JPS6064843A - 熱線遮蔽積層体 - Google Patents

熱線遮蔽積層体

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JPS6064843A
JPS6064843A JP58172787A JP17278783A JPS6064843A JP S6064843 A JPS6064843 A JP S6064843A JP 58172787 A JP58172787 A JP 58172787A JP 17278783 A JP17278783 A JP 17278783A JP S6064843 A JPS6064843 A JP S6064843A
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忠義 伊藤
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/70Properties of coatings
    • C03C2217/73Anti-reflective coatings with specific characteristics
    • C03C2217/734Anti-reflective coatings with specific characteristics comprising an alternation of high and low refractive indexes

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は熱FA遮蔽積層体、特に多層膜の干渉による色
むら発生を防止しかつ可視域における透過率を任意の値
に設定可能な改良された熱線遮蔽積層体に関する。
背景技術 可視光透過性基板、例えばガラス板あるいはプラスチッ
ク板は通常良好な可視光透過性を有するが半面にJ3い
て可視領域より長波長側の光線(赤外線)に対しても良
好な透過性を有し、このため基板を透過した熱線のエネ
ルギーを適当な手段により処J!I!’4る必要が種々
生じていた。
例えば、この種の基板を自動車用ガラスに用いた場合に
は、太陽光による室内温度上昇などが問題となり、この
ため大容量の冷房装置を必要とする等の欠点があった。
このため、従来よりこの種の基板に所定の=1−ティン
グを施し゛C熱線を反射又は吸収しての遮蔽を行うもの
が実用化されている。例えば、ガラス、プラスチックな
どの透明な基板上に、赤外線反射条件を満たず膜厚のT
 i O2又はCeO2などから成る高屈折率透明誘電
体薄膜層ど、赤外線反Q(条件を満たず膜厚約の810
2、MgF2又はCeF3などから成る低屈折率透明誘
電体薄膜層とを交互に積層した熱FA遮蔽積層体が周知
であり、この積層体は優れた可視光透過性及び熱線反射
特性を右することから、自動車及び建築物の窓ガラス及
びその他の用途に幅広く用いられている。
しかし、この様な従来の熱線遮蔽積FF1体は、基板表
面に積層された多層膜内にJ3いて光干渉作用による色
むらが生じ該積層体を自動車、建築物用のガラス上に成
膜し使用すると、反射光による周辺環境への光公害を引
き起し、更にガラス表面の色状が周囲の者に不快感を与
える等の問題を引き起しその有効な対策が望まれていた
また、熱線遮蔽の対称となる太陽光の熱エネルギーは可
視域に約50パーeント1赤外域に約50パーセン1−
存在している。従って、熱線遮蔽積層体の可視光透過率
を向上りることはその半面カラス基板を介して熱エネル
ギーの内部への侵入を増加につながる。
しかし、従来の熱線遮蔽積層体は、赤外域の熱エネルギ
ーを効率良く遮蔽するが、可視域の熱エネルギーはほと
んどこれを透過させてしまい、そのため熱線′!M蔽特
性に限界があるという欠点があつ lこ 。
特に近年自動車、建築物用の窓ガラス等を介して侵入す
る太陽光熱エネルギーを極力遮蔽し、熱負萄の低減を図
ろうとする動きが非常に活発であるが、従来の熱線遮蔽
積層体では、以上説明したような熱線遮蔽効果の限界が
あり、その有効な対策が望まれていた。
ル曳(DU(頼 本発明はこの様な従来の課題に鑑み為されたものであり
、その目的は、多層膜の干渉による色むらの発生を防止
し、かつ使用目的に応じて可視光透過率を任意の値に設
定可能な熱線遮蔽積層体を提供することにある。
発明の構成 前記目的を達成するため本発明の装置は、可視光透過性
基板の熱源側表面に、可視光透過性物質からなる高屈折
率薄膜層及び低屈折率薄膜層を父互に積層し、最表面の
薄膜層は低屈折率薄膜層とすることを特徴とする。
この様に、本発明によれば、最表面の薄膜層を低屈折率
薄膜層とすることにより多層膜の干渉による色むら発生
を効果的に抑制することが可能となる。
また、本発明の積層体は、可視光透過性基板の熱源側表
面に、可視光透過性物質からなる高屈折帯薄lり層及び
低屈折率′fa股層を交Uに積層し、最表面の薄膜層は
低屈折率薄膜層とするとともに低屈折率薄膜層に所定の
金属を添加し、ijl祝光透光透過率意の値に設定する
ことを特徴とする特この様に本発明によれば、低屈折率
薄膜層に所定の金属を添加することにより赤外域の干渉
反射特性を維持しつつ、可視域の透過率をその使用目的
に応じて任意の値に設定することが可能となる。
また、この際添加ザる金属の種類及び状態を制御ツるこ
とにより積層体表面の色合いを調整し該v4層体の設け
られたガラス基板などの(=J加価値を向上りることが
可能どなる。
11 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。
本発明は、可視光透過性基板の熱源側表面に、可視光透
過性物質から成る高屈折率薄膜層と、可視光透過性物質
から成る低屈折率薄Bりとを交互に積層して熱a遮蔽積
層体を形成したものである。
実施例にa3いT 7IJ祝光透過性基板は、例えばガ
ラスやプラスチック等からなり、該基板の熱源側表面に
被覆された各高屈折率薄膜層は、赤外線反則条件を満た
す膜厚のTiO2、CeO2、ZnS、CdS又はZr
O2を用(′+テ形成Q レ−Cいる。また、この高屈
折率薄膜層と交Hに積層される低屈折率薄膜層は、赤外
線反射率イ9を満たす膜厚のS io2、M(jF2、
L i F、Cel’−3又はCa F 2を用いて形
成されている。
本発明の第1の特徴的事項はこの様にして交Hに積層さ
れた多層膜の最表面薄膜層を低層IJ7率薄膜層とする
ことにある。
実施例において、この最表面の低屈折率薄膜層は、可視
光の反射防止条件を満だ−り膜厚のS i O2、M 
gF 2 、L I F 1C(3F 3又はCaF2
を用いて形成されている。
以上の構成とすることにより、本発明の熱に1遮M槓層
体は、赤外線反射率をほとんど但下さUることなく、多
層膜の干渉反射による色むらの発生を抑制丈ることが可
能となる。
第1実施例 第1図にはこの様な本発明の熱線遮蔽積層体の具体的な
実施例が示されている。実施例の熱線遮蔽積層体は、厚
さ0.8mm1屈折率約1.5でかつ可視域及び近赤外
線領域で透明なコーニング着装N0.705’9ガラス
から成る基板1oの熱源側表面に、王1o2がら成る高
屈折率薄膜層20.22.24と5f02がら成る低屈
折率薄膜層30.32とを交互に積層被覆し、最表面に
更に5f02から成る低屈折率薄膜層4oを干渉反射防
JL層として積層被覆して、ff+ 6層の多層膜IM
造に形成されている。
ここにおいて各薄膜層20,22.24.30゜32.
40の膜厚は、予め実測した丁102膜あるいは5iO
z膜の屈折率及び干渉反射しようとりる赤外線の中心波
長(λ−1ooonm>などを考慮して、削算機シュミ
レーションにより推定され、Ti02M膜層20.22
,244.t103±5 n mの範囲に設定され、同
様にS!02薄膜層30.32は172±8nm、最表
面のS ! 02薄膜層4oは86±5nmの範囲に設
定されている。
実施例の熱線遮蔽積層体の製造に際しては、基板10は
1([スパッタ法により十分に洗浄される、1その後、
該基板10表面に高屈折率薄膜層20゜22.24及び
低屈折率薄膜層30.32.40が交互に順次積層被覆
して形成される。
ここにおいて、高屈折率薄膜層20. りなりらTlO
2薄膜層は、T1o2ターグツ1へを用い、5パーセン
トの酸素を含む全圧2 x 10−2−1” ORRの
アルゴン雰囲気中で特別な基板加熱をUづ゛にRFスパ
ッタ法により形成される。
また、イα屈折率薄模唐30.ずなゎら5io2H膜層
は、高屈折率J膜層2oの形IA後、その負空を破るこ
となく、T r O2膜の成膜条件どnl −の条件の
下で、5iQ2ターゲツトを用い−(形成される。
この様な成膜手順を繰返し、基板1o土にT f 02
から成る高屈折率薄膜層20,22゜24及びSio2
から成る低屈折率薄膜層30゜32.40を順次fa層
被覆して TiO2/S!026層膜を形成Jる。
第2図には、この様にして形成された本実施例の熱線遮
蔽積層体の分光特性、すなわら波長に対する透過率の特
性が示されている。
比較例 次に、本発明の熱線遮蔽積層体の特性を、従来の熱線遮
蔽積層体の特性と対比して説明する。
第3図には、従来の熱線遮蔽vi層体が示されており、
この熱線遮蔽積層体は、前記第1図に示す実施例と1−
一のガラス基板10の熱源側表面に本実施例の場合と同
一の高屈折率薄膜層20.22゜24及び低屈折率薄膜
層30..32を交互に5層積層被覆して形成されてい
る。従って、この従来の熱線遮蔽積層体は、その最表面
に高屈折率薄膜層24が積層被覆して形成されている。
ここにJ3いて、各薄膜層20.22.24および30
.32の膜層及び製法は前記第1図に示す本発明の実施
例と同じである。
第4図には、前記第3図に示す比較例の分光特性すなわ
ち波長に対する透過率特性が示されている。
第4図に示す比較例の分光特性から従来の熱線遮蔽積層
体は380〜780 n mの可視域の平均透過率が約
81パーセント程度でかつ 1000n mにお()る
赤外線反射率が約86バーレン1−の良好な熱線反射特
性を有することが理解される。
しかしこの熱線遮蔽積層体は、第4図に示すごとく可視
域内おいて透過率の変動が見られる。ここにおいて、高
屈折率R膜層20.22.24を形成する1−102薄
膜及び低屈折率薄膜層30゜32を形成覆る8102′
;a膜自体には、可視光に対しなんらの吸収特性がない
ので第4図に見られる透過率の極小は反射率の極大を意
味する。
この様に、従来の熱線遮蔽積層体は、可視域の特定な波
長の光を反射するため、多層膜表面に色むらの発生を引
起こし、従ってこの様な熱線遮蔽積層体を自動車、建築
用ガラス上に成膜し使用する場合に、該色むらの発生は
、反射光による周辺環境への光公害を引起こし、時とし
てガラス表面の色彩が不快感を与える色彩となり膜の付
加価値低下を引起こしていた。
これに対し、本発明の熱線遮蔽積層体は、第2図に示す
分光特性からも明らかなごとく、380〜780 nm
の可視域においてほぼフラットな透過率を示すため色む
らの発生が十分抑制されている。
また、可視光透過率も平均91パ一セント以上を示し、
更に赤外線反射率は1000nn+で83バーレントを
維持している。
この様に、本発明の熱線遮蔽積層体では、最表面の薄膜
層を低屈折率薄膜層40とすることにより、赤外線反射
率をほとんど低下させることなく可視光の透過率を向上
さ11しかも色むらの発生を効果的に抑制できるので例
えば、自動車、建築用窓ガラス及びその他の用途に幅広
く適用可能であることが理解される。
工l塵E− 次に本発明の第2実施例を図面に基づき説111]する
本実施例は、前記実施例と同様に可視光透過性基板の熱
源側表面に、可視光透過性物質から成る高屈折率薄膜層
及び低屈折率薄膜層を交Hに積層し、最表面の薄膜層は
低屈折率′A9膜層とリ−るものである。
本発明の第2の特徴的小項は、この様にして形成された
薄膜層の、低屈折率薄膜層に所定金属を添加したことに
ある。
この様に、低屈折率薄膜層に異種金属元素を添加するこ
とにより、該金属添加m又は金属が添加された薄膜層の
成膜条件を調整し熱線遮蔽TL11層体の可視光透過率
を任意の値に設定することがiJ能となる。
ここにおいて、低屈折率薄It!、!層に添加層る金属
どしては、A(J、Pd、Au、(:、o、Fe、又(
まCuなどの金属元素が好適であり、実施例にJ3いて
はこの様な金属元素の添加mを1〜108パーセントの
範囲ぐ調整し、可視光透過率を任意の値に設定している
第5図には、この様な本発明の具体的な実施例が示され
ており、実施例の熱線遮蔽積層体は、ガラス基板10の
熱源側表面に可視光透過性物質からなる高屈折率薄膜層
20,22.24及び低屈折率薄膜層30,32.40
を交互に6層積層し、前記実施例同様最表面の薄膜層4
0を低屈折率薄膜層としたものである。
ここにおいて、基板10及び各薄膜の20゜22.24
及び30,32.40構成、材料等は基本的に前記第1
図に示す実施例の場合と同様であり、従って高屈折率薄
膜層20.22.24はTi02iIJ膜層からなり、
低屈折率薄膜層30゜32’、40は5iOz薄膜層と
なる。
本実施例の特徴的事項は、SiO2からなる低屈折率薄
膜層30.32及び40内に、1atパーセントの金属
AQを添加したことにある。
実施例の熱線遮蔽積層体の!Fj造に際しては、基板1
0上に、T!02ターゲツ1−を用いたRFスパンタ法
により5パーセントの酸素を含む全圧2XIO−2TO
RRのアルゴン雰囲気中でTtO2からなる高屈折率薄
膜層20を膜厚 103±5nmの範囲で成膜する。
これに続いて、真空を破ることなく、5fO2ターゲツ
ト上に金属片ACIを面積比で1対0.0017の割合
で均一に配置し、5パーセントの酸素を含むアルゴン雰
囲気中でRFスパッタし、 A(]を約1atパーセン
ト含有する低屈折率薄膜層、すなわらSiO2薄膜層3
0を膜厚約172±8nmの範囲で成膜する。
この様な成膜動作を繰返し、基板10の表面に高屈折率
薄膜層20,22.24及び金属元素AQを含む低屈折
率薄膜層30.32.40を交互に積層被覆する。
なお、最表面の低屈折率薄膜層40はその膜厚が前記実
施例の場合と同様86±5 n mの範囲で成膜される
第6図にはこの様にして形成された本実施例の熱線遮蔽
積層体の分光特性、ずなわち波長に対する透過率特性が
示されている。
同図からも明らかなように、本実施例によって得られた
熱線遮蔽積層体は、約1000nmにおける赤外線反射
率を損うことなく、しかも波長380〜780nmの可
′祝域における透過率がほぼフラットであり、透過率変
動により引き起される色むらを効果的に抑制することが
できる。
これに加え、本実施例の熱線遮蔽積層体では、可視域の
平均透過率を77パーセン1〜まで抑制することが理解
される。
づなわら、本実施例のごとく、低屈折率薄膜層30.3
2.40に1atパーヒント金属を添加した熱線遮蔽積
層体では、これら金属を何等添加しない前記第1実施例
の積層体に比し、可視光透過率が約14パーセント以上
低下し、可視域に含まれる熱エネルギーの遮蔽率が14
パ一セント以上向上していることが理解される。
なお、この様な可視光透過率の低下は主として金属AQ
を含む低屈折率薄膜層30.32.40の吸収により生
じている。このため、この熱吸収がこれら各薄膜層30
,32.40.すなわちガラス基板10の表面温度の上
昇を招き熱線反射特性を若干低下させることも考えられ
るが、この様な熱線反射特性の低下は実用上全く問題と
はならず無視することができる。
この様に、本発明によれば、低屈折率薄膜層30.32
.40を成膜するに際し添加りる金属添加量及び成膜中
のガス組成を制御することによりその可視光透過率を任
意の値に設定することが可能であり、例えば5i021
1厚を430nmとしこれに添加するAqffiを1a
tパーセン1へから10atパーセントに増加すること
により、その可視光透過率を75〜30パーセントの範
囲で制御することができる。
従って、本発明の熱線遮蔽積層体は、該積層体が被覆さ
れるガラス基板の目的及び用途に応して可視光透過率を
任意の値に設定することが可能でありその応用は極めて
広範囲であると言える。
例えば、自動市川ムーンルーフ、建築用窓カラスの可視
光透過率には法定基準はなく、むしろ車窄内、住居内の
秘密を守る目的からは可視光透過率が50パーセント以
下の方が望ましい場合しある。この様な場合に、本発明
による熱線遮蔽積層体を用いれば、可視光透過率が所望
の値に設定された熱線遮蔽ガラスを得ることができる。
また、この様にして得られた熱a遮蔽ガラスは前述した
ごとく1Ωれた赤外線遮蔽特性を有し、更に可視域での
熱線も任意の割合で遮蔽できることから中室内、住居内
の冷房熱負荷の低減に優れた効果を発揮1゛ることか可
能どなる。
また、本実施例のように低屈折*薄膜層30゜32.4
0に金属Agが添加された熱線遮蔽積層体は、全体とし
て美しいブロンズ色を呈することが実験より確認された
この着色機+Mは低屈折率薄膜層30,32゜’I O
,′?I”j4ツ’38 I 02 fj’i膜中に分
散?i ル△q粒子による吸収作用に基因すると推定さ
れ、この様にして得られた色調は、自動車用ブロンズ゛
ガラスのそれと酷似しており深みのある格調を有するこ
とからその利用価値は非常に高いものと考えられる。
すなわち、ここ2〜3年ブロンズ色ガラスを装面した自
動車は急増する傾向にあり高級車のシンボルとなりつつ
ある。半面、現実にはガラス素材に極微量のSe、Cd
等を添加して着色する号ロブロンズガラスは、色調の統
一が困難なこと、添加物の歩留が不安定であることから
非常に高l1llIなものとなっている。
しかし、前述したように本実施例の熱Fit遮蔽fF’
1層体では、従来の自動車用ブロンズガラスとほぼ同様
の色調を有し、かつ安全運転上自動車用窓カラスにめら
れる可視光透過率の最低基it’+ 75バーヒントを
十分に上回っている。従って、本実施例の熱線遮蔽積層
体をガラス表面に積層被覆づるだ【ノで、号口の自動車
用ブロンズガラスど全く遜色のない格調を有し、高級感
温れた自動車用ガラスを1!することができる。
更に、本発明にJシいては、低屈折率薄膜層に添加する
金属、実施例においてはAgの添加ff(を制御するこ
とにより再現性よくその色調を揃えることが可能であり
、かつ単に薄膜をカラス表面に積層被覆することにより
これらの色調を得ることかできることから、本発明の熱
線遮蔽積層体を自動車用ブロンズ゛カラスに適用した場
合には、従来の自動車用ブロンズガラスを製造する揚台
に比し大幅なコストダウンを図ることが可能となる。
また、本実施例にJ3いて、低屈折率薄膜層30゜32
.40、づなわちS:02薄膜中に添加された金属Ag
を顕微鏡により観察すると、該金属AGは大ぎさが約1
nm程度の粒子として分散しておりそのバ)も少ないこ
とが確認され、従ってこの様に8102薄膜中に金属A
C+を添加することはS!02薄膜の耐食性、耐摩性、
耐熱性に全く影響を与えず大川上差支えないことが理解
される。
しかし、本実施例の熱線遮蔽積層体か特別部しい環境下
で使用される場合には、前述したように、各S ! O
p辞成膜3032.40の全てに均一に金属Δqを分散
さけず、ガラス基板10に近い5102薄膜中にのみ金
属Δgを添加することが好ましい。例えばガラス基板1
0に近い5102薄膜30中にのみ3atパーセントの
AC+を添加すれば、約170nmのS!02i1膜r
1atパーセン]へのActを含む430nmの510
2M膜に相当する透過率を得ることができる。
従って、熱線遮蔽積層体が激しい環境下で使用されるこ
とが予想される場合には、ガラス基板10に近い方の5
IOz薄膜層に金属Δ0を添加する構造どすることによ
り、A(Jを含む5102薄膜層が直接外気に触れるこ
とが防止され、その特性劣化を有効に防止することが可
能となる。
また、前記実施例にJ3いては、熱線遮蔽積層体をR[
スパッタリング法を用いて形成したか、本発明はこれに
限らず、その他の手d1、例えば真空蒸着、イオンブレ
ーティング等の物理的手法や、ディッピング法、スプレ
ー法などの化学的手法により形成することも可能である
また、本発明にd5いて使用覆る基板10としては、前
記実施例のようにガラス基板以外に例えばアクリル、ポ
リカーボネート等の透明樹脂基板を用いることも可能で
ある。
また、本冥施例においては各7iv膜の祠131として
高屈折率薄膜層としてT!02を用い、低層IJi:J
薄膜層として5in2を用いたが、本発明はこれに限ら
ず、例えば高屈折率薄膜層として−r:o2以外に、C
eO2、ZnS%CdS又はZr02を用い、また低屈
折率薄膜層としてS!Oz以外にCaF2、L i F
、M(JF2又はCeF3を用い、これらを適当に組合
わせて干渉条件を満たす膜厚に積層被覆し、前記実施例
の場合と同様の光学特性を得ることが可能である。
また、前記実施例では、いづれも高屈折率薄膜層及び低
屈折率薄膜層を交互に6層積層して熱線遮蔽積層体を形
成したものを示したが、本発明はこれに限らず、使用目
的に応じて任意の層数とすることが可11シである。
また、IIQ記各実施例は、−r ! 02薄膜又は3
i02婢股に添加づる元系の種類とそのm、RFスパッ
タリング諸条件等の添加方法、膜厚と可視光透過率及び
色調との関係、等について極めて広範囲に行った実験デ
ータに基づき説明した。
以上の説明から、本発明の熱線遮蔽vi層体では、可視
光透過率を金属添加mの調整により任意の値に設定可能
であることが確認された。しかし、これ以外にも、膜の
色調については成膜条件によってまた金属添加M及びそ
の分散状態、化学的結合状態により著しい影響を受ける
ことが確認されている。例えば、分散添加Jる金属元系
としτはへ〇以外に、ALI、Cu、Pd、Go、Fe
′sを各λ9成膜の構成材料中に1〜1Qatパーヒン
トの範囲で金属そのもの又は酸化物の状態で分散添加す
ることによりブロンズ色、黄色、赤茶色、11色、等の
色調を自由に得ることができる。
発明の詳細 な説明したように、本発明によれば可視光透過性阜板上
に交互に積層被覆された高屈折率薄膜層及び低屈折率薄
膜層の最表面を低屈折率簿膜層とすることにより、多層
膜干渉による色むらの発生を有効に抑制し、周囲の環境
への光公害の発生を防止することが可能となる。
更に、本発明によれば、前記多層膜を形成づる低屈折率
薄膜層に所定金属を分散添加りることにより熱線遮蔽積
層体の目的及び用途に対応してその可視光透過率を任意
の値に設定し、有効な熱線遮蔽効果を得ることが可能と
なる。
更に、本発明によれば、前記薄膜への金属添加により多
層膜全体として深みのある所望の色調をiUることかで
き、これにより熱線遮蔽積層体が設りられたガラス基板
の美観を高めそのイ」加価値を面上りることが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の熱線遮蔽積層体の第1実施例を示づ説
明図、 第2図は第1図に示す熱線遮蔽積層体の分光特性図、 第3図は比較例の4を迄説明図、 第4図は第3図に示1比較例の分光特性図、第5図は本
発明の熱線遮蔽積層体の第2実施例を示す説明図、 第6図は第5図に示づ熱FA IM iBi積層体の分
光特性図である。 10 ・・・ 基板 20 ・・・ 高屈折率薄膜層 22 ・・・ 高屈折率薄膜層 24 ・・・ 高屈折率薄膜層 30 ・・・ 低屈折率薄膜層 32 ・・・ 低屈折率薄膜層 40 ・・・ 低屈折率薄膜層 代理人 弁理士 古[f、] (tit二(外1名)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)可視光透過性基板の熱源側表面に、可視光透過性
    物質からなる高屈折率薄膜層及び低屈折率薄膜層を交互
    に積層し、最表面の薄膜層は低屈折率薄膜層とすること
    を特徴とする熱線遮蔽積層体。 (2、特許請求の範l111 (1)記載の熱線遮蔽積
    層体において、可視光透過性基板は、ガラス又はプラス
    チックを用いて形成され、高屈折率薄膜層は、赤外線反
    射条件を満たす膜厚のTfO2、CeO2、zns、C
    dS又はZr 02を用いて形成され、低屈折率薄膜層
    は、最表面簿膜層のみが可祝光反射防止条イ′[を満た
    す膜厚、他が赤外線反射条件を満たず膜厚のS ioz
     、MQF2 、LiF、CeFa又はCaFzを用い
    て形成されたことを特徴とする熱線遮蔽?11層体。 (3)可視光透過性基板の熱源側表面に、可視光透過性
    物質からなる高屈折率薄膜層及び低屈折率薄膜層を交互
    にvi層し、最表面の薄膜層は低屈折率薄膜層とすると
    ともに低屈折率M膜層に所定の金属を添加し、可視光透
    過率を任意の値に設定することを特徴とづ−る熱線遮蔽
    積層体。 (4)特許請求の範囲(3)記載の熱線遮蔽積層体にお
    いて、低屈折率薄膜層に八〇、l) d、Δ(」、C0
    1Fe又はCuの金属を添加し、該金属添加量を1〜1
    Qatパーヒントの範囲で調整し1す視光透過率を90
    〜30パーゼントの範囲で任意の値に設定することを特
    徴とする熱線遮蔽積層体。 (5)特許請求の範囲(3)、(4)のいづれかに記載
    の熱線′IJ1f&積層体において、可視光透過11曇
    板は、ガラス又はプラスデックを用いて形成され、高屈
    折率薄膜層は、赤外線反射条f′1を満lこり膜 f’
    )T i 02 、Ce0 2 、Z nS S Cd
    S 又 【よZrO2を用いて形成され、低屈折率薄膜
    層131、最表面簿膜層のみが可視光反射防止条件を満
    たづ膜厚、他が赤外線反射条件を満たJ膜厚のS i0
    2、MgF2 、L i F、CeF3又はCaF2を
    用いて形成されたことを特徴とす゛る熱線連蔽積層体。
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