JPS6086978A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、固体撮像装置に関し、特に垂直信号線の電荷
を直接外部処掃き出すことができる構造の撮像素子の垂
直スメアを軽減できる固体撮像装置に関するものである
。

〔発明の背景〕

画像を電気信号に変換する撮像装置として、半導体集積
回路技術により得られる固体撮像素子が用いられている
。すなわち、２次元ＭＯ８型ダイオード・アレイ、２次
元ＣＯＤ等の固体撮像素子は、半導体集積回路技術の発
達に伴って実用の段階に入っている。

固体撮像素子には、その他（’ＩＤ型等の方式も提案さ
れているが、その１つが第１図に示すＭＯＳ型とＣＣＤ
型の組み合わせ構成の撮像素子である。

第１図の撮像素子の動作を説明する。

垂直シフトレジスタ１の出力線２７，２゜、・・・・２
Ｉ！１　に順次送られた出力パルスは、インタレース回
路３１Ｃ加えられ、奇数フィールドには出力線４□。

４３、・・・・１４２ｆｉ−１に、また偶数フィールド
には出力獣舎□、４４．・・・・・、４２ｒ１１　に、
それぞれ出力パルスを発生する。これＫより、例えば奇
数フィールドの最初の水平走査期間には、垂直スイッチ
・）ランジスタ５１−１１　’５１−２１・・・・・５
１−ｎ　が同時にオン状態となり、フォトダイオード６
．６　、・・・・、６□−１１−１１−２ で発生した光電荷がそれぞれ対応する垂直信号線７□、
７２．・・・・、７　Ｋ転送される。また、同じように
、偶数フィールドの最初の水平走査期間には、垂直スイ
ツ、チ・トランジスタ＋ｂ２１＋５□−２，・・・・・
。

５□−ユが同時にオン状態となり、フォトダイオード６
□−１，６□−２，・・・・、６□−ユで発生した光電
荷が垂直信号線７１１７□、・・・・＋７ｎ　に転送さ
れる。さらに、制御端子９から加わったオン信号で、水
平スイッチ・トランジスタ８１　ｔ　８２　＋・・・・
１８ｎが同時にオン状態となることＫよって、垂直信号
線７１　＋　７２１・・・・。

７　の光電荷は水平の成性転送デバイス１０（以ユ 下ＣＣＤと記す）に移される。

ここで、感光性を持つ部分はフォトダイオード６０部分
のみであることが望ましいが、実際にはフォトダイオー
ド６０周辺部、例えば垂直スイッチ・トランジスタ（Ｍ
ＯＳ）ランジスタ）５のドレインも感光性を持つことが
ある。これらトランジスタδのドレインで発生した光電
荷は、垂直スイッチ・トランジスタ５の開閉Ｋかかわり
なく垂直信号線７に転送されるか、各垂直信号線７には
垂直方向忙配列された数百０垂直スイッチ・トランジス
タδのすべてのドレインが接続されているので、垂°直
信号線７にはすべてのドレインで発生した光電荷が混合
加算されて蓄積される。蓄積された電荷は、各水平走査
期間ごとにフォトダイオード６で発生した通常の光電荷
に重畳して得られるので、例えば第２図（ａ）に示すよ
うな明るい部分のある被写体像を撮像すると、再生画面
上では第２図（ｂ）に示すように１上下方向に尾σ１き
状の姥せ信号が発生する。このような固体撮像素子に特
有の雑音成分を垂直スメアと呼ぶ。

垂直スメアとなる電荷の大きさは、垂直信号線７への蓄
積時間に比例する。すなわち、水平スイッチ・トランジ
スタ８がオン状態とｈっだとき、水平ＣＯＤへ移される
垂直スメア電荷の大きさは、それ以前に水平スイッチ・
トランジスタ８が開閉を行ってからの時間に比例する。

そこで、共通の制御端子１３を備えた掃き出しトランジ
スタ１１１，１１．．１１．、・・・・、１１ユを、−
ツレぞれ水平スイッチ・トランジスタ８１，８□、・・
・・・・、８ｎ　と並列に設け、水平ブランキング期間
白和開閉する。

第３図は、第１図における駆動パルスのタイムチャート
である。第３図に示すように、水平ブランキング期間内
のｔ＆〜ｔｂに、先ず掃き出しトランジスタＩＩＫ駆動
パルスを供給して、１水平走査期間前の開閉期間（ｔ、
／、〜ｔ、′）以後に蓄積された垂直スメア電荷喝、を
掃き出し端子１２から外部に掃き出す。続いて、ｔｏ〜
ｔ（１０Ｍ間に垂直スイッチ・トランジスタ５を開閉し
てフォトダイオード６゛の光電荷Ｑｓ　を垂直信号線７
に転送し、ｔＱ〜ｔ、の期間に水平スイッチ・トランジ
スタ６を開閉することにより光電荷Ｑ、を水平ＣＣＤｌ
０に転送する。このとき、光電荷には、ｔｂ　””’　
ｔｔの期間に蓄積された垂直スメア電荷Ｑ’Ｖ２が混入
している。

水平走査期間の転送動作により、水平Ｃ０ＤＩＯ９出力
から得られた電荷は、ソースフォロワ・トランジスタ１
４のゲート容量Ｃ，で次の式で表わされる電圧信号Ｖ。

ｕｔ忙変換され、出力端子１５に現われ−る。

ここで、ｌ水平走査期間なＴ。、ｔｂ−ｔｆの期間なＴ
１　とすると、掃き出し動作を行わないときの垂直スメ
アＱｖｏ　（−ＱＶＩ　”　Ｑｖｇ　）と掃き出し動作
時の垂直スメア電荷ＱＶ’２との比ａは、次のとおりで
ある。

’　””　Ｑｖｇ／Ｑｖｏ　−Ｔｔ／　Ｔｏ　”・（２
）ｌ水平走査期間が約６４μｓ１水平ブランキング期間
が１１μｓであるため、＆＜７６となって、掃き出し動
作を行うことＫより、大幅に改善される。しかし、あら
ゆる被写体に対して、垂直スメアの発生を防止するため
ｋは、さらＶｃｌ／１ｏＯ程度に低減させることが必要
とされている。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、このような従来の問題を改善し、垂直
信号線の電荷を外部に掃き出すことができる撮像素子忙
おいて、垂直スメアが発生しない固体撮像装置を提供す
ることＫある。

〔発明の概要〕　・ 上記目的を達成するため、本発明の固体撮像装置は、水
平方向および垂直方向に配置された画素列と、上記水平
方向の画素列から信号線群に光電荷ヲ移す第１のスイッ
チ手段と、上記信号線群から第１の電荷転送手段の各段
に電荷を移す第２のスイッチ手段と、上記信号線群から
第２の電荷転送手段の各段に電荷を移す第３のスイッチ
手段と、上記信号線群から電荷の掃き出しを行う第４の
スイッチ手段と、上記第１の電荷転送手段の出力を増幅
する増幅手段と、該増幅手段の出力と上記第２の電荷転
送手段の出力との差信号を得る減算手段を有することに
特徴がある。また、（４）上記第１の電荷転送手段およ
び第２のスイッチ手段は、それぞれ第２の電荷転送手段
および第３のスイッチ手段としても兼用されることにも
特徴がある。すなわち、以下に述べる実施例のうち、＠
１２図に示すように、第１．第２の電荷転送手段１０゜
１０’と第２．第３のスイッチ手段８，８′とをそれぞ
れ設けた場合が、上記請求の範囲第１項記載の構成に該
当し、また第４図に示すように、電荷転送手段１０’と
スイッチ手段８のみを設けて、第２の電荷転送手段と第
３のスイッチ手段をも兼用する場合が、上記請求の範囲
第４項記載の構成に該当する。

第５Ａ、第δＢ図、第０図および第１ＯＡ、第１０ＢＩ
ｆｆｌ、第１１図に示すようなＣＯＤを用いる場合には
、第ｌの電荷転送手段と第２の電荷転送手段は兼用され
る。これに対して、従来のＣＣＤをそのまま用いる場合
は、第１１第２の電荷転送手段をそれぞれ設ける必要が
ある。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を、図面により説明する。

第４図は、本発明の実施例を示す固体撮像装置の構成図
である。

第４図の実施例においては、第１図に示す従来の構成と
比べると、水平ＣＣＵ　Ｉ　Ｑ’として３相電極構造の
ものを用い、かつサンプリング回路１７１゜１７３、増
幅回路１８、減算回路１９および低域通過フィルタ２Ｑ
を出力［Ｋ股りて、水平ＣＣＤｌ０’で垂直スメアの混
入した光電荷と垂直スメアのみの電荷とを分離して取り
出し、減算により垂直スメアを除去する。

第５Ａ図、第５Ｂ図は、第４図の水平Ｃ０ＤＩＯ’の電
極構造および内部ポテンシャルの遷移状態を示す図であ
り、横軸Ｘは距離、縦軸φ８　はボテンシャルなそれぞ
れ表わす。第６図は、第５Ａ図（、）の各電極に印加さ
れる駆動パルスのタイムチャートである。

第４図の水平ＣＣＤ　１０’には、第５Ａ図（！Ｌ）　
Ｋ示すような内部ポテンシャルを形成した３相電極構造
のものを用いる。このような水平ＣＣＤ　Ｉ　Ｏ’では
、各電極に対応するポテンシャル井戸を第５Ａ図（ｂ）
に示すような配置にすることができる。

このとき、各電極Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３１Ｃ，それぞれ第６
　ＦＡ　（ａ）〜（Ｃ）に示すクロック周波数ｆ　の３
相パルスを加えると、ｔＯ”ｔｆ３の各期間でのボテン
シャル井戸は、第５Ａ図（ｃ）〜に５Ｂ図（２１）に示
すように変化する。このような水平ＣＣＤｌ０’のＨ１
電極に対応する部分に水平スイッチ・トランジスタ８を
接続し、ｔ、〜ｔ２の期間およびｔ７゛〜ｔ８の期間に
水平スイッチ・トランジスタ８をオン状態とすれば、第
５Ａ図、第５Ｂ図に示すように、３相ｉｌＥ極の１つの
繰り返しの中に２つの？Ｕ荷ＱＡ　Ｉ　ＱＢを取り込み
、これらを分離して転送することができる。すなわち、
第５Ａ図（０）では、ｔ１〜ｔ２にＨ１電極にパルスが
印書Ｕされるので、ポテンシャルの低下が起り、水平ス
イッチ・トランジスタ８を介して電荷（が移動される。

また、第５Ａ図（ｇ）では、ｔ、〜ｔ、の期間にＨ２ｍ
極にパルスが印加されるので、Ｈ２ｍ極でポテンシャル
の低下が起り、Ｈ１ｉＫ極の電荷気　がＨ２電極に転送
される。

次に１第５Ａ図（１）では、ｔ７〜ｔ、の期間にＨ１電
極にパルスが印加されるとともに、水平スイッチ・トラ
ンジスタ８がオン状態となるので、垂直信号線７から次
の電荷ＱＢ　が転送される。これにより、１つの繰り返
しの中で、２つの［＃　ＱＡおよびＱＥが分離して転送
される。

第７図は、第４図の各スイッチトランジスタに供給され
る駆動パルスのタイムチャートであり、第８図は第４図
の出力電圧の波形を示す図である。

第４図の実施例においては１第７図に示すように、水平
ブランキング期間内のｔ、〜九に掃き出しトランジスタ
１１を開閉して、１水平走査期間前の水平スイッチ・ト
ランジスタ８の開閉期間（ｔｇ′〜ｔｈ′）以後に蓄積
された垂直スメア電荷ｑΔを掃き出す。続いて、ｔｏ〜
ｔ、の期ｆｏ’＋　Ｋ水平スイッチ・トランジスタδを
開閉し、ｔｂ　””　ｔｄの期間に蓄積された垂直スメ
ア電荷Ｑｖ／２（−ＱＡ）を水平ＣＣＤ　１０’に転送
する。このｔ０〜ｔａの期間の動作は、第５Ａ図（０）
　Ｋ示すｔ１〜ｔ２の期間の動作に対応する。次に、ｔ
ｏ−ｔ、の期間に垂直ス′インチ・トランジスタ５を開
閉して、フォトダイオード６の光電荷Ｑｓ　を垂直信号
線７に移し、ｔｇ〜ｔｈの期間に再び水平スイッチ・ト
ランジスタ８を開閉することにより、上記光電荷Ｑｓ　
と１．−１．期間に’Ｌ　４！された垂直スメア電荷Ｑ
’Ｖ’３を加えた電荷ＱＢを水平ＣＣＤ　１０’に転送
する。ｔｌｉ〜ｔｇの期間およびｔ５〜ｔｈの期間の動
作は、それぞれ第５Ａ図（ｄ）〜０１１）のｔ２〜ｔ７
の期間および第５Ａ図（ｉ）のｔ７〜ｔ８　の期間の動
作に対応する。さらに、映像期間に水平スイッチ・トラ
ンジスタ８を開閉することなく、第５Ａ図、第５Ｂ図釦
示すｔ１〜ｔ１３の動作を繰り返せば、２つの電荷ＱＡ
、ＱＢを分離しながら転送のみを行わせることができる
。

上述のように、光電荷Ｑｓ　Ｋは、１１１−１．の期間
に垂直信号線７忙蓄積された垂直スメア電荷Ｑｖ／３が
混入する。ｔｂ−ｔｄの期間をＴ１′１ｔｌｉ〜ｔｈの
期間をＴ２Ｉ　とすると、垂直スメアの電荷ＱＶ’２と
光電荷Ｑｓ　Ｋ混入された垂直スメア電荷ＱＶ′３の関
係は、次のようになる。

このようにして、水平ＣＣＤ　１０／の出力からは、垂
直スメア電荷ＱＶ’２のみと、垂直スメア電荷Ｑ’Ｖ’
３の混入した光電荷Ｑｓ　とが、クロックＮ波数ｆ０で
交互に送り出される。これらを、ソース・フォロワ・ト
ランジスタ１４のゲート容量Ｃ６で、次式で表わされる
電圧信号に変換し、出方端子１δに送り出す。

これらの出力電圧■□ｌ　Ｖ２の一例は、第８図の模式
図に示すとおりである。すなわち、最終段電極Ｈ３にパ
ルスが印加されることにより、電荷がソース・７オロワ
・トランジスタ１４のゲートに送り出され、ゲートのｉ
ｔｉ竹は次の電荷が水平ｃｃＤ　１０’から転送される
前に、りａンク周波数ｆ。

と等しい周波数のリセット・パルスで開閉するリセット
・トランジスタ１６により、外部゛に掃き出される。ク
ロック周波数ｆ０　で交互に得られる出力電圧Ｖ１．　
Ｖ２は、第４図に示すサンプリング回路１７□、１７□
で分離される。サンプリング回路１７１．１７□には、
それぞれ第８図に示すサンプリング・パルスＳＰＩ、Ｓ
Ｐ２を加えること（（より、出力電圧Ｖ１．　Ｖ２の信
号を取り込む。サンプリング回路１７□で分離された出
方電圧Ｖ□　は、増ｌ１ｌｌｉ回路１８でＴ２′／Ｔ１
′に増幅された後、他方の出方電圧■２　とともに減算
回路１９に加えられる。減算回路１９・から得られる（
１ｉ　Ｊ８ｆＶｏ’ｕｔ　は、次式で表わ曲成（３）よ
り、Ｑｖ／２−　（Ｔ１’　／　Ｔ２／　）・Ｑｖ／３
であるから、上式（６）は次式で表わされる。

■ｏ’ｕｔ　”＝　ＱＳ　／　ＣＧ　’　”　’　”　
’　（７）したがって、減算回路１９の出力を低域通過
フィルタ２０に加えて得られる信号°は、組直スメアの
除去されたものとなる。

なお説明忙は、第７図和水すように垂直スメアを水平Ｃ
ＣＤへ送ったあと、垂直スメアの混入した画素の信号を
送る方法を用いたが、垂直スイッチ・トランジスタ駆動
パルスの位相を変えた第１３図に示すパルスによって垂
直スメアの混入した画素の信号を送ったあと垂直スメア
を水平ＣＣＤへ送っても同様であることは明らかである
。

なお、上述のような固体撮像素子では、水平スイッチ・
トランジスタ８および掃き出しトランジスタ１１の開閉
時に発生した雑音電荷Ｑｎ　が水平ＣＣＤ　１０’ある
いは掃き出し端子１３に送り出される。このとき、送り
出された雑音電荷Ｑユの量だけ垂直信号線７の電荷が欠
乏するので、これと大きさが等しく極性が反対の雑音電
荷−Ｑｎ　が垂直信号ＩＩｊＡ７に残る。垂直信号線７
に残された逆極性の雑音電荷−Ｑｎ　は、続く水平スイ
ッチ・トランジスタ８あるいは掃き出しトランジスタ１
１の開閉時に１そのとき発生する雑音電荷とともに水平
ＣＯＤ　Ｉ　Ｏ’あるいは掃き出し端子１３゛に送り出
される。

次に、雑音電荷を含めた出力端子の電圧Ｖ□′。

■２′を考えると、下記のようになる。

、ココテ、（□は掃き出しトランジスタ１１の開閉によ
る雑音電荷、Ｑ４は水平スイッチ・トランジスタ８の１
度目の開閉による雑音電荷、Ｑｎ３は水平スイッチ・ト
ランジスタ８０２度目の開閉による雑音電荷である。

上式（８）Ｉ（９）より、減算回路１９の出力信号Ｖ。

ｕｔは、次の式で表わされる。

・・・・・α０） はぼ、Ｔ１１４＝Ｔ２′であることから、出力信号に混
入する雑音の大きさは、水平スイッチ・トランジスタ８
あるいは掃！出しトランジスタ１１の１度の動作で発生
する雑音の約ａ倍忙なる。

第９図は、本発明の他の実施例を示す駆動パルスのタイ
ミング・チャートである。

第７図に示した水平ブランキング期間の動作を、第９図
に示すように変更する。第９図においては、水平スイッ
チ・トランジスタ８が開閉する前に１それぞれ掃き出し
トランジスタ１１が開閉するので、水平ＣＣＤ　Ｉ　Ｏ
’に転送される２つの電荷に混入される雑音電荷には相
関がない。この場合、出力に現われる電圧Ｖτ、ｖ′２
　は、次の式で表わされる。

ここで、Ｑｎｌ、Ｑユ、は掃き出しトランジスタ１１の
開閉による雑音電荷、Ｑｎ２１　Ｑｎ４は水平スイッチ
・トランジスタ８の開閉による雑音電荷である。

上式（ｌｌ）　、　Ｑ２）より、減算回路１９の出力信
号Ｖ品カは、次式で表わされる。

・・・・・（ロ） ここで、Ｔ１　は、第９図に示す九〜１（ｌの期間、Ｔ
Ｓ　はｔｔ−ｔｊの期間である。Ｔτ中ＴＳであるから
、雑音の大きさは水平スイッチ・トランジスタ８または
掃き出しトランジスタ１１の１度の動作で発生する雑音
の約２倍に改善される。

第１０Ａ図、第１０Ｂ図は、本発明の他の実施例を示す
水平ＣＣＤの１ｊ１極構造および内部ポテンシャル遷移
状態図であって、横軸Ｘは距離、縦軸φ８　はポテンシ
ャルをそれぞれ表わす。第１３図参照［１０Ａ図（ａ）
の各電極に加える駆動パルスのタイムチャートである。

第５Ａ図（＆）では、内部ポテンシャルのある３相電極
構造の水平ＣＣＤを用いたが、第１０Ａ図（＆）Ｋ示す
６相電極構造の水平ＣＣＤを用いても同じ効果が得られ
る。Ｈｌ−Ｈ６の各電極に第１１図に示す駆動パルスを
加え、またＨ１電極に水平スイッチ・トランジスタ８を
接続する。ｔ′１　の時刻には、Ｈ１電極にパルスが印
加され、水平スイッチ・トランジスタ８がオン状態とな
るので、第１０Ａ図（ｂ）に示すように電荷ＱＡ　が移
される。ｔ′２　の時刻には、Ｈｌ、Ｈ２の電極にパル
スが印加されるので、電荷ＱＡ　は両電極間に延長され
る。次に１ｔ′３　の時刻罠は、Ｈ２電極のみにパルス
が印加されるので、電荷気は完全ＫＨ２電極に移る。ｔ
′７の時刻には、Ｈｌ、Ｈ４電極にパルスが印加され、
また水平スイッチ・トランジスタ８がオン状態となるの
で、次の電荷ＱＢ　が水平ＣＯＤ　Ｉ　Ｏ’に移される
。このようにして、電極の１組の繰り返しの中で、２つ
の電荷ＱＡ　＋　ＱＢを分離して転送することができる
。

第１２図は、本発明の他の実施例を示す固体撮像装置の
構成図、第１３図は第１２図におけるスイッチ・トラン
ジスタの駆動パルスのタイムチャートである。

第１２図では、電極の１組の繰り返しの中で、１つの電
荷を転送する通常の水平ＣＯＤを２組（１０，１０“）
用いている。この場合、水平スイッチ・トランジスタ８
．８・・・・・＋　８ｎ　および８１１゜ｌ　２ ８ｔ・・・・、鴫が、第７図に示す水平スイッチ・トラ
ンジスタの２度の開閉動作を分担する（第１３図参照）
。

水平Ｃ０ＤＩＯの出力端子１５には垂直スメアの電荷ｑ
’ｖｇが、また水平ＣＯＤ　Ｉ　Ｏ’の出力端子１５′
には垂直スメア電荷Ｑ’Ｖ３の混入した光電荷Ｑ８が、
それぞれ現われる。Ｔ％＋Ｔ’とすると、両出力電圧を
減算回路１９に加えて減算することにより、出力は次の
ようＫなる。

勿論、出力端子１５に垂直スメア電荷Ｑ′ｖ３が混入し
た光電荷Ｑ、を、また出力端子１５’に垂直スメア電荷
Ｑ′ｖ２を、それぞれ出力させるように、水平スイッチ
・トランジスタ８．８’にパルスヲ印加させることもで
きる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、掃き出し動作を
行う固体撮像素子を用いる固体撮像装置において、垂直
スメアの混入した光電荷と、垂直スメアのみの電荷とを
分離して取り出し、両者を減算することＫより、垂直ス
メアなさらに軽減させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はすでに提案されている掃き出し動作を行う固体
撮像素子を示す図、第２図は垂直スメアの例を示す図、
第３図は第１図の駆動パルスのタイムチャート、第４図
は本発明の一実施例を示す固体撮像装置の構成図、第５
Ａ図、第５Ｂ図は第４図の水平ＣＣＤの３電極構造と内
部ポテンシャル遷移状態を示す図、第６図は第５Ａ図の
電極に加える駆動パルスのタイムチャート、第７図は本
発明の一実施例を示すスイッチ・トランジスタの駆動パ
ルスのタイムチャート、第８図は本発明の出力処理を示
す図、第９図は本発明の他の実施例を示すスイッチ・ト
ランジスタの駆動パルスのタイムチャート、第１０Ａ図
、第１０Ｂ図は本発明の他の実施例を示す水平ＣＯＤの
０電極構造と内部ポテンシャル遷移状Ｍ図、第１１図は
第１０Ａ図の電極に加える駆動パルスのタイムチャート
、第１２図は本発明の他の実施例を示す固体撮像装置の
構ｔＬ図、第１３ｆｇＪは第１２図のスイッチ・トラン
ジスタの駆動パルスのタイムチャートである０１：垂直
シフトレジスタ、２：出力線、３＝インタレ一ス回路、
４：出力線、５＝垂直スイツチ・トランジスタ、６：フ
ォトダイオード、７：垂直信号Ｍ、８．８’：水平スイ
ッチ・トランジスタ、１０、１０’、　１０’：水平Ｃ
ＯＤ、１１：掃き出しトランジスタ、１４：ソース・７
オ胃ワ・トランジスタ、１６：リセット・トランジスタ
、１７：サンプリング回路、１８；増幅回路、１９；減
算回路、２０：低域通過フィルタ。 第　ｌ　□□□ 第４図 第５Ａ図 （ａ） 第　５　Ｂ　図 第　６　図 ｔｏｔ１ｔ２ｔ３ｔ４ｔ５ｔ６ｔ７ｔ８ｔ９ｔｌＯｔｌ
Ｉｔ】２ｔ１３第７図 第８図 Ｐ２ 第　９　図 第１２図 第　１３　図 ｔｉ札ｔ′ｃｔイｔｉｔ’、　を篭を気　ｔユｔ５ｔｏ
ｔ、ｔ８ｔ、　ｔｇ　ｔｈ第１頁の続き ０発　明　者　安　藤　治　久　国分寺市東恋う央研究
所内 ０発　明　者　尾　崎　俊　文　国分寺市東恋う央研究
所内 °窪１丁目２８幡地　株式会社日立製作所中゛窪１丁目
２８幡地　株式会社日立製作所中手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和　５８年　特　許願第１　り　４　Ｇ　８６号２・
発明の名称　固体撮像装置 ３、　補正をする者 事件との関係　特許出酊（人 ４代理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ト）水平方向および垂直方向に配置された画素列と、
   上記水平方向の画素列から信号線群に光電荷を移す第１
   のスイッチ手段と、上記信号線群から第１の電荷転送手
   段の各段に電荷を移す第２のスイッチ手段と、上記信号
   線群から第２の電荷転送手段の各段に電荷を移す第３の
   スイッチ手段と、上記信号線群から電荷の掃き出しを行
   う第４のスイッチ手段と、上記第１の電荷転送手段の出
   力を増幅する増幅手段と、該増幅手段の出力と上記第２
   の電荷転送手段の出力との差信号を得る減算手段を有す
   ることを特徴とする固体撮像装置。 ■前記各スイッチ手段は、第４のスイッチ手段の動作と
   、第２（または第３）のスイッチ手段の動作と、第１の
   スイッチ手段の動作と、第３（または第２）のスイッチ
   手段の動作の順序で連続動作を繰り返し行うことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の固体撮像装置。 （３）前記各スイッチ手段は、第４のスイッチ手段の動
   作と、第２（または第３）のスイッチ手段の動作と、第
   ４のスイッチ手段の動作と、第１のスイッチ手段の動作
   と、第３（または第２）のスイッチ手段の動作の順序で
   、連続動作を繰り返し行うことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の固体撮像装置。 （４）前記第１の電荷転送手段および第２のスイッチ手
   段は、それぞれ第２の電荷転送手段および第３のスイッ
   チ手段として兼用されることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項、第２項または第３項記載の固体撮像装置。