JPH0438185Y2 - - Google Patents
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- JPH0438185Y2 JPH0438185Y2 JP6601390U JP6601390U JPH0438185Y2 JP H0438185 Y2 JPH0438185 Y2 JP H0438185Y2 JP 6601390 U JP6601390 U JP 6601390U JP 6601390 U JP6601390 U JP 6601390U JP H0438185 Y2 JPH0438185 Y2 JP H0438185Y2
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- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims description 22
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 6
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 6
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims description 4
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IKOKHHBZFDFMJW-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-3-(2-morpholin-4-ylethoxy)pyrazol-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C=1C(=NN(C=1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2)OCCN1CCOCC1 IKOKHHBZFDFMJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920004449 Halon® Polymers 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N dichlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Cl)Cl PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- -1 fires Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は半導体工場などのクリーンルームの
防災装置に関するものである。
防災装置に関するものである。
半導体工場のクリーンルームは、定温、定湿、
高清浄度の密閉構造の部屋で、その中にはCVD
装置あるいはエピタキシヤル成長装置など大電力
でかつ可燃性ガスを使用する製造機器が多数設け
られている。この室内は、フイルタを介して室内
に供給される例えばダウンフロー（垂直層流）の
循環気流により常に高清浄度に保たれているが、
上記機器の火災、ガスの漏洩あるいはその他の塵
埃など、過大な汚染物の発生により機器および製
品に多大な損害を与えていた。
高清浄度の密閉構造の部屋で、その中にはCVD
装置あるいはエピタキシヤル成長装置など大電力
でかつ可燃性ガスを使用する製造機器が多数設け
られている。この室内は、フイルタを介して室内
に供給される例えばダウンフロー（垂直層流）の
循環気流により常に高清浄度に保たれているが、
上記機器の火災、ガスの漏洩あるいはその他の塵
埃など、過大な汚染物の発生により機器および製
品に多大な損害を与えていた。
この考案は上記の点にかんがみフイルタを介し
て室内に空気を循環供給し室内の清浄度を一定に
保持するようにした空調装置を備えた半導体工場
などのクリーンルームにおいて、クリーンルーム
の天井面あるいはフリーアクセス中に低濃度の浮
遊微粒子で動作する高感度の浮遊微粒子検出器と
この検出器よりも高濃度の浮遊微粒子または煙で
動作するイオン化式あるいは光電式の煙感知器を
設け、また上記空調装置が正常に運転されクリー
ンルーム内が正圧に保持されているか否かを検出
する空調装置の異常を検出する手段を設け、さら
にクリーンルームの製造装置内にガス検出器ある
いは火災感知器を設け、上記浮遊微粒子検出器と
クリーンルームの天井面あるいはフリーアクセス
中に設けた煙感知器との動作により火災信号を、
浮遊微粒子検出器と上記製造装置内のガス検出器
あるいは火災感知器との動作により製造装置異常
信号を、浮遊微粒子検出器と空調装置異常検出手
段との動作により空調装置異常信号を、また浮遊
微粒子検出器の単独の動作によりクリーンルーム
異常確認信号をそれぞれ発生させ、これら信号に
より警報器または消火装置などの所定の機器を制
御するようにしたことを特徴とするクリーンルー
ムの防災装置を提供するものである。
て室内に空気を循環供給し室内の清浄度を一定に
保持するようにした空調装置を備えた半導体工場
などのクリーンルームにおいて、クリーンルーム
の天井面あるいはフリーアクセス中に低濃度の浮
遊微粒子で動作する高感度の浮遊微粒子検出器と
この検出器よりも高濃度の浮遊微粒子または煙で
動作するイオン化式あるいは光電式の煙感知器を
設け、また上記空調装置が正常に運転されクリー
ンルーム内が正圧に保持されているか否かを検出
する空調装置の異常を検出する手段を設け、さら
にクリーンルームの製造装置内にガス検出器ある
いは火災感知器を設け、上記浮遊微粒子検出器と
クリーンルームの天井面あるいはフリーアクセス
中に設けた煙感知器との動作により火災信号を、
浮遊微粒子検出器と上記製造装置内のガス検出器
あるいは火災感知器との動作により製造装置異常
信号を、浮遊微粒子検出器と空調装置異常検出手
段との動作により空調装置異常信号を、また浮遊
微粒子検出器の単独の動作によりクリーンルーム
異常確認信号をそれぞれ発生させ、これら信号に
より警報器または消火装置などの所定の機器を制
御するようにしたことを特徴とするクリーンルー
ムの防災装置を提供するものである。
以下この考案の一実施例を図面により説明す
る。図において、１は半導体工場などのクリーン
ルーム、２は半導体ウエハに絶縁膜を形成する
CVD装置、３は空調装置、４はその給気口、５
は床面に設けられた排気口で、フリーアクセス６
となつている。７は天井面に設けられた浮遊微粒
子検出器で、例えば煙感知器として知られている
イオン化式、散乱光式煙感知器を高感度としたも
の、あるいは浮遊粒子を凝縮核とする霧箱式また
はレーザ・ビーム方式のもので例えば106個／ft3
の低濃度の微粒子で動作するように構成されてい
る。８，９および１０は、クリーンルーム１内の
火災を検出するためにそれぞれ天井面およびフリ
ーアクセス６に設けられたイオン化式、散乱光式
および減光式の煙感知器で、例えば消防法で定め
られた１種または２種あるいは浮107〜108個／ft3
の上記浮遊微粒子検出器７に比べ高濃度の浮遊微
粒子で動作する感度に設定されている。１１，１
２はCVD装置２中に設けられた火災感知器とし
てのイオン化式煙感知器とガス検出器で、シラン
ガスの酸化燃焼をイオン化式煙感知器１１で、ガ
ス自体の漏洩をガス検出器１２で検出するように
構成される。この場合、ガス検出器１２としては
種々のガス検出器が知られているが、特公昭55−
14380号公報で一酸化炭素の検出素子として知ら
れている酸化第二スズの組成物中に白金黒を含有
した金属酸化物半導体をシランガスの雰囲気中で
エージングすると0.2〜0.5％以上の低濃度のシラ
ンガスに応答するガス検出器が得られる。１３は
空調装置３が正常に運転されクリーンルーム１内
が正圧に保持されているか否かを検出する空調装
置異常検出手段で、この実施例ではその一例とし
て給気口４のHEPAフイルタの流入側と流出側
との間に差圧計が設けられている。１４はハロン
などの消火薬剤が放出される消火装置、１５は空
調ダクト、１６，１７は排気ダクトである。また
上記感知器８〜１１、検出器７，１２および空調
装置異常検出手段１３は第２図に示すように電気
的に接続され、端子１８より製造装置異常信号
を、端子１９より空調装置異常信号を、端子２０
より火災信号を、端子２１よりクリーンルーム異
常確認信号を発生するように構成される。なお、
２２〜２６はAND回路、２７〜２９はOR回路、
３０〜３５はインバータである。
る。図において、１は半導体工場などのクリーン
ルーム、２は半導体ウエハに絶縁膜を形成する
CVD装置、３は空調装置、４はその給気口、５
は床面に設けられた排気口で、フリーアクセス６
となつている。７は天井面に設けられた浮遊微粒
子検出器で、例えば煙感知器として知られている
イオン化式、散乱光式煙感知器を高感度としたも
の、あるいは浮遊粒子を凝縮核とする霧箱式また
はレーザ・ビーム方式のもので例えば106個／ft3
の低濃度の微粒子で動作するように構成されてい
る。８，９および１０は、クリーンルーム１内の
火災を検出するためにそれぞれ天井面およびフリ
ーアクセス６に設けられたイオン化式、散乱光式
および減光式の煙感知器で、例えば消防法で定め
られた１種または２種あるいは浮107〜108個／ft3
の上記浮遊微粒子検出器７に比べ高濃度の浮遊微
粒子で動作する感度に設定されている。１１，１
２はCVD装置２中に設けられた火災感知器とし
てのイオン化式煙感知器とガス検出器で、シラン
ガスの酸化燃焼をイオン化式煙感知器１１で、ガ
ス自体の漏洩をガス検出器１２で検出するように
構成される。この場合、ガス検出器１２としては
種々のガス検出器が知られているが、特公昭55−
14380号公報で一酸化炭素の検出素子として知ら
れている酸化第二スズの組成物中に白金黒を含有
した金属酸化物半導体をシランガスの雰囲気中で
エージングすると0.2〜0.5％以上の低濃度のシラ
ンガスに応答するガス検出器が得られる。１３は
空調装置３が正常に運転されクリーンルーム１内
が正圧に保持されているか否かを検出する空調装
置異常検出手段で、この実施例ではその一例とし
て給気口４のHEPAフイルタの流入側と流出側
との間に差圧計が設けられている。１４はハロン
などの消火薬剤が放出される消火装置、１５は空
調ダクト、１６，１７は排気ダクトである。また
上記感知器８〜１１、検出器７，１２および空調
装置異常検出手段１３は第２図に示すように電気
的に接続され、端子１８より製造装置異常信号
を、端子１９より空調装置異常信号を、端子２０
より火災信号を、端子２１よりクリーンルーム異
常確認信号を発生するように構成される。なお、
２２〜２６はAND回路、２７〜２９はOR回路、
３０〜３５はインバータである。
次に上記防災装置の動作を説明する。空調装置
３が運転されると、クリーンルーム１内の空気は
フイルタを介して循環供給されるので、ルーム１
内は10〜105個／ft3の間の所定の清浄度に保持さ
れ、かつ作業中に発生した塵埃はダウンフローの
気流によりフリーアクセス６中に排出され、風上
に設けられている製品はクリーンな状態が維持さ
れる。
３が運転されると、クリーンルーム１内の空気は
フイルタを介して循環供給されるので、ルーム１
内は10〜105個／ft3の間の所定の清浄度に保持さ
れ、かつ作業中に発生した塵埃はダウンフローの
気流によりフリーアクセス６中に排出され、風上
に設けられている製品はクリーンな状態が維持さ
れる。
このような状態において、CVD装置２よりシ
ランガスが大量に漏洩しルーム１内の空気と酸化
燃焼し燃焼生成物が発生すると、浮遊微粒子検知
器７が動作すると共にCVD装置２内のガス検出
器１２とイオン化式煙感知器１１とが相次いで動
作する。これによりAND回路２２，２３のいず
れかまたは両方とOR回路２７とが動作し、製造
装置異常信号が端子１８に発生され、図示されな
い警報器などを動作させ関係者に注意を喚起させ
ると共に消火装置１４が自動または手動で動作さ
れる。また空調装置３のフイルタが目詰まりしク
リーンルーム１の清浄度が106個／ft3に低下する
と浮遊微粒子検出器７と給気口４の空調装置異常
検出手段１３とが動作し、AND回路２４を介し
て端子１９に空調装置異常信号が発生され、関係
者に報知されフイルタなどが交換され、再び正常
な状態に復旧される。またクリーンルーム１内の
電線の絶縁劣化などにより火災が発生すると、そ
の煙により浮遊微粒子検出器７が動作すると共に
天井に設けられたイオン化式煙感知器８、散乱光
式煙感知器９あるいはフリーアクセス６中に設け
られた減光式煙感知器１０が動作する。特にその
位置的優位から減光式煙感知器１０が動作するこ
とが多いと思われるがOR回路２８が動作し、ま
たインバータ３２の作用によりAND回路２５が
動作し端子２０より火災信号が発生され、火災警
報が発せられる。これにより製造装置の電源が切
られると共に図示されないルーム１内の消火装置
が動作されるなど適切な制御が行われる。また作
業員の発塵により多量の塵埃が気流に乗つて拡散
され清浄度が106個／ft3に低下すると、浮遊微粒
子検出器７が動作すると共にインバータ３３〜３
５を介してOR回路２９とが動作しAND回路２６
が動作する。これにより端子２１よりクリーンル
ーム異常確認信号が発生し、関係者にクリーンル
ーム１に異常が発生したことが報知され、これに
より不良品が発生する前に適切な処置ができる。
またこの信号は上記のいずれの信号よりも先立つ
て発生されることとなるので、例えば室内の消火
装置が働く前に関係者によつて適切な処置が施さ
れることが多くなり、消火剤が放出されたことに
よる２次的損害が軽減される。
ランガスが大量に漏洩しルーム１内の空気と酸化
燃焼し燃焼生成物が発生すると、浮遊微粒子検知
器７が動作すると共にCVD装置２内のガス検出
器１２とイオン化式煙感知器１１とが相次いで動
作する。これによりAND回路２２，２３のいず
れかまたは両方とOR回路２７とが動作し、製造
装置異常信号が端子１８に発生され、図示されな
い警報器などを動作させ関係者に注意を喚起させ
ると共に消火装置１４が自動または手動で動作さ
れる。また空調装置３のフイルタが目詰まりしク
リーンルーム１の清浄度が106個／ft3に低下する
と浮遊微粒子検出器７と給気口４の空調装置異常
検出手段１３とが動作し、AND回路２４を介し
て端子１９に空調装置異常信号が発生され、関係
者に報知されフイルタなどが交換され、再び正常
な状態に復旧される。またクリーンルーム１内の
電線の絶縁劣化などにより火災が発生すると、そ
の煙により浮遊微粒子検出器７が動作すると共に
天井に設けられたイオン化式煙感知器８、散乱光
式煙感知器９あるいはフリーアクセス６中に設け
られた減光式煙感知器１０が動作する。特にその
位置的優位から減光式煙感知器１０が動作するこ
とが多いと思われるがOR回路２８が動作し、ま
たインバータ３２の作用によりAND回路２５が
動作し端子２０より火災信号が発生され、火災警
報が発せられる。これにより製造装置の電源が切
られると共に図示されないルーム１内の消火装置
が動作されるなど適切な制御が行われる。また作
業員の発塵により多量の塵埃が気流に乗つて拡散
され清浄度が106個／ft3に低下すると、浮遊微粒
子検出器７が動作すると共にインバータ３３〜３
５を介してOR回路２９とが動作しAND回路２６
が動作する。これにより端子２１よりクリーンル
ーム異常確認信号が発生し、関係者にクリーンル
ーム１に異常が発生したことが報知され、これに
より不良品が発生する前に適切な処置ができる。
またこの信号は上記のいずれの信号よりも先立つ
て発生されることとなるので、例えば室内の消火
装置が働く前に関係者によつて適切な処置が施さ
れることが多くなり、消火剤が放出されたことに
よる２次的損害が軽減される。
上記実施例では浮遊微粒子検出器７をクリーン
ルーム１の天井面に設けたがルーム１のフリーア
クセス６中に設けてもよく、また製造装置２内の
火災感知器は熱式または輻射式の感知器でもよ
い。
ルーム１の天井面に設けたがルーム１のフリーア
クセス６中に設けてもよく、また製造装置２内の
火災感知器は熱式または輻射式の感知器でもよ
い。
この考案は、クリーンルーム内に低濃度の浮遊
微粒子で動作する高感度の浮遊微粒子検出器を設
け製品に多大な損害を与える前に警報を発するよ
うにしたので、それにより関係者によつて適切な
処置が取られることが多くなり、またこのような
機会を逃しても製造装置内の火災感知器、室内の
煙感知器あるいは空調装置の異常検出手段との相
互動作により適切および制御を行うことができ、
損害を最小限に抑えかつ安全が確保できるクリー
ンルームの防災装置が得られる効果がある。
微粒子で動作する高感度の浮遊微粒子検出器を設
け製品に多大な損害を与える前に警報を発するよ
うにしたので、それにより関係者によつて適切な
処置が取られることが多くなり、またこのような
機会を逃しても製造装置内の火災感知器、室内の
煙感知器あるいは空調装置の異常検出手段との相
互動作により適切および制御を行うことができ、
損害を最小限に抑えかつ安全が確保できるクリー
ンルームの防災装置が得られる効果がある。
第１図はこの考案のクリーンルームの防災装置
の一実施例の概略図、第２図は第１図の装置のブ
ロツク回路図である。 １……クリーンルーム、２……CVD装置、３
……空調装置、４……給気口、５……排気口、６
……フリーアクセス、７……浮遊微粒子検出器、
８，１１……イオン化煙感知器、９……散乱光式
煙感知器、１０……減光式煙感知器、１２……ガ
ス検出器、１３……空調装置異常検出手段、１４
……消火装置、１５……空調ダクト、１６，１７
……排気ダクト、１８〜２１……端子、２２〜２
６……AND回路、２７〜２９……OR回路、３０
〜３５……インバータ。
の一実施例の概略図、第２図は第１図の装置のブ
ロツク回路図である。 １……クリーンルーム、２……CVD装置、３
……空調装置、４……給気口、５……排気口、６
……フリーアクセス、７……浮遊微粒子検出器、
８，１１……イオン化煙感知器、９……散乱光式
煙感知器、１０……減光式煙感知器、１２……ガ
ス検出器、１３……空調装置異常検出手段、１４
……消火装置、１５……空調ダクト、１６，１７
……排気ダクト、１８〜２１……端子、２２〜２
６……AND回路、２７〜２９……OR回路、３０
〜３５……インバータ。
Claims (1)
- フイルタを介して室内に空気を循環供給し室内
の清浄度を一定に保持するようにした空調装置を
備えた半導体工場などのクリーンルームにおい
て、クリーンルームの天井面あるいはフリーアク
セス中に低濃度の浮遊微粒子で動作する高感度の
浮遊微粒子検出器とこの検出器よりも高濃度の浮
遊微粒子または煙で動作するイオン化式あるいは
光電式の煙感知器を設け、また上記空調装置が正
常に運転されクリーンルーム内が正圧に保持され
ているか否かを検出する空調装置の異常を検出す
る手段を設け、さらにクリーンルームの製造装置
内にガス検出器あるいは火災感知器を設け、上記
浮遊微粒子検出器とクリーンルームの天井面ある
いはフリーアクセス中に設けた煙感知器との動作
により火災信号を、浮遊微粒子検出器と上記製造
装置内のガス検出器あるいは火災感知器との動作
により製造装置異常信号を、浮遊微粒子検出器と
空調装置異常検出手段との動作により空調装置異
常信号を、また浮遊微粒子検出器の単独の動作に
よりクリーンルーム異常確認信号をそれぞれ発生
させ、これら信号により警報器または消火装置な
どの所定の機器を制御するようにしたことを特徴
とするクリーンルームの防災装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6601390U JPH0438185Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6601390U JPH0438185Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310141U JPH0310141U (ja) | 1991-01-30 |
| JPH0438185Y2 true JPH0438185Y2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=31598363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6601390U Expired JPH0438185Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438185Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4247468B2 (ja) * | 2003-07-11 | 2009-04-02 | 忠弘 大見 | クリーンルームの局部消火システム |
| JP5319479B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2013-10-16 | ホーチキ株式会社 | 防災監視システムおよび防災監視システムの制御方法 |
| JP5319480B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2013-10-16 | ホーチキ株式会社 | 制御盤消火設備 |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP6601390U patent/JPH0438185Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0310141U (ja) | 1991-01-30 |
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