JPS608458B2 - 湿度センサー - Google Patents
湿度センサーInfo
- Publication number
- JPS608458B2 JPS608458B2 JP52099310A JP9931077A JPS608458B2 JP S608458 B2 JPS608458 B2 JP S608458B2 JP 52099310 A JP52099310 A JP 52099310A JP 9931077 A JP9931077 A JP 9931077A JP S608458 B2 JPS608458 B2 JP S608458B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- resistance
- humidity sensor
- resistance value
- resin
- Prior art date
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- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、正のスイッチング特性を有する湿度センサー
に関するものである。
に関するものである。
従釆、吸湿性樹脂に炭素粉を分散させた抵抗皮膜は、相
対湿度が高くなるとスイッチング的に抵抗値が上昇する
特性を有し、湿度センサーとして応用されていた。
対湿度が高くなるとスイッチング的に抵抗値が上昇する
特性を有し、湿度センサーとして応用されていた。
しかしながら、この種の湿度センサーを高温度中で直流
を印加すると、抵抗値が徐々に上昇し、遂にはスイッチ
ング特性を失うという欠点を有していた。これは、直流
負荷により水が電解され、陽極に発生した酸素により炭
素粉が酸化され導電性を失する、いわゆる陽極酸イは現
象と考えられる。本発明は、かかる欠点を除去した湿度
センサーを提供せんとするもので、抵抗皮膜に対する電
極として、2000/□から松○/□の面積抵抗を有す
るものを使用すると、著しい効果があることを見し・出
したことに基づくものである。
を印加すると、抵抗値が徐々に上昇し、遂にはスイッチ
ング特性を失うという欠点を有していた。これは、直流
負荷により水が電解され、陽極に発生した酸素により炭
素粉が酸化され導電性を失する、いわゆる陽極酸イは現
象と考えられる。本発明は、かかる欠点を除去した湿度
センサーを提供せんとするもので、抵抗皮膜に対する電
極として、2000/□から松○/□の面積抵抗を有す
るものを使用すると、著しい効果があることを見し・出
したことに基づくものである。
以下、本発明を実施例に塞いて説明する。
実施例 1
電極材料として、黒鉛粉とカーボンブラック、ならびに
熱硬化性樹脂であるェポキシ変性フェノール樹脂を使用
し、導電粉と樹脂の比率を変えて面積抵抗がそれぞれ2
00/口,1000/□,2000/口,IKQ/□,
兆Q/□,1皿0/□の導電べ−ストを作った。
熱硬化性樹脂であるェポキシ変性フェノール樹脂を使用
し、導電粉と樹脂の比率を変えて面積抵抗がそれぞれ2
00/口,1000/□,2000/口,IKQ/□,
兆Q/□,1皿0/□の導電べ−ストを作った。
面積抵抗の測定は、約20仏mの抵抗皮膜を作り、4探
針法で測定した。次に上記6種類の導電ペーストを第1
図に示すように、セラミック製基板1の上にスクリーン
印刷し、一対の櫛形電極2を形成した。なお、第1図中
の3は測定端子としての銀電極である。次に吸湿性樹脂
として、2ヒドロキシヱチルメタクリレートとグリシジ
ルメタクリレートの共重合体(固形分2肌t%、溶媒エ
チルセロソルプ)100夕、天然黒鉛粉ASP〔日本黒
鉛■製〕10夕、硬化剤DDMI夕、エチルセロソルプ
100夕をポールミルで3び分間混合したものを前記櫛
形電極2が付された基板1上に塗布して感湿皮膜4を形
成し、100q01時間の熱処理をして夫々の試料を得
た。実施例 2電極材料の熱硬化性樹脂をェポキシ樹脂
に変える以外は実施例1と全く同様にして試料を得た。
針法で測定した。次に上記6種類の導電ペーストを第1
図に示すように、セラミック製基板1の上にスクリーン
印刷し、一対の櫛形電極2を形成した。なお、第1図中
の3は測定端子としての銀電極である。次に吸湿性樹脂
として、2ヒドロキシヱチルメタクリレートとグリシジ
ルメタクリレートの共重合体(固形分2肌t%、溶媒エ
チルセロソルプ)100夕、天然黒鉛粉ASP〔日本黒
鉛■製〕10夕、硬化剤DDMI夕、エチルセロソルプ
100夕をポールミルで3び分間混合したものを前記櫛
形電極2が付された基板1上に塗布して感湿皮膜4を形
成し、100q01時間の熱処理をして夫々の試料を得
た。実施例 2電極材料の熱硬化性樹脂をェポキシ樹脂
に変える以外は実施例1と全く同様にして試料を得た。
実施例 3吸湿性樹脂として塩素含有量6触れ%の塩化
ゴム樹脂5夕とアルキレンポリアミンと、ダイマ−酸と
からなるポリアミド樹脂(トーマィド:アミン価、41
ふ富士化成工業■製)15夕とを、トルェンに溶解させ
、これに天然黒鉛粉ASP〔日本黒鉛■製〕10夕、ト
ルェン100夕を加えてボールミルで1時間混合した以
外は実施例1と全く同様にして試料を得た。
ゴム樹脂5夕とアルキレンポリアミンと、ダイマ−酸と
からなるポリアミド樹脂(トーマィド:アミン価、41
ふ富士化成工業■製)15夕とを、トルェンに溶解させ
、これに天然黒鉛粉ASP〔日本黒鉛■製〕10夕、ト
ルェン100夕を加えてボールミルで1時間混合した以
外は実施例1と全く同様にして試料を得た。
実施例 4
電極材料の熱硬化性樹脂をェポキシ樹脂に変える以外は
実施例3、と全く同様にして試料を得た。
実施例3、と全く同様にして試料を得た。
上記実施例1〜4の試料の評価は下記の方法で行なった
。
。
評価結果を第2図〜第9図に示した。抵抗値の測定は、
250060%RH、75%RH、94%RH〜100
%RHを測定した。次に夫々の試料40つ095%RH
でD,CL5Vを500時間知力oした後、前記の相対
湿度で抵抗値の測定を行なった。
250060%RH、75%RH、94%RH〜100
%RHを測定した。次に夫々の試料40つ095%RH
でD,CL5Vを500時間知力oした後、前記の相対
湿度で抵抗値の測定を行なった。
第2図、第4図、第6図、第8図は実施例1〜4夫々の
試験前の試料の相対湿度−抵抗値特性を示し、また第3
図、第5図、第7図、第9図は実施例1〜4夫々の試料
の試験後の同特性を示している。
試験前の試料の相対湿度−抵抗値特性を示し、また第3
図、第5図、第7図、第9図は実施例1〜4夫々の試料
の試験後の同特性を示している。
それらの図面において、Aは電極の面積抵抗が200/
□のもの、Bは同1000/口、Cは同2000/□、
Dは同IKQノ□、Eは同松Q/□、Fは同10KO/
□のものである。第2図、第4図、第6図、第8図に示
すように初期の相対湿度−抵抗値特性は、A〜Eまでの
試料は電極の比抵抗が高くなるに従って相対湿度の低い
領域の抵抗値は高くなるが、スイッチング的に抵抗値が
上昇する位置は、ほとんど変わらない。
□のもの、Bは同1000/口、Cは同2000/□、
Dは同IKQノ□、Eは同松Q/□、Fは同10KO/
□のものである。第2図、第4図、第6図、第8図に示
すように初期の相対湿度−抵抗値特性は、A〜Eまでの
試料は電極の比抵抗が高くなるに従って相対湿度の低い
領域の抵抗値は高くなるが、スイッチング的に抵抗値が
上昇する位置は、ほとんど変わらない。
そのため電極抵抗の高いものほどスイッチング特性はシ
ャープになる。Fでは電極抵抗が高すぎるため「スイッ
チング特性は減少する。第3図、第5図、第6図、第8
図の試験の相対湿度−抵抗値特性では、電極面積抵抗が
1000/口以下の試料、すなわちA,Bは低湿度の抵
抗値が上昇し、高温度では減少してスイッチング特性が
なくなるのに比して、2000ノ□以上のもの(C〜F
)では、試験前とほとんど変わらない特性を維持してい
る。
ャープになる。Fでは電極抵抗が高すぎるため「スイッ
チング特性は減少する。第3図、第5図、第6図、第8
図の試験の相対湿度−抵抗値特性では、電極面積抵抗が
1000/口以下の試料、すなわちA,Bは低湿度の抵
抗値が上昇し、高温度では減少してスイッチング特性が
なくなるのに比して、2000ノ□以上のもの(C〜F
)では、試験前とほとんど変わらない特性を維持してい
る。
ただし、10KQ以上の面積抵抗のものでは、初期の段
階ではスイッチング特性が少いため、20皿Q/□から
2KQ/□が適当である。このように電極の抵抗値を高
くすると、高温中での直流負荷特性が向上する原因とし
ては、感湿膜と電極間の直流電位差によるものであろう
と推定される。
階ではスイッチング特性が少いため、20皿Q/□から
2KQ/□が適当である。このように電極の抵抗値を高
くすると、高温中での直流負荷特性が向上する原因とし
ては、感湿膜と電極間の直流電位差によるものであろう
と推定される。
すなわち、電極の抵抗値を高くすると、感湿膜と電極の
接触部の微小間の電位差は小さくなり「接触部から起る
陽極酸化が緩和されるためと考えられる。以上の説明か
ら明らかなように本発明は、正のスイッチング特性を有
する感湿膜と2000ノ□から松Q/□の面積抵抗を有
する電極を使用してなる湿度センサーであり、その効果
として「高温度中で直流負荷を長時間印加しても、初期
のスイッチング特性を損うことはなく、さらには、相対
湿度−抵抗値特性において〜低湿度城の抵抗値が平滑化
されるため、シャープなスイッチング特性が得られると
いう利点を有する。
接触部の微小間の電位差は小さくなり「接触部から起る
陽極酸化が緩和されるためと考えられる。以上の説明か
ら明らかなように本発明は、正のスイッチング特性を有
する感湿膜と2000ノ□から松Q/□の面積抵抗を有
する電極を使用してなる湿度センサーであり、その効果
として「高温度中で直流負荷を長時間印加しても、初期
のスイッチング特性を損うことはなく、さらには、相対
湿度−抵抗値特性において〜低湿度城の抵抗値が平滑化
されるため、シャープなスイッチング特性が得られると
いう利点を有する。
もちろん本発明は、前記実施例で述べたもの以外の感湿
膜、電極材料、電極構造を採用しても同様の効果を得る
ことが可能であることはいうまでもない。
膜、電極材料、電極構造を採用しても同様の効果を得る
ことが可能であることはいうまでもない。
第1図は本発明の一実施例の平面図、第2図、第4図、
第6図、第8図はそれぞれ実施例1、実施例2、実施例
3、実施例4の湿度センサーの初期の相対湿度−抵抗値
特性図、第3図、第5図、第7図、第9図はそれぞれ本
発明の実施例1、実施例2、実施例3、実施例4の湿度
センサーの試験後の相対湿度一抵抗値特性図である。 1・・・・・・基板、2・・・…電極、4・…・・感湿
皮膜。 第1図第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図
第6図、第8図はそれぞれ実施例1、実施例2、実施例
3、実施例4の湿度センサーの初期の相対湿度−抵抗値
特性図、第3図、第5図、第7図、第9図はそれぞれ本
発明の実施例1、実施例2、実施例3、実施例4の湿度
センサーの試験後の相対湿度一抵抗値特性図である。 1・・・・・・基板、2・・・…電極、4・…・・感湿
皮膜。 第1図第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図
Claims (1)
- 1 吸湿性樹脂と炭素粉を主成分とし、相対湿度−抵抗
値特性が正のスイツチング特性を有する抵抗皮膜と、熱
硬化性樹脂と炭素粉を主成分とし、面積抵抗が200Ω
/□から2KΩ/□の範囲内の電極を有してなる湿度セ
ンサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP52099310A JPS608458B2 (ja) | 1977-08-18 | 1977-08-18 | 湿度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP52099310A JPS608458B2 (ja) | 1977-08-18 | 1977-08-18 | 湿度センサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5433084A JPS5433084A (en) | 1979-03-10 |
JPS608458B2 true JPS608458B2 (ja) | 1985-03-02 |
Family
ID=14244053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52099310A Expired JPS608458B2 (ja) | 1977-08-18 | 1977-08-18 | 湿度センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS608458B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57139651A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-28 | Sharp Corp | Humidity sensor |
-
1977
- 1977-08-18 JP JP52099310A patent/JPS608458B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5433084A (en) | 1979-03-10 |
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