JPS6093908A - 距離の無接触測定方法および装置 - Google Patents
距離の無接触測定方法および装置Info
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- JPS6093908A JPS6093908A JP20393884A JP20393884A JPS6093908A JP S6093908 A JPS6093908 A JP S6093908A JP 20393884 A JP20393884 A JP 20393884A JP 20393884 A JP20393884 A JP 20393884A JP S6093908 A JPS6093908 A JP S6093908A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
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- G—PHYSICS
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- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
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- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、１つの基準平面からの１つの表面の１つの特
定の点の間隔の無接触測定方法およびその実施のだめの
測定装置に関する。
定の点の間隔の無接触測定方法およびその実施のだめの
測定装置に関する。
１つの基準平面からの１つの表面の１つの特定の点の距
離の無接触測定方法であって、種々の方向から入射し、
基準平面内に定められている１つの共通の走査区間に向
けられ、かつこの走査区間の方向に往復運動せ１しめら
れる２つの光束により表面が走査され、この走査は走査
区間の範囲内で両光束がそのつど掃過すべき区間を往運
動の際にも復運動の際にも同一の時間で掃過するように
行なわれ、各光束の往運動の際にも復運動の際にも１つ
の基準時点および１つの測定時点から成るそれぞれ１つ
の時点対が検出され、ここで基準時点とは往運動または
復運動せしめられる当該の光束が走査区間の１つの対応
づけられている終端点に向けられている時点であり、寸
だ測定時点とは当該の光束が表面で反射された後の反射
光束をこの反射光束により掃過される空間的に固定の測
定窓を通じて測定することにより得られる測定信号の時
間と共に上昇する縁または下降する縁が１つの所定の強
度レベルに到達する時点であり、各時点対の１つの測定
時点と１つの基準時点との間の時間間隔が基準平面から
の表面の特定の点の間隔の尺度として利用される方法は
、ドイツ連邦共和国特許出願公開第２８４２６６９号明
細書から公知である。この公知の方法では表面が、種々
の入射方向で基準平面に入射する２つの光束により走査
される。その理由は特に著しく非平坦な表面、たとえば
面プロフィル、においで、表面で反射される光の１つの
特定の散乱光特性に基づいてまた表面に関する１つの望
ましくない入射角に基づいて誤った測定が行なわれたり
、測定信号が生ぜずに測定が中断されたりする場合が生
じ得ることである。・種々の入射方向で入射する光束の
使用により著しく非平坦な表面も誤りなしにまた中断な
しに測定され得る。
離の無接触測定方法であって、種々の方向から入射し、
基準平面内に定められている１つの共通の走査区間に向
けられ、かつこの走査区間の方向に往復運動せ１しめら
れる２つの光束により表面が走査され、この走査は走査
区間の範囲内で両光束がそのつど掃過すべき区間を往運
動の際にも復運動の際にも同一の時間で掃過するように
行なわれ、各光束の往運動の際にも復運動の際にも１つ
の基準時点および１つの測定時点から成るそれぞれ１つ
の時点対が検出され、ここで基準時点とは往運動または
復運動せしめられる当該の光束が走査区間の１つの対応
づけられている終端点に向けられている時点であり、寸
だ測定時点とは当該の光束が表面で反射された後の反射
光束をこの反射光束により掃過される空間的に固定の測
定窓を通じて測定することにより得られる測定信号の時
間と共に上昇する縁または下降する縁が１つの所定の強
度レベルに到達する時点であり、各時点対の１つの測定
時点と１つの基準時点との間の時間間隔が基準平面から
の表面の特定の点の間隔の尺度として利用される方法は
、ドイツ連邦共和国特許出願公開第２８４２６６９号明
細書から公知である。この公知の方法では表面が、種々
の入射方向で基準平面に入射する２つの光束により走査
される。その理由は特に著しく非平坦な表面、たとえば
面プロフィル、においで、表面で反射される光の１つの
特定の散乱光特性に基づいてまた表面に関する１つの望
ましくない入射角に基づいて誤った測定が行なわれたり
、測定信号が生ぜずに測定が中断されたりする場合が生
じ得ることである。・種々の入射方向で入射する光束の
使用により著しく非平坦な表面も誤りなしにまた中断な
しに測定され得る。
一般に、１つの基準平面からの１つの表面の１つの特定
の点の距離を測定するための前記種類の方法は、１つの
入射方向でのみ入射し往復運動せしめられる１つの光束
を必要とする。原理的には間隔測定のために１つの測定
時点および１つの基準時点のみ、従ってまた１つの方向
の１回の走査のみ必要とされる。
の点の距離を測定するための前記種類の方法は、１つの
入射方向でのみ入射し往復運動せしめられる１つの光束
を必要とする。原理的には間隔測定のために１つの測定
時点および１つの基準時点のみ、従ってまた１つの方向
の１回の走査のみ必要とされる。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第３０３６８８６号明細
書から、１つの基準平面からの１つの表面の１つの特定
の点の距離を無接触測定するだめの一般的な種類の方法
においては、先に引用したドイツ連邦共和国特許出願公
開第２８４２６６９号明細書に示されている問題点とは
異なる種類の問題点も生ずることが既に知られている。
書から、１つの基準平面からの１つの表面の１つの特定
の点の距離を無接触測定するだめの一般的な種類の方法
においては、先に引用したドイツ連邦共和国特許出願公
開第２８４２６６９号明細書に示されている問題点とは
異なる種類の問題点も生ずることが既に知られている。
この問題点は、それぞれの光束が表面で反射された反射
光束が空間的に固定配置されている測定窓（スリット）
を掃過する際に時間と共に上昇し次いで下降する鐘形曲
線の形態で生ずる測定信号の時間的強度分布曲線が対称
な鐘形曲線であることを前提条件としていることである
。しかし、強度分布が対称な鐘形曲線となるのは、表面
の散乱能が均等である場合に限る。この散乱能が場所に
よって異なっている場合には、強度分布は非対称な鐘形
曲線となる。研摩された表面において特に著しい散乱レ
ーザー光線の粒状性も鐘形曲線のこのような非対称化の
原因となり得る。このような非対称な鐘形曲線は通常、
対称な鐘形曲線にくらべて、急峻に変化する縁および緩
徐に変化する縁を有している。
光束が空間的に固定配置されている測定窓（スリット）
を掃過する際に時間と共に上昇し次いで下降する鐘形曲
線の形態で生ずる測定信号の時間的強度分布曲線が対称
な鐘形曲線であることを前提条件としていることである
。しかし、強度分布が対称な鐘形曲線となるのは、表面
の散乱能が均等である場合に限る。この散乱能が場所に
よって異なっている場合には、強度分布は非対称な鐘形
曲線となる。研摩された表面において特に著しい散乱レ
ーザー光線の粒状性も鐘形曲線のこのような非対称化の
原因となり得る。このような非対称な鐘形曲線は通常、
対称な鐘形曲線にくらべて、急峻に変化する縁および緩
徐に変化する縁を有している。
このことは、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３０３６
８８６号明細書に記載されているように、測定誤差の原
因となる。同公報には、この測定誤差を鐘形曲線の微分
により電子的に除去し得ることも示されている。
８８６号明細書に記載されているように、測定誤差の原
因となる。同公報には、この測定誤差を鐘形曲線の微分
により電子的に除去し得ることも示されている。
本発明が解決しようとする問題点は、１つの基準平面か
らの１つの表面の１つの特定の点の距離の無接触測定方
法において、表面状態にほとんど無関係に測定を行ない
得るように、強度分布の鐘形曲線の非対称件により惹起
される誤差を光学的手段によりほとんど除去することで
ある。
らの１つの表面の１つの特定の点の距離の無接触測定方
法において、表面状態にほとんど無関係に測定を行ない
得るように、強度分布の鐘形曲線の非対称件により惹起
される誤差を光学的手段によりほとんど除去することで
ある。
との問題点は本発明によれば、特許請求の範囲第１項に
記載の方法により達成される。
記載の方法により達成される。
本発明による方法の有利な実施態様は特許請求の範囲第
２項ないし第５項にあげられている。
２項ないし第５項にあげられている。
種々の入射方向で基準平面に入射し往復運動せしめられ
る２つの光束により表面が同時に走査される本発明によ
る方法を実施するだめの有利な装置は特許請求の範囲第
６項ないし第８項にあげられている。
る２つの光束により表面が同時に走査される本発明によ
る方法を実施するだめの有利な装置は特許請求の範囲第
６項ないし第８項にあげられている。
以下、図面により本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図による装置でレーザー１がレーザー光線ＲＬを垂
直に下方に送出し、このレーザー光線は光偏向器Ｐ Ｋ
Ｌ Ａにより垂直方向から左方および右方に往復して
偏向される。この往復偏向されたレーザー、光線ＲＬは
垂直方向に対して傾けられている半透過鏡ＨＤＳ、に当
る。この半透過鏡は光エネルギーの半分を透過させ、ま
た他の半分を部分光束の形態で右方に反射させる。
直に下方に送出し、このレーザー光線は光偏向器Ｐ Ｋ
Ｌ Ａにより垂直方向から左方および右方に往復して
偏向される。この往復偏向されたレーザー、光線ＲＬは
垂直方向に対して傾けられている半透過鏡ＨＤＳ、に当
る。この半透過鏡は光エネルギーの半分を透過させ、ま
た他の半分を部分光束の形態で右方に反射させる。
半透過鏡ＨＤＳｐを透過した部分光束りの光路には、垂
直方向に対して傾けられて両面を鏡面にされたガラス板
からなる部分透過性の偏向鏡ＵＳｐが配置されており、
この偏向鏡が部分光束りを左方に偏向させる。
直方向に対して傾けられて両面を鏡面にされたガラス板
からなる部分透過性の偏向鏡ＵＳｐが配置されており、
この偏向鏡が部分光束りを左方に偏向させる。
右方および左方へ反射された部分光束ＲおよびＬの光路
にそれぞれ１つの外部偏向鏡ｔＪＳｐ１またはＵＳ、２
が配置されており、この外部偏向鏡が当該の部分光束Ｒ
４たはＬを基準平面Ｂに向けて偏向させる。この基準平
面は紙面に対して垂直に延びており、光束ＲＬおよび部
分光束Ｒ，Ｌは紙面内で（すなわち紙面に対して平行に
）往復偏向されるものと仮定されている。
にそれぞれ１つの外部偏向鏡ｔＪＳｐ１またはＵＳ、２
が配置されており、この外部偏向鏡が当該の部分光束Ｒ
４たはＬを基準平面Ｂに向けて偏向させる。この基準平
面は紙面に対して垂直に延びており、光束ＲＬおよび部
分光束Ｒ，Ｌは紙面内で（すなわち紙面に対して平行に
）往復偏向されるものと仮定されている。
半透過鏡ＨＤＳ−右側の外部偏向鏡ＵＳ、１との闇出曲
体を市Ｒの光路に１つの４自ｔｉｎ的ｔｒ然分系を昌鏡
Ｓ、が配置されており、この部分透過鏡が光エネルギー
のわずかな一部分を上方に３つの検出器す、ａ、Ｃに向
けて偏向させる。これらの検出器は右側の部分光束Ｒの
往復運動の際に偏向された部分光束Ｒ′により次々と掃
過される。これらの検出器ｂ 、ａ 、ｃの各々は部分
光束Ｒ′の入射時にそれぞれ１つの測定信号を発し、各
信号は部分光束Ｒ′、従って捷だレーザー光線ＲＬおよ
び部分光束りがそれぞれ１つの特定方向を占める基準時
点Ｌｂ、ｔ、およびｔ。を定める。第１図には、これら
の光束がいわば重畳瞬間撮影でこれらの３つの方向で示
されている。
体を市Ｒの光路に１つの４自ｔｉｎ的ｔｒ然分系を昌鏡
Ｓ、が配置されており、この部分透過鏡が光エネルギー
のわずかな一部分を上方に３つの検出器す、ａ、Ｃに向
けて偏向させる。これらの検出器は右側の部分光束Ｒの
往復運動の際に偏向された部分光束Ｒ′により次々と掃
過される。これらの検出器ｂ 、ａ 、ｃの各々は部分
光束Ｒ′の入射時にそれぞれ１つの測定信号を発し、各
信号は部分光束Ｒ′、従って捷だレーザー光線ＲＬおよ
び部分光束りがそれぞれ１つの特定方向を占める基準時
点Ｌｂ、ｔ、およびｔ。を定める。第１図には、これら
の光束がいわば重畳瞬間撮影でこれらの３つの方向で示
されている。
基準時点ｔｂでは両部分光束ＲおよびＬは基準平面Ｂの
１つの点ＥＲに当るように向けられている。このように
向けられた部分光束が実線で図示されている。
１つの点ＥＲに当るように向けられている。このように
向けられた部分光束が実線で図示されている。
時点ｔ、では両部分光束ＲおよびＬは、鎖線で図示され
ているように、基準平面の１つの点Ｍ′に当るように向
けられている。この時点ｔａではレーザー光線ＲＴ、は
垂直に、捷た左右の部分光束ＲおよびＬは正確に水平に
回けられている。時点ｔａは主として、往復運動する部
分光束ＲおよびＬの運動経過をチェックする役割をする
。
ているように、基準平面の１つの点Ｍ′に当るように向
けられている。この時点ｔａではレーザー光線ＲＴ、は
垂直に、捷た左右の部分光束ＲおよびＬは正確に水平に
回けられている。時点ｔａは主として、往復運動する部
分光束ＲおよびＬの運動経過をチェックする役割をする
。
基準時点１゜では両部分光束ＲおよびＬは、破線で図示
されているように、基準平面Ｈの１つの点ＥＬに当るよ
うに向けられている。
されているように、基準平面Ｈの１つの点ＥＬに当るよ
うに向けられている。
点ＥＲ，Ｍ／およびＥＬは基準平面Ｂ内で、両部分光束
ＲおよびＬにより共通に掃過される走査区間Ａを定める
。この走査区間は点ＥＲおよびＥＬで終端しており、そ
の中心点が点Ｍ／である。この中心点Ｍ′は時点ｔａで
両部分光束ＲおよびＬにより種々の方向から互いに同一
の入射角αで入射される。
ＲおよびＬにより共通に掃過される走査区間Ａを定める
。この走査区間は点ＥＲおよびＥＬで終端しており、そ
の中心点が点Ｍ／である。この中心点Ｍ′は時点ｔａで
両部分光束ＲおよびＬにより種々の方向から互いに同一
の入射角αで入射される。
上記の光学系に基づいて両部分光束ＲおよびＬは同時に
同一の方向に往復運動し、また各瞬間に同時に走査区間
Ａの１つの共通の点に向けられている。すなわち、１回
の往復運動に着目すれば、両部分光束ＲおよびＬは先ず
矢印Ｈの方向に運動（１つ する。
同一の方向に往復運動し、また各瞬間に同時に走査区間
Ａの１つの共通の点に向けられている。すなわち、１回
の往復運動に着目すれば、両部分光束ＲおよびＬは先ず
矢印Ｈの方向に運動（１つ する。
Ｈ方向の運動の際には、先ず検出器すが、基準時点ｔｂ
を定める１つの測定信号を発生する。次に検出器ａが、
時点ｔａを定める１つの測定信号を発生する。最後に検
出器Ｃが、もう１つの基準時点ｔ。を定める１つの測定
信号を発生する。その後に運動方向が反転して、両部分
光束ＲおよびＬはＺ方向に運動する。
を定める１つの測定信号を発生する。次に検出器ａが、
時点ｔａを定める１つの測定信号を発生する。最後に検
出器Ｃが、もう１つの基準時点ｔ。を定める１つの測定
信号を発生する。その後に運動方向が反転して、両部分
光束ＲおよびＬはＺ方向に運動する。
Ｚ方向の運動の際には、先ず検出器Ｃが基準時 ″点叫
を定める１つの測定信号を発生する。次に検出器ａがそ
の測定信号を発生した後に、検出器すが基準時点ｔ′ｂ
を定める１つの測定信号を発生する。
を定める１つの測定信号を発生する。次に検出器ａがそ
の測定信号を発生した後に、検出器すが基準時点ｔ′ｂ
を定める１つの測定信号を発生する。
部分光束ＲおよびＬの往復運動は、両部分光束がいずれ
の方向の運動の際にも各瞬間に互いに同一の瞬時速度を
有する。すなわち、前記のように両部分光束は各瞬間に
走査区間Ａの１つの共通の点に向けら名、ているので、
両部分光束は走査区間Ａのどの点においても互いに同一
の瞬時速度を有（Ｉ６） する。
の方向の運動の際にも各瞬間に互いに同一の瞬時速度を
有する。すなわち、前記のように両部分光束は各瞬間に
走査区間Ａの１つの共通の点に向けら名、ているので、
両部分光束は走査区間Ａのどの点においても互いに同一
の瞬時速度を有（Ｉ６） する。
それにより走査区間Ａのうちの任意の部分区間が両部分
光束によりいずれの運動方向でも互いに同一の時間で掃
過される。
光束によりいずれの運動方向でも互いに同一の時間で掃
過される。
基準時点ｔｂおよびｔ。により２つの零平面Ｎ１および
Ｎ２が定義されている。一方の零平面Ｎ１は基準平面Ｂ
の下側に、他方の零平面Ｎ２は基準平面Ｂの上側に位置
し、またいずれも基準平面Ｂに対して平行に延びている
。
Ｎ２が定義されている。一方の零平面Ｎ１は基準平面Ｂ
の下側に、他方の零平面Ｎ２は基準平面Ｂの上側に位置
し、またいずれも基準平面Ｂに対して平行に延びている
。
両零平面は、かりに一方の部分光束に対する基準時点ｔ
ｃを他方の部分光束に対する基準時点ｔｂと一致させれ
ば部分光束Ｒおよび部分光束りが互いに交わるであろう
点Ｐ１およびＰ２により定義されている。
ｃを他方の部分光束に対する基準時点ｔｂと一致させれ
ば部分光束Ｒおよび部分光束りが互いに交わるであろう
点Ｐ１およびＰ２により定義されている。
これらの両点Ｐ１およびＰ２により１つの空間的に固定
の軸線Ｖが定義されている。この軸線上を垂直上方に進
む光線が両面に鏡面を有する偏向鏡ＵＳ、で右方に偏向
した後の光路に光検出器ＤＭが配置されている。この光
検出器の検出窓Ｆの前には、２つのスリット状の絞りＢ
ＬＩおよびＢ Ｌ ２とそれらの中間に位置する結像光
学系ＡＬとが配置されている。
の軸線Ｖが定義されている。この軸線上を垂直上方に進
む光線が両面に鏡面を有する偏向鏡ＵＳ、で右方に偏向
した後の光路に光検出器ＤＭが配置されている。この光
検出器の検出窓Ｆの前には、２つのスリット状の絞りＢ
ＬＩおよびＢ Ｌ ２とそれらの中間に位置する結像光
学系ＡＬとが配置されている。
測定対象の表面ＯＷの１つの特定の点Ｐと基準平面Ｂと
の間の距離ｄを測定するためには、点ＰはＭ平ｍｌとＮ
２との間に位置せしめられなけれ・ばならない。点Ｐは
、両部分光束ＲおよびＬにより走査中に両方向に掃過さ
れて結像光学系ＡＬにより結像される表面ＯＷの測定面
Ｆ′の中心に位置している。もし表面ＯＷが測定面Ｆ／
内で均等な散乱能を有していれば、表面で反射された光
線により光検出器ＤＭから時間と共に対称な鐘形曲線状
に変化する測定信号が得られる。
の間の距離ｄを測定するためには、点ＰはＭ平ｍｌとＮ
２との間に位置せしめられなけれ・ばならない。点Ｐは
、両部分光束ＲおよびＬにより走査中に両方向に掃過さ
れて結像光学系ＡＬにより結像される表面ＯＷの測定面
Ｆ′の中心に位置している。もし表面ＯＷが測定面Ｆ／
内で均等な散乱能を有していれば、表面で反射された光
線により光検出器ＤＭから時間と共に対称な鐘形曲線状
に変化する測定信号が得られる。
散乱能または表面状態が測定面Ｆ′内で均等でなければ
、測定信号の時間的変化は非対称な鐘形曲線となる。た
とえば測定面Ｆ′の点Ｐから右側の範囲が明るく、点Ｐ
から左側の範囲が暗いとすれば、Ｈ方向の走査の際には
、上昇縁が下降縁よりも急峻でありピークが１昇級の方
向にずれてぃる測定信号が生ずる。Ｚ方向の走査の際に
は、それと正反対であり、すなわち下降縁が上昇縁より
も急峻でありピークが下降縁の方向にずれている測定信
号が生ずる。走査区間Ａの任意の部分区間を掃過するの
にＨ方向に運動する部分光束Ｒが要する時間とＺ方向に
運動する部分光束りが要する時間とは相等しいので、両
方向の走査の際に得られる鐘形曲線は互いに鏡面対称で
ある。
、測定信号の時間的変化は非対称な鐘形曲線となる。た
とえば測定面Ｆ′の点Ｐから右側の範囲が明るく、点Ｐ
から左側の範囲が暗いとすれば、Ｈ方向の走査の際には
、上昇縁が下降縁よりも急峻でありピークが１昇級の方
向にずれてぃる測定信号が生ずる。Ｚ方向の走査の際に
は、それと正反対であり、すなわち下降縁が上昇縁より
も急峻でありピークが下降縁の方向にずれている測定信
号が生ずる。走査区間Ａの任意の部分区間を掃過するの
にＨ方向に運動する部分光束Ｒが要する時間とＺ方向に
運動する部分光束りが要する時間とは相等しいので、両
方向の走査の際に得られる鐘形曲線は互いに鏡面対称で
ある。
次に第２図を参照して、第１図による装置の作動１の仕
方およびその基礎となっている原理を説明する。４つの
継続時間から成り基準平面Ｂからの表面ＯＷの点Ｐの間
隔ｄを表わす測定値がいかにして得られるかを、先ず対
称な鐘形曲線の測定信号の場合について波形図Ｉないし
■により説明する。
方およびその基礎となっている原理を説明する。４つの
継続時間から成り基準平面Ｂからの表面ＯＷの点Ｐの間
隔ｄを表わす測定値がいかにして得られるかを、先ず対
称な鐘形曲線の測定信号の場合について波形図Ｉないし
■により説明する。
基準時点ｔｂで両部分光束ＲおよびＬは走査区間Ａの右
側の終端点ＢＲで交わる。表面ＯＷは基準平面Ｂの下側
に位置しているので、右側の部分光束Ｒが表面ＯＷに当
る点Ｒ１は左側の部分光束りが表面ＯＷに当る点Ｌ１よ
りも点Ｐに近い。
側の終端点ＢＲで交わる。表面ＯＷは基準平面Ｂの下側
に位置しているので、右側の部分光束Ｒが表面ＯＷに当
る点Ｒ１は左側の部分光束りが表面ＯＷに当る点Ｌ１よ
りも点Ｐに近い。
このことは、１１方向の運動の際には右側の部分光束Ｒ
が左側の部分光束りよりも早く測定面Ｆ′に当ることを
意味する。
が左側の部分光束りよりも早く測定面Ｆ′に当ることを
意味する。
従って、第２図の波形図Ｉに、右側の部分光束Ｒにより
生ずる対称鐘形曲線状の測定信号ＭＲＴ、。
生ずる対称鐘形曲線状の測定信号ＭＲＴ、。
は左側の部分光束りにより生ずる測定信号ＭＬＨよりも
時間的に早く現われている。
時間的に早く現われている。
走査区間Ａの左側の終端点ＥＬを超過した後に運動方向
が反転して、左側の終端点ＥＬが今やＺ方向に運動する
部分光束ＲおよｒドＬにより基準時点ｔｌｏで再び到達
されると、旧制のＨ方向の運動の際と正反対になる。こ
のことは、Ｚ方向の運動の際には左側の部分光束りによ
り生ずる対称鐘形曲線状の測定信号ＭＬＺが右側の部分
光束Ｒにより生ずる測定信号ＭＲＺよりも早くに現われ
ることを意味する。
が反転して、左側の終端点ＥＬが今やＺ方向に運動する
部分光束ＲおよｒドＬにより基準時点ｔｌｏで再び到達
されると、旧制のＨ方向の運動の際と正反対になる。こ
のことは、Ｚ方向の運動の際には左側の部分光束りによ
り生ずる対称鐘形曲線状の測定信号ＭＬＺが右側の部分
光束Ｒにより生ずる測定信号ＭＲＺよりも早くに現われ
ることを意味する。
対称鐘形曲線状の測定信号ＭＲ，１，ＭＴ、１□１ＭＬ
ＺおよびＭＲＺは、第２図の波形図■に示されているよ
うに、所与のしきい値Ｓを有する１つのしきい値要素に
より方形パルスに変換される。これらの方形パルスの前
縁により定められる時点”ｒｌｌｌｌｌ、ｔｌ２．ｔｌ
２はそれぞれ検出された測定時点を表わす。それらのう
ち測定時点ｔｒ□およびｔｌ２は右側の部分光束Ｒに対
するものであり、また測定時点ｔ１１およびｔｌ２は左
側の部分光束りに対するものである。
ＺおよびＭＲＺは、第２図の波形図■に示されているよ
うに、所与のしきい値Ｓを有する１つのしきい値要素に
より方形パルスに変換される。これらの方形パルスの前
縁により定められる時点”ｒｌｌｌｌｌ、ｔｌ２．ｔｌ
２はそれぞれ検出された測定時点を表わす。それらのう
ち測定時点ｔｒ□およびｔｌ２は右側の部分光束Ｒに対
するものであり、また測定時点ｔ１１およびｔｌ２は左
側の部分光束りに対するものである。
４つの検出された測定時点および４つの検出された基準
時点からそれぞれ１つの測定時点と１つの基準時点との
間の４つの時間隔がめられる。
時点からそれぞれ１つの測定時点と１つの基準時点との
間の４つの時間隔がめられる。
その際に右側の部分光束Ｒに対しては、それにより生じ
た測定時点ｔｒｌおよび’ｒ２とならんで・走査区間Ａ
の右側の終端点ＥＲに対応づけられている基準時点ｔｂ
およびｔ′ｂのみが利用まだは検出される。同様に、左
側の部分光束りに対しては、それにより生じた測定時点
ｔ１１およびｔｌ２とならんで、走査区間Ａの左側の終
端点ＥＬに対応づ１、−４−１’−お−ｙ−１、Ｙ？ｍ
１ｌ１４２ｉ ＋ −Ｅ％ Ｆ’ｆｌＸｈ／ Ｍｎ−Ａ
Ｆ−ｔｌ１田または検出される。
た測定時点ｔｒｌおよび’ｒ２とならんで・走査区間Ａ
の右側の終端点ＥＲに対応づけられている基準時点ｔｂ
およびｔ′ｂのみが利用まだは検出される。同様に、左
側の部分光束りに対しては、それにより生じた測定時点
ｔ１１およびｔｌ２とならんで、走査区間Ａの左側の終
端点ＥＬに対応づ１、−４−１’−お−ｙ−１、Ｙ？ｍ
１ｌ１４２ｉ ＋ −Ｅ％ Ｆ’ｆｌＸｈ／ Ｍｎ−Ａ
Ｆ−ｔｌ１田または検出される。
このようにして一義的にめられた４つの時間間隔’ｒｉ
’ｂ＋’ｃ Ｊ１＋’１２”ｃおよびｔｌ）−ｔｌ２
が第２図の波形図■１に示されており、それらの長さは
それぞれの時間間隔に相当している。
’ｂ＋’ｃ Ｊ１＋’１２”ｃおよびｔｌ）−ｔｌ２
が第２図の波形図■１に示されており、それらの長さは
それぞれの時間間隔に相当している。
これらの４つの時間間＠ｔｒ１ ”ｌ）＋’ｏ ｔｌｌ
。
。
ｔｌ２−１／ｃおよび”ｂ’ｒ２を加えると、それぞれ
１つの鐘形曲線ＭＲＨ，ＭＬＨ，ＭＬｚ寸たはＭＲｚと
それに対応づけられている基準時点ｔｌ）、１ｃ。
１つの鐘形曲線ＭＲＨ，ＭＬＨ，ＭＬｚ寸たはＭＲｚと
それに対応づけられている基準時点ｔｌ）、１ｃ。
ｔ／まだは鈴との間の時間間隔の和に相当し、従ってま
た軸線Ｖ上に位置する表面ＯＷの点Ｐの基準平面Ｂから
の間隔ｄに相当する１つの正確な測定値Ｍが得られる。
た軸線Ｖ上に位置する表面ＯＷの点Ｐの基準平面Ｂから
の間隔ｄに相当する１つの正確な測定値Ｍが得られる。
第２図中の波形図■は波形図Ｉに相当するが、相違点と
して波形図■では両側定信号が非対称な鐘形であり、こ
の例ではＨ方向の運動の際には上昇縁が下降縁よりも急
峻であり、Ｚ方向の運動の際には下降縁が上昇縁よりも
急峻である。対称な測定信号ＭＲＨ，ＭＬＨ，ＭＬ Ｚ
およびＭＲＺに相当するこれらの非対称な測定信号が波
形図■にＭＲ’Ｈ。
して波形図■では両側定信号が非対称な鐘形であり、こ
の例ではＨ方向の運動の際には上昇縁が下降縁よりも急
峻であり、Ｚ方向の運動の際には下降縁が上昇縁よりも
急峻である。対称な測定信号ＭＲＨ，ＭＬＨ，ＭＬ Ｚ
およびＭＲＺに相当するこれらの非対称な測定信号が波
形図■にＭＲ’Ｈ。
ＭＬ’Ｈ、ＭＬ’ＺまたはＭＲ’ｚで示されている。別
の波形図Ｖおよび■は波形図■および■に相当する。
の波形図Ｖおよび■は波形図■および■に相当する。
測定信号が非対称な場合には測定時点１′ｆ、□。
（／、１．１／、２およびｔ′ｒ２が、測定信号が対称
な場合の測定時点ｔｒ０．ｔ１１．ｔ１２およびｔｒ２
と一致せず、 ｔＩｒｌ ｔｂ＜ｔ、、１ｂ 、ｔｏ ｔ、、（ｔ。１
／、１゜１１２ １ ’ｃ （１′１２ ｔ ’ｃ 、
ｔ ′ｂｔ ／ｒ２ （ｔ ｉ、ｔ 、 ２となるので
、個々の時間間隔の測定値には誤差が生ずる。しかし、 ｔ’−ｔ＝ 重 ｒ Ｉ ”ｒ １” ’ ｌ！ ２ ”ｌ □−Δ
ｔ ｌ ｌ １！２ ７２”ｒ２ ’ｒ２””Δｔ２ であるから、４つの時間間隔の和は （”ｒｚ−’ｂ）＋（ｔｃｙｔ７□）＋（ｔ７□−１′
ｏ）＋（１ｉ）−１７２）＝Ｍ となる。すなわち、この和は測定信号ＭＲＩ（、ＭＬ’
Ｉ（。
な場合の測定時点ｔｒ０．ｔ１１．ｔ１２およびｔｒ２
と一致せず、 ｔＩｒｌ ｔｂ＜ｔ、、１ｂ 、ｔｏ ｔ、、（ｔ。１
／、１゜１１２ １ ’ｃ （１′１２ ｔ ’ｃ 、
ｔ ′ｂｔ ／ｒ２ （ｔ ｉ、ｔ 、 ２となるので
、個々の時間間隔の測定値には誤差が生ずる。しかし、 ｔ’−ｔ＝ 重 ｒ Ｉ ”ｒ １” ’ ｌ！ ２ ”ｌ □−Δ
ｔ ｌ ｌ １！２ ７２”ｒ２ ’ｒ２””Δｔ２ であるから、４つの時間間隔の和は （”ｒｚ−’ｂ）＋（ｔｃｙｔ７□）＋（ｔ７□−１′
ｏ）＋（１ｉ）−１７２）＝Ｍ となる。すなわち、この和は測定信号ＭＲＩ（、ＭＬ’
Ｉ（。
ＭＬ／ＺおよびＭＲ／ｚの形状と無関係であり、従って
（２３） 常に正しい測定値を与える。
（２３） 常に正しい測定値を与える。
第３図および第４図には、第１図による装置の２つのコ
ンパクトな配置が示されている。第３図による配置が第
１図による配置と相違する点は、レーザー１と光偏向器
ＰＫＬＡとの間に、レーザーから送出されたレーザー光
線をビームスプリッタに向けて９０°偏向させるもう１
つの偏向鏡Ｓ、１が配置されていることのみである。そ
れにより、レーザー１が水平に配置され得るので、コン
パクトな配置にすることができる。
ンパクトな配置が示されている。第３図による配置が第
１図による配置と相違する点は、レーザー１と光偏向器
ＰＫＬＡとの間に、レーザーから送出されたレーザー光
線をビームスプリッタに向けて９０°偏向させるもう１
つの偏向鏡Ｓ、１が配置されていることのみである。そ
れにより、レーザー１が水平に配置され得るので、コン
パクトな配置にすることができる。
第４図による配置では、レーザー１は同じく水平に配置
されている。レーザー１から送出されたレーザー光線は
、レーザーｌと光偏向器ＰＫＬＡとの間に配置されてい
る２つの偏向鏡Ｓ、１およびＳ、２はより１８０°偏向
されるので、光偏向器ＰＫＬＡは同じく水平に配置され
ている。この光偏向器の後に半透過鏡ＨＤＳ、が配置さ
れており、この半透過鏡ＨＤＳ、を通過した部分光束は
直接に偏向鏡ＵＳ、２ に入射し、他方半透過鏡ＨＤＳ
。
されている。レーザー１から送出されたレーザー光線は
、レーザーｌと光偏向器ＰＫＬＡとの間に配置されてい
る２つの偏向鏡Ｓ、１およびＳ、２はより１８０°偏向
されるので、光偏向器ＰＫＬＡは同じく水平に配置され
ている。この光偏向器の後に半透過鏡ＨＤＳ、が配置さ
れており、この半透過鏡ＨＤＳ、を通過した部分光束は
直接に偏向鏡ＵＳ、２ に入射し、他方半透過鏡ＨＤＳ
。
（２４）
で下方に反射さね、た部分光束はさらに偏向鏡ＵＳ。
により右方に外部偏向鏡ＵＳ、１に向けて反射される。
軸線Ｖ上を垂直上方に進む光線が両面に鏡面を有する１
偏向鏡ＵＳ、で左方に偏向した後の光路に前記の実施例
と同じく絞りＢＬｌ、ＢＬ２．結像光学系ＡＬおよび光
検出器ＤＭが配置されてい、る。
偏向鏡ＵＳ、で左方に偏向した後の光路に前記の実施例
と同じく絞りＢＬｌ、ＢＬ２．結像光学系ＡＬおよび光
検出器ＤＭが配置されてい、る。
第１図または第３図による装置の１つの有利な実施例で
は、半透過鏡ＨＤＳ および偏向鏡ＵＳ。
は、半透過鏡ＨＤＳ および偏向鏡ＵＳ。
の代りに１つのプリズム（第５図）が設けられており、
その底面Ｂ′は側面ＥおよびＤとそれぞれ角度 η＝９０°−（４５°−ａｒｃ（ｓｉｎα’／ｎ） ）
／２ここで、ｎは相対屈折率、α′は入射角をなしてい
る。側面Ｅは、角度ｒで往復運動するレーザー光線ＲＬ
の光路に、レーザー光線が入射角α′で入射するように
配置されている。この側面は同時に、ビームスプリッタ
−（ＤＳ、を形成する１＋−１ハ畢′Ｓ；爪盾か叫はム
ｈイ１八ス ス射角ｎｌ礒ζＡζ０に選定されることは
目的にかなっている。反射された部分光束Ｒはそれによ
りレーザ光線ＲＬに対して直角に出射される。
その底面Ｂ′は側面ＥおよびＤとそれぞれ角度 η＝９０°−（４５°−ａｒｃ（ｓｉｎα’／ｎ） ）
／２ここで、ｎは相対屈折率、α′は入射角をなしてい
る。側面Ｅは、角度ｒで往復運動するレーザー光線ＲＬ
の光路に、レーザー光線が入射角α′で入射するように
配置されている。この側面は同時に、ビームスプリッタ
−（ＤＳ、を形成する１＋−１ハ畢′Ｓ；爪盾か叫はム
ｈイ１八ス ス射角ｎｌ礒ζＡζ０に選定されることは
目的にかなっている。反射された部分光束Ｒはそれによ
りレーザ光線ＲＬに対して直角に出射される。
プリズム内に入った部分光束りはプリズムの底面Ｂ′で
全反射され、次いで側面りで屈折して出射角９０°−α
Ｉで左方に出る。従って、この部分光束りは少し斜め１
に出射される。側面りが１つの反射防止膜を設けられて
いることは目的にかなっている。
全反射され、次いで側面りで屈折して出射角９０°−α
Ｉで左方に出る。従って、この部分光束りは少し斜め１
に出射される。側面りが１つの反射防止膜を設けられて
いることは目的にかなっている。
ビームスプリッタの役割をプリズムにさせることにより
、両部分光束ＲおよびＬに対して光偏向器ＰＫＬＡから
零平面Ｎ１またはＮ２または基準平面Ｂまでの同一の光
路の設定が容易になる。
、両部分光束ＲおよびＬに対して光偏向器ＰＫＬＡから
零平面Ｎ１またはＮ２または基準平面Ｂまでの同一の光
路の設定が容易になる。
軸線Ｖ、、ｌ：の光線を偏向させるために、偏向鏡ＵＳ
、とは別に１つの偏向鏡が設けられていてもよい。
、とは別に１つの偏向鏡が設けられていてもよい。
第１図は表面状態にほとんど無関係な本発明による方法
を実施するだめの装置の原理構成図、第２図１”−Ｖ［
は対称な測定信号および非対称な測定信号の場合におけ
る種々の波形図、第３図および第４図は第１図に原理構
成を示した装置において光源、基準時点検出器、光偏向
器、ビームスプリッタ、偏向装置および測定窓付き光検
出器がコンパクトに配置されている２つの実施例を示す
構成図、第５図はビームスプリッタおよび偏向鏡として
の役割をするプリズムの説明図である。 ■・・・光源、 Ａ・・走査区間、 Ａ Ｔ、・・結像
光学系、 Ｂ・・・基準平面、 Ｂ′・・・プリズム底
面、プリズム側面、 ＤＭ・・光検出器（測定時点用）
、ＥＬ 、ＢＲ・・・走査区間の終端点、 Ｆ・・・検
出窓、）−Ｉ・・・往運動方向、 ＨＤＳ、・・半透過
鏡、 Ｌ・・左側の部分光束、 Ｍ・・・走査区間の中
心点、 Ｎｌ。 Ｎ２・・零平面、 ＯＷ・・表面、 Ｐ・・表面の特定
の点、 ＰＫＬＡ・・光偏向器、 Ｒ・・・右側の部分
光束、 Ｓ、・・・部分透過鏡、 ＵＳｐ・・部分透過
性偏向鏡、 ＵＳ １９． ＵＳ、２・・外部偏向鏡、
Ｚ・・複連動方向。
を実施するだめの装置の原理構成図、第２図１”−Ｖ［
は対称な測定信号および非対称な測定信号の場合におけ
る種々の波形図、第３図および第４図は第１図に原理構
成を示した装置において光源、基準時点検出器、光偏向
器、ビームスプリッタ、偏向装置および測定窓付き光検
出器がコンパクトに配置されている２つの実施例を示す
構成図、第５図はビームスプリッタおよび偏向鏡として
の役割をするプリズムの説明図である。 ■・・・光源、 Ａ・・走査区間、 Ａ Ｔ、・・結像
光学系、 Ｂ・・・基準平面、 Ｂ′・・・プリズム底
面、プリズム側面、 ＤＭ・・光検出器（測定時点用）
、ＥＬ 、ＢＲ・・・走査区間の終端点、 Ｆ・・・検
出窓、）−Ｉ・・・往運動方向、 ＨＤＳ、・・半透過
鏡、 Ｌ・・左側の部分光束、 Ｍ・・・走査区間の中
心点、 Ｎｌ。 Ｎ２・・零平面、 ＯＷ・・表面、 Ｐ・・表面の特定
の点、 ＰＫＬＡ・・光偏向器、 Ｒ・・・右側の部分
光束、 Ｓ、・・・部分透過鏡、 ＵＳｐ・・部分透過
性偏向鏡、 ＵＳ １９． ＵＳ、２・・外部偏向鏡、
Ｚ・・複連動方向。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■）１つの基準平面からの１つの表面の１つの特定の点
の距離の無接触測定方法であって、種々の方向から入射
し、基準平面内に定められている１つの共通の走査区間
に向けられ、かつこの走査区間の方向に往復運動せしめ
られる２つの光束により表面が走査され、この走査は走
査区間の範囲内で両光束がそのつど掃過すべき区間を往
運動の際にも復運動の際にも同一の時間で掃過するよう
に行なわれ、各光束の往運動の際にも復運動の際にも１
つの基準時点および１つの測定時点から成るそれぞれ１
つの時点対が検出され、ここで基準時点とは往運動また
は復運動せしめられる当該の光束が走査区間の１つの対
応づけられている終端点に向けられている時点であり、
また測定時点とは当該の光束が表面で反射された後の反
射光束をこの反射光束により掃過される空間的に固定の
測定窓を通じて測定することにより得られる測定信号の
時間と共に上昇する縁寸だは下降する縁が１つの所定の
強度レベルに到達する時点であり、 各時点対の１つの測定時点と１つの基準時点との間の時
間間隔が基準平面からの表面の特定の点の間隔の尺度と
して利用される測定方法において、 両光束（Ｒ，Ｌ）の一方（Ｒ）の往運動および復運動の
際にそれぞれ検出される基準時点（ｔｂ、 ｔ’ｂ）は
それぞれこの一方の光束（Ｒ）が走査区間（Ａ）の一方
の終端点（ＥＲ）に向けられている瞬間に検出され、ま
た両光束の他方（Ｌ）の往運動および復運動の際にそれ
ぞれ検出される基準時点（ｔｏ、ｔ′ｏ）はそれぞれこ
の他方の光束（Ｌ）が走査区間（Ａ）の他方の終端点（
ＥＬ）に向けられている瞬間に検出され、また基準平面
（Ｂ）からの表面（ＯＷ）の特定の点（Ｐ）の距離（ｄ
）をめるために、一方の光束（Ｒ）の往運動および復運
動の際に検出される２つの時点対と他方の光束（Ｌ）の
往運動および復運動の際に検出される２つの時点対とか
ら成る４つの時点対１ ｔｂ、ｔ’ｒ１：’ｌｘ ＋ｔ
ｃ；ｔ′ｏ、ｔ’ｌ１２：”ｒｚ＋ｔ′ｂ）が検出され
、各時間対から測定時点（ｔ？１□５％。 １／ 、ｉ／ ）と基準時点（’ｌ）＋’（＋’ＩＣ＋
ｔ′ｂ）７２ ｒ２ との間の時間間隔（ｔｌｒ、ｔｂ、 ｔｃｔ′、１゜”
ｌ１２’ｃ”ｂ ”ｒ□’がめられ、またこれらの４つ
の時間間隔の和から間隔（ｄ）がめられることを特徴と
する距離の無接触測定方法。 ２）種々の方向から走査区間（Ａ）に入射する両光束（
Ｒ、Ｌ）が、走査区間（Ａ）の中心点ＣＭ）に向けられ
ている瞬間には互いに同″−の入射角（α）で入射する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の測定方法
。 ３）両光束（Ｒ、Ｌ ）が同時に運動させられることを
特徴とする特許請求の範囲第１慎重たは第２項記載の測
定方法。 ４）両光束（Ｒ、Ｌ）が同時に往運動および復運動させ
られることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の測
定方法。 ５）同時に往運動および復運動させられる両光束（Ｒ、
Ｌ ）が、各瞬間において同時に走査区間（Ａ）内の互
いに同一の点に向けられるように運動させられることを
特徴とする特許請求の範囲第４項記載の測定方法。 ６）１つの基準平面からの１つの表面の１つの特定の点
の距離の無接触測定装置であって、光束を発生するだめ
の光源と、１つの平面内で光束を周期的に偏向させるだ
めの光偏向器と、光束が往復運動の際に２つの特定の位
置を占める２つの基準時点を検出するため空間的に固定
配置されている２つの感光性検出器と、前記平面と直交
する１つの基準平面に光束が種々の方向から入射するよ
うに光束を基準平面の方向に偏向させるだめの光学的偏
向装置と、往復運動する光束が表面で反射された光の範
囲内に空間的に固定配置されており測定時点を検出する
１つの感光性検出器の検出窓と、検出された測定時点と
検出された基準時点との間に測定された時間間隔を評価
するだめの評価装置とを含んでいる測定装置において、
往復運動する光束（ＲＬ）の光路内にこの光束（ＲＬ）
を前記平面内を往復運動する２つの部分光束（Ｒ，Ｌ）
に分割する１つのビームスプリッタ（ＨＤＳ、）が配置
されており、これらの両部分光束（Ｒ，Ｌ）が基準平面
（Ｂ）内の走査区間（Ａ）の両側の終端点を形成する同
一の点（ＥＲ９ＥＬ）に基準時点で向けられるように両
部分光束（Ｒ。 Ｌ）を種々の方向から基準平面（Ｂ）に向けて偏向させ
るべく前記偏向装＃ （ＵＳ、、ＵＳ、１゜ＴＴＱ−９
１肴′ＭＩＩ虚六 ｈ で（ン ｈ −寸 Ｊト禽り嘗
２コ１番■猛置が、両光束のそれぞれ１回の往運動およ
び復運動の際にそれぞれ検出された時点対からめられた
測定時点’ ”ｒ１＋ ’ｒ２＋ ｔ１１＋ ’７２）
と基準時点、一方の光束（Ｒ）の場合には走査区間（Ａ
）の一方の終端点（ＥＲ）に関する基準時点（ｔｌ）＋
ｔ’ｌ））まだ他方の光束（Ｌ）の場合には他方の終端
点（ＢＬ）に関する基準時点ｔ ｔ、、ｔｌｃ）、との
間の時間間隔を加算する１つの加算装置を有することを
特徴とする距離無接触測定装置。 ７）偏向装置＋ＵＳ ＵＳ １．ＵＳ、２）が、と−ｌ
ｐ ムスプリツタ（ＨＤＳｐ）により発生された両部分光束
（Ｒ、Ｌ）の一方（Ｌ ）の光路に配置されておりこの
部分光束を他方の部分光束の進行方向と反対の方向に偏
向させる１つの偏向鏡（ＵＳ、）と、互いに反対の方向
に進行する両部分光束（Ｒ，Ｌ）を基準平面（Ｂ）の方
向に偏向させる２つの外部偏向鏡（ＵＳ、Ｉ。 ＵＳ、２）とを有することを特徴とする特許請求の範囲
第６項記載の測定装置。 ８）ビームスプリッタ（ＨＤＳ、）および偏向鏡（ＵＳ
、）に対し、１つの底面（８勺および２つの側面（Ｅ
、Ｄ）を有し両側面（Ｅ、Ｄ）が底面（Ｂ′）とそれぞ
れ角度 η＝９０°−（４５°−ａｒｃ（ｓｉｎ ａ’／ｎ）／
２ここで、ｎは相対屈折率 をなしている１つのプリズムが設けられており、一方の
側面（Ｅ）は光束ＩＬ）の光路にこの光束（ＲＬ ）が
Ｌ式中の入射角（α′）で入射するように配置されてお
り、寸たこの側面（Ｅ）は１つの部分透過膜を設けられ
ており、それによりビームスプリッタ（ＨＤＳ、）の役
割をしており、まだ底面（Ｂ′）は他方の側面（Ｄ）と
共に偏向鏡（ＵＳｐ）の役割をしていることを特徴とす
る特許請求の範囲第７項記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833335396 DE3335396C2 (de) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Messen eines Abstandes eines bestimmten Punktes einer Oberfläche von einer Bezugsebene |
| DE3335396.4 | 1983-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093908A true JPS6093908A (ja) | 1985-05-25 |
Family
ID=6210479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20393884A Pending JPS6093908A (ja) | 1983-09-29 | 1984-09-28 | 距離の無接触測定方法および装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0149719A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6093908A (ja) |
| DE (1) | DE3335396C2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2124444C3 (de) * | 1971-05-17 | 1973-10-11 | Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen | Verfahren zum Bestimmen der Dicke oder Breite von ebenen Werkstucken |
| DE2722577A1 (de) * | 1977-05-18 | 1978-11-30 | Siemens Ag | Vorrichtung/verfahren zur beruehrungsfreien abstands- bzw. dickenmessung |
| DE2842669A1 (de) * | 1978-09-29 | 1980-05-08 | Siemens Ag | Vorrichtung zum messen des abstandes eines punktes auf einer oberflaeche eines objekts von einer nullebene |
| DE2842670A1 (de) * | 1978-09-29 | 1980-04-10 | Siemens Ag | Verfahren zum ermitteln der dicke von baendern, welche ueber walzen bewegt werden |
| US4298286A (en) * | 1980-06-02 | 1981-11-03 | The Carl Maxey Company | Measuring apparatus |
| DE3036886A1 (de) * | 1980-09-30 | 1982-05-13 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum korrigieren eines messsignals |
-
1983
- 1983-09-29 DE DE19833335396 patent/DE3335396C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1984
- 1984-09-13 EP EP84110964A patent/EP0149719A3/de not_active Withdrawn
- 1984-09-28 JP JP20393884A patent/JPS6093908A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3335396A1 (de) | 1985-04-18 |
| EP0149719A3 (de) | 1986-12-03 |
| EP0149719A2 (de) | 1985-07-31 |
| DE3335396C2 (de) | 1994-03-24 |
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