JPH0310141U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0310141U JPH0310141U JP6601390U JP6601390U JPH0310141U JP H0310141 U JPH0310141 U JP H0310141U JP 6601390 U JP6601390 U JP 6601390U JP 6601390 U JP6601390 U JP 6601390U JP H0310141 U JPH0310141 U JP H0310141U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- clean room
- air
- air conditioner
- smoke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図はこの考案のクリーンルームの防災装置
の一実施例の概略図、第２図は第１図の装置のブ
ロツク回路図である。 １……クリーンルーム、２……ＣＶＤ装置、３
……空調装置、４……給気口、５……排気口、６
……フリーアクセス、７……浮遊微粒子検出器、
８，１１……イオン化式煙感知器、９……散乱光
式煙感知器、１０……減光式煙感知器、１２……
ガス検出器、１３……空調装置異常検出手段、１
４……消化装置、１５……空調ダクト、１６，１
７……排気ダクト、１８〜２１……端子、２２〜
２６……ＡＮＤ回路、２７〜２９……ＯＲ回路、
３０〜３５……インバータ。
の一実施例の概略図、第２図は第１図の装置のブ
ロツク回路図である。 １……クリーンルーム、２……ＣＶＤ装置、３
……空調装置、４……給気口、５……排気口、６
……フリーアクセス、７……浮遊微粒子検出器、
８，１１……イオン化式煙感知器、９……散乱光
式煙感知器、１０……減光式煙感知器、１２……
ガス検出器、１３……空調装置異常検出手段、１
４……消化装置、１５……空調ダクト、１６，１
７……排気ダクト、１８〜２１……端子、２２〜
２６……ＡＮＤ回路、２７〜２９……ＯＲ回路、
３０〜３５……インバータ。
Claims (1)
- フイルタを介して室内に空気を循環供給し室内
の清浄度を一定に保持するようにした空調装置を
備えた半導体工場などのクリーンルームにおいて
、クリーンルームの天井面あるいはフリーアクセ
ス中に高感度の浮遊微粒子検出器とこの検出器よ
りも高濃度の浮遊微粒子または煙で動作するイオ
ン化式あるいは光電式の煙感知器を設け、また上
記空調装置が正常に運転されクリーンルーム内が
正圧に保持されているか否かを検出する空調装置
の異常を検出する手段を設け、さらにクリーンル
ームの製造装置内にガス検出器あるいは火災感知
器を設け、上記浮遊微粒子検出器の動作とそれ以
外の感知器、ガス検出器または空調装置の異常を
検出する手段の作動の有無とによつて警報器また
は消化装置などの所定の機器を制御するようにし
たことを特徴とするクリーンルームの防災装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6601390U JPH0438185Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6601390U JPH0438185Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310141U true JPH0310141U (ja) | 1991-01-30 |
| JPH0438185Y2 JPH0438185Y2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=31598363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6601390U Expired JPH0438185Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438185Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005027859A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Tadahiro Omi | クリーンルームの局部消火システム |
| JP2011078467A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Hochiki Corp | 防災監視システムおよび防災監視システムの制御方法 |
| JP2011078468A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Hochiki Corp | 制御盤消火設備 |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP6601390U patent/JPH0438185Y2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005027859A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Tadahiro Omi | クリーンルームの局部消火システム |
| JP2011078467A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Hochiki Corp | 防災監視システムおよび防災監視システムの制御方法 |
| JP2011078468A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Hochiki Corp | 制御盤消火設備 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438185Y2 (ja) | 1992-09-08 |
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