JPS6093970U - 表面電位計 - Google Patents

表面電位計

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JPS6093970U
JPS6093970U JP18698783U JP18698783U JPS6093970U JP S6093970 U JPS6093970 U JP S6093970U JP 18698783 U JP18698783 U JP 18698783U JP 18698783 U JP18698783 U JP 18698783U JP S6093970 U JPS6093970 U JP S6093970U
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JP
Japan
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sensing surface
sensing
electrometer
surface electrometer
measuring object
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Application number
JP18698783U
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Inventor
正 石川
Original Assignee
キヤノン株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、組立完成状態の既知の表面電位計の被測定体
側から見た断面図、第２図は、第１図の電位計のチョッ
プ部のみを取り出した正面図、第３図は、第２図のチョ
ップ部の上面図、第４図は、前記表面電位計の切断平面
図、第５図は、本考案による検知体としての圧電素子の
遮蔽構造を示す拡大断面図である。 １・・・外部シールド、１′・・・測定窓、２・・・内
部シールド、３・・・測定電極、４・・・基板、５・・
・振動子、６・・・圧電素子、７・・・基台、８・・・
リードピン、９・・・リードピン、１０・・・リード線
、１１・・・検知回路、１２・・・絶縁性塗料、１３・
・・導電性塗料、１４・・・導電性接着剤。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定体と正対する検知面を有する検知体と、前記検知
    面と前記被測定体間に形成された電界を断続的に遮断す
    る振動子を含む表面電位計において、前記振動子の駆動
    手段と、前記検知面との間に検知面への干渉防止手段を
    有することを特徴とする表面電位計。
JP18698783U 1983-12-05 1983-12-05 表面電位計 Pending JPS6093970U (ja)

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JP18698783U JPS6093970U (ja) 1983-12-05 1983-12-05 表面電位計

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JPS6093970U true JPS6093970U (ja) 1985-06-26

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