JPH07226294A - Manufacture of el (electroluminescent) unit - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、発光素子としてＥＬ素
子を利用した発光装置であるＥＬユニットの製作方法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an EL unit which is a light emitting device using an EL element as a light emitting element.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、発光装置に利用可能な発光素子で
あるＥＬ(Electro Luminescence)素子は、絶縁基板の表
面に下部電極層と下部誘電体層とマンガンなどの活性元
素を含む硫化亜鉛等からなる薄膜状の活性層と上部誘電
体層と上部電極層とを順次積層した構造となっている。
そして、このようなＥＬ素子は、電界腐蝕や雰囲気によ
る経時的な劣化などを防止するため、その全体を外気か
ら遮蔽する必要がある。2. Description of the Related Art At present, an EL (Electro Luminescence) element, which is a light-emitting element that can be used in a light-emitting device, comprises a lower electrode layer, a lower dielectric layer, and zinc sulfide containing an active element such as manganese on the surface of an insulating substrate. The thin film active layer, the upper dielectric layer, and the upper electrode layer are sequentially laminated.
Further, such an EL element needs to be shielded from the outside air in its entirety in order to prevent electric field corrosion and deterioration with time due to the atmosphere.
【０００３】従来、表面発光型のＥＬ素子からなるＥＬ
ユニットであるＥＬパネルで利用されている防湿保護法
は、ガラス基板の表面に形成したＥＬ素子にガラスパネ
ルを所定間隔で対抗配置し、この周囲を固定してから内
部に絶縁性の防湿剤としてオイルなどを充填することで
湿度の侵入を防止している。このようなＥＬパネルのＥ
Ｌ素子は、絶縁性基板の表面に下部電極層を所定パター
ンで形成し、この表面にＳｉｏ2 膜やＳｉＮ膜等の下部
誘電体層と、ＺｎＳ：Ｍｎ膜等の活性層と、Ｓｉｏ2 膜
やＳｉＮ膜等の上部誘電体層と、所定パターンの上部電
極層とを順次形成した構造となっている。そこで、この
ようなＥＬパネルでは、上部電極層と下部電極層とを交
流電源に接続してＥＬ素子を駆動する。このＥＬ素子を
包囲するように、ガラスからなるカバー部材を内部が密
閉構造となるように形成し、この内部に防湿剤であるシ
リコンオイルを充填して防湿構造としている。Conventionally, an EL composed of a surface-emitting type EL element
The moisture-proof protection method used in the EL panel, which is a unit, is to place the glass panel against the EL element formed on the surface of the glass substrate at a predetermined interval, fix the periphery, and then use an insulating moisture-proof agent inside. The ingress of humidity is prevented by filling with oil etc. E of such EL panel
In the L element, a lower electrode layer is formed in a predetermined pattern on the surface of an insulating substrate, and a lower dielectric layer such as a Sio 2 film or a SiN film, an active layer such as a ZnS: Mn film, and a Sio 2 film are formed on the surface. It has a structure in which an upper dielectric layer such as a SiN film or the like and an upper electrode layer having a predetermined pattern are sequentially formed. Therefore, in such an EL panel, the upper electrode layer and the lower electrode layer are connected to an AC power source to drive the EL element. A cover member made of glass is formed so as to surround the EL element so that the inside has a sealed structure, and silicon oil, which is a moisture-proof agent, is filled in the inside to have a moisture-proof structure.
【０００４】しかし、このようにガラス等でＥＬ素子を
包囲するカバー部材を形成してオイルを充填するＥＬパ
ネルでは、カバー部材の密閉工程が煩雑で生産性が低下
し、構造的にも厚さと重量とが増加することになる。ま
た、このようなＥＬパネルでは、ＥＬ素子の動作時の発
熱によりオイルが膨張収縮するため、これを吸収する構
造が必要である。さらに、このようなＥＬパネルは、カ
バー部材が破損するとオイルが周囲に散乱するので好ま
しくない。However, in the EL panel in which the cover member that surrounds the EL element is formed with glass and the like is filled with oil, the cover member sealing process is complicated and the productivity is reduced, and the thickness of the EL panel is structurally reduced. And the weight will increase. Further, in such an EL panel, the oil expands and contracts due to the heat generated during the operation of the EL element, and therefore a structure for absorbing the oil is required. Further, such an EL panel is not preferable because when the cover member is damaged, oil is scattered around.
【０００５】そこで、上述のような課題を解決したＥＬ
ユニットとして、固体の樹脂を防湿剤としてＥＬ素子を
封入することが提案されている。例えば、熱硬化性樹脂
をカバー部材に封入してから加熱して硬化させることや
（特開平1-274383号公報）や、光硬化性樹脂をカバー部
材に封入してから紫外線照射で硬化させること（特開平
1-274384号公報）などが提案されている。Therefore, an EL device which solves the above problems
As a unit, it has been proposed to encapsulate an EL element with a solid resin as a moistureproof agent. For example, encapsulating a thermosetting resin in a cover member and then curing by heating (Japanese Patent Laid-Open No. 1-274383), or encapsulating a photocurable resin in the cover member and then curing by UV irradiation. (JP-A
1-274384) and the like have been proposed.
【０００６】そこで、このようなＥＬユニットの一従来
例として、光硬化性樹脂を利用した特開平1-274384号公
報のＥＬパネルの製作方法を図６に基づいて以下に説明
する。まず、ガラス基板１上に透明電極２を帯状に多数
平行配置し、この上にＡl2Ｏ3 等からなる第一誘電体層
３と、ＺｎＳにＭｎＳを添加した材料からなるＥＬ発光
層４と、Ａl2Ｏ3 等からなる第二誘電体層５とを順次形
成した後、この第二誘電体層５にＡｌ等を蒸着して透明
電極２と直交する方向に帯状にパターニングすることで
背面電極６を形成している。そして、注入口７を有する
板厚 1.1(mm)のカバー部材８をエポキシ樹脂９でガラス
基板１と透明電極２とに接着し、この後に注入口７に挿
入した注入管（図示せず）で液状の光硬化性樹脂１０を
カバー部材８の内部に充填する。そして、このカバー部
材８の内部に充填した光硬化性樹脂１０を紫外線の照射
で硬化させ、ガラス片１１とアルミニウム片１２とをエ
ポキシ樹脂９で接着することで注入口７を密閉する。Therefore, as a conventional example of such an EL unit, a method of manufacturing an EL panel of Japanese Patent Laid-Open No. 1-274384 using a photocurable resin will be described below with reference to FIG. First, a large number of transparent electrodes 2 are arranged in parallel in a strip shape on a glass substrate 1, on which a first dielectric layer 3 made of Al 2 O 3 or the like and an EL light emitting layer 4 made of a material in which MnS is added to ZnS are formed. , A second dielectric layer 5 made of Al 2 O 3 or the like is sequentially formed, and then Al or the like is vapor-deposited on the second dielectric layer 5 and patterned in a strip shape in a direction orthogonal to the transparent electrode 2 to form a back surface. The electrode 6 is formed. Then, a cover member 8 having a plate thickness of 1.1 (mm) having an injection port 7 is adhered to the glass substrate 1 and the transparent electrode 2 with an epoxy resin 9, and then an injection pipe (not shown) inserted into the injection port 7 is used. The liquid photocurable resin 10 is filled inside the cover member 8. Then, the photo-curable resin 10 filled inside the cover member 8 is cured by irradiation of ultraviolet rays, and the glass piece 11 and the aluminum piece 12 are adhered with the epoxy resin 9 to seal the injection port 7.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
ＥＬパネルでは、ＥＬ素子を数キロヘルツの交流電圧で
駆動するので、その電界強度も106(Ｖ／cm）と高くなっ
て機械的振動を発生している。このため、ＥＬ素子を固
体封止する樹脂の材質や材厚は重要であるが、固体封止
は取扱いや生産性が良好である。However, in the EL panel as described above, since the EL element is driven by an alternating voltage of several kilohertz, the electric field strength of the EL element is as high as 10 6 (V / cm) and mechanical vibration is caused. Is occurring. For this reason, the material and material thickness of the resin for solid-sealing the EL element are important, but the solid-sealing has good handling and productivity.
【０００８】しかし、実際には高絶縁性の固体樹脂を防
湿剤に利用しても、ＥＬ素子には微小なピンホールから
絶縁破壊が発生する。この絶縁破壊は自己回復型と伝播
破壊型との二種類があるが、何れも破壊点では高熱を発
生して固体樹脂が急激に焼損したり、熱膨張により固体
樹脂が変形したりする。このため、ＥＬ素子に強い応力
が作用したり、膜の剥離を誘発するため、破壊点の位置
だけでなく広範囲に破壊が発生してＥＬ素子が使用不能
となることがある。However, actually, even if a highly insulating solid resin is used as a moisture-proofing agent, dielectric breakdown occurs in the EL element from minute pinholes. There are two types of dielectric breakdown, a self-healing type and a propagation breakdown type. In both cases, high heat is generated at the breaking point to rapidly burn the solid resin, or the solid resin is deformed by thermal expansion. For this reason, strong stress acts on the EL element, or peeling of the film is induced, so that not only the position of the breaking point but also a wide range of breakage may occur, making the EL element unusable.
【０００９】例えば、このような課題を解決したＥＬユ
ニットの製作方法としては、特開昭60-70694号公報に開
示されたものがあり、これはＥＬ素子をエージングの完
了後に固体の防湿剤で封止するようになっている。しか
し、実際には気層中でＥＬ素子をエージングすると、破
壊点に湿気が侵入して耐久性が低下する。例えば、完全
に乾燥した不活性ガスの中でならばＥＬ素子を良好にエ
ージングすることができるが、この場合はＥＬ素子のエ
ージングの他にも防湿剤の注入や封入や硬化などの多数
の製作工程を、完全に乾燥した不活性ガスの中で連続的
に実行する必要がある。しかし、これでは作業性が悪く
大規模な生産設備も必要であるため、ＥＬユニットの生
産性が著しく低下するので実用的でない。For example, as a method of manufacturing an EL unit which solves such a problem, there is a method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 60-70694, which is a solid moistureproofing agent after the EL element is aged. It is designed to be sealed. However, actually, when the EL element is aged in the air layer, moisture penetrates into the breaking point and the durability is lowered. For example, EL elements can be aged well in a completely dry inert gas, but in this case, in addition to aging EL elements, many fabrications such as injection, encapsulation, and curing of a moisture-proofing agent are required. The process must be run continuously in a completely dry inert gas. However, this is unpractical because the workability is poor and a large-scale production facility is also required, which significantly reduces the productivity of the EL unit.
【００１０】本発明は、生産性と耐久性とが共に良好な
ＥＬユニットの製作方法を得るものである。The present invention is to obtain a method of manufacturing an EL unit which is excellent in both productivity and durability.
【００１１】また、本発明は、より生産性が良好なＥＬ
ユニットの製作方法を得るものである。In addition, the present invention is an EL which has a better productivity.
This is how to get the unit manufacturing method.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板の表面上に下部電極層と下部誘電体層と活性層と上
部誘電体層と上部電極層とを順次積層してＥＬ素子を形
成し、前記基板に少なくとも一つの透光部を具備して前
記ＥＬ素子を包囲するカバー部材を装着し、このカバー
部材の内部空間に防湿剤を封入したＥＬユニットにおい
て、前記カバー部材の内部空間に液状の前記防湿剤を注
入してから前記ＥＬ素子を電圧印加でエージングし、こ
のエージングを実行してから前記防湿剤を硬化させる。The invention according to claim 1 is
An EL device is formed by sequentially stacking a lower electrode layer, a lower dielectric layer, an active layer, an upper dielectric layer and an upper electrode layer on a surface of a substrate to form an EL device, and the substrate is provided with at least one light transmitting portion. In an EL unit in which a cover member that surrounds the EL element is mounted and a moistureproof agent is enclosed in the inner space of the cover member, the liquid moistureproof agent is injected into the inner space of the cover member, and then the EL element is applied with a voltage. Aging is performed by application, and after performing this aging, the moistureproof agent is cured.
【００１３】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、絶縁性を有して電圧印加では硬化すること
なく光照射で硬化する物質を防湿剤とした。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the substance which has an insulating property and which is cured by light irradiation without being cured by voltage application is used as the moistureproof agent.
【００１４】[0014]
【作用】請求項１記載の発明は、エージングの実行時に
は防湿剤を液状として局所的な圧力によるＥＬ素子の破
壊を防止することができ、エージングの完了後は防湿剤
を硬化させて流出を防止することができるので、生産性
と耐久性とが共に良好なＥＬユニットの製作方法を得る
ことができる。According to the first aspect of the present invention, when the aging is performed, the moisture preventive agent can be made liquid to prevent the EL element from being destroyed by the local pressure, and after the aging is completed, the moisture preventive agent is cured to prevent outflow. Therefore, it is possible to obtain a method of manufacturing an EL unit having both good productivity and good durability.
【００１５】請求項２記載の発明は、ＥＬ素子を封止し
た液状の防湿剤を簡易に硬化させることができるので、
より生産性が良好なＥＬユニットの製作方法を得ること
ができる。According to the second aspect of the present invention, since the liquid moistureproof agent encapsulating the EL element can be easily cured,
It is possible to obtain a method for manufacturing an EL unit with higher productivity.
【００１６】[0016]
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図４に基づい
て以下に説明する。まず、本実施例で例示するＥＬユニ
ットであるＥＬディスプレイ２２は、図２（ｅ）及び図
４に例示するように、ここでは 256個のＥＬ素子２３を
16×16のドットマトリクス状に連設した構造となってい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. First, the EL display 22, which is the EL unit exemplified in this embodiment, has 256 EL elements 23, as illustrated in FIGS. 2E and 4.
It has a structure of 16x16 dot matrix.
【００１７】そこで、これらのＥＬ素子２３は、例え
ば、板厚 1.1(mm)のガラス基板２４上に、膜厚1000
（Å）のＩＴＯ(Indium-Tin Oxide)等からなる下部電極
層である16個の行電極２５、膜厚 500／2500（Å）のＳ
ｉＯ2 ／Ｔa2Ｏ5 等からなる一つの下部誘電体層２６、
濃度0.4(wt％）のＭｎを含有した膜厚5000〜10000(Å）
のＺｎＳ等からなる一つの活性層２７、膜厚2500／500
(Å）のＴa2Ｏ5 ／ＳｉＯ2 等からなる一つの上部誘電
体層２８、膜厚4000（Å）のアルミニウム等からなる上
部電極層である16個の列電極２９を順次積層した構造と
なっている。Therefore, these EL elements 23 are formed, for example, on a glass substrate 24 having a plate thickness of 1.1 (mm) and a film thickness of 1000.
(Å) 16 row electrodes 25, which is a lower electrode layer made of ITO (Indium-Tin Oxide), etc., S having a film thickness of 500/2500 (Å)
one lower dielectric layer 26 made of iO 2 / Ta 2 O 5, etc.,
Film thickness containing Mn with a concentration of 0.4 (wt%) 5000 to 10000 (Å)
Active layer 27 made of ZnS, etc., film thickness 2500/500
(Å) One upper dielectric layer 28 made of Ta 2 O 5 / SiO 2 or the like, and 16 column electrodes 29 being an upper electrode layer made of aluminum or the like having a film thickness of 4000 (Å) are sequentially laminated. Has become.
【００１８】そして、このＥＬディスプレイ２２は、図
１（ｆ）に例示するように、前記ガラス基板２４に装着
した扁平なボックス状の透明なカバー部材３０で前記Ｅ
Ｌ素子２３を包囲し、このＥＬ素子２３を前記カバー部
材３０の内部空間に充填して硬化させた防湿剤３１で封
止した構造となっている。ここで、この防湿剤３１は、
例えば、アクリル系で高屈折率の可視光硬化型樹脂であ
り、これは絶縁性を有して電圧印加では硬化することな
く光照射で硬化する物質の一つである。As shown in FIG. 1 (f), the EL display 22 has a flat box-shaped transparent cover member 30 mounted on the glass substrate 24 and has the above-mentioned E shape.
The L element 23 is surrounded, and the EL element 23 is filled in the inner space of the cover member 30 and sealed with a moistureproof agent 31 which is hardened. Here, the moisture-proofing agent 31 is
For example, acrylic-based and high-refractive-index visible light curable resin is one of the substances that has an insulating property and that is cured by light irradiation without being cured by voltage application.
【００１９】そして、このＥＬディスプレイ２２は、詳
細には後述するように、前記カバー部材３０の内部空間
に液状の前記防湿剤３１を注入してから前記ＥＬ素子２
３を所定時間の電圧印加でエージングし、このエージン
グを実行してから前記防湿剤３１を光照射で硬化させる
ことで前記ＥＬ素子２３を封止している。As will be described later in detail, the EL display 22 has the EL element 2 after the liquid moistureproof agent 31 is injected into the inner space of the cover member 30.
3 is aged by applying a voltage for a predetermined time, and after the aging is performed, the moistureproof agent 31 is cured by light irradiation to seal the EL element 23.
【００２０】このような構成において、このＥＬディス
プレイ２２では、行電極２５と列電極２９とに高電圧の
駆動パルスを選択的に印加することで、縦横に配列した
多数のＥＬ素子２３をマトリクス駆動で選択的に発光さ
せて所望の画像をドットマトリクス形式で表示する。In the EL display 22 having such a configuration, a large number of EL elements 23 arranged vertically and horizontally are matrix-driven by selectively applying a high-voltage driving pulse to the row electrodes 25 and the column electrodes 29. To selectively emit light to display a desired image in a dot matrix format.
【００２１】そして、このＥＬディスプレイ２２では、
カバー部材３０の内部空間に充填して硬化させた防湿剤
３１による密閉でＥＬ素子２３の劣化を防止することが
でき、硬化した樹脂からなる防湿剤３１はカバー部材３
０から漏出することもないので信頼性が良好である。な
お、このＥＬディスプレイ２２で採用したアクリル系の
防湿剤３１は、例えば、硬化する以前の粘度は15(cps）
と低いので、カバー部材３０の内部に良好に浸透する。Then, in this EL display 22,
The deterioration of the EL element 23 can be prevented by sealing with the moistureproof agent 31 which is filled and cured in the inner space of the cover member 30, and the moistureproof agent 31 made of the cured resin is used as the cover member 3.
Since it does not leak from 0, the reliability is good. The acrylic moisture-proofing agent 31 used in the EL display 22 has, for example, a viscosity before curing of 15 (cps).
Since it is low, it penetrates well into the inside of the cover member 30.
【００２２】ここで、このＥＬディスプレイ２２の製作
方法の具体例を図１及び図２に基づいて以下に順次説明
する。まず、図２（ａ）及び図３に例示するように、入
念に洗浄した低アルカリガラスからなる板厚 1.1(mm)の
絶縁性のガラス基板２４の表面に、ＩＴＯからなる膜厚
1000（Å）の透明で導電性の薄膜層を蒸着で成膜し、こ
れをフォトエッチング等でパターニングすることで16個
の行電極２５を連設する。Here, a specific example of a method of manufacturing the EL display 22 will be sequentially described below with reference to FIGS. 1 and 2. First, as illustrated in FIG. 2A and FIG. 3, a film thickness of ITO is formed on the surface of an insulative glass substrate 24 having a plate thickness of 1.1 (mm) made of carefully washed low alkali glass.
A transparent conductive thin film layer of 1000 (Å) is formed by vapor deposition, and patterned by photoetching or the like to form 16 row electrodes 25 in series.
【００２３】つぎに、図２（ｂ）〜（ｄ）に例示するよ
うに、上述のように行電極２５等を形成したガラス基板
２４の表面上に、膜厚 500／2500（Å）のＳｉＯ2 ／Ｔ
a2Ｏ5 からなる下部誘電体層２６と、この表面に濃度0.
4(wt％）のＭｎを含有した膜厚5000〜10000(Å）のＺｎ
Ｓからなる活性層２７と、膜厚2500／500(Å）のＴa2Ｏ
5 ／ＳｉＯ2 からなる上部誘電体層２８とを、ＲＦ(Rad
io-Frequency）スパッタリングで順次成膜する。なお、
これら各層２６〜２８は、電子ビーム蒸着やＣＶＤ(Che
mical Vapor Deposition）やホットウォールエピタキシ
や分子線エピタキシ等でも成膜することができる。ま
た、上部誘電体層２８や下部誘電体層２６の材料として
も、誘電率や耐久性や成膜条件などを考慮することで、
Ｙ2 Ｏ3 ，Ａl2Ｏ3 ，Ｓi3Ｎ4 等が利用可能である。同
様に、活性層２７の材料としても、発光エネルギよりエ
ネルギギャップが過大なＺｎＳｅ，ＳｒＳ等にＴｂＦ
3 ，ＥｒＦ3 ，ＴｍＦ3 ，ＤｙＦ3 ，ＨｏＦ3 ，ＳｍＦ
3 ，ＣｅＣl3等の発光中心を混合したものが利用可能で
ある。Next, as illustrated in FIGS. 2 (b) to 2 (d), on the surface of the glass substrate 24 on which the row electrodes 25 and the like are formed as described above, a SiO film having a thickness of 500/2500 (Å) is formed. 2 / T
A lower dielectric layer 26 made of a 2 O 5 and a concentration of 0.
Zn with a film thickness of 5000 to 10000 (Å) containing 4 (wt%) Mn
Active layer 27 made of S and Ta 2 O with a thickness of 2500/500 (Å)
The upper dielectric layer 28 made of 5 / SiO 2 and RF (Rad
io-Frequency) Sputtering sequentially forms films. In addition,
Each of these layers 26 to 28 is formed by electron beam evaporation or CVD (Che
mical vapor deposition), hot wall epitaxy, molecular beam epitaxy, etc. Also, as the material of the upper dielectric layer 28 and the lower dielectric layer 26, by considering the dielectric constant, durability, film forming conditions, etc.,
Y 2 O 3 , Al 2 O 3 , Si 3 N 4 and the like can be used. Similarly, as a material of the active layer 27, ZnSe, SrS or the like having an energy gap larger than the emission energy is TbF.
3 , ErF 3 , TmF 3 , DyF 3 , HoF 3 , SmF
A mixture of luminescent centers such as 3 , CeCl 3 and the like can be used.
【００２４】つぎに、上述のようにして上部誘電体層２
８等を形成したガラス基板２４の表面上に、同図（ｅ）
及び図４に例示したように、アルミニウムからなる膜厚
4000（Å）の薄膜層（図示せず）をスパッタリング法や
電子ビーム法などで一様に成膜し、この薄膜層をフォト
エッチング等でパターニングすることで16個の列電極２
９を連設する。Next, the upper dielectric layer 2 is formed as described above.
8 (e) on the surface of the glass substrate 24 on which 8 and the like are formed.
And, as illustrated in FIG. 4, a film thickness made of aluminum
A 4000 (Å) thin film layer (not shown) is uniformly formed by a sputtering method, an electron beam method, or the like, and the thin film layer is patterned by photoetching or the like to form 16 column electrodes 2
9 are installed in a row.
【００２５】このようにすることで、各々16個の行電極
２５と列電極２９との交点として、256個のＥＬ素子２
３を16×16のドットマトリクス状に連設したユニットを
薄膜技術で得ることができるので、以後はカバー部材３
０等を機械的に組付けることになる。なお、以下の説明
で参照する図１は模式図であるので、図中ではＥＬ素子
２３を一個として表現している。By doing so, 256 EL elements 2 are formed as intersections of 16 row electrodes 25 and 16 column electrodes 29, respectively.
Since a unit in which 3 are connected in a 16 × 16 dot matrix form can be obtained by thin film technology, the cover member 3 will be used thereafter.
0 will be mechanically assembled. Since FIG. 1 referred to in the following description is a schematic diagram, the EL element 23 is represented as one in the figure.
【００２６】まず、図１（ａ）及び図５に例示するよう
に、ガラス基板２４の表面のＥＬ素子２３の両側部にポ
リイミドで前後が開口したスペーサ３２を形成してか
ら、同図（ｂ）に例示するように、微細なガラスビーズ
３３をＥＬ素子２３の表面に散布する。つぎに、同図
（ｃ）に例示するように、ガラス基板２４と同等な板厚
1.1(mm)のカバーガラス３４を、スペーサ３２の表面に
粘度が高く防湿性も良好な常温硬化型の二液性のエポキ
シ接着剤（図示せず）で接着することで、ＥＬ素子２３
を包囲するカバー部材３０をガラス基板２４の表面に形
成する。First, as illustrated in FIGS. 1A and 5, spacers 32 having front and rear openings made of polyimide are formed on both sides of the EL element 23 on the surface of the glass substrate 24, and then, as shown in FIG. ), Fine glass beads 33 are scattered on the surface of the EL element 23. Next, as illustrated in FIG. 7C, a plate thickness equivalent to that of the glass substrate 24
By attaching a 1.1 (mm) cover glass 34 to the surface of the spacer 32 with a room temperature curing type two-component epoxy adhesive (not shown) having high viscosity and good moisture resistance, the EL element 23
The cover member 30 surrounding the is formed on the surface of the glass substrate 24.
【００２７】そして、同図（ｄ）に例示するように、こ
のようにしてガラス基板２４の表面に形成したカバー部
材３０の表面を加圧してカバーガラス３４をガラスビー
ズ３３に圧接した状態で、粘度が低くアクリル系で高屈
折率の可視光硬化型樹脂からなる防湿剤３１をカバー部
材３０のスペーサ３２の開口にスポイト（図示せず）な
どで浸透させた。さらに、カバー部材３０に防湿剤３１
を封入したガラス基板２４を真空容器（図示せず）の内
部に載置して減圧することで、カバー部材３０の内部の
防湿剤３１を均一化すると共に脱泡する。Then, as illustrated in FIG. 3D, the surface of the cover member 30 thus formed on the surface of the glass substrate 24 is pressed to press the cover glass 34 against the glass beads 33, A moisture preventive agent 31 made of a visible light curable resin having a low viscosity and an acrylic type and a high refractive index was permeated into the opening of the spacer 32 of the cover member 30 with a dropper (not shown) or the like. Further, the cover member 30 has a moisture-proofing agent 31.
The glass substrate 24 encapsulating is placed in a vacuum container (not shown) and decompressed, whereby the moistureproof agent 31 inside the cover member 30 is made uniform and defoamed.
【００２８】そして、同図（ｅ）に例示するように、実
際にはカバー部材３０の外部に流出している行電極２５
と列電極２９とに電圧可変の交流電源３５を接続し、こ
の交流電源３５の電圧印加でＥＬ素子２３をエージング
した。より詳細には、このエージングでは、ＥＬ素子２
３に印加する交流電源３５の交流電圧を、発光駆動の場
合と同等の50〜60(Hz)の周波数で交流電圧をＥＬ素子２
３の発光輝度が飽和するまで一分間に数ボルトずつ上昇
させ、ＥＬ素子２３の発光輝度が飽和した電圧を80〜10
0 時間ほど維持する。Then, as illustrated in FIG. 7E, the row electrode 25 actually flowing out of the cover member 30.
A voltage-variable AC power supply 35 was connected to the column electrodes 29, and the EL element 23 was aged by applying a voltage to the AC power supply 35. More specifically, in this aging, the EL element 2
The AC voltage of the AC power source 35 applied to the EL element 3 is set to the EL element 2 at a frequency of 50 to 60 (Hz) which is the same as in the case of light emission driving.
The voltage at which the brightness of the EL element 23 is saturated is set to 80 to 10% by increasing the voltage by several volts per minute until the brightness of the brightness of 3 is saturated.
Hold for about 0 hours.
【００２９】なお、このようなエージングを実行する場
合、印加する電圧の周波数を発光駆動の場合の十倍の 5
00〜600(Hz）ほどにすることで、処理時間を20〜30時間
に短縮することもできる。さらに、このようなエージン
グを実行する場合に、ＥＬ素子２３を 200〜250(℃）に
加熱することで、処理時間を数時間に短縮することもで
きる。When performing such aging, the frequency of the applied voltage is ten times as high as that in the case of light emission driving.
The processing time can be shortened to 20 to 30 hours by setting it to about 00 to 600 (Hz). Furthermore, when performing such aging, the processing time can be shortened to several hours by heating the EL element 23 to 200 to 250 (° C.).
【００３０】そして、このＥＬディスプレイ２２の製作
方法では、上述のようにエージングを実行することでＥ
Ｌ素子２３のピンホールを微細に絶縁破壊することにな
るが、このが微細な絶縁破壊を発生して発熱するが、こ
の発熱は流動する防湿剤３１が良好に放散する。さら
に、このようなＥＬ素子２３の表面の微細部分の発熱で
防湿剤３１が局所的に膨張しても、その圧力は液体であ
る防湿剤３１の全体に分散されてＥＬ素子２３に局所的
に作用することはないので、このＥＬ素子２３の破壊点
が拡大することはない。そして、このようなエージング
で破壊したＥＬ素子２３の破壊点には液体からなる防湿
剤３１が良好に浸透するので、この浸透した防湿剤３１
により以後のＥＬ素子２３の破壊伝播も防止できる。In the method of manufacturing the EL display 22, the aging is performed as described above, so that the E
The pinholes of the L element 23 are finely dielectrically broken down, and this causes fine dielectrical breakdown to generate heat, but this heat generation causes the flowing moisture barrier 31 to dissipate well. Further, even if the moisture-proofing agent 31 locally expands due to the heat generated from such a minute portion of the surface of the EL element 23, the pressure is dispersed throughout the moisture-proofing agent 31 which is a liquid, and the pressure is locally applied to the EL element 23. Since it does not act, the breaking point of the EL element 23 does not expand. Then, since the moisture-proofing agent 31 made of liquid satisfactorily permeates into the breaking point of the EL element 23 which is destroyed by such aging, the permeating moisture-proofing agent 31
As a result, the subsequent propagation of destruction of the EL element 23 can be prevented.
【００３１】つぎに、図１（ｆ）に例示したように、上
述のようにしてＥＬ素子２３のエージングを完了したＥ
Ｌディスプレイ２２にハロゲンランプ３６で波長 420(n
m)の可視光線を照射することで、防湿剤３１をカバー部
材３０の内部で硬化させてＥＬディスプレイ２２の製作
を完了する。Next, as illustrated in FIG. 1 (f), E which has completed the aging of the EL element 23 as described above.
The wavelength of 420 (n
By irradiating the visible light of m), the moisture preventive agent 31 is cured inside the cover member 30, and the fabrication of the EL display 22 is completed.
【００３２】このようにすることで、硬化した防湿剤３
１とカバー部材３０とにより雰囲気の湿度がＥＬ素子２
３に作用することを防止できるので、発光駆動するＥＬ
素子２３の破壊を防止して耐久性の向上に寄与すること
ができる。そして、このように硬化した防湿剤３１は、
カバー部材３０の内部から流出することがないので、こ
のＥＬディスプレイ２２は信頼性や耐久性が良好であ
る。By doing so, the cured moisture-proofing agent 3
1 and the cover member 30 reduce the humidity of the atmosphere to the EL element 2
It is possible to prevent the effect on 3
It is possible to prevent breakage of the element 23 and contribute to improvement of durability. And the moistureproof agent 31 thus hardened is
Since the EL display 22 does not flow out from the inside of the cover member 30, the EL display 22 has excellent reliability and durability.
【００３３】つまり、このＥＬディスプレイ２２では、
上述のようにＥＬ素子２３のエージングを実行する際に
は防湿剤３１は液体であるので、エージングの発熱によ
る防湿剤３１の膨張でＥＬ素子２３の破壊点が拡大する
ことを防止でき、このようなエージングの完了後に防湿
剤３１を硬化するので、製品の完成後にカバー部材３０
から防湿剤３１が流出することを防止できる。That is, in this EL display 22,
As described above, when the aging of the EL element 23 is performed, since the moistureproof agent 31 is a liquid, it is possible to prevent expansion of the destruction point of the EL element 23 due to expansion of the moistureproof agent 31 due to heat generation of the aging. Since the moisture-proofing agent 31 is hardened after completion of various aging, after the product is completed, the cover member 30
It is possible to prevent the moisture-proofing agent 31 from flowing out.
【００３４】なお、ここでは防湿剤３１としてアクリル
系で高屈折率の可視光硬化型樹脂を利用することを例示
したが、本発明は上記実施例に限定するものではなく、
このような防湿剤を紫外線硬化型の接着剤（図示せず）
として波長 360(nm)の光照射で硬化させることや、防湿
剤をオレフィン系の高粘度の光硬化型接着剤とすること
も実施可能である。Although it has been exemplified here that the visible light curable resin of acrylic type and high refractive index is used as the moisture-proofing agent 31, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment.
Such a moisture-proofing agent is used as an ultraviolet curable adhesive (not shown).
It is also possible to carry out curing by irradiation with light having a wavelength of 360 (nm), or to use the humectant as an olefin-based high-viscosity photocurable adhesive.
【００３５】また、本実施例では表面が発光するＥＬ素
子２３を縦横に連設したＥＬディスプレイ２２をＥＬユ
ニットとして例示したが、本発明は上記実施例に限定す
るものではなく、例えば、活性層の端面から扁平なビー
ム光を出射する端面発光型ＥＬ素子をライン状に連設し
たプリンタヘッド（図示せず）なども本発明を適用する
ＥＬユニットとして実施可能である。Further, in this embodiment, the EL display 22 in which the EL elements 23 whose surface emits light is arranged vertically and horizontally is exemplified as the EL unit, but the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and, for example, the active layer is used. A printer head (not shown) in which end-face emitting type EL elements that emit flat beam light from the end face of the printer are connected in a line is also applicable as the EL unit to which the present invention is applied.
【００３６】[0036]
【発明の効果】請求項１記載の発明は、カバー部材の内
部空間に液状の防湿剤を注入してからＥＬ素子を電圧印
加でエージングし、このエージングを実行してから防湿
剤を硬化させることにより、エージングの実行時には防
湿剤を液状として局所的な圧力によるＥＬ素子の破壊を
防止することができ、エージングの完了後は防湿剤を硬
化させて流出を防止することができるので、生産性と耐
久性とが共に良好なＥＬユニットの製作方法を得ること
ができる等の効果を有するものである。According to the first aspect of the invention, the liquid dehumidifying agent is injected into the inner space of the cover member, the EL element is aged by applying a voltage, and the aging is performed, and then the dehumidifying agent is cured. This makes it possible to prevent the EL element from being destroyed by a local pressure when the aging is performed by making the moistureproof agent liquid, and after the aging is completed, the moistureproofing agent can be cured to prevent the outflow, so that the productivity is improved. This has effects such as being able to obtain a manufacturing method of an EL unit having both excellent durability.
【００３７】請求項２記載の発明は、絶縁性を有して電
圧印加では硬化することなく光照射で硬化する物質を防
湿剤としたことにより、ＥＬ素子を封止した液状の防湿
剤を簡易に硬化させることができるので、より生産性が
良好なＥＬユニットの製作方法を得ることができる等の
効果を有するものである。According to the second aspect of the invention, the substance which has an insulating property and is not cured by voltage application but is cured by light irradiation is used as the moisture-proofing agent. Since it can be cured to a desired temperature, it has the effect of being able to obtain a method of manufacturing an EL unit with better productivity.
【図１】本発明のＥＬユニットの製作方法の一実施例と
してＥＬ素子を封止する工程を示し、（ａ）はガラス基
板の表面にスペーサを設けた状態を示す縦断側面図、
（ｂ）はＥＬ素子の表面にガラスビーズを散布した状態
を示す縦断側面図、（ｃ）はカバー部材が完成した状態
を示す縦断側面図、（ｄ）はカバーガラスの内部空間に
液状の防湿剤を注入した状態を示す縦断側面図、（ｅ）
はＥＬ素子を電圧印加でエージングする状態を示す縦断
側面図、（ｆ）は防湿剤を光照射で硬化させてＥＬディ
スプレイを完成した状態を示す縦断側面図である。FIG. 1 shows a step of sealing an EL element as an example of a method for manufacturing an EL unit of the present invention, (a) is a vertical cross-sectional side view showing a state in which a spacer is provided on the surface of a glass substrate,
(B) is a vertical side view showing a state in which glass beads are scattered on the surface of the EL element, (c) is a vertical side view showing a state in which the cover member is completed, and (d) is a liquid moisture-proof in the inner space of the cover glass. (E) is a vertical sectional side view showing a state in which the agent is injected.
Is a vertical sectional side view showing a state in which an EL element is aged by applying a voltage, and (f) is a vertical sectional side view showing a state in which an EL display is completed by curing a moistureproof agent by light irradiation.
【図２】ＥＬユニットの製作方法の一部としてＥＬディ
スプレイを製作する工程を示し、（ａ）はガラス基板の
表面に下部電極層である行電極を形成した状態を示す縦
断側面図、（ｂ）は下部誘電体層を形成した状態を示す
縦断側面図、（ｃ）は活性層を形成した状態を示す縦断
側面図、（ｄ）は上部誘電体層を形成した状態を示す縦
断側面図、（ｅ）は上部電極層である列電極を形成して
ＥＬ素子を完成した状態を示す縦断側面図である。FIG. 2 shows a step of manufacturing an EL display as part of a method of manufacturing an EL unit, (a) is a vertical cross-sectional side view showing a state where a row electrode which is a lower electrode layer is formed on the surface of a glass substrate, (b). ) Is a vertical sectional side view showing a state in which a lower dielectric layer is formed, (c) is a vertical sectional side view showing a state in which an active layer is formed, (d) is a vertical sectional side view showing a state in which an upper dielectric layer is formed, (E) is a vertical cross-sectional side view showing a state where an EL element is completed by forming a column electrode which is an upper electrode layer.
【図３】ガラス基板の表面に行電極を形成した状態を示
す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state where row electrodes are formed on the surface of a glass substrate.
【図４】ガラス基板の表面にＥＬ素子を縦横に連設した
状態を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a state where EL elements are vertically and horizontally arranged on a surface of a glass substrate.
【図５】ガラス基板の表面でＥＬ素子の両側部にスペー
サを設けた状態を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a state where spacers are provided on both sides of the EL element on the surface of the glass substrate.
【図６】一従来例のＥＬユニットであるＥＬパネルを示
す縦断正面図である。FIG. 6 is a vertical sectional front view showing an EL panel which is an EL unit of a conventional example.
２２ ＥＬユニット ２３ ＥＬ素子 ２４ 基板 ２５ 下部電極層 ２６ 下部誘電体層 ２７ 活性層 ２８ 上部誘電体層 ２９ 上部電極層 ３０ カバー部材 ３１ 防湿剤 22 EL Unit 23 EL Element 24 Substrate 25 Lower Electrode Layer 26 Lower Dielectric Layer 27 Active Layer 28 Upper Dielectric Layer 29 Upper Electrode Layer 30 Cover Member 31 Moisture Proofing Agent
Claims (2)
層と活性層と上部誘電体層と上部電極層とを順次積層し
てＥＬ素子を形成し、前記基板に少なくとも一つの透光
部を具備して前記ＥＬ素子を包囲するカバー部材を装着
し、このカバー部材の内部空間に防湿剤を封入したＥＬ
ユニットにおいて、前記カバー部材の内部空間に液状の
前記防湿剤を注入してから前記ＥＬ素子を電圧印加でエ
ージングし、このエージングを実行してから前記防湿剤
を硬化させることを特徴とするＥＬユニットの製作方
法。1. An EL device is formed by sequentially laminating a lower electrode layer, a lower dielectric layer, an active layer, an upper dielectric layer and an upper electrode layer on a surface of a substrate to form at least one light-transmitting layer on the substrate. An EL device in which a cover member having a portion surrounding the EL element is attached, and a moisture-proof agent is enclosed in an internal space of the cover member.
In the unit, the liquid dehumidifying agent is injected into the inner space of the cover member, the EL element is aged by applying a voltage, and after the aging is performed, the dehumidifying agent is cured. How to make.
となく光照射で硬化する物質を防湿剤としたことを特徴
とする請求項１記載のＥＬユニットの製作方法。2. The method of manufacturing an EL unit according to claim 1, wherein a substance which has an insulating property and is not cured by voltage application but is cured by light irradiation is used as the moisture preventive agent.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6016917A JPH07226294A (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Manufacture of el (electroluminescent) unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6016917A JPH07226294A (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Manufacture of el (electroluminescent) unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226294A true JPH07226294A (en) | 1995-08-22 |
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ID=11929493
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP6016917A Pending JPH07226294A (en) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Manufacture of el (electroluminescent) unit |
Country Status (1)
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