JPS6081824A - 露光装置用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体装置例えばＩＣ，ＬＳＩなどの製造用
のフォトマスクやレチクルを露光装置にセットするため
の搬送装置に関する。

〔発明の背景〕

ＬＳＩなどの半導体装置の製造において、そのフォトリ
ングラフイ一工程では複数の回路パターン毎のフォトマ
スクまたはレチクルが用いられる。

これらのマスクまたはレチクルは、コンタクト方式では
転写すべき半導体ウェハ上に密着され、プロキシミテイ
方式ではウェハ表面かられずかに離して重ねられ、ウェ
ハ表面のフォトレジストニ回路パターンを焼付けるため
に露光を受ける。ひとつのＬＳＩチップの製造には数種
類以上の回路パターン、すなわち複数枚のマスクまたは
レチクルが必要であり、これｔ露光焼付けのたびに交換
していくことになる。

従来よＱ１露光装置にマスクやレチクルＺセットするの
に、枚数が比較的少なければ手動セットで、多数枚の場
合には自動セットで行なっている。

例えば手動セットの一例として特開昭５７−８５２３６
号公報には、レチクルに設けられでい６アライメントマ
ークとレチクルステーションｃ８６台＞に設けられてい
る目印とを目視で合わせてレチクルをステーション上に
正しく載せるというプリアライメントを行なうようにし
た露光装置用搬送装置が示されているが、この方式では
目視によるためプリアライメント精度が悪く、特にレチ
クルにペリクルが付いた場合は、プリアライメント精度
不良のためにレチクルを露光位置等へ搬送している際中
にペリクルフレームが搬送系やアライメント系などの機
械系と干渉を起す恐れが多い。そこで、プリアライメン
ト精度を高くするための別の手動セット方式として、マ
スクまたはレチクルの二辺を固定位置決めビンに当接さ
せてプリアライメントを行なうものも考えられたが、オ
ートレチクルローダン併用する場合、この固定位置決め
ビンとオートレチクルローダとが干渉を起し、このため
手動セット位置と同一位置で自動セットすることが極め
て困難となった。また露光終了後にレチクルを取出す場
合、固定位置決めビンとの干渉を避けるために特別に考
慮してレチクルを搬送しなげればならないという欠点も
ある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、手動でのセット時に高いプリアライメ
ント精度が得られ、しかも自動セットを同一位置で併用
しても機械的干渉を一切生じない露光装置用搬送装置を
提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の露光装置用搬送装置においては、前記目的を達
成するために、レチクルまたはマスクをセットするため
のセット位置と、露光焼付けのための露光位置との間で
レチクルまたはマスクを搬送するものにおいて、前記セ
ット位置にレチクルまたはマスフッ位置決めするための
位置決め部材をレチクルまたはマスクの周縁と接触可能
に且つ必要時にレチクルまたはマスクの搬送経路外に退
避できるように設けてあり、これによって手動セット時
ｔこ固定位置決めビンと同等のプリアライメント精度が
得られるように、またオートレチクルローダ等ビ手動セ
ット位置と同一位置に対して適用して自動セットに併用
しても一切の干渉を起さずにローディングが行なえるよ
うになっている。

〔発明の実施例〕

本発明はレチクルまたはフォトマスクのいずれをも被搬
送対象とするが、以下の実施例では便宜上レチクルを被
搬送物とする場合について説明する。

まずはじめに露光装置におけるレチクルの搬送動作′４
を第１図と共に述べると、自動セットの場合、レチクル
Ｒは例えば特開昭５８−９５８１２号公報に示されたよ
うな収納ケース１に収納され、これらケースを複数段積
重ねたレチクルライブラリ縄が所定位置にセットされる
。各ケースの一端面には内部のレチクルＲ−ｉ水平状態
のまま取Ｑ出せるように扉が設けられておシ、扉が閉じ
た状態ではケース１は内部を密閉状態に保ち得るように
なされている。レチクルライブラリＲＬからは必要とす
るレチクルが予じめ決められた位置’Ｒ４から取）出さ
れる。

すなわち位置用にあるケース２の扉が自動的に開かれ、
内部のレチクルが位置Ｒ１□からＢ、まで水平に引き出
され、次いで画直方向に上昇されて位置１１゜でレチク
ル懸架用のキャリヤＣＸに受け渡される。

この工うなキャＩＪヤαによる自動搬送装置は例えば特
開昭５７−６４９３ＵＪ＠公報に工っで既に知られてい
る。キャリヤαに受け渡されたレチクルは、露光装置に
セットされる前に、位置Ｒ，から位置Ｂ４に移動され、
自動異物検査装置ＰＤによってレチクル上の異物の検査
を受ける。このような自動異物検査装置は例えば特開昭
５８−６２５４３号公報に示されている。この自動異物
検査装置ＰＤによってレチクルの表裏面がレーザースポ
ットで走介され、付着した異物から生じる散乱光の指向
性と、レチクル上の回路パターンから生じる散乱光の指
向性との違いから、異物の付着の有無や付着位置などが
検出される。この検査で合格したレチクルは再び位置地
からＸ方向にキャリヤαによって移動され、位置Ｒｉｙ
ｘ通って露光装置本体のレチクル搬送部２のセット位置
用に受け渡される。尚検査不合格のレチクルは途中の位
置Ｒ３でＺ方向に降下され、元のケースに戻される。

さてセット位置用にレチクルを受け渡したキャリヤαは
元の方向に退避し、レチクルは搬送部２によってセット
位置からＹ方向へ露光位置へまで移動され、露光装置本
体の所定位置に位置決めされる。例えば露光装置が縮小
投影形のものであれば、位置Ｒ＠においてレチクルの中
心は露光系の投影レンズの光軸ｔに合致するように位置
決めされる。

本発明は前記レチクル搬送部２の改良に関するものでお
り、その実施例を示せば第２図の通υである。すなわち
第２図は本発明による改良を加えたレチクル搬送部２の
平面図であり、そのＡ−Ａ線矢視図である第６図と共に
説明すると、搬送部２は露光装置本体に固定されたベー
ス６を含み、ベース３の片側の本体からはみ出た部分が
前記セット位置焉として設定されてお）、この部分のベ
ース３上には、丁度セット位置にあるレチクルＲ１の四
隅をその上に載せて支承するように四本の同一高さの角
柱４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが固設されている。また角柱
上に載置されセット位置へにあるレチクル凡の少なくと
も二辺の周縁Ｉこ当接するように、前記ベース６の前記
片側部分には複数の位置決め部材としての位置決めビン
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅが設けられている。第２
図におい℃位置決めビン５ａはレチクルＲ７のＹ方向の
位置決め用のピンで、その外周面にはレチクルＲ１の右
辺（第２図）が当接し、また位置決めビン５ｂ、５ｃ、
５ｄ、５ｅはＸ方向の位置決め用のピンで、ピン５ｂと
５０とが外周面でレチクルの上辺（第２図）と当接し、
ピンシと５０とが外周面でレチクルの下辺（第２図）で
当接する。

これらの位置決めピンは、所望時に搬送部２でのレチク
ルＨの移動経路外・＼退避できるように。

例えばレチクルＲ１がビンの上に載ったときにはその荷
重によシ沈み込む↓うになされている。位置決めピン５
ａ〜５Ｃの具体例は第５図に示す通りであシ、ベース６
に固設された筒部材５０の内部に上下方向に摺動可能な
ロッド５１が挿入され、ロッド５１の先端に合成樹脂製
の円筒状頭部５２が固定され、頭部５２と筒部材５０と
の間にはね５６が配設されている。ばね５６は、頭部５
２に何の荷重も加わっていないとぎには頭部５２ｙその
頂面５２ａが角柱４ａ〜４ｄより高くなるように弾発付
勢しておシ、また頭部５２に何等かの荷重が下向きに加
わったときにはその荷重によって撓んで頭部５２が角柱
４ａ〜４ｄ以下のレベルに沈み込むようにしである。こ
の際、ロッド５１は筒部材５０内で摺動するが、ロッド
５１をリニアボールベアリング等で支承して、上下方向
（スラスト方向）には直線性の良い、ヒステリシスの無
い動ぎをするように、またそれと直交する方向には一切
の移動ンしないような構造とするのが良い。

ベース６上にはまた、Ｙ方向に延びる二本の平行なガイ
ドレール６ａ、６ｂがベース３に対して上下方向（２方
向）に昇降可能に設けられ、これらガイドレール６ａ、
６ｂ間には、レールに沿ってＹ方向に移動可能なスライ
ダー７が両レールをまたぐように配置されている。この
スライダー７は、角柱４ａ〜４ｄに載置されたレチクル
搬送部その上面に受けとって、これを露光位置Ｒ４＋ま
で搬送するものでら）１図示の例では真中がくりぬかれ
た口字状の平面形状を有する枠体状のものである。スラ
イダー７の（シぬぎ部分は、第２図に示すように位置Ｒ
１において角柱４ａ〜４ｄお工び位置決めビン５ａ〜５
ｅが露呈するに足勺る広さのものであり、このくシぬき
部分に張り出すように、レチクルＲ１の相対する二辺の
縁部な下から吸着する真空吸着溝などの吸着部７ａ、７
ｂがスライダー７に一体形成されている。

前記セット位Ｕ　Ｒ，からガイドレールに沿ってＹ方向
に離れた露光位置Ｒ４には、レチクルステージ８がベー
ス６に対してＸおよびＹ方向に移動可能に、且つ中心Ｑ
まわりに水平回動可能に配置さ江このレチクルステージ
８の上面の縁部には、その上にレチクルＲ，ヲ載置して
保持するための四つの突部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが設
けられている。このレチクルステージ８もステージと同
様に真中がくりぬかれた枠状体からなり、く、りぬぎ部
分はレチクルＲ１の回路パターン等、実質的な露光有効
領域であシ、各突部８ａ〜８ｄはこのくりぬき部分の周
縁部でレチクルステージから支承するものであるので１
図示の例では第２図に破線で示すようにレチクルＲ，Ｙ
その上辺と下辺でそれぞれ二個所ずつ吸着するための吸
着部（真空吸着溝など）８０ａ〜８０ｄを上面に有して
いる。尚、ステージ８とスライダー７のこれらの吸着部
は、いずれもＹ方向に細長く形成されているが、レチク
ルＲにおけるこれら吸着部の対応個所は、第２図におい
て吸着部８ａと８ｂの吸着対応部の丁度間に吸着部７ａ
の吸着対応部が入シ、吸着部８Ｃと田の吸着対応部の丁
度間に吸着部九の吸着対応部が入るような位置関係にな
っている。

第６図のスライダー７の上方に示されている投光器９と
受光器１０のベアは、セット位置Ｒ６の角柱４ａ〜４ｄ
の上にレチクルＲがあるかないかを検出するためのもの
で、投光器９からの光のレチクルＲ１による反射光の有
無を受光器１０で検出するようにしである。

前述ガイドレール６ａ　、６ｂの上下動の駆動系や、ス
ライダー７のＹ方向移動の駆動系については特開昭５７
−８５２３６号公報と同様の偏心カムによる上下動駆動
機構やベルトによるスライダー駆動機構が適用でき、本
実施例では説明の冗長ン避けるためこれらについては省
略しである。

さてレチクル几は、第２および６図からも判る（１１） ように、その周辺部の限定された部分のみで角柱４ａ〜
４ｄ、スライダー７、或いはステージ８に支持されるよ
うになっている。これは、レチクルＲ１の転写有効領域
に傷をつげないようにするためだけでなく、レチクルＲ
５の上面または下面（パターン面）に防塵用の薄膜（ペ
リクル）ビ付したペリクル付きレチクルの搬送にも使用
できる工うにするためである。ペリクル付きのレチクル
の構成は第４図に示すとうりであり、レチクルＲ１の下
面にはクロム等で描かれた回路パターンｒｐが形成され
、この回路パターンｒｐＹ取シ囲むように高さ数ミリメ
ートルのフレーム几がレチクルＢ、に接着されている。

そしてこのフレームｔ１の下端面、すなわち回路パター
ンｒｐからフレームの高さだけ間隔ンあげた位置にペリ
クルＰが均一にはられている。第４図の例ではレチクル
Ｒ１の下面にしかペリクルが設けられていないが、上面
側にも同様なペリクルを設けることもある。勿論これら
ペリクルの張設置こ先車ってレチクルＲの表面は異物検
査装置ＰＤによって異物の付着のないことが充分に確認
されて（１２） いる。先に述べた角柱４ａ〜４ｄ、吸着部７ａ、７ｂお
よび突部８ａ〜８ｄは、ペリクル付ぎレチクルがスライ
ダー７に受け渡され、そして移動する際に、そのフレー
ムｎとの機械的干渉を起こさないような位置・寸法で設
けられている。

さて第６図は以上のような構成のレチクル搬送部２の移
動制御系のブロック図で、全体のシーケンス制御はＣＰ
ｒＪ　、メモリ、インターフェース等ヲ含む主制御回路
１００によって果される。主制御装置１００によって制
御されるのは、ガイドレール６ａ。

６ｂＹＺ方向に昇降させるモータ１０１と、スライダー
７をレール６ａ、６ｂに沿ってＹ方向に往復移動させる
モータ１０２と、レチクルステージ８をＸ方向にシフト
移動させるモータ１０７お工びＹ方向にシフト移動させ
るモータ１０８と、ステージ８をその中心Ｑまわシに回
動させるモータ１０９である。また主制御回路１［＋［
１には、フォトカプラ１０６によってガイドレール６ａ
　、　６ｂの上限位置の検出信号が入力され、同じく下
限位置の検出信号がフォトカプラ１０４から入力される
。さらにスライダー７がフロント位置（第２図、第３図
の状態の位置）にあることｔ検出するフォトカプラ１０
５と、同じくリア位置（レチクルステージ８の直上の位
置）にあることを検出する７オトカブラ１０６とからも
主制御回路１００に信号が与えられている。尚、キャリ
ヤＣＸなどその他の関連部分の制御系どの情報のやシと
９（コミュニケーション）のために、これら他の制御系
と主制御回路１００とはパスライン１１０によって接続
されている。

レチクル搬送部２の作動ン説明すれば、第７図。

第８図および第９図のフローチャー）Ｖ参照し、て、ま
ス最初にスライダー７がフロント位置ζこ位置するよう
フォトカプラ１０５の出力信号Ｓ４ヲ用いて初期位置状
態がとられる。ステップ２００でガイドレール６ａ、６
ｂがスライダー７を載せたまま下方に移動するようにモ
ータ１０１を駆動する。ステップ２］１でフォトカプラ
１０４からの信号Ｓ３をモニターし、ガイドレールが下
限位置に連Ｉ−たときステラη印に進む。ステップ２０
２でモータ１０１の駆動を停止するが、ガイドレールを
信号Ｓ３が発生した時点で直ちに正確に止めることは難
かしいので、若干オーバーランさせたのちに逆方向、す
なわち上昇方向に微動させて再び信号Ｓ３が発生する位
置でモータ１０１を停止させる。このようにしてスライ
ダー７が７０ント位置で下限位置に持ち来たされ、角柱
４ａ〜４ｄおよび位置決めピン５ａ〜５Ｃがスライダー
７の上面より上に突出した状態とな〕、レチクルのセッ
トの準備がととのう。

ここで手動セットでレチクルＲを搬送部２にセットする
場合は、レチクルＲ′１２ｔその端縁が位置決めピン５
ａ、５ｂ、５ｃの周面に当るよ５にして角柱４ａ〜４ｄ
の上に載置する。尚、ピン５ｄ　、５ｅはこのときのレ
チクルＲの端縁とは接しないように微少量の隙間があく
ように設けられている。つまり、ピン５ａ〜５ｅで囲ま
れた領域の内部で角柱４ａ〜４ｄ上にレチクルＲ，−装
置けばプリアライメントが果されるようになっている。

自動セットの場合は、前記ステップ２０２の終了後にス
テップ２０３に進み、ステップ２０６でキャリヤ（Ｘ（
第１図）がレチクルＲ’Ｙ懸架状態で搬送しく１５） てぎて、スライダー７の上方の受渡し位置に定位置停止
される。これらの動作は、パスライン１１０を介してキ
ャリヤαの制御系とのコミュニケーションを行なうこと
で果される。

次にステップ２０４に進み、スライダー７が上昇するよ
うにモータ１０１を駆動してガイドレール１ｍ。

６ｂを上昇させ、ステップ２０５で７オトカブラ１０６
からの信号Ｓ、をモニターし、レール６ａ＃６ｂが上限
位置に達したときにステップ２０６でモータ１０１の駆
動を停止し、レール６ａ、６ｂがオーバーランしたのち
に引ぎ続きスライダー７が下方へ微少移動するようにモ
ータ１０１を逆転させてレール６ａ、６ｂを戻し、再び
信号Ｓ２が生じたとぎにモータ１０１を停止させてスラ
イダー７を正確に定位置停止させる。

尚、第７図でステップ２０４乃至２０６ヲ破線で囲んで
あるが、これはスライダー７の上昇動作を実行する段階
を示したものである。

スライダー７が上昇位置に正確に停止したのちステップ
２０７においてキャリヤαがレチクルＲ１？スライダー
７に受け渡す。この場合、レチクルＲ（１６） はスライダー７の吸着部７ａ、７ｂ上に所定のプリアラ
イメント精度で吸着される。次いでステラη任でレチク
ルＲを載せ几スライダー７は−レール６ａ。

６ｂの降下によって下方へ移動され、ステップ２０９で
キャリヤＣＸがＸ方向に逼迫される。

ここで自動セットの場合、ステップ２０６でレチクルＲ
１’キャリヤαで懸架すると、キャリヤαに対してレチ
クルＲが位置決めされる。ところがキャリヤ０Ｘがステ
ップ２０７でレチクルＲ，？＋？スライダー７に渡し、
スライダー７がステップ２０８で下降すると、スライダ
ー７に載置されていたレチクルＲはスライダー７が下限
位置に達したとぎには角柱４ａ〜４ｄ上に載置されるこ
とになシ、このときにレチクルＲが必ずしも五本の位置
決めピン５ａ〜５ｅのどれにも接触せずに角柱上に載置
されるとは限らない。例えばレチクルＲが第２図に示し
た位置よルもＸまたはＹ方向にわずかにずれて受け渡さ
れると、スライダー７がステップ２０８で下降した際に
、レチクル凡の周辺部分がピｙ　５ｂ、５ｃまたは−の
頂面上にのりあげることになる。これは自動セットの場
合のプリアライメント精度としては間Ｍはないが、あく
までレチクルＲ・は水平に載置されなければならず、本
発明では位置決めピン５ａ〜５ｅはレチクルＲ１がその
頂面上にのりあげれば第５図に示した頭部５２がばね５
３な撓めて沈み込へ従ってレチクルＲ２はピンに触れて
も角柱４ａ〜４ｄ上に水平に載置され、ピン５ａ〜５ｅ
が邪魔になることはない。

以上のようにして手動セットまたは自動セットによシレ
チクルＲが搬送部２のセット位置、すなわち角柱４ａ〜
４ｄ上に予じめ定められたプリアライメント精度の範囲
内で正確にセットされ、以下、ステップ２１０からの露
光位置・＼の搬送が行なわれる。

すなわちステップ２１０で下限位置にあるガイドレール
６ａ、６ｂ　％：上昇させてスライダー７を上方へ移動
させ１手動またはステップ２０８で角柱４ａ〜４ｄ上に
載置されていたレチクルＢ、ヲスライダー７上の吸着部
７ａ、７ｂ上にすくい上げ、ステップ２１１で吸着部７
ａ、７ｂによるレチクル凡の吸着をはじめ、ステップ２
１２で図示しないバキュームセンサ等による前記吸着動
作の確認が行なわれる。この場合、ステップ２１１と２
１２はスライダー７へのレチクル凡の吸着動作を実行す
るステップである。

次いでステップ２１３でそ一タ１０２？ｌｌ−駆動して
スライダー７をＹ方向にステージ８へ向けて移動させ、
ステップ２１４で７オトセンサ１０６から信号ｓ５が生
じたときｔこステップ２１５でモータ１０２の駆動を停
止する。このとぎスライダー７は慣性にニジ少しオーバ
ーランをして止まるので、ステプ７２１５ではさらにモ
ータ１０２’＆逆転させ、スライダー７を送９込み（ロ
ード）方向と逆方向に微動させて、再び信号Ｓ、が生じ
る位置にスライダー７を正確に位置決めする。これでレ
チクルＲはステージ８の直上に位置することになる。次
いでステップ２１６でスライダー７の（つまシレール６
ａ、６ｂの）下降動作が行なわれるが、ステップ２１５
でのスライダー７の位置決め後、このステップ２１６の
開始までの間に吸着部７ａ、７ｂによるレチクルの吸着
は解除されている。ステップ２１６でのスライダー７の
下（１９） 降に際して、吸着部７＆と７ｂは下降に伴ってステージ
８の突部８ａ　、　８ｂの間と、８ｃ、８ｄの間にそれ
ぞれ入シ込み、スライダー７のどの部分もステージ８に
接触しないようになっている。スライダー７が下降しぎ
るとレチクルＲ１は突部８ａ〜８ｄ上に載置され、次い
で第５図のステップ２１７で＄８０ａ〜８０ｄによるレ
チクルＨの吸着が行なわれる。この吸着がバキュームセ
ンサーなどで確認されればステップ２１８でレチクルの
露光位置でのアライメントが行なわれる。これは例えば
露光光軸に対して固定位置関係の図示しないレテクルア
ライメン）Ｘ微ｍカレチクルＲ１上に付された特定のア
ライメントマークを検出するようにそ一タ１０７，１０
８，１０９を駆動制御してステージ８　ｋ　Ｘ、Ｙ方向
および中心Ｑまわシに回動させて行なう。尚、この場合
のステージ８の移動および回動は、いずれにせよ微少な
ものであって、ステージ８とその突部８ａ〜８ｄおよび
レチクルＲ５が、スライダー７のくりぬき部分の内部で
これと接触することなく動ける範囲の動作で充分である
。このよ５なアライメントが済めば、ス（２］） テップ２１９でステージ８を吸着等によりベース６に固
定し、搬送部の片道の動作、すなわちレチクルの搬入セ
ットから露光位置への位置決めまでの動作が終了する。

この後、露光装置によってレチクルの回路パターンが露
光され、下方のウェハ（図示せず）に転写・焼付けられ
る。

露光完了後のレチクルの搬出（アン・ロード）は第９図
に示し次ステツプにニジ行なわれる。すなわち、まずス
テップ２２０で溝８０ａ〜８０ｄによるレチクル凡の吸
着を解除し、ステップ２２１でスライダー７ｙａｌ−上
昇させ、ステップ２２２で突部８ａ〜８ｄ上のレチクル
Ｒ，Ｙスライダー７上に受け渡してその吸着部７ａ、７
ｂによシレチクルを吸着する。次いでステップ２２３で
モータ１０２を駆動してスライダー７をアンロード方向
に移動させ、ステップ２２４で７オトセンサ１０５から
の信号Ｓ４ヲ受けとったとぎにステップ２２５でモータ
１０２を一旦停止させ、スライダー７のオーバーランを
戻すためにモータＩＣ２を逆転させてスライダー７をロ
ード方向に微動させ、再び信号Ｓ４が生じる位置にスラ
イダー７を位置決めする。この位置は角柱４ａ〜４ｄす
なわちセット位置上にあり、ステップ２２６で吸着部７
ａ、７ｂによる吸着ン解除したのちスライダー７を下降
してレチクルＲを角柱４ａ〜４ｄ上に載置する。このと
きも最初の搬入時のプリアライメント状態に対して位置
ずれをもって載置されることがあり、従ってレチクル凡
の下面周辺部に位置決めピン５８〜５ｅのどれかが接触
することがあるが、本発明ではビン５＆〜５ｅが上方か
らの荷重でその頭部を角柱４ａ〜４ｄの高さ以下に沈み
込ませるようになっているので、レチクルＲ１は水平状
態で角柱上に載置されることになる。

手動セットの場合は前記ステップ２２６の終了時点でレ
チクルＲ１を角柱４ａ〜４ｄ上から手でとり出せばよく
、ま”た自動セットでキャリヤ■を用いる場合には、次
のステップ２２７で受光器１０からの信号Ｓｌによ）角
柱４ａ〜４ｄ上のセット位置にレチクルＲが存在するか
否かを確認したのち、ステプ７２２８でキャリヤＣＸヲ
セット位置上方の受取シ位置（ステップ２０７での受け
渡し位置と同じ）に持ち来ｆｃ、１゜キャリヤＣＸが受
取り位置に来たら、ステップ２２９でスライダー７を上
昇させ（レール６ａ、６ｂ　’に上昇させる）、ステッ
プ２３０でキャリヤαにスライダー７上のレチクル′Ｆ
ＬＹ：渡し、キャリヤα自体の制御ステップによってレ
チクルを元のケースに戻Ｕ一方スライダー７はこのとぎ
下方へ移動して（ステップ２５１）、キャリヤはの移動
に対して退避するようにする。

尚１本発明では位置決めピン５ａ〜５ｅはその頭部が沈
み込むようになってお）、従って各ピンの頭部５２の沈
み込みを接点信号として電気的にとり出し、これを用い
てレチクルＲ１のセット時のプリアライメント不良を警
報表示するようにしてもよい。

また実施例においては位置決めピンが上からの荷重によ
って沈み込むものであったが、これは例えばロッド５１
の下端をエアーシリンダ構造または電磁ソレノイドブラ
ンジャ構造にして、エアー信号または電気信号による操
作でロッド５１Ｙ：強制的に下方ノ＼移動させ、所望時
に位置決めピンを（２５） 沈み込ませる構成にして、その動作を主制御回路による
シーケンス制御中に組込むようにしてもよいし、手動セ
ットの場合のレチクル搬入時のみピンを突出させてそれ
以外のときはピンを強制的に沈み込ませておくようにし
てもよい。

さらに本発明において位置決めピン５本に限るものでは
なく、レチクルの手動セット時のプリアライメントに必
要最低限の水数以上あればよい。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、レチクルまたはフ
ォトマスクなどを露光装置の搬送部に手動でセットする
場合にセット位置周囲の位置決め部材としてのピン５ａ
〜５ｅ　ｙｌＩ−利用して予じめ決められたセット位置
に高いプリアライメント精度でセットでき、そのため露
光位置ｌ＼の搬送中の位置精度がスタート時点から高く
でき、露光位置でのファインアライメントの負担を軽減
することができる。

ま７′ｊ露光位置からセット位置へレチクルを戻す場合
に位置決め部材が邪魔になることがなく、例（２４） えロード時の位置に対してアンロード時の位置がずれて
いても、位置決め部材が干渉してレチクルの姿勢を変え
尺）損傷を与えたシすることもなく、従って自動搬送装
置による搬入搬出時にレチクルを取〕損ねたル、レチク
ルに損傷を与えたシする恐れもないから、自動搬送装置
による自動セットを同じセット位置に対して行なうよう
にしてもレチクルに損傷を与えるような機械的干渉は全
く生じることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は露光装置におけるレチクルの搬送動作を示す模
式図、第２図は本発明の実施例を示す平面図、第６図は
第２図のＡ−Ａ線矢視図、第４図はペリクル付きレチク
ルの断面図、第５図は位置決めピンの詳細構造ン例示す
る断面図、第６図は搬送動作の制御系の構成例ン示すブ
ロック図、第７．８および９図はそれぞれ搬送動作ステ
ップのフローチャートである。 図中、１はケース、２は搬送部、６はベース、４ａ〜４
ｄは角柱、５＆〜５ｅは位置決めピン、６ａ、６ｂはガ
イドレール、７はスライダー、７ａ、７ｂは吸着部。 ８はレチクＡ／ステージ、８ａ〜８ｄは突部、８０ａ〜
８０ｄは吸着、９は投光器、１０は受光器、５０は筒部
材、５１はロッド％５２は頭部、５２ａは頂面、５６は
ばね、１００は主制御回路、ＩＱｌ、１０２はモータ、
１０３．１０４，１０５，１０６はフォトセンサ、１０
７，１０８はシフトモータ、１０９は回動そ一タ、１１
Ｇはパスライン、Ｒ，ハレチクル、ＲＬはレチクルライ
ブラリ、ＦＤは異物検査装置、ＣＸはキャリヤを示す。 尚、各図中同一符号は同効部分ケ示すものとする。 代理人弁理士　木　村　三　朗 矛８図　オｑ題

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レチクルまたはマスク等の被搬送物をセットする
   ためのセット位置と、露光焼付けのための露光位置との
   間で前記被搬送物を搬送するものにおいて、前記被搬送
   物の周縁と接触することにエフ前記被搬送物を位置決め
   する位置決め部材が前記セット位置に設けられ、前記位
   置決め部材は所望時に前記被搬送物の搬送経路外へ退避
   可能になされていることを特徴とする露光装置用搬送装
   置。
2. （２）前記位置決め部材は、被搬送部が載ったときに沈
   み込むようにばねで支承された上下動可能な位置決めビ
   ンからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
   載の露光装置用搬送装置。