JPS6064144A - クリ−ンル−ムの防災装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの防災装置Info
- Publication number
- JPS6064144A JPS6064144A JP58171188A JP17118883A JPS6064144A JP S6064144 A JPS6064144 A JP S6064144A JP 58171188 A JP58171188 A JP 58171188A JP 17118883 A JP17118883 A JP 17118883A JP S6064144 A JPS6064144 A JP S6064144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- operated
- clean room
- air
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Fire-Extinguishing By Fire Departments, And Fire-Extinguishing Equipment And Control Thereof (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体工場などのクリーンルームの防災皺−
′に関するものである。
′に関するものである。
半導体工場のクリーンルームは、定温、足温、高清浄度
の密閉構造の部屋で、その中にけＣＶＤ装置あるいはエ
ピタキシャル成長装置など大電力でかつ町燃件ガス？使
用する製造機器が多数設けら１１でいる。この室内は、
フィルタを介し，て室内に供給される例えはダウンフロ
ー（垂直層流）の循環気流により常に晶清浄度に保たれ
ているが、上記機器の火災、ガスの漏洩あるいはそり他
の塵埃など、週犬な汚染物の発生により機器釦よび製品
に多大な損害を与えていた。
の密閉構造の部屋で、その中にけＣＶＤ装置あるいはエ
ピタキシャル成長装置など大電力でかつ町燃件ガス？使
用する製造機器が多数設けら１１でいる。この室内は、
フィルタを介し，て室内に供給される例えはダウンフロ
ー（垂直層流）の循環気流により常に晶清浄度に保たれ
ているが、上記機器の火災、ガスの漏洩あるいはそり他
の塵埃など、週犬な汚染物の発生により機器釦よび製品
に多大な損害を与えていた。
この発明は上記のｐＫかんがみクリーンルームに高感厩
の浮遊微粒子検出器と煙感知器と壁調装鍮の異常？検出
する＋段とを設け、さらに製造装置内にガス検出器また
は火災感知器を設け、浮遊微粒子検出器とその他のガス
検出器、感知器またＶｉ手段の動作により、異常状態な
早期Ｋｍ出し通切な警報および制御を行なうことができ
る防災装置を提供するものでアン−８以下この発明の一
笑施例を図面により説明する。図において、１１半導体
工場なとのり１７一ンルーム、２け半導体ウェハに絶縁
膜を形ｂｙするＣＶＤ装置、３け９調装置、４はその給
気口、５は床面に設けられた排気口で、フリーアクセス
６となっている０７は天井面に設けら７した浮遊微粒子
検出器で、例えば煙感知器として知られているイオン化
式、散乱光式煙感知器な品感度としたもの、あるいは浮
遊粒子を縦軸核とする精箱式−チたはレーザ・ビーム方
式の蛎ので例えば１（１６個／ｌｔ：４の微粒すで動作
するように構成されている。８．９および１ｏは、クリ
ーンルームｌ内の火災を検出するためにそｉＬぞれ天井
面およびフリーアクセス６に設けられたイオン化式、散
乱光式および減光式の煙感知器で、例えば消防法で定め
られたｌ神せたｕ２神あるイハｌ Ｑ ７〜ｉｏｌ’１
個／ｆｔ３の浮遊粒子が検出できる感度に設定されてい
る。１１．１２はＣＶＬＪ装置２中に設けられた火災感
知器とし、てのイオン化式煙感知器とガス検出器で、シ
ランガスの酸化燃焼をイオン化成！Ｍ知器１１で、ガス
目体の漏洩をガス検出器１２で検出するように構成され
る。この場合、ガス検出器１２としては種々のガス杉“
小器が知られているが、特公昭５５−１４３８０号公報
で一酸化炭挙の検出素子として仰られている酸化第二ヌ
ズの組成物中に白金黒を含ゼした金属酸化物半導体をシ
ランカスの雰囲気中でエージングすると０．２〜＋１．
５％以上の低ｍ度のシランガスに応答するガス検出器が
得られる。１３は費ＩＭＮｌｔ３が正常に運転されクリ
ーンルーム１内が正圧に（１されているか否かを検出す
る空調装置異常検出手段で、との笑施例ではその一例と
して給気口４のＨＥＰＡフィルタの流入側と流出側との
間に差圧計が設けられていふ。１４リハロンなどの消火
架剤が放出ばれる消火装置、１５ｉｄ壁調ダク）、ＩＦ
Ｉ、１７は排気ダクトである０甘た上記感知器８〜１１
、検出器７．１２卦よひ空調装−異常検出手段１３は第
２図に示すようＶ電気的に接続され、端子Ｊ８より製造
鋏Ｗ異′に信号な、端子１９より孕調装［異常信号ヶ、
端子２０より火災信号を、端子２］よりクリーンルーム
異常確認信号を発生するように構ｂＷされる。なお、２
２〜２６けＡＮＤ回路、２７〜２９けＯＲ回路、３０〜
３５はインバータである。
の浮遊微粒子検出器と煙感知器と壁調装鍮の異常？検出
する＋段とを設け、さらに製造装置内にガス検出器また
は火災感知器を設け、浮遊微粒子検出器とその他のガス
検出器、感知器またＶｉ手段の動作により、異常状態な
早期Ｋｍ出し通切な警報および制御を行なうことができ
る防災装置を提供するものでアン−８以下この発明の一
笑施例を図面により説明する。図において、１１半導体
工場なとのり１７一ンルーム、２け半導体ウェハに絶縁
膜を形ｂｙするＣＶＤ装置、３け９調装置、４はその給
気口、５は床面に設けられた排気口で、フリーアクセス
６となっている０７は天井面に設けら７した浮遊微粒子
検出器で、例えば煙感知器として知られているイオン化
式、散乱光式煙感知器な品感度としたもの、あるいは浮
遊粒子を縦軸核とする精箱式−チたはレーザ・ビーム方
式の蛎ので例えば１（１６個／ｌｔ：４の微粒すで動作
するように構成されている。８．９および１ｏは、クリ
ーンルームｌ内の火災を検出するためにそｉＬぞれ天井
面およびフリーアクセス６に設けられたイオン化式、散
乱光式および減光式の煙感知器で、例えば消防法で定め
られたｌ神せたｕ２神あるイハｌ Ｑ ７〜ｉｏｌ’１
個／ｆｔ３の浮遊粒子が検出できる感度に設定されてい
る。１１．１２はＣＶＬＪ装置２中に設けられた火災感
知器とし、てのイオン化式煙感知器とガス検出器で、シ
ランガスの酸化燃焼をイオン化成！Ｍ知器１１で、ガス
目体の漏洩をガス検出器１２で検出するように構成され
る。この場合、ガス検出器１２としては種々のガス杉“
小器が知られているが、特公昭５５−１４３８０号公報
で一酸化炭挙の検出素子として仰られている酸化第二ヌ
ズの組成物中に白金黒を含ゼした金属酸化物半導体をシ
ランカスの雰囲気中でエージングすると０．２〜＋１．
５％以上の低ｍ度のシランガスに応答するガス検出器が
得られる。１３は費ＩＭＮｌｔ３が正常に運転されクリ
ーンルーム１内が正圧に（１されているか否かを検出す
る空調装置異常検出手段で、との笑施例ではその一例と
して給気口４のＨＥＰＡフィルタの流入側と流出側との
間に差圧計が設けられていふ。１４リハロンなどの消火
架剤が放出ばれる消火装置、１５ｉｄ壁調ダク）、ＩＦ
Ｉ、１７は排気ダクトである０甘た上記感知器８〜１１
、検出器７．１２卦よひ空調装−異常検出手段１３は第
２図に示すようＶ電気的に接続され、端子Ｊ８より製造
鋏Ｗ異′に信号な、端子１９より孕調装［異常信号ヶ、
端子２０より火災信号を、端子２］よりクリーンルーム
異常確認信号を発生するように構ｂＷされる。なお、２
２〜２６けＡＮＤ回路、２７〜２９けＯＲ回路、３０〜
３５はインバータである。
次に上記防災製画の動作なＩ況明Ｊる０空ｍ装置３が運
転されると、クリーンルーム１内の空気はフィルタを介
して循環供給されるので、ルームｉｐ’Ｈ：ｔｉｎ 〜
１０５個／ ｒｔ３ ノ間（７）ｌ−ｊｌｒ定の清浄度
に保持され、かつ作条中に発生したＭ埃はダウンフロー
の気流によりフリーアクセス６中に排出づれ、風上に設
けられている製品はクリーンな状態が維持される。
転されると、クリーンルーム１内の空気はフィルタを介
して循環供給されるので、ルームｉｐ’Ｈ：ｔｉｎ 〜
１０５個／ ｒｔ３ ノ間（７）ｌ−ｊｌｒ定の清浄度
に保持され、かつ作条中に発生したＭ埃はダウンフロー
の気流によりフリーアクセス６中に排出づれ、風上に設
けられている製品はクリーンな状態が維持される。
このような状態において、ＣＶＤ装■２よりシランガス
が大轍に漏洩しルーム１内の空気と酸化燃焼し燃焼生成
物が煽生ずると、浮遊微粒子検出器７が動作すると共Ｋ
ＣＶＤ装置西２内のガス検出器１２とイオン化式煙Ｉ多
知器１１とが相次いで動作１−る。これによりＡＮＤ回
路２２゜２３のいずｈかまたは内方とＯＲ回路２７とが
動作し、製造装置異常信号が端子１８に発生さに注意を
喚起させると共に消火装置１４が自動せたｆｉ手動で動
作されふ。また穿′ｒＡ装置ｔ ３のフィルりμ目ｄ吉
まりしクリーンルーム１の清浄度が１０６個７ｔｔ３に
低下りると浮遊微粒子検出器７と給気口４の全１ＩＩ４
１鋲置異常検出手段１３とが動作し、ＡＮＤ回路２４ケ
介して端子】９に空調装置を異常信号が発生され、関係
者に報知されフィルタなどが交換され、Ｃ）び正常な状
態に傑旧される。まにクリーンルーム】内の厩線の絶縁
劣化などにより火災が発生１−ふと、ヤの煙により浮遊
微粒子検出器７が動作すると共に天井に設けられたイオ
ン化式煙Ｊ函知器８、散乱光式煙感知器９あるいはフリ
ーアクセス６中に設けられた減光式煙感知器１（１が動
作する。完にその位１φ的優位から減光式煙感知器１０
が１作することが多いと思われるがＯＲ回路２８が動作
し、またインバータ３２の作用によりＡ ｒ’Ｊ Ｄ回
路２５が動作しｙ靜子２０より火災４５号が発生され、
火災Ｗ報が発せられる。これにより製造装置１の福源が
切られると共に図示されｈいルーム１内の消火装置が動
作されるなど適切な制嶺１が行なわれる。オた作＄／ｉ
員σゝ発塵により多相の塵埃が気流に乗って拡散され清
浄度がＩＣ１６個／ｆｔ３に低下すふと、浮遊微粒子検
出器７が動作すると共にインバータ３３〜３５を介して
ＯＲ回路２９とが動作しＡＮＤ回路２６が動作する。こ
れにより端子２１よりクリーンルーム異常確認信号が発
生し、関係者にクリーンルーム１に異常が％生じたこと
が報知きれ、こｈ Ｋより不足品が発生する前に虐切な
処置ができる〇またこの１汀号は上記のいずれの信号よ
りも先立って発生は１することとなるσ）で、例えば案
内の消火装置が鋤く前に関係者によって】Ｉ！＋１切な
処置が施されることが多くなり、消火剤が放出されたこ
とによる２次的損害が軽減される。
が大轍に漏洩しルーム１内の空気と酸化燃焼し燃焼生成
物が煽生ずると、浮遊微粒子検出器７が動作すると共Ｋ
ＣＶＤ装置西２内のガス検出器１２とイオン化式煙Ｉ多
知器１１とが相次いで動作１−る。これによりＡＮＤ回
路２２゜２３のいずｈかまたは内方とＯＲ回路２７とが
動作し、製造装置異常信号が端子１８に発生さに注意を
喚起させると共に消火装置１４が自動せたｆｉ手動で動
作されふ。また穿′ｒＡ装置ｔ ３のフィルりμ目ｄ吉
まりしクリーンルーム１の清浄度が１０６個７ｔｔ３に
低下りると浮遊微粒子検出器７と給気口４の全１ＩＩ４
１鋲置異常検出手段１３とが動作し、ＡＮＤ回路２４ケ
介して端子】９に空調装置を異常信号が発生され、関係
者に報知されフィルタなどが交換され、Ｃ）び正常な状
態に傑旧される。まにクリーンルーム】内の厩線の絶縁
劣化などにより火災が発生１−ふと、ヤの煙により浮遊
微粒子検出器７が動作すると共に天井に設けられたイオ
ン化式煙Ｊ函知器８、散乱光式煙感知器９あるいはフリ
ーアクセス６中に設けられた減光式煙感知器１（１が動
作する。完にその位１φ的優位から減光式煙感知器１０
が１作することが多いと思われるがＯＲ回路２８が動作
し、またインバータ３２の作用によりＡ ｒ’Ｊ Ｄ回
路２５が動作しｙ靜子２０より火災４５号が発生され、
火災Ｗ報が発せられる。これにより製造装置１の福源が
切られると共に図示されｈいルーム１内の消火装置が動
作されるなど適切な制嶺１が行なわれる。オた作＄／ｉ
員σゝ発塵により多相の塵埃が気流に乗って拡散され清
浄度がＩＣ１６個／ｆｔ３に低下すふと、浮遊微粒子検
出器７が動作すると共にインバータ３３〜３５を介して
ＯＲ回路２９とが動作しＡＮＤ回路２６が動作する。こ
れにより端子２１よりクリーンルーム異常確認信号が発
生し、関係者にクリーンルーム１に異常が％生じたこと
が報知きれ、こｈ Ｋより不足品が発生する前に虐切な
処置ができる〇またこの１汀号は上記のいずれの信号よ
りも先立って発生は１することとなるσ）で、例えば案
内の消火装置が鋤く前に関係者によって】Ｉ！＋１切な
処置が施されることが多くなり、消火剤が放出されたこ
とによる２次的損害が軽減される。
上記実施例では浮遊微粒子検出器７をクリーンルームｌ
の天井面に設けたがルーム１のフリーアクセス６中に設
けてもよく、また製造装置２内の火災感知器は熱式また
は輻射式の感知器でもよい。
の天井面に設けたがルーム１のフリーアクセス６中に設
けてもよく、また製造装置２内の火災感知器は熱式また
は輻射式の感知器でもよい。
この発明は、クリーンルーム内に部／［８厩の浮遊微粒
子検出器を設は製品に多大な損害を与える前ＶＣｗ報を
発するようにしたので、それにより関係者によって適切
な処置が取られることが多くなり、またこのような待合
を逃しても製造装置内の火災感知器、室内の煙感知器あ
るいけ空調装置の異常検出手段との相互動作により適切
なｗ報および制御？イエなうことができ、徊害を最少限
に抑えかつ゛か全ガｊｊｋ＆′７′きるクリーンルーム
の防災装栖梢・得らハる効果がある。
子検出器を設は製品に多大な損害を与える前ＶＣｗ報を
発するようにしたので、それにより関係者によって適切
な処置が取られることが多くなり、またこのような待合
を逃しても製造装置内の火災感知器、室内の煙感知器あ
るいけ空調装置の異常検出手段との相互動作により適切
なｗ報および制御？イエなうことができ、徊害を最少限
に抑えかつ゛か全ガｊｊｋ＆′７′きるクリーンルーム
の防災装栖梢・得らハる効果がある。
ｗ１図はこの発明のクリーンルームの防災装財の一実施
例の概略図、が２図は第１図の装置のブロック回路図で
あふ。
例の概略図、が２図は第１図の装置のブロック回路図で
あふ。
Claims (1)
- １、フィルタを介して室内に空気を循環供給１、室内の
清浄度を一定に保持するようにした全調装Ｗな備えた半
導体工場などのクリーンルームに、高感度の浮遊微粒子
検出器七こび）検出器よりも高濃度の浮遊微粒子または
仲で動作するイオン化式あるいは先車式の煙感知器さ±
記空調装置の異常を検出する手段とケ設幻、さらにクリ
ーンルームの製造装置内にガス検出器あるいは火災感知
器を役目、土日１シ浮遊微検出器または空調装置の異常
を検出する手段の作動の有無とによってＰｌｒ定の機器
を制御するようにしたことを特徴とするクリーンルーム
の防災装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58171188A JPS6064144A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | クリ−ンル−ムの防災装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58171188A JPS6064144A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | クリ−ンル−ムの防災装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6064144A true JPS6064144A (ja) | 1985-04-12 |
Family
ID=15918630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58171188A Pending JPS6064144A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | クリ−ンル−ムの防災装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6064144A (ja) |
-
1983
- 1983-09-19 JP JP58171188A patent/JPS6064144A/ja active Pending
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