JPS607792Y2 - マスフロ−コントロ−ラー - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、主キャピラリーと分岐キャピラリーとでマ
スの流路が形成されるマスフローコントローラーに関し
、室温近辺に凝結点のあるマス（例えば四塩化炭素ＣＣ
１４）が、前記キャピラリー内で凝結するのを防ぐこと
を目的とするものである。

近来、半導体集積回路の製造工程におけるシリコン及び
その化合物等のエツチング工程に、スパッタエツチング
、プラズマエツチングあるいはりアクティブイオンエツ
チングなどの、いわゆるドライエツチングが湿式の化学
的エツチングに代えて多用されつつある。

このいわゆるドライエツチングでは減圧されたエツチン
グ室内に対して、例えば、四塩化炭素ＣＣＣｔｌ ）や
四フッ化炭素（ｃＦ’、）等の反応ガス（これらを総称
してマスと言う。

以下同じ。）を所定の流量でエツチング室内へ導入する
必要があり、その目的のためにマスフローコントローラ
ーが用いられる。

このマスフローコントローラーは、マスの供給源と前記
エツチング室とを連結する主キャピラリーに調整弁を介
設すると共に、分岐キャピラリーを並設して、分岐キャ
ピラリーの一側部を加熱しながらこの分岐キャピラリー
内におけるマスの温度勾配を測定し、その値から主キャ
ピラリー内のマスの流量を求めて、前記調整弁の開度を
調節している。

しかしながら、四塩化炭素のように室温近くに凝結温度
があるマスでは、キャピラリー内の移行中に凝結が起り
、キャピラリー内がマスで塞がれるために、キャピラリ
ー内にはマスと共にキャリヤガスを常時供給する必要が
あり、そのため、エツチング室に供給できるマス量が制
限されるという問題点があった。

然るに、この考案は前記キャピラリー、分岐キャピラリ
ー並びに調整弁をマスの供給源側より高い温度条件の区
画に配置したので、マスのキャピラリー内における凝結
を防止すると共にキャリヤガスを不要として、前記問題
点を解決することに成功したのである。

以下この考案の実施例を図面によって説明する。

図において、マスフローコントローラーハ以下の構成か
らなるものである。

すなわち、エツチング室１と、マスの供給源２とが主キ
ャピラリー３で連通し、該主キャピラリー３に調整弁４
が介設され、前記主キャピラリー３の中央部−側には分
岐キャピラリー５が並列に連通してマスの流路が構成さ
れている。

前記分岐キャピラリー５は、主キャピラリー３内を移行
するマスの流量を求めるために並設されたもので、分岐
キャピラリー５の供給源側（上流側）には加熱ヒーター
６が付設され、さらに分岐キャピラリー５の上流側及び
下流側の管路内にそれぞれ温度センサー７．７ａが設け
られている。

該温度センサー７．７ａによって求められた、分岐キャ
ピラリー５の上流側及び下流側の温度指示値は制御装置
８に導入され、これを温度勾配に変換して主キャピラリ
ー３内の流量を求め、前記制御装置８の指令により調整
弁４の開度調節を行ない、設定流量との差が制御される
ようになっているものである。

図中９は供給源２の弁である。

以上は従来のマスフローコントローラーの構造と共通の
部分であってこの考案ではさらに、前記主キャピラリー
３、分岐キャピラリー５及び調整弁４を供給源２の温度
より高い温度条件の区画１０に配置したものである。

この高い温度条件の区画１０に配置する手段としては、
例えば、主キャピラリー３、分岐キャピラリー５及び調
整弁４に対してフレキシブルヒーターなどの加熱ヒータ
ー１１を巻きつけ、その外側をアルミホイルで覆うこと
により実現される。

上記の実施例によれば、主キャピラリー３、分岐キャピ
ラリー５及び調整弁４内におけるマスの凝結が防止され
るため、供給源２の圧力のみでマスをエツチング室１内
へ移送することができ、従来のようなキャリヤガスを不
要とすることができる。

然して、エツチング室１内に対するマスの供給量もキャ
リヤガスで制御されることなく、所望量に調整すること
ができる。

実験によれば、四塩化炭素（ＣＣｆ４）をマスとし、供
給源２を４０〜５０°Ｃ１区画１０を６０〜７０℃の温
度範囲に設定することによって主キャピラリー３、分岐
キャピラリー５及び調整弁４内における四塩化炭素の凝
結が防止され、円滑な流量制御ができることが確認され
た。

すなわち、この考案はマスフローコントローラーにおけ
る支キャピラリー３、分岐キャピラリー５及び調整弁４
をマスの供給源２側より高い温度条件としたので、この
考案によればキャリヤガスを必要とすることなくマスの
移送が可能となり、所望量のマスを供給できる効果を有
するものである。

【図面の簡単な説明】

図はこの考案の実施例のブロック図である。 １・・・・・・エツチング室、２・・・・・・供給源、
３・・・・・・主キャピラリー、４・・・・・・調整弁
、５・・・・・・分岐キャピラリー、６・・・・・・加
熱ヒーター、７，７ａ・・・・・・温度センサー、訃・
・・・・制御装置、１０・・・・・・高い温度条件の区
画、１１・・・・・・加熱用ヒーター。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）主キャピラリーに並設された分岐キャピラリー内
   におけるマスの温度勾配より主キャピラリー内のマスの
   流量を測定し、その測定値に応じて前記主キャピラリー
   に設けた調整弁の開度を調節するマスフローコントロー
   ラーにおいて、前記主キャピラリー、分岐キャピラリー
   及び調整弁をマスの供給源側より高い温度条件の区画内
   に配置したことを特徴とするマスフローコントローラー
   。
2. （２）前記主キャピラリー、分岐キャピラリー及び調整
   弁に加熱用ヒーターを付設した実用新案登録請求の範囲
   第１項記載のマスフローコントローラー。