-sectional view and a plan view for explaining one embodiment of the present invention, and are for explaining the prior art. 4(A) and 4(B) shown in FIG.

この実施例のV?黴は、透光性曲目基板と背面板との接
着工程にある。まず、。、・誓流側におい工も複数個の
ばね19を背面ガ□ラス板17の上方に配置し、ばね1
9の付勢力を背面板17とガラス基板1との接着方向に
働かけ、これによって樹脂層12にJハブる接着をより
確実なものとさせている。
V in this example? The mold is present in the bonding process between the light-transmitting curved substrate and the back plate. first,. ,・The odor generator on the flow side also arranges multiple springs 19 above the back glass plate 17, and the spring 1
A biasing force of 9 is applied in the direction of adhesion between the back plate 17 and the glass substrate 1, thereby making the adhesion to the resin layer 12 more reliable.

この点については、第4図(A)eよび第4図< B 
) i、:よ、え、。、:カワ8□1あ。。。
In this regard, Fig. 4(A)e and Fig. 4<B
) i, :Yo, eh,. , :kawa8□1a. . .

かじながら、この実施例では、第5図(8)から明らか
なように、複数個のばね19は、背面ガラス板17の接
着部分の上方にのみ配置されている(第5図(B)にお
いて2で示す部分。)。したかって、複数個のばね19
の付勢力は、樹脂層12の直上にのみ加わるため、もは
や第4図(C)で示したように背面ガラス板17が湾曲
することはなく、樹脂層12の厚みを均一にすることが
できる。また複数個のばね19の除去後においても。
However, in this embodiment, as is clear from FIG. 5(8), the plurality of springs 19 are arranged only above the adhesive portion of the rear glass plate 17 (in FIG. 5(B)). The part indicated by 2). However, multiple springs 19
Since the biasing force is applied only directly above the resin layer 12, the rear glass plate 17 no longer bends as shown in FIG. 4(C), and the thickness of the resin layer 12 can be made uniform. . Also after the plurality of springs 19 are removed.

ガラス基板1および背面ガラス板17内の残留応力を飛
躍的に軽減することができ、樹脂層12における接着の
信頼性を効果的に改善することかで・きる。
The residual stress within the glass substrate 1 and the rear glass plate 17 can be dramatically reduced, and the reliability of adhesion in the resin layer 12 can be effectively improved.

この発明の薄膜Eしパネルの製造方法は、上述のように
ガラス基板1と背面ガラス板17との接着工程に特徴を
有するものである。その他の工程については、従来より
用いられていた任意の方法を利用し1りるものであるこ
とを指摘しておく。
The method for manufacturing a thin-film E panel according to the present invention is characterized by the step of bonding the glass substrate 1 and the back glass plate 17 as described above. It should be pointed out that for the other steps, any conventionally used method may be used.

11因1」 、以上のように、この発明によれば、透光性前面基板に
背面板を接着し密封プるに際し、接着部分のみに猪首方
向に圧力を加えた状態で透光性前面基板と背面板とが接
着されるため、接着部分の厚みを均一にすることができ
、それによって背面板と基板との接着強度を効果的に改
善することが可能となる。
As described above, according to the present invention, when a back plate is bonded to a translucent front substrate and sealed, pressure is applied only to the adhesive portion in the neck direction. Since the substrate and the back plate are bonded together, the thickness of the bonded portion can be made uniform, thereby making it possible to effectively improve the adhesive strength between the back plate and the substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、従来の薄膜E1−素子の一例を示す正面断面
図である。第2図は、従来のWI膜Elパネルの一例を
示づ正面断面図である。第3図は、この発明の一実施例
が適用されるM Pi E Lパネルの正面断面図であ
るう第4図(A)CtいしくC)は、第3図に示したi
t91r’tA E L−パネルの製造工程を説明づる
ための略図的正面断面図、平面図および正面断面図であ
る。第!J図<A)および(F3 )は、この発明の一
実施例を説明するlこめの略図的1面断面[1diよび
平面図を示J−0 1・・・透光性前面基標どしての)jラス基板、16−
iilllQ L: L Mf 、+ 7 − −v面
イ反3゜特許出願人 シャープ株式会社 消1図 第2z 萬3m
FIG. 1 is a front sectional view showing an example of a conventional thin film E1-element. FIG. 2 is a front sectional view showing an example of a conventional WI membrane El panel. FIG. 3 is a front sectional view of an M Pi E L panel to which an embodiment of the present invention is applied.
They are a schematic front sectional view, a plan view, and a front sectional view for explaining the manufacturing process of the t91r'tAEL panel. No.! Figures J<A) and (F3) are schematic cross-sections from one side [1di and a plan view are shown] for explaining an embodiment of the present invention. ) J-Las board, 16-
illlQ L: L Mf, +7 - -v side A 3° Patent applicant Sharp Corporation Figure 2z 3m

Claims (1)

【特許請求の範囲】 透光性前面基板と背面板とか、らなる外囲器内に、薄I
I!El素子と、該傳14EL素fに対づる絶縁性保護
流体とを収納してなる薄膜、[E Lパネルの製造方法
にJ3いて、 、: 前記透光性前面基板に前記背面板を接着し密封するに際
し、接着部分のみに接着方向に圧力を加えた状態で接着
を行なうことを特徴とする1、ユ膜ELパネルの製造方
法。
[Claims] A thin I
I! A thin film containing an EL element and an insulating protective fluid for the EL element f; 1. A method for producing a Yu-membrane EL panel, characterized in that when sealing, the bonding is performed with pressure applied in the bonding direction only to the bonded portion.
JP58203368A 1983-10-28 1983-10-28 Method of producing thin film el panel Pending JPS6095886A (en)

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JP58203368A JPS6095886A (en) 1983-10-28 1983-10-28 Method of producing thin film el panel

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54150996A (en) * 1978-05-19 1979-11-27 Nagase Sukuriin Insatsu Kenkiy Light emitting device

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JPS54150996A (en) * 1978-05-19 1979-11-27 Nagase Sukuriin Insatsu Kenkiy Light emitting device

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