JPS6093972U - 表面電位計 - Google Patents

表面電位計

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JPS6093972U
JPS6093972U JP18698983U JP18698983U JPS6093972U JP S6093972 U JPS6093972 U JP S6093972U JP 18698983 U JP18698983 U JP 18698983U JP 18698983 U JP18698983 U JP 18698983U JP S6093972 U JPS6093972 U JP S6093972U
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JP
Japan
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electrometer
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surface electrometer
measuring object
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JP18698983U
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JPS6310534Y2 (ja
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正 石川
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キヤノン株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、組立完成状態の既知の表面電位計の被測定体
側から見た断面図、第２図は、第１図の電位計のチョッ
プ部のみを取り出した正面図、第３図は、第２図のチョ
ップ部の上面図、第４図は、前記表面電位計の切断平面
図、第５図は、本考案による基板切除を実施した表面電
位計の外部シールドを除去した状態の測定電極近傍の斜
視図、第６図は、本考案による基板切除部付近の構成要
素の相対配置を示す上面図である。 １・・・外部シールド、１′・・・測定窓、２・・・内
部シールド、３・・・測定電極、４・・・基板、５・・
・振動子、６・・・圧電素子、７・・・基台、８・・・
リードピン、９・・・リードピン、１０・・・リード線
、１１・・・検知回路、１２・・・切除部分。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定体と正対する検知面を有する検知体と、前記検知
    面と前記被測定体間に形成された電界を断続的に遮断す
    る振動子を含む表面電位計において、前記検知体を含む
    前記表面電位計の構成要素を担持する基板が被測定体と
    対向する前記検知体前面付近の端部において、少なくと
    も前記検知面の幅よりも大きい幅の切欠部を有している
    ことを特徴とする表面電位計。
JP18698983U 1983-12-05 1983-12-05 表面電位計 Granted JPS6093972U (ja)

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JP18698983U JPS6093972U (ja) 1983-12-05 1983-12-05 表面電位計

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JPS6093972U true JPS6093972U (ja) 1985-06-26
JPS6310534Y2 JPS6310534Y2 (ja) 1988-03-29

Family

ID=30403743

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JPS6310534Y2 (ja) 1988-03-29

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