JPS6071845A - 空調防塵室の局所排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は空調防塵室の局所排気装置に係り、特に半導体
製造工場、薬品製造工場、食品製造工場、病院等の空調
防塵室に適した局所排気装置に関する。

空調防塵室の各作業箇所に設置された生産設備から熱風
、有機ガス、塵埃等を含むガスが発生する場合には、こ
れらのガスを室外に排気しなければならない。従来、こ
のような排気は、各作業箇所に吸込口を有する排気枝管
を設け、この排気枝管を合流した排気メイン管によって
室内で発生したガを排気するようにしていた。しかしな
がら従来の空調防塵室に於いては、排気メイン管の排気
量は空調防塵室内の各作業場所に於ける生産設備が全部
稼働した状態に於ける必要最大量を排気すると共にそれ
に見合うエアを供給するようにしている。従って従来の
空調防塵室は、ある生産設備が休止しその吸込口が閉じ
ていても排気メイン管の排気ファンは必要量以上に排気
すると共に給気管からは必要量以上にエアを給気するの
でエネルギーの損失となる。即ち排気量が多いとそれに
見合うエアを供給しなければならず、この場合空調防塵
室に供給されるエアは空調されるので、余分のエアを空
調するためエネルギーロスが生じることになる。またあ
る作業箇所に於ける生産設備が休止し吸込口が閉じたに
もかかわらず排気ファンから必要以上のエアが排気され
ると、残された他の排気枝管の排気バランスが崩れ、各
排気枝管の排気に悪影響を与える虞れがある。

本発明はこのような事情に鑑みて為されたもので、空調
防塵室内の作業状況に応じて排気量並びに給気量を調節
することができる空調防塵室の局所排気装置を提案する
ことを目的としている。

本発明は、空調防塵室内の各作業箇所に開口した複数の
吸込口を備え該吸込口は作業条件に応じて開閉する複数
の排気枝管と、各排気枝管が連通アに応して室内に空調
されたエアを給気ファンによって供給する給気管と、排
気メイン管に設けられ排気メイン管内の圧力を調整可能
な絞り弁と、排気メイン管内に設けられた圧力検出セン
サ並びに風量検出センサと、雨検出センザの検出信号に
基づいて排気ファンの回転数、給気ファンの回転数、並
びに絞り弁の開度をコントロールする制御部とから成る
ことを特徴としている。

以下添付図面に従って本発明に係る空調防塵室の局所排
気装置の好ましい実施例を詳説する。

図に於いて１０は空調防塵室、１２は空調防塵室１０に
形成されるサプライチャンバ、１４はミキシングチャン
バ、１６は環境制御室、１８はリターンチャンバである
。複数の内調機２０はダクト２２を介してリターンチャ
ンバ１８のエアの一部を吸い込んで学問した後サプライ
チャンバ１２に供給する。空調防塵室１０の側壁はツイ
ンウオールとして構成され、リターンチャンバ１８の大
部分のエアはこのツインウオールの通路２４を通ってミ
キシングチャンバ１４に送られる。ミキシングチャンバ
１４に於いてサプライチャンバ１２からのエアと通路２
４からのエアとはミキシングされ、ＨＥＰＡフィルタを
内蔵した送気ユニット２６により環境制御室１６に清浄
エアが供給されるようになっている。以上が空調防塵室
に於けるエアの循環経路を示す概略構造である。

次に局所排気装置について説明する。環境制御室１６内
には、各作業箇所に種類の異なった生産設備２８乃至３
８が配設され各生産設備２８乃至３８には各排気技管４
０乃至５０が設けられている。各排気技管４０乃至５０
は各々吸込口５２乃至６２を有し、生産設備から生じた
有機ガス、無機ガス、熱風、塵埃等を吸込むようになっ
ている。図に示すように排気枝管４０．４６は排気メイ
ン管６４に合流し、排気枝管４２．４８は排気メイン管
６６に合流し、排気枝管４４．５０は排気メイン管６８
に合流する。また排気メイン管６４には絞り弁７０と排
気ファン７２が設けられ、更に排気メイン管６６には絞
り弁７３と排気ファン７４が設けられ、また排気メイン
管６８にも絞り弁７６と排気ファン７８が設けられてい
る。また排気メイン管６４にば圧力検出センサ８０、風
量検出センサ８２が設けられ、更に排気メイン管６６に
は圧力検出センサ８４、風量検出センサ８６が設けられ
、同様に排気メイン管６８にも圧力検出センサ８８、風
量検出センサ９０が設けられている。

圧力検出センサ８０．８４．８８並びに風量検出センサ
８２．８６．９０の各検出信号は制御装置９２に入力さ
れるようになっている。またこの検出センサからの入力
信号に基づいて絞り弁７０．７３．７６の開度並びに排
気ファン７２．７６．７８の回転数がコントロールされ
る。排気メイン管６４．６６．６８により室内のエアを
排気すると、その排気量に見合うだけのエアを空調防塵
室１０内に供給しなければならず、そのエアの供給は次
のような装置によって成される。

即ちエア取入口９４．９６から取入れたエアは外調機９
８．１００によって空調され、この空調されたエアは給
気ファン１０２．１０４によって内調機２０に送られサ
プライチャンバ１２内に供給される。また制御装置９２
は前記圧力検出センサ８０．８４．８８、風量検出セン
サ８２．８６．９０の検出値に基づいて排気ファン７２
．７６．７８と同様に給気ファン１０２．１０４の回転
数を制御する。

前記め如く構成された本発明に係る実施例の作用は次の
通りである。まず生産設備２８乃至３８が全て稼働状態
の時に於いては吸込口５２乃至６２は全開し、排気ファ
ン７２．７６．７８は最大排気量でエアを排出すると共
に給気ファン１０２．１０４もこれに応して駆動し、こ
の排気量に見合うエアを供給する。

次に、ある生産設備例えば生産設備２８．３２が体止す
ると、その吸込口５２．５６は閉じられる。これにより
ダクト６４．６８内の圧力並びに風量は変化するが、こ
れを圧力検出センサ８０．８８、風量検出センサ８２．
９０が検出し制御装置９２に入力する。制御装置９２は
、生産設備２８．３２が休止することによって不要にな
った排気量を減らすべく絞り弁７０．７６の開度、排気
ファン７２．７８の回転数をコントロールする。また同
時に制御装置９２はこの排気量の減少に基づいて供給エ
アも減少させるべく給気ファン１０２．１０４に信号を
送り、その回転数を減少させる。

前記実施例では排気メイン管６４．６６．６８は三系統
用いられたのであるが、これに限定されるものではなく
生産設備の種類に応じて一系統でもよいし、また三辺上
の系統でもよい。また給気系統に於いても給気ファンの
容量が大きければ前記実施例の如く給気ファン１０２．
１０４を二台設ける必要はない。

以上説明したように本発明に係る空調防塵室の局所排気
装置によれば、生産設備の稼働状態に応して排気ファン
並びに給気ファンをコントロールし、排気量並びに給気
量をも変えることにしたのでエネルギーのロスがなくな
る。また生産設備が休止することに伴って生産設備のエ
ア吸込口が閉じると排気ファンの回転数も減少するので
他の吸込口の排気系統に悪影響を与えることはない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係る空調防塵室の局所排気装置の実施例
を示す説明図である。 １０・・・空調防塵室、　２６・・・送気ユニット、　
２８乃至３８・・・生産設備、　４０乃至５０・・・排
気枝管、　５２乃至６２・・・吸込口、　６４．６６．
６８・・・排気メイン管、７０．７３．７６・・・絞り
弁、　７２．７６．７Ｂ・・・排気ファン、８０．８４
．８８・・・圧力検出センサ、　８２．８６．９０・・
・風量検出センサ、　９２・・・制御装置、　１０２．
１０４・・・給気ファン。 出願人　日立プラント建設株式会社 株式会社　日立製作所 株式会社　日立建設設計

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 室内のエアを循環させ、このエアの循環経路に空気調和
   機とエアフィルタとを配してなる空調防塵室に於いて、
   室内の各作業箇所に開口した複数の吸込口を備え該吸込
   口が作業条件に応じて開閉する複数の排気枝管と、各排
   気枝管が合流し排気ファンによって室内のエアを室外に
   排出する排気メイン管と、排気メイン管で排出されたエ
   アに応じて室内に空調されたエアを給気ファンによって
   供給する給気管と、排気メイン管に設けられ排気メイン
   管内の圧力を調整可能な絞り弁と、排気メイン管内に設
   けられた圧力検出センサ並びに風量検出センサと、雨検
   出センサの検出信号に基づいて排気ファンの回転数、給
   気ファンの回転数、並びに絞り弁の開度をコントロール
   する制御部とから成る局所排気装置。