JPS6063454A - クリ−ンル−ムの防災装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの防災装置Info
- Publication number
- JPS6063454A JPS6063454A JP17118783A JP17118783A JPS6063454A JP S6063454 A JPS6063454 A JP S6063454A JP 17118783 A JP17118783 A JP 17118783A JP 17118783 A JP17118783 A JP 17118783A JP S6063454 A JPS6063454 A JP S6063454A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- type
- clean room
- smoke sensor
- smoke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Fire-Detection Mechanisms (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体工場などのクリーンルームの防災装置
に関するものであるＯ 半導体工場のクリーンルームは、足温、定湿、島清浄度
の密閉栴遺の部屋で、その中にはＣＶＤｍばあるいはエ
ピタキシアル成長装置なと大電力でかつ可燃性ガス乞使
用する製造機器が多ｅ！設けられている０この室内は、
フィルタな介して室内に供給される例えばダウンフロー
（垂直層流）の循環気流により常に高ｉＶ浄度に保たれ
ている。そしてこのような部屋にも消防法で定められる
ｍ感知器が設けられ、煙感知器の動作により消火装瞳な
どを１作シせ大きな災害となるのを防いでいた。しかし
、このような状態で火災が抑止されても放出された消火
耐重たけ煙粒子が半導体製品に付着ｌ−これによる俸讐
も少なくなかった。
に関するものであるＯ 半導体工場のクリーンルームは、足温、定湿、島清浄度
の密閉栴遺の部屋で、その中にはＣＶＤｍばあるいはエ
ピタキシアル成長装置なと大電力でかつ可燃性ガス乞使
用する製造機器が多ｅ！設けられている０この室内は、
フィルタな介して室内に供給される例えばダウンフロー
（垂直層流）の循環気流により常に高ｉＶ浄度に保たれ
ている。そしてこのような部屋にも消防法で定められる
ｍ感知器が設けられ、煙感知器の動作により消火装瞳な
どを１作シせ大きな災害となるのを防いでいた。しかし
、このような状態で火災が抑止されても放出された消火
耐重たけ煙粒子が半導体製品に付着ｌ−これによる俸讐
も少なくなかった。
ムに設け、この検出器の動作により興奮ケ報知しこれに
より火災に発展する前段階であるか空鯛装置の異常であ
るかまたは作東員による９西塵であるかなどを自動的ま
たは人為的Ｖ羽ｌ １ｌｉｅ ＃せ、臀 ｍなどが半導体製品に多ＭＫ付着する前に適切な処置が
できるクリーンルームのＶＪ１災装置乞提供するもので
ある。
より火災に発展する前段階であるか空鯛装置の異常であ
るかまたは作東員による９西塵であるかなどを自動的ま
たは人為的Ｖ羽ｌ １ｌｉｅ ＃せ、臀 ｍなどが半導体製品に多ＭＫ付着する前に適切な処置が
できるクリーンルームのＶＪ１災装置乞提供するもので
ある。
以下この発明の一実施例を図面により説明する。図にお
いて、１Ｉｆｉ半導体工場などのクリーンルーム、２げ
半導体ウェハに絶縁膜を形成するＣｖＤ岐置装３は空調
装置、４はその給気口、５は床面に設けられた排気口で
、フリーアクセス６となっていゐ。７は天井面に設けら
れた浮遊微粒子検出器で、例えば煙感知ムとして知らｔ
ｒ、ているイオン化式、散乱光式煙感知器を高感度とし
ｋもの、あるいは浮遊粒子を凝縮核とする霧箱式または
レーザ・ビーム方式のもので例えば１０ｒｓ個／ｆｔ３
の微粒子で動作するように構成されている。８．９およ
び１０は、クリーンルーム内の火災を検出するためにそ
れぞれ天井面およびフリーアクセス６に設けられたイオ
ン化式、散乱元式および減光式の煙感知器で、例えば消
防法で定められた１種または２８Ｍあるいは１０７〜１
０Ｒ個／ｆｔ３の浮遊粒子が検出できる感度忙Ｗ定され
ている。１１．１２はＣＶ Ｄ ｇ ｉ＃２中に設けら
れた火災感知器としてのイオン化式煙感知器とガス検出
器で、シランガスの酸化燃焼をイオン化式煙感知器１１
で、ガス自体の漏洩をガス検出器１２で検出子みように
構成される。この場合、ガス検出器１２としては柾々の
ガス検出器が知られているが、特公昭ｆｉ５−１４３８
（１号公報で一般化炭素の検Ｗ素子として知られている
酸化第二スズの組ｂｙ、物中に白金黒を含有した金属酸
化物半導体をシランガスの雰囲気中でエージングすると
０．２〜０．５％以上の低限にのシランガスＫＬｌ；答
するガス検出器が得られ７−ｏｌ・３は空調装置３が正
常に運転されクリーンルーム１内が正圧［へ保持されて
いるか否かを検出する空調装置異常検出手段で、この実
施例ではそσ゛−例として給気口４のＨＥＰＡフィルタ
の流入側と流出側とのｌ１ｆｌＫ差圧計が設けられてい
る。１４はハロンなどの消火架剤が放出さＩＬる消火装
置−１１５は空調ダクト、１６．１７は排気ダクトであ
る。才た上記感知器８〜１１．検出器７．１２および全
調装置異常検出手段１３は第２図に示すように電気的に
接続され、端子１８より塀造装置異常信号？、端子１９
より空調装置異常信号な、端子２０より火災信号を、端
子２１よりクリーンルーム異常確認イば号ケ発生ずふよ
うに構成される。
いて、１Ｉｆｉ半導体工場などのクリーンルーム、２げ
半導体ウェハに絶縁膜を形成するＣｖＤ岐置装３は空調
装置、４はその給気口、５は床面に設けられた排気口で
、フリーアクセス６となっていゐ。７は天井面に設けら
れた浮遊微粒子検出器で、例えば煙感知ムとして知らｔ
ｒ、ているイオン化式、散乱光式煙感知器を高感度とし
ｋもの、あるいは浮遊粒子を凝縮核とする霧箱式または
レーザ・ビーム方式のもので例えば１０ｒｓ個／ｆｔ３
の微粒子で動作するように構成されている。８．９およ
び１０は、クリーンルーム内の火災を検出するためにそ
れぞれ天井面およびフリーアクセス６に設けられたイオ
ン化式、散乱元式および減光式の煙感知器で、例えば消
防法で定められた１種または２８Ｍあるいは１０７〜１
０Ｒ個／ｆｔ３の浮遊粒子が検出できる感度忙Ｗ定され
ている。１１．１２はＣＶ Ｄ ｇ ｉ＃２中に設けら
れた火災感知器としてのイオン化式煙感知器とガス検出
器で、シランガスの酸化燃焼をイオン化式煙感知器１１
で、ガス自体の漏洩をガス検出器１２で検出子みように
構成される。この場合、ガス検出器１２としては柾々の
ガス検出器が知られているが、特公昭ｆｉ５−１４３８
（１号公報で一般化炭素の検Ｗ素子として知られている
酸化第二スズの組ｂｙ、物中に白金黒を含有した金属酸
化物半導体をシランガスの雰囲気中でエージングすると
０．２〜０．５％以上の低限にのシランガスＫＬｌ；答
するガス検出器が得られ７−ｏｌ・３は空調装置３が正
常に運転されクリーンルーム１内が正圧［へ保持されて
いるか否かを検出する空調装置異常検出手段で、この実
施例ではそσ゛−例として給気口４のＨＥＰＡフィルタ
の流入側と流出側とのｌ１ｆｌＫ差圧計が設けられてい
る。１４はハロンなどの消火架剤が放出さＩＬる消火装
置−１１５は空調ダクト、１６．１７は排気ダクトであ
る。才た上記感知器８〜１１．検出器７．１２および全
調装置異常検出手段１３は第２図に示すように電気的に
接続され、端子１８より塀造装置異常信号？、端子１９
より空調装置異常信号な、端子２０より火災信号を、端
子２１よりクリーンルーム異常確認イば号ケ発生ずふよ
うに構成される。
なお、２２〜２６はＡＮＤ回路、２７〜２９はＯＲ回路
、３０〜３５はインバータである。
、３０〜３５はインバータである。
次に上記防災装置の動作を説明する。空調装置３が運転
さ？すると、クリーンルーム１内の９気はフィルタを介
して循環供給されるσ）で、ルーム１内は１０〜ｌｏ５
個／、１ ｔ３の間の庁定の清浄度に保持２れ、かつ作
業中に発生（−た墓埃はダウンフローの気流によりフリ
ーアクセス６中に排出され、風上ｐｒ設けられている製
品はクリーンな状態が維持される。
さ？すると、クリーンルーム１内の９気はフィルタを介
して循環供給されるσ）で、ルーム１内は１０〜ｌｏ５
個／、１ ｔ３の間の庁定の清浄度に保持２れ、かつ作
業中に発生（−た墓埃はダウンフローの気流によりフリ
ーアクセス６中に排出され、風上ｐｒ設けられている製
品はクリーンな状態が維持される。
このような状態において、ＣＶＤ装置２よりシランガス
が大ｔに漏洩しルーム１内の望見と酸化燃焼し燃焼生成
物が発生すると、浮遊微粒子検知棒７が動作すると共に
ＣＶＤ装置２内のガス検出器１２とイオン化式煙感知器
１１とが廂〃いで粛）１夕Ｅすス一と引−ｗｒｈムＮ
ｎ １６１蕗２２−２３のいずれかまたは両方とＯＲ回
路２７とが動作し、製造装置異常信号が端子１８に、発
生され、図示されないｌ報器などをルノ・作プせ関係者
に注意を喚起させると共に消火装＠１４カ；自動または
手動で１１作される。また窒調装ｊ蝮３のフィルタが目
詰まりしクリーンルーム１の清浄度が１０６個／ｆｔ３
に低下すると浮遊微粒子検出器７と給気口４の空調装置
異常検出手段１３とが動作し、ＡＮＤ回路２４をブＩ″
（て端子１９に仝調装１鍵異常信号が発生され、関係者
に廠知これフィルタなどが交侠され、再び“正常な状態
に復旧される。またクリーンルーム１内の′心線の絶縁
劣化など九より火災が発生すると、その伜により浮遊ｔ
＞Ｑ子検出器７が１作すると共に天井に設けられたイオ
ン化式煙感知器８、散乱光式ＩＪｉ感知器９あるいはフ
リーアクセス６中に設けられた減光式煙感知器１０が妙
作するｏ ４？にその位置的優位から減光式煙感知器１
０が卯１作することが多いと思われるがＯＲ回路２Ｒｒ
＋ｉｌ＃ｆｉ作し、またインバータ３２の作用によりＡ
ＮＤ回路２５が動作し端子２０より火災信号が発生これ
、火災番報が発せられる。これにより製造装置の電源が
切られると共に図示されないルーム１内の消火装置−Ｍ
動作されるなど適切な制御が行なわれる。プた作菜員
の発塵により多量の厘埃が気流に乗って拡散され清浄度
が１０６個／ｆｔ３に低下すると、浮遊微粒子検出器７
が動作すると共にインバータ３３〜３５を介してＯＲ回
路２９とが動作しＡＮＤ回路２６が動作する。これによ
り端子２１よリフリーンルーム異常確認信号が発生し、
関係者にクリーンルームＩＫｇ宮が発生したことが報知
され、これにより不良品が発生する前に適切な処置がで
きる。
が大ｔに漏洩しルーム１内の望見と酸化燃焼し燃焼生成
物が発生すると、浮遊微粒子検知棒７が動作すると共に
ＣＶＤ装置２内のガス検出器１２とイオン化式煙感知器
１１とが廂〃いで粛）１夕Ｅすス一と引−ｗｒｈムＮ
ｎ １６１蕗２２−２３のいずれかまたは両方とＯＲ回
路２７とが動作し、製造装置異常信号が端子１８に、発
生され、図示されないｌ報器などをルノ・作プせ関係者
に注意を喚起させると共に消火装＠１４カ；自動または
手動で１１作される。また窒調装ｊ蝮３のフィルタが目
詰まりしクリーンルーム１の清浄度が１０６個／ｆｔ３
に低下すると浮遊微粒子検出器７と給気口４の空調装置
異常検出手段１３とが動作し、ＡＮＤ回路２４をブＩ″
（て端子１９に仝調装１鍵異常信号が発生され、関係者
に廠知これフィルタなどが交侠され、再び“正常な状態
に復旧される。またクリーンルーム１内の′心線の絶縁
劣化など九より火災が発生すると、その伜により浮遊ｔ
＞Ｑ子検出器７が１作すると共に天井に設けられたイオ
ン化式煙感知器８、散乱光式ＩＪｉ感知器９あるいはフ
リーアクセス６中に設けられた減光式煙感知器１０が妙
作するｏ ４？にその位置的優位から減光式煙感知器１
０が卯１作することが多いと思われるがＯＲ回路２Ｒｒ
＋ｉｌ＃ｆｉ作し、またインバータ３２の作用によりＡ
ＮＤ回路２５が動作し端子２０より火災信号が発生これ
、火災番報が発せられる。これにより製造装置の電源が
切られると共に図示されないルーム１内の消火装置−Ｍ
動作されるなど適切な制御が行なわれる。プた作菜員
の発塵により多量の厘埃が気流に乗って拡散され清浄度
が１０６個／ｆｔ３に低下すると、浮遊微粒子検出器７
が動作すると共にインバータ３３〜３５を介してＯＲ回
路２９とが動作しＡＮＤ回路２６が動作する。これによ
り端子２１よリフリーンルーム異常確認信号が発生し、
関係者にクリーンルームＩＫｇ宮が発生したことが報知
され、これにより不良品が発生する前に適切な処置がで
きる。
甘たこの信号は上記のいずれの信号よりも先立って発生
されることとなるので、例えば呈円の消火装置が働く前
に関係者によって適切な処置が施されることが多くなり
、消火剤が放出されたことによる２次的損吾が軽減され
る。
されることとなるので、例えば呈円の消火装置が働く前
に関係者によって適切な処置が施されることが多くなり
、消火剤が放出されたことによる２次的損吾が軽減され
る。
上記実施例では浮遊微粒子検出器７をりＩＪ−ンルーム
１の天井面に設けたがルーム五のフリーアクセス６中に
設けてもよく、貫た製造装置＃２内の火災感知器は熱式
または輻射式のｂ知器でもよい。
１の天井面に設けたがルーム五のフリーアクセス６中に
設けてもよく、貫た製造装置＃２内の火災感知器は熱式
または輻射式のｂ知器でもよい。
この発明は、クリーンルーム内に高感度の浮遊微粒子検
出器を設は製品に多大な損害を与える前にｍＷを発する
ようにしたので、それにより自動的または人為的に逸切
な処置が取られることが多くなり、偵害が最少限に抑え
られかつ安全が確保できるクリーンルームの防災装置が
得られる効果がある。
出器を設は製品に多大な損害を与える前にｍＷを発する
ようにしたので、それにより自動的または人為的に逸切
な処置が取られることが多くなり、偵害が最少限に抑え
られかつ安全が確保できるクリーンルームの防災装置が
得られる効果がある。
第１図はこの発明のクリーンルームの防災装置の一実施
例の概略図、第２図は第１図の装置のブロック回路図で
ある。
例の概略図、第２図は第１図の装置のブロック回路図で
ある。
Claims (1)
- １、フィルタを介して室内に空気を循環供給し室内の清
浄度を一定に保持するようにした全調装Ｗン備えた半導
体工場などのクリーンル−ムに、クリーンルームに安水
される渭＃鼓の大藪設けたことを特徴とするクリーンル
ームの防災装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17118783A JPS6063454A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | クリ−ンル−ムの防災装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17118783A JPS6063454A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | クリ−ンル−ムの防災装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6063454A true JPS6063454A (ja) | 1985-04-11 |
Family
ID=15918612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17118783A Pending JPS6063454A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | クリ−ンル−ムの防災装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6063454A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9235970B2 (en) * | 2009-06-05 | 2016-01-12 | Xtralis Technologies Ltd | Gas detector for use with an air sampling particle detection system |
| JP2017004101A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 富士通株式会社 | 火災検知装置、火災検知システム、火災検知方法、及び火災検知プログラム |
-
1983
- 1983-09-19 JP JP17118783A patent/JPS6063454A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9235970B2 (en) * | 2009-06-05 | 2016-01-12 | Xtralis Technologies Ltd | Gas detector for use with an air sampling particle detection system |
| US9618440B2 (en) | 2009-06-05 | 2017-04-11 | Xtralis Technologies Ltd | Gas detector for use with an air sampling particle detection system |
| JP2017004101A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | 富士通株式会社 | 火災検知装置、火災検知システム、火災検知方法、及び火災検知プログラム |
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