JPS6072311A - リチウムタンタレ−ト圧電振動子 - Google Patents
リチウムタンタレ−ト圧電振動子Info
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- JPS6072311A JPS6072311A JP17808383A JP17808383A JPS6072311A JP S6072311 A JPS6072311 A JP S6072311A JP 17808383 A JP17808383 A JP 17808383A JP 17808383 A JP17808383 A JP 17808383A JP S6072311 A JPS6072311 A JP S6072311A
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- lithium tantalate
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- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- AWJDQCINSGRBDJ-UHFFFAOYSA-N [Li].[Ta] Chemical compound [Li].[Ta] AWJDQCINSGRBDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000010356 wave oscillation Effects 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02015—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
- H03H9/02031—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of ceramic
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02228—Guided bulk acoustic wave devices or Lamb wave devices having interdigital transducers situated in parallel planes on either side of a piezoelectric layer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はリチウムタンクレート圧電振動素子にａするも
のである。
のである。
技術の背景
水晶振動子に代表される後板的共振子は電子回路部品と
して高Ｑ、高安定のためｇ二共振子、発振子及びフィル
タ々とに広く利用されているＯそして近年進められそい
る電子機器の小形化、薄形化、軽量化お工び１１組立化
などを実現するためＣ二数ＭＨｚ から数十ＩａＨｚの
振動子のチップ化が要求さ“れている。
して高Ｑ、高安定のためｇ二共振子、発振子及びフィル
タ々とに広く利用されているＯそして近年進められそい
る電子機器の小形化、薄形化、軽量化お工び１１組立化
などを実現するためＣ二数ＭＨｚ から数十ＩａＨｚの
振動子のチップ化が要求さ“れている。
従来技術と問題点
第１図は従来のリチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ５）
を用いた厚み丁Ｒυ振動子を説明する丸めの図であり、
ａは斜視ｉ、ｂ及びＣはその振動状態を説明する１ζめ
の図である。同図において、ｌは圧電板、２及び３は一
極をそれぞれ示している。このＬｉＴａ０ａ Ｗｘ駆動
子圧電板ｌの上下面に電極２，３が対向して設けられて
おり、この電極２．３に高周波を印加して圧電板に共振
を起させる工うになっている。そして矢印で示す振動変
位はＹｚ平面内（二あり、Ｚ軸から−５００（時計方向
に５ ＵＯの詠味）の方向にある。また厚みすべり振動
の伝播方向はＸ軸方向であり、第１図すの如く基本波発
振では厚み方向（二手波数、高調波発振では第１図Ｃの
如＜ｆ２ｎ＋１）波数の振動が発生する。
を用いた厚み丁Ｒυ振動子を説明する丸めの図であり、
ａは斜視ｉ、ｂ及びＣはその振動状態を説明する１ζめ
の図である。同図において、ｌは圧電板、２及び３は一
極をそれぞれ示している。このＬｉＴａ０ａ Ｗｘ駆動
子圧電板ｌの上下面に電極２，３が対向して設けられて
おり、この電極２．３に高周波を印加して圧電板に共振
を起させる工うになっている。そして矢印で示す振動変
位はＹｚ平面内（二あり、Ｚ軸から−５００（時計方向
に５ ＵＯの詠味）の方向にある。また厚みすべり振動
の伝播方向はＸ軸方向であり、第１図すの如く基本波発
振では厚み方向（二手波数、高調波発振では第１図Ｃの
如＜ｆ２ｎ＋１）波数の振動が発生する。
このようなＬｉＴａ０．振動子においては１０ＭＨｚの
振町Ｕ子を基本波で得るためには圧電板の厚さＨが２０
０μｍであるが、ＩＵＯＭ）ｉｚ になるとその厚さは
２０μｍと薄くなり、現在の加工技術では製造不ｂ」能
である。まχ高調波発振では不要な振［ＪＪＩ （例え
は基本波）を除去するだめのフィルタが必役となる等の
欠点があった。
振町Ｕ子を基本波で得るためには圧電板の厚さＨが２０
０μｍであるが、ＩＵＯＭ）ｉｚ になるとその厚さは
２０μｍと薄くなり、現在の加工技術では製造不ｂ」能
である。まχ高調波発振では不要な振［ＪＪＩ （例え
は基本波）を除去するだめのフィルタが必役となる等の
欠点があった。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、加工容易な高周波用Ｌ
ｉＴａＯ３圧電振動子を提供−［ることを目的とテるも
のである。
ｉＴａＯ３圧電振動子を提供−［ることを目的とテるも
のである。
そしてこの目的は本発明によれは、タンタル酸リチウム
（ＬｉＴａＯｘ ）圧電単結晶から圧電板を切断形成し
、この圧電板のバルク波の伝播方向と振動の菱位方回と
を含む主平面上（＝振動の変位方向（−平行にのびた少
なくとも１対の電極を設けたことを特徴とするりチウム
タンタレート圧電振動子を提供すること（＝よって達成
される０ 発明の実施例 以下、本発明実施例を図面Ｃ二よって詳述する。
（ＬｉＴａＯｘ ）圧電単結晶から圧電板を切断形成し
、この圧電板のバルク波の伝播方向と振動の菱位方回と
を含む主平面上（＝振動の変位方向（−平行にのびた少
なくとも１対の電極を設けたことを特徴とするりチウム
タンタレート圧電振動子を提供すること（＝よって達成
される０ 発明の実施例 以下、本発明実施例を図面Ｃ二よって詳述する。
第２図は本発明に↓るリチウムタンタレート圧電振動子
を説明１−るπめの図である。同図において、ｌＯは圧
電板、１１お工ひ１２は電極をそれぞれ示す。
を説明１−るπめの図である。同図において、ｌＯは圧
電板、１１お工ひ１２は電極をそれぞれ示す。
本実施例は第２図に示す如く、その圧電板１０はタンタ
ル酸リチウム（リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯａ
） ）の圧電単結晶から２軸のまわＶ（ニー５０° 回
転したＹカットを主面として切り出され１乙ものである
。従ってこの圧電板における）（ルり波の振動変位方向
は矢印ａで示す如く主面及びＹＺ面に平行であり、振動
の伝播方向は矢印すで示す如くＸ軸方向である。電極１
１及び１２は振動変位方向に平行にのびる少なくとも１
対（図においては櫛形が組合わされた形状）をなしてい
る０そして対向する電極１１．１２のピッチＰは圧電板
固有の音速をもとに使用共振周波数から決定される。な
、お圧電板ｌＯの端面１１） ａ及びｌＯａ’はバルク
涙金反射するようにするため電極１１゜１２と平行ｌ二
なる↓うに形成されている。
ル酸リチウム（リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯａ
） ）の圧電単結晶から２軸のまわＶ（ニー５０° 回
転したＹカットを主面として切り出され１乙ものである
。従ってこの圧電板における）（ルり波の振動変位方向
は矢印ａで示す如く主面及びＹＺ面に平行であり、振動
の伝播方向は矢印すで示す如くＸ軸方向である。電極１
１及び１２は振動変位方向に平行にのびる少なくとも１
対（図においては櫛形が組合わされた形状）をなしてい
る０そして対向する電極１１．１２のピッチＰは圧電板
固有の音速をもとに使用共振周波数から決定される。な
、お圧電板ｌＯの端面１１） ａ及びｌＯａ’はバルク
涙金反射するようにするため電極１１゜１２と平行ｌ二
なる↓うに形成されている。
このようζ二構成された本実施例の振動子の共振周波数
は櫛形電極１１．１２の電極指ピッチＰで決定されるが
、この櫛形電極の形成はホトリソグラフ技術で行なえば
数μｍの電極は容易に形成される。従−て１０ ｆｌ
ＭＨｚ 以上の高周波でも基本波発振を得ることができ
る。
は櫛形電極１１．１２の電極指ピッチＰで決定されるが
、この櫛形電極の形成はホトリソグラフ技術で行なえば
数μｍの電極は容易に形成される。従−て１０ ｆｌ
ＭＨｚ 以上の高周波でも基本波発振を得ることができ
る。
発明の効果
以上、詳細に説明し一７’Ｃ工うＣ二本発明のリチウム
タンタレート圧電振動子は圧電板の主平面上に共振要素
を限定する電極を配置した構造とすること（ニエ９、対
向する電極間のピッチを小さくすることができるため加
工が容易となり、かつ高周波での基本波発振が得られる
といっ１こ効果大なるものである。
タンタレート圧電振動子は圧電板の主平面上に共振要素
を限定する電極を配置した構造とすること（ニエ９、対
向する電極間のピッチを小さくすることができるため加
工が容易となり、かつ高周波での基本波発振が得られる
といっ１こ効果大なるものである。
第１図は従来のリチウムタンタレート圧電振動子を説明
するための図、第２図は本発明によるリチウムタンタレ
ート圧電振動子を説明するための図である。 図面ｉ二おいて、ｌＯは圧電板、１１．１２は電極をそ
れぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 １）幸 男 弁理士 山 口 昭 之 第 １図 （Ｑ） （ｂ） （ｃ） 第２゛図 １００′
するための図、第２図は本発明によるリチウムタンタレ
ート圧電振動子を説明するための図である。 図面ｉ二おいて、ｌＯは圧電板、１１．１２は電極をそ
れぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 １）幸 男 弁理士 山 口 昭 之 第 １図 （Ｑ） （ｂ） （ｃ） 第２゛図 １００′
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 タンタル酸リチウムｌ ＬＩＴａＱ、）圧電単結
晶から圧電板を切断形成し、このＬＥ圧電板バルク波の
伝播方向と振動の変位方向を含む主平面上に振動の変位
方向に平行にのびた少なくとも１対の電極？Ｉ−設けた
ことｔ−特徴とｒるリチウムタンタレート圧電振動子。 ２、前記Ｅｆ：′電板は結晶のＸ軸の１わりに時計方向
に５０’ ±５°回転したＹカット板であることを特徴
とする特ｌ′Ｆ請求の範囲第１項記載のリチウムタンタ
レート圧電振電子。 ３、前記圧電板の端面は電極着二対し平行に形成されて
いることｔ％徴と１−る特許請求の範囲第１項記載のリ
チウムタンタレート圧電振動子。 ４、前記電ｔｊＭは櫛形とし、対問するｕＬ極の間隔は
圧電板内肩のＬ速’（ｆｆ％とに使用共振周波数から決
定されたものであること全特徴と１−る特許請求の範囲
ｗ１１項記載のリチウムタンタレート圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17808383A JPS6072311A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | リチウムタンタレ−ト圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17808383A JPS6072311A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | リチウムタンタレ−ト圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072311A true JPS6072311A (ja) | 1985-04-24 |
Family
ID=16042325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17808383A Pending JPS6072311A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | リチウムタンタレ−ト圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072311A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5371430A (en) * | 1991-02-12 | 1994-12-06 | Fujitsu Limited | Piezoelectric transformer producing an output A.C. voltage with reduced distortion |
| US5424602A (en) * | 1991-02-12 | 1995-06-13 | Fujitsu Limited | Piezoelectric transformer showing a reduced input impedance and step-up/step-down operation for a wide range of load resistance |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP17808383A patent/JPS6072311A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5371430A (en) * | 1991-02-12 | 1994-12-06 | Fujitsu Limited | Piezoelectric transformer producing an output A.C. voltage with reduced distortion |
| US5424602A (en) * | 1991-02-12 | 1995-06-13 | Fujitsu Limited | Piezoelectric transformer showing a reduced input impedance and step-up/step-down operation for a wide range of load resistance |
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