JPS6059087B2 - 工作機械のチヤツク引き出し装置 - Google Patents
工作機械のチヤツク引き出し装置Info
- Publication number
- JPS6059087B2 JPS6059087B2 JP5401880A JP5401880A JPS6059087B2 JP S6059087 B2 JPS6059087 B2 JP S6059087B2 JP 5401880 A JP5401880 A JP 5401880A JP 5401880 A JP5401880 A JP 5401880A JP S6059087 B2 JPS6059087 B2 JP S6059087B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- shaft
- main shaft
- movable body
- axial direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Gripping On Spindles (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
複数の主軸を有し、この主軸にチャックを介しーー
−4L−鉦−1ム、Λ月一□1↓−i4七 ナーf5ユ
セ 5#0 f−・」= 向するのは特に量産向けの産
業分野では一般に普及しているところである。
−4L−鉦−1ム、Λ月一□1↓−i4七 ナーf5ユ
セ 5#0 f−・」= 向するのは特に量産向けの産
業分野では一般に普及しているところである。
本発明の適用せる実施例の工作機械はこのような情勢に
鑑み構成されており、特に主軸に取り付けられたチャッ
クを他のチャックと自動的に交換可能とし、搬送機能を
持たせ、特に二軸の主軸を有する自動チャック交換装置
付工作機械として構成されたものである。 従来量産用
の旋削用生産システムとしては単能盤を複数台ラインと
して配置する方法や、また工作物専用加工の専用工作機
械を配置するなどの方法がとられていた。ι、カルなが
ら単能盤等においては、特に複数台配置した場合に機械
の所要床面積が大きくなり、また段取り作業が長くなる
などの欠点に加え、次工程ヘエ作物を移動するのに工・
作物をチャックからその都度取り出し次工程で再びチャ
ックする必要があつた。従つて特に複雑形状の部品や肉
厚の薄い工作物などにおいては把握上の難しさや、また
高精度な加工を維持するのが難しいなどの欠点を有して
いた。またこの種の機)械ではチャックに対して工作物
の着脱動作は自動の場合、機械本体構成とは独立して設
けられた専用のオートローターで行うのが一般的である
。 このためライン構成が複難になり、保守個所が多く
なるなどのメインテナンスの点でも問題が生;じていた
。さらに専用工作機械等の設備は一般に高価であり、汎
用性に乏しい欠点を有していた。本願発明は前述した従
来の欠点を解消した工作機械に適用し、次のような目的
で構成されている。即ちその目的とするところは、自動
動作て機械加工作業領域外へ主軸から離脱回動し割り出
されたチャックを主軸軸線と平行に工作物の着脱操作可
能な位置まで移動し、切削中においても工作物の着脱操
作が可能であるチャック引き出.し装置の提供にある。
鑑み構成されており、特に主軸に取り付けられたチャッ
クを他のチャックと自動的に交換可能とし、搬送機能を
持たせ、特に二軸の主軸を有する自動チャック交換装置
付工作機械として構成されたものである。 従来量産用
の旋削用生産システムとしては単能盤を複数台ラインと
して配置する方法や、また工作物専用加工の専用工作機
械を配置するなどの方法がとられていた。ι、カルなが
ら単能盤等においては、特に複数台配置した場合に機械
の所要床面積が大きくなり、また段取り作業が長くなる
などの欠点に加え、次工程ヘエ作物を移動するのに工・
作物をチャックからその都度取り出し次工程で再びチャ
ックする必要があつた。従つて特に複雑形状の部品や肉
厚の薄い工作物などにおいては把握上の難しさや、また
高精度な加工を維持するのが難しいなどの欠点を有して
いた。またこの種の機)械ではチャックに対して工作物
の着脱動作は自動の場合、機械本体構成とは独立して設
けられた専用のオートローターで行うのが一般的である
。 このためライン構成が複難になり、保守個所が多く
なるなどのメインテナンスの点でも問題が生;じていた
。さらに専用工作機械等の設備は一般に高価であり、汎
用性に乏しい欠点を有していた。本願発明は前述した従
来の欠点を解消した工作機械に適用し、次のような目的
で構成されている。即ちその目的とするところは、自動
動作て機械加工作業領域外へ主軸から離脱回動し割り出
されたチャックを主軸軸線と平行に工作物の着脱操作可
能な位置まで移動し、切削中においても工作物の着脱操
作が可能であるチャック引き出.し装置の提供にある。
次に本願発明の実施例を二軸の主軸を有する工作機械に
適用した例として該工作機械の構成も含めて図において
詳細に説明する。
適用した例として該工作機械の構成も含めて図において
詳細に説明する。
第1図および第2図は本実施例を適用した工作機械の全
体構成を示したものである。ベッド1上には、ヘッドス
トック2が載置されベッド1に強固に固定されている。
前記ヘッドストック2内には第1の主軸3と第2の主軸
4が平行に且つ回転自在に軸承され設けられている。各
々の主軸3,4の端部には継手を介してチャックが(後
述)取り付けられている。前記第1の主軸3駆動用モー
ター5および第2の主軸4駆動用モーター6がベッド1
の前後(第1図)に配置されている。
体構成を示したものである。ベッド1上には、ヘッドス
トック2が載置されベッド1に強固に固定されている。
前記ヘッドストック2内には第1の主軸3と第2の主軸
4が平行に且つ回転自在に軸承され設けられている。各
々の主軸3,4の端部には継手を介してチャックが(後
述)取り付けられている。前記第1の主軸3駆動用モー
ター5および第2の主軸4駆動用モーター6がベッド1
の前後(第1図)に配置されている。
各々の主軸3,4は各々のモーター5,6により各々の
変速機構7,8を介し且つ主軸まではベルト9を介して
駆動されている。前記変速機構7,8は対称形をなして
ベッドに取り付けられ、そのボックスの端面にモーター
5,6が固定されている。前記ヘッドストック2の上部
にはボックス10が載置されてい.る。該ボックス10
には自動チャック交換装置11がボックス10に対し回
動自在に設けられている。前記自動チャック交換装置1
1の回動部材は面板12をなし、該面板12にチャック
13を保持する保持部14を有している。前記自動チヤ
ツIク交換装置11の面板12はチャック交換の際は保
持部14でチャック13を保持し、主軸軸線に直角方向
に回動し所定の位置に割り出し位置決めされると、他の
チャックと交換された状態でチャックを主軸3,4に結
着する。一方加工領域外(主軸の上部に位置する)に割
り出されたチャックは、前記ボックス10に設けられた
チャック引出し装置15に係合し位置決めされる。
変速機構7,8を介し且つ主軸まではベルト9を介して
駆動されている。前記変速機構7,8は対称形をなして
ベッドに取り付けられ、そのボックスの端面にモーター
5,6が固定されている。前記ヘッドストック2の上部
にはボックス10が載置されてい.る。該ボックス10
には自動チャック交換装置11がボックス10に対し回
動自在に設けられている。前記自動チャック交換装置1
1の回動部材は面板12をなし、該面板12にチャック
13を保持する保持部14を有している。前記自動チヤ
ツIク交換装置11の面板12はチャック交換の際は保
持部14でチャック13を保持し、主軸軸線に直角方向
に回動し所定の位置に割り出し位置決めされると、他の
チャックと交換された状態でチャックを主軸3,4に結
着する。一方加工領域外(主軸の上部に位置する)に割
り出されたチャックは、前記ボックス10に設けられた
チャック引出し装置15に係合し位置決めされる。
続いて前記チャック引出し装置に係合したチャックは引
出し装置に連結し前記ボックス10の後部に設けられた
駆動装置16により前方、即ち第1図の右方向二点鎖線
17の位置まで引き出される。この位置に引き出された
チャックに対し工作物を取り出しあるいは挿入動作を行
う。チャックを前方へ引き出すことは当業者側へより近
寄ることになるので工作物着脱動作が極めて高能率にか
つ容易に行うことができる。チャックの爪を閉じ工作物
を把握するための締緩装置18がヘノツドストツク2上
に設けられた前記ボックス10の端面に取り付けられて
いる。前記締緩装置18には回転自在で且つ出入り自在
なドライバー19が内挿されチャックの外周面に相対し
て設けられている。本実施例で使用されるチャックはス
クロ;−ルチヤツクで、該スクロールチャックの締緩装
置としては既に特公昭39−3747に詳述されている
。前記締緩装置18は加工領域外に設けられているので
、工作物の加工中であつても他の工作物をチャックに挿
入し前記ドライバー19の動作により工作物をチャック
に把握して待機することが可能である。従つて再び自動
チャック交換が行われる際には直ちに新しく加工される
べき工作物として加工領域への挿入ができるのである。
又加工完了した工作物も加工領域外へ割り出された場合
は他の工作物が加工中であつても取り外しが可能である
。チャックはスクロール形のチャックであることは前述
したが、チャックの爪の開閉動作はチャックの外周に設
けられた穴に挿入されているベベルギヤーを前記ドライ
バー19で回わし、従つてベベルギヤーと連動している
スクロールを回すことにより前記スクロールと係合して
いる爪を回転中心に対して出入りさせる。
出し装置に連結し前記ボックス10の後部に設けられた
駆動装置16により前方、即ち第1図の右方向二点鎖線
17の位置まで引き出される。この位置に引き出された
チャックに対し工作物を取り出しあるいは挿入動作を行
う。チャックを前方へ引き出すことは当業者側へより近
寄ることになるので工作物着脱動作が極めて高能率にか
つ容易に行うことができる。チャックの爪を閉じ工作物
を把握するための締緩装置18がヘノツドストツク2上
に設けられた前記ボックス10の端面に取り付けられて
いる。前記締緩装置18には回転自在で且つ出入り自在
なドライバー19が内挿されチャックの外周面に相対し
て設けられている。本実施例で使用されるチャックはス
クロ;−ルチヤツクで、該スクロールチャックの締緩装
置としては既に特公昭39−3747に詳述されている
。前記締緩装置18は加工領域外に設けられているので
、工作物の加工中であつても他の工作物をチャックに挿
入し前記ドライバー19の動作により工作物をチャック
に把握して待機することが可能である。従つて再び自動
チャック交換が行われる際には直ちに新しく加工される
べき工作物として加工領域への挿入ができるのである。
又加工完了した工作物も加工領域外へ割り出された場合
は他の工作物が加工中であつても取り外しが可能である
。チャックはスクロール形のチャックであることは前述
したが、チャックの爪の開閉動作はチャックの外周に設
けられた穴に挿入されているベベルギヤーを前記ドライ
バー19で回わし、従つてベベルギヤーと連動している
スクロールを回すことにより前記スクロールと係合して
いる爪を回転中心に対して出入りさせる。
このスクロール形のチャックの構造は一般に使用されて
いる公知のチャックに準拠している。
いる公知のチャックに準拠している。
次にベッド1の上部には前記主軸3に対応して2つの摺
動面1a,1bを有する案内部1cが設けられている。
前記摺動面1a,1bは主軸軸線に平行に設けられ、該
摺動面1a,1b上にサドル20が摺動自在に跨つて載
置されている。前記サドル20には摺動面20aが主軸
軸線に直交し且つ水平面に対し第2図で示す如く主軸側
に下る傾斜面(右下り)を有して設けられている。前記
摺動面20a上にはクロススライド21が主軸軸線に直
交して摺動自在に載置されている。ここで前記クロスス
ライド21はサーボモーター22により送りギヤボック
ス23およびボールスクリューを介して駆動されている
。また前記サドル20についてもヘッドストック後部(
第1図の左部)に設けられたサーボモータ、送りギヤボ
ックス、ボールスクリューでクロススライド21と同様
な方法で駆動されている。
動面1a,1bを有する案内部1cが設けられている。
前記摺動面1a,1bは主軸軸線に平行に設けられ、該
摺動面1a,1b上にサドル20が摺動自在に跨つて載
置されている。前記サドル20には摺動面20aが主軸
軸線に直交し且つ水平面に対し第2図で示す如く主軸側
に下る傾斜面(右下り)を有して設けられている。前記
摺動面20a上にはクロススライド21が主軸軸線に直
交して摺動自在に載置されている。ここで前記クロスス
ライド21はサーボモーター22により送りギヤボック
ス23およびボールスクリューを介して駆動されている
。また前記サドル20についてもヘッドストック後部(
第1図の左部)に設けられたサーボモータ、送りギヤボ
ックス、ボールスクリューでクロススライド21と同様
な方法で駆動されている。
この駆動系の構成は一般にみられるNC旋盤で通常行わ
れている公知の方法に準拠している。前記クロススライ
ド21上には刃物台24が載置され、該刃物台24には
タレツトに取り付けられた工具25(外径切削用工具お
よび内径切削用工具)が複数個放射状に配置されている
。この工具25は任意に選択され加工位置に割り出され
る構成になつている。前記刃物台24の構成の詳細は同
一出願人の特願昭51−158646に詳細に説明され
ているので省略する。以上説明した構成は第2図の左側
の摺動体および刃物台24について記載したが、右側の
摺動体および刃物台24″についても構成および動作は
基本的には左側のものと勝手違いの構成で成立する。即
ちベッド1の上部に前記主軸4に対応して2つの摺動面
1a″,1b″を有する案内部1C″を設け、前記摺動
面1a″,1b″は主軸軸線に平行に設けられその上面
にはサドル2『が摺動自在に跨つて載置されている。
れている公知の方法に準拠している。前記クロススライ
ド21上には刃物台24が載置され、該刃物台24には
タレツトに取り付けられた工具25(外径切削用工具お
よび内径切削用工具)が複数個放射状に配置されている
。この工具25は任意に選択され加工位置に割り出され
る構成になつている。前記刃物台24の構成の詳細は同
一出願人の特願昭51−158646に詳細に説明され
ているので省略する。以上説明した構成は第2図の左側
の摺動体および刃物台24について記載したが、右側の
摺動体および刃物台24″についても構成および動作は
基本的には左側のものと勝手違いの構成で成立する。即
ちベッド1の上部に前記主軸4に対応して2つの摺動面
1a″,1b″を有する案内部1C″を設け、前記摺動
面1a″,1b″は主軸軸線に平行に設けられその上面
にはサドル2『が摺動自在に跨つて載置されている。
前記サドル2『には摺動面20a″が主軸軸線に直交し
且つ水平面に対し第2図て示す如く主軸側に下る傾斜面
(左下り)を有し、前記摺動面20a″上にはクロスス
ライド21″が主軸軸線に直交して摺動自在に載置され
ている。前記クロススライド2「はサーボモーター22
″により送りギヤボックス23″およびボールスクリュ
ーを介して駆動されている。
且つ水平面に対し第2図て示す如く主軸側に下る傾斜面
(左下り)を有し、前記摺動面20a″上にはクロスス
ライド21″が主軸軸線に直交して摺動自在に載置され
ている。前記クロススライド2「はサーボモーター22
″により送りギヤボックス23″およびボールスクリュ
ーを介して駆動されている。
また前記サドル2『についても前述したサドル20の場
合と同様に独立して設けられた駆動系により駆動されて
いる。また刃物台24″の構成も前記刃物台24と勝手
違いで構成され同様の動作を行う。以上の構成から各々
の刃物台24,24″は独立して動作することが可能と
なつており、相互にサイクル動作が異なつても対応でき
、また刃物台の工具補正も個々に独立して行える構成と
なつている。次に第3図により本発明を適用した工作機
械の主軸構造について説明する。
合と同様に独立して設けられた駆動系により駆動されて
いる。また刃物台24″の構成も前記刃物台24と勝手
違いで構成され同様の動作を行う。以上の構成から各々
の刃物台24,24″は独立して動作することが可能と
なつており、相互にサイクル動作が異なつても対応でき
、また刃物台の工具補正も個々に独立して行える構成と
なつている。次に第3図により本発明を適用した工作機
械の主軸構造について説明する。
前記ヘッドストック2内には、主軸3,4がベアリング
26およびベアリング27により支承され回転自在に組
み込まれている。
26およびベアリング27により支承され回転自在に組
み込まれている。
前記ベアリング26のアウターレースはスナップリング
28およびリテーナ29により挾持されヘッドストック
2に固定されている。また前記ベアリング26のインナ
ーレースはカラー30およびカラー31により挾持され
主軸3に固定されている。さらに前記カラー31は主軸
3に螺合して設けられたナット32により、主軸3を回
転駆動するギヤ33とともにキー止めされて主軸軸線方
向に押圧固定されている。前記主軸3の端面には端面円
周方向に複数の歯を持つた継手34がボルト止めされて
いる。一方チャック13の端面にも主軸3側の継手34
ど噛合すべく端面に歯を持つた継手35がボルト止めさ
れ、チャック13が主軸側へ引き込まれるときには噛合
関係を保持し主軸3とチャック13とは一体となるよう
にしている。
28およびリテーナ29により挾持されヘッドストック
2に固定されている。また前記ベアリング26のインナ
ーレースはカラー30およびカラー31により挾持され
主軸3に固定されている。さらに前記カラー31は主軸
3に螺合して設けられたナット32により、主軸3を回
転駆動するギヤ33とともにキー止めされて主軸軸線方
向に押圧固定されている。前記主軸3の端面には端面円
周方向に複数の歯を持つた継手34がボルト止めされて
いる。一方チャック13の端面にも主軸3側の継手34
ど噛合すべく端面に歯を持つた継手35がボルト止めさ
れ、チャック13が主軸側へ引き込まれるときには噛合
関係を保持し主軸3とチャック13とは一体となるよう
にしている。
この各々の継手34,35は端面に山部と谷部を有する
歯部を形成し互いに山と谷同志で向き合つて噛合するの
で円周方向に位置がずれることもなく強固に主軸3とチ
ャック13とは締結される。二つの継手の噛合関係は歯
数に応じて相関関係を有し決つた範囲内での角度位置決
めが可能な構成になつている。またチャック側の継手3
5は交換する他のチャックに対しても全く同位置に設け
られており、主軸3と他のどの交換チャックとも着脱が
可能なように互換性を持たせている。前記継手35の外
周には薄肉のスリーブ36が嵌挿し固定されている。該
スリーブ36はチャック13の外周をも被い、また該ス
リーブ36はチャック13が主軸側より離れて搬送動作
に入るときはチャック交換装置の面板12の把持穴37
に嵌入するようになつている。
歯部を形成し互いに山と谷同志で向き合つて噛合するの
で円周方向に位置がずれることもなく強固に主軸3とチ
ャック13とは締結される。二つの継手の噛合関係は歯
数に応じて相関関係を有し決つた範囲内での角度位置決
めが可能な構成になつている。またチャック側の継手3
5は交換する他のチャックに対しても全く同位置に設け
られており、主軸3と他のどの交換チャックとも着脱が
可能なように互換性を持たせている。前記継手35の外
周には薄肉のスリーブ36が嵌挿し固定されている。該
スリーブ36はチャック13の外周をも被い、また該ス
リーブ36はチャック13が主軸側より離れて搬送動作
に入るときはチャック交換装置の面板12の把持穴37
に嵌入するようになつている。
また前記スリーブ36の作業領域側の端面はチャック1
3が主軸3と締結したときチヤツlク交換装置との間で
ラビリンス構成をなし外部の切屑やクーラント等が内部
に侵入するのを防止している。次にチャック13の端面
には鈎部材38が取り付けられ、該鈎部材38の先端に
設けられたT溝に係合して係合部材39がシャフト40
に螺合固定されている。前記係合部材39は前記鈎部材
38に係合しシャフト40とともに主軸軸線方向に出し
入れ移動可能となつている。
3が主軸3と締結したときチヤツlク交換装置との間で
ラビリンス構成をなし外部の切屑やクーラント等が内部
に侵入するのを防止している。次にチャック13の端面
には鈎部材38が取り付けられ、該鈎部材38の先端に
設けられたT溝に係合して係合部材39がシャフト40
に螺合固定されている。前記係合部材39は前記鈎部材
38に係合しシャフト40とともに主軸軸線方向に出し
入れ移動可能となつている。
前記シャフト40は主軸3内を、スナップリング41で
軸方向を主軸3内に挾持固定されたスリーブ42に案内
され、且つ前記シャフト40の後部には皿ばね43に付
勢され筒体44が取り付けられている。該筒体44の主
軸側は小径をなし、後部は大径部をなし前記皿ばね43
がシャフト40に跨つて内挿されている。小径部と大径
部の間は傾斜面をなしボール45が複数個当接するよう
になつている。前記筒体44内に内挿された複数個の皿
ばね43は一端を前記筒体44の段付面に当接し、他端
は前記シャフト40の先端に螺合結着されたシャフト4
6の端面に押し当てられている。従つて前記筒体44は
通常は皿ばね43に付勢され前記シャフト40の段付肩
面に当接するようになつている。一方前記主軸3の後端
部にはアダプター47がキー止めされ、さらに軸方向を
ナット48で固定されている。前記アダプター47には
さらに第2のアダプター49が取り付けられ、該第2の
アダプター49にはシリンダー50が取り付けられてい
る。また前記シリンダー50の内部には軸方向摺動自在
にピストン51が嵌挿され、さらに該ピストン51は前
記第2のアダプター49の小径部に嵌挿し摺動するよう
になつている。また前記アダプター49にはラジカル方
向に複数個の穴が穿設されボール45が挿入されている
。該ボール45は前述の如く筒体44の傾斜面に沿つて
当接するとともに−前記ピストン51の穴内壁面52に
当接し、前記ピストン51の軸方向の摺動動作に応じ前
記ボール45はラジアル方向に出入りすることが可能に
なつている。前記シリンダー50の端面にはカバー53
が取り付けられている。従つて前記シリン.ター50内
にピストン51を挾んで油室54,55を構成している
。前記カバー53には第3のアダプター56が取り付け
られ、また該アダプター56には第2のシリンダー57
が取り付けられている。該シリンダー57には前記アダ
プター56とに跨つて軸方向に摺動案内されるピストン
58が内挿されている。また該ピストン58は前記シャ
フト46に嵌挿し一端を前記シャフト46に螺合された
ナット59により固定されている。前記シリンダー57
には前記ピストン58を挾んで油室60,61を形成し
ている。また前記シリンダー57の外周にはブラケット
62が挿入されており該ブラケット62は固定側に支持
されている。該ブラケット62に対し前記シリンダー5
7は回転自在に嵌挿支持されている。即ち油路は固定側
に設置された油圧源からこのブラケット62を介しさら
にシリンダー57へと設けられ前記油室5牡または油室
55へ圧油が導かれる。一方ヘッドストック後方の内壁
近傍の主軸上には円板上のプレート63が固定されてい
る。
軸方向を主軸3内に挾持固定されたスリーブ42に案内
され、且つ前記シャフト40の後部には皿ばね43に付
勢され筒体44が取り付けられている。該筒体44の主
軸側は小径をなし、後部は大径部をなし前記皿ばね43
がシャフト40に跨つて内挿されている。小径部と大径
部の間は傾斜面をなしボール45が複数個当接するよう
になつている。前記筒体44内に内挿された複数個の皿
ばね43は一端を前記筒体44の段付面に当接し、他端
は前記シャフト40の先端に螺合結着されたシャフト4
6の端面に押し当てられている。従つて前記筒体44は
通常は皿ばね43に付勢され前記シャフト40の段付肩
面に当接するようになつている。一方前記主軸3の後端
部にはアダプター47がキー止めされ、さらに軸方向を
ナット48で固定されている。前記アダプター47には
さらに第2のアダプター49が取り付けられ、該第2の
アダプター49にはシリンダー50が取り付けられてい
る。また前記シリンダー50の内部には軸方向摺動自在
にピストン51が嵌挿され、さらに該ピストン51は前
記第2のアダプター49の小径部に嵌挿し摺動するよう
になつている。また前記アダプター49にはラジカル方
向に複数個の穴が穿設されボール45が挿入されている
。該ボール45は前述の如く筒体44の傾斜面に沿つて
当接するとともに−前記ピストン51の穴内壁面52に
当接し、前記ピストン51の軸方向の摺動動作に応じ前
記ボール45はラジアル方向に出入りすることが可能に
なつている。前記シリンダー50の端面にはカバー53
が取り付けられている。従つて前記シリン.ター50内
にピストン51を挾んで油室54,55を構成している
。前記カバー53には第3のアダプター56が取り付け
られ、また該アダプター56には第2のシリンダー57
が取り付けられている。該シリンダー57には前記アダ
プター56とに跨つて軸方向に摺動案内されるピストン
58が内挿されている。また該ピストン58は前記シャ
フト46に嵌挿し一端を前記シャフト46に螺合された
ナット59により固定されている。前記シリンダー57
には前記ピストン58を挾んで油室60,61を形成し
ている。また前記シリンダー57の外周にはブラケット
62が挿入されており該ブラケット62は固定側に支持
されている。該ブラケット62に対し前記シリンダー5
7は回転自在に嵌挿支持されている。即ち油路は固定側
に設置された油圧源からこのブラケット62を介しさら
にシリンダー57へと設けられ前記油室5牡または油室
55へ圧油が導かれる。一方ヘッドストック後方の内壁
近傍の主軸上には円板上のプレート63が固定されてい
る。
該プレート63は主軸3を定角度位置に位置決めするた
めのもので円周に1個所切欠溝64を設け、ヘッドスト
ック2の側壁に取り付けられたシリンダー装置の出し入
れによつてローラー65がこの溝64に係合するように
なつている。前記シリンダー装置はシリンダー66が側
壁に固定され内部にピストン67が挿入され移動方向の
前後に油室69,70を構成している。前記ピストン6
7のロッド部68に前記ローラー65がピンを介して設
けられている。従つて前記油室の69に圧油が入ればピ
ストン67はプレート63に対して前進しローラー65
はプレート63の円周上に押圧される。
めのもので円周に1個所切欠溝64を設け、ヘッドスト
ック2の側壁に取り付けられたシリンダー装置の出し入
れによつてローラー65がこの溝64に係合するように
なつている。前記シリンダー装置はシリンダー66が側
壁に固定され内部にピストン67が挿入され移動方向の
前後に油室69,70を構成している。前記ピストン6
7のロッド部68に前記ローラー65がピンを介して設
けられている。従つて前記油室の69に圧油が入ればピ
ストン67はプレート63に対して前進しローラー65
はプレート63の円周上に押圧される。
主軸3が低速回転を行い前記プレート63上の溝64力
珀ーラー位置と一致したときローラー65は溝64に係
合しこの動きの動作から信号を得、主軸3の回転を停止
するようになつている。また前記油室の70に圧油が送
られることによりローラー65を前記プレート63の溝
64から離し主軸3が再び回転始動状態可能とする。本
実施例を適用した工作機械の主軸構造は以上のように構
成され次のように動作する。工作物が加工を終えてチャ
ックが交換される場合、先ず主軸3がシリンダー66の
動作で定位置に割り出された後、前記油室54に圧力を
供給する。
珀ーラー位置と一致したときローラー65は溝64に係
合しこの動きの動作から信号を得、主軸3の回転を停止
するようになつている。また前記油室の70に圧油が送
られることによりローラー65を前記プレート63の溝
64から離し主軸3が再び回転始動状態可能とする。本
実施例を適用した工作機械の主軸構造は以上のように構
成され次のように動作する。工作物が加工を終えてチャ
ックが交換される場合、先ず主軸3がシリンダー66の
動作で定位置に割り出された後、前記油室54に圧力を
供給する。
即ち、ピストン51を右行させ筒体44の傾斜面に係合
しているボール45を外側へ逃がしロック状態を解除す
る。従つて前記筒体44が前記アダプター49に対して
係合状態を解かれるので、続いて圧油を油室61に供給
しピストン58を左行させる。即ち前記係合部材39は
チャック13に固着された鈎部材38と係合したまま前
進動作を行う。前進端においてチャック13はチヤツク
の外周を被つて取り付けられたスリーブ36の大径部が
前記チャック交換装置の面板12の把持穴37内に嵌入
する。この関係を示したのが第4図である。
しているボール45を外側へ逃がしロック状態を解除す
る。従つて前記筒体44が前記アダプター49に対して
係合状態を解かれるので、続いて圧油を油室61に供給
しピストン58を左行させる。即ち前記係合部材39は
チャック13に固着された鈎部材38と係合したまま前
進動作を行う。前進端においてチャック13はチヤツク
の外周を被つて取り付けられたスリーブ36の大径部が
前記チャック交換装置の面板12の把持穴37内に嵌入
する。この関係を示したのが第4図である。
前記鈎部材38は先端にT形の溝を設け、この溝に前記
係合部材39が係合している。また前記係合部材39は
主軸3に固着された案内片71とも係合しており、主軸
3に対し回転方向にずれることのないよう前記係合部材
39の位置を維持している。前記係合部材39は前記案
内片71と常時係合関係を維持し、係合部材39の出し
入れ動作に対しチャックを常に同じ向きになるよう保持
している。前述の如く前記チャック交換装置の把持穴3
7に嵌入されたチャックは回動され、前記主軸3位置に
は他のチャックが交換されて位置決めされる。回動に際
し、チャックの端部に取り付けられた鈎部材38は係合
部材39に沿つて回転方向に移動し、前記係合部材39
を離れるとともに前記ヘッドストック2およびボックス
10に取り付けられた円弧状の案内レール72に案内さ
れる。
係合部材39が係合している。また前記係合部材39は
主軸3に固着された案内片71とも係合しており、主軸
3に対し回転方向にずれることのないよう前記係合部材
39の位置を維持している。前記係合部材39は前記案
内片71と常時係合関係を維持し、係合部材39の出し
入れ動作に対しチャックを常に同じ向きになるよう保持
している。前述の如く前記チャック交換装置の把持穴3
7に嵌入されたチャックは回動され、前記主軸3位置に
は他のチャックが交換されて位置決めされる。回動に際
し、チャックの端部に取り付けられた鈎部材38は係合
部材39に沿つて回転方向に移動し、前記係合部材39
を離れるとともに前記ヘッドストック2およびボックス
10に取り付けられた円弧状の案内レール72に案内さ
れる。
前記鈎部材38は向きを規制されて前記案内レール72
に案内されるのでチャックの向きは常に一定方向を維持
する。前記主軸3に対し前記チャック交換装置で回動さ
れた他のチャックは該チャックの端面に固着された鈎部
材が前記主軸3側の係合部材39に係合し位置決めされ
る。
に案内されるのでチャックの向きは常に一定方向を維持
する。前記主軸3に対し前記チャック交換装置で回動さ
れた他のチャックは該チャックの端面に固着された鈎部
材が前記主軸3側の係合部材39に係合し位置決めされ
る。
次に前記油室60に圧油が送られると前記ピストン58
は右行しそれに伴つて前記係合部材39はチャックとと
もに主軸側へ引き寄せられ継手を介してチャックと主軸
は一体化される。続いて前記油室55に圧油が送られる
と前記ピストン51は左行し前記ボール45は傾斜面に
沿つて内方へ圧接され該ボール45と係合している円筒
部材44を皿ばね43の復元力に打勝つて右方向へ押し
前記チャックを主軸に対し強力に締結させる。従つて不
測の事故等で圧油が正常に供給されない場合でも締結状
態を解除することがなく従つてチャックが主軸から離れ
ることがないよう安全を考慮した構造となつている。次
に第5図は主軸と案内レールとの関係を作業領域側から
示した図で、主軸3,4およびチャック交換のための引
き出し装置15,15″(後述)の配置関係を示してい
る。
は右行しそれに伴つて前記係合部材39はチャックとと
もに主軸側へ引き寄せられ継手を介してチャックと主軸
は一体化される。続いて前記油室55に圧油が送られる
と前記ピストン51は左行し前記ボール45は傾斜面に
沿つて内方へ圧接され該ボール45と係合している円筒
部材44を皿ばね43の復元力に打勝つて右方向へ押し
前記チャックを主軸に対し強力に締結させる。従つて不
測の事故等で圧油が正常に供給されない場合でも締結状
態を解除することがなく従つてチャックが主軸から離れ
ることがないよう安全を考慮した構造となつている。次
に第5図は主軸と案内レールとの関係を作業領域側から
示した図で、主軸3,4およびチャック交換のための引
き出し装置15,15″(後述)の配置関係を示してい
る。
またこの各々の主軸と各々の引き出し装置との間をチャ
ック交換装置が回動軸73を中心に回動する。またこの
回動方向に沿つて各々の主軸3,4および各々の引き出
し装置15,15″との間には円弧状の案内レール72
A,72B,72C,72Dが配設されている。従つて
前記チャックはチャック交換装置に把持され回動軸73
を中心として前記案内レール72に沿い一定の向きを保
持して回動される。チャックが主軸3,4を離れ引き出
し装置15,15″位置に割り出されたときチャックを
作業者側へ引き出すための駆動装置16が前記回動軸7
3の上方に設けられている。第6図は前記チャック交換
装置の回動部および前記引き出し装置の詳細を示した第
5図の展開断面図である。前記チャックを引き出すため
の駆動装置16即ちシリンダー装置74のピストンロッ
ド75の先端にはプレート76が取り付けられている。
ック交換装置が回動軸73を中心に回動する。またこの
回動方向に沿つて各々の主軸3,4および各々の引き出
し装置15,15″との間には円弧状の案内レール72
A,72B,72C,72Dが配設されている。従つて
前記チャックはチャック交換装置に把持され回動軸73
を中心として前記案内レール72に沿い一定の向きを保
持して回動される。チャックが主軸3,4を離れ引き出
し装置15,15″位置に割り出されたときチャックを
作業者側へ引き出すための駆動装置16が前記回動軸7
3の上方に設けられている。第6図は前記チャック交換
装置の回動部および前記引き出し装置の詳細を示した第
5図の展開断面図である。前記チャックを引き出すため
の駆動装置16即ちシリンダー装置74のピストンロッ
ド75の先端にはプレート76が取り付けられている。
該プレート76の一端は前記チャック引き出し装置15
,15″の筒状バー77の後端部に固着されている。ま
た前記プレート76の他端はチャック交換装置の回動部
掛け外しのためのシフターロッド78に係合している。
該シフターロッド78は前記ボックス10に対し出入り
自在に設けられ、ボックス10内部の一端にはシフター
フオータ79が取り付けられている。前記シフターフォ
ーク79はチャック交換装置の回動軸73のスプライン
部73″に摺動自在に嵌入されているピニオンギヤ80
の一部即ち円周に沿つてリング状に設けら”れた凹溝8
1に差し込まれている。前記引き出し装置15の筒状バ
ー77は前記ボックス10内に摺動自在に支承されてお
り、前記バー77の作業領域側の一端にはブラケット8
2が取り付けられている。また該ブラケット82には前
記鈎部材38が挿入可能に段付穴が設けられ、該穴端面
には前記鈎部材38の挿入時の回り止めのための係止片
85が取り付けられている。前記筒状バー77内には2
個のメタル84が設けられ、また該メタル84に支承さ
れてロッド85が軸方向出入り自ノ在に設けられている
。該咄ンド85の一端には係合部材39が取り付けられ
、また他端にはカラー86が取り付けられ、該カラーと
前記プレート76との間には複数個の皿ばね87が挿入
されている。また前記ロッド85の後方には軸方向調整
自在にストッパ88が固定側に設けられている。従つて
前記引き出し装置は以上のように構成され次のように動
作する。即ちチャック交換のときには前記バー77は後
方に退避しているがこの場合前記プレート76はシリン
ダー74の動作により主軸後方へ移動している。前記プ
レート76とバー77とは一体となつているのでバー7
7は所定位置へ後退する。この動作に際し前記ロッド8
5はストッパ88に当接するので軸方向の後退勤作は停
止するが前記バー77はプレート76とともに前記皿ば
ね87の復元力に打勝つてなおも後退し前記鈎部材39
からブラケット82が離れチャックが回動可能な状態の
位置で位置決めされる。チャックが引き出し装置15の
ブラケット82の位置に割り出し係合位置決めされると
次にこの引き出し装置15は前記シリンダー74の動作
でチャックを保持して工作物の着脱位置まて前方(左方
向)へ引き出す。この動作は先ずプレート76の前進に
伴い前記皿ばね87により前記ロッド85はプレート7
6に対して外側へ付勢されているので、従つて前記バー
77が前進するに伴い先ずブラケット82はチャック鈎
部材39と係合する。該鈎部材39とブラケット82が
係合保持され且つ回り止めされて尚も前進動作を続け所
定の位置に位置決めされる。工作物の着脱動作が完了す
ると前記パー77は前述とは逆の動作を行いチャック交
換の際には第6図の状態を維持する。次にチャック交換
装置の回動装置について説明する。
,15″の筒状バー77の後端部に固着されている。ま
た前記プレート76の他端はチャック交換装置の回動部
掛け外しのためのシフターロッド78に係合している。
該シフターロッド78は前記ボックス10に対し出入り
自在に設けられ、ボックス10内部の一端にはシフター
フオータ79が取り付けられている。前記シフターフォ
ーク79はチャック交換装置の回動軸73のスプライン
部73″に摺動自在に嵌入されているピニオンギヤ80
の一部即ち円周に沿つてリング状に設けら”れた凹溝8
1に差し込まれている。前記引き出し装置15の筒状バ
ー77は前記ボックス10内に摺動自在に支承されてお
り、前記バー77の作業領域側の一端にはブラケット8
2が取り付けられている。また該ブラケット82には前
記鈎部材38が挿入可能に段付穴が設けられ、該穴端面
には前記鈎部材38の挿入時の回り止めのための係止片
85が取り付けられている。前記筒状バー77内には2
個のメタル84が設けられ、また該メタル84に支承さ
れてロッド85が軸方向出入り自ノ在に設けられている
。該咄ンド85の一端には係合部材39が取り付けられ
、また他端にはカラー86が取り付けられ、該カラーと
前記プレート76との間には複数個の皿ばね87が挿入
されている。また前記ロッド85の後方には軸方向調整
自在にストッパ88が固定側に設けられている。従つて
前記引き出し装置は以上のように構成され次のように動
作する。即ちチャック交換のときには前記バー77は後
方に退避しているがこの場合前記プレート76はシリン
ダー74の動作により主軸後方へ移動している。前記プ
レート76とバー77とは一体となつているのでバー7
7は所定位置へ後退する。この動作に際し前記ロッド8
5はストッパ88に当接するので軸方向の後退勤作は停
止するが前記バー77はプレート76とともに前記皿ば
ね87の復元力に打勝つてなおも後退し前記鈎部材39
からブラケット82が離れチャックが回動可能な状態の
位置で位置決めされる。チャックが引き出し装置15の
ブラケット82の位置に割り出し係合位置決めされると
次にこの引き出し装置15は前記シリンダー74の動作
でチャックを保持して工作物の着脱位置まて前方(左方
向)へ引き出す。この動作は先ずプレート76の前進に
伴い前記皿ばね87により前記ロッド85はプレート7
6に対して外側へ付勢されているので、従つて前記バー
77が前進するに伴い先ずブラケット82はチャック鈎
部材39と係合する。該鈎部材39とブラケット82が
係合保持され且つ回り止めされて尚も前進動作を続け所
定の位置に位置決めされる。工作物の着脱動作が完了す
ると前記パー77は前述とは逆の動作を行いチャック交
換の際には第6図の状態を維持する。次にチャック交換
装置の回動装置について説明する。
前記回動軸73はボックス10に回転自在に支承されて
おり中央部はスプライン73″とな.つている。前記回
動軸73の作業領域側には面板12が固着されている。
おり中央部はスプライン73″とな.つている。前記回
動軸73の作業領域側には面板12が固着されている。
該面板12は4個所の把持穴37を有しており前述の如
くチャックが出入りするようになつている。また回動軸
73のスプライン部.−73″にはスリーブ状のピニオ
ンギヤ80が軸方向移動自在に嵌入されている。該ピニ
オンギヤ80はラック89と噛合関係にあり、前記シフ
ターフォーク79の動作により噛み合いの着脱を行う。
この噛み合い動作は次のように行われる。第・6図の如
く噛み合つている状態から前記ピニオン80をラック8
9から離す場合は前記シリンダー74の動作でプレート
76が前進し前記シフターロッド78の段付部7『に当
接するまではプレート76のみが前進する。続いて段付
部7『にプレート76が当接した状態を維持し一体とな
つてシフターロッド78も前進しチャックが工作物の着
脱設定位置に位置決めされたときは前記ピニオンギヤ8
0は前記ラック89との噛み合いが外れていることにな
る。チャックの前進のストロークとピニオンギヤ80の
噛合離脱のストロークを変えた構成とし各々必要なスト
ロークに限定している。
くチャックが出入りするようになつている。また回動軸
73のスプライン部.−73″にはスリーブ状のピニオ
ンギヤ80が軸方向移動自在に嵌入されている。該ピニ
オンギヤ80はラック89と噛合関係にあり、前記シフ
ターフォーク79の動作により噛み合いの着脱を行う。
この噛み合い動作は次のように行われる。第・6図の如
く噛み合つている状態から前記ピニオン80をラック8
9から離す場合は前記シリンダー74の動作でプレート
76が前進し前記シフターロッド78の段付部7『に当
接するまではプレート76のみが前進する。続いて段付
部7『にプレート76が当接した状態を維持し一体とな
つてシフターロッド78も前進しチャックが工作物の着
脱設定位置に位置決めされたときは前記ピニオンギヤ8
0は前記ラック89との噛み合いが外れていることにな
る。チャックの前進のストロークとピニオンギヤ80の
噛合離脱のストロークを変えた構成とし各々必要なスト
ロークに限定している。
ラック89の構成および動作は次のようになつている。
シリンダー90内に嵌挿されたピストン91は挾持体9
2の両端に設けられ、該挾持体92の中央部は前記ラッ
ク89を構成しさらに段差部92A,92Bを設けてい
る。また前記シリンダ90の一端にはカバー93が取り
付けられ、該カバー93にストッパ94が調整自在に取
り付けられ前記挾持体92の突出部92Cと当接するよ
うになつている。一方前記段差部92A,92Bと係合
離脱可能に係止体95が前記シリンダ90の側壁に取り
付けられている。第7図の状態は前記引き出し装置15
が工作物の着脱動作をしている間にラック89が前記ピ
ニオンギヤ80と噛み合いがはずれチャック交換装置が
90度割り出し可能な位置に戻つている状態を示してい
る。従つて前記シリンダー74が再ひ動作し前記引き出
し装置15が引き込みチャックが面板12の穴37に嵌
入すると、前記ピニオンギヤ80も前記シフター,フォ
ーク81によりラック89と再び噛み合い、次に交換装
置を90度割り出す場合は油室96に圧油を送油するこ
とによりラック89を右方向へ前記挟持体92の突出部
92Cがストッパ94に当接するまで移動させる。また
ラック89を戻すときはピニオンギヤ80がラック89
と噛み合いがはずれたときに油室97に圧油を送油し係
合体95に前記段差部92Aが当接するまてラック89
を移動させる。チャック交換装置の回動動作は以上のよ
うにして繰り返し行えばよい。また180度の割り出し
動作を行う場合には前記係合体95を引き込ませ段差部
92Bと当接するようにすればよい。また各動作の位置
決め確認は図示していないがリミットスイッチ等が配置
され信号の受け渡しを行つている。
2の両端に設けられ、該挾持体92の中央部は前記ラッ
ク89を構成しさらに段差部92A,92Bを設けてい
る。また前記シリンダ90の一端にはカバー93が取り
付けられ、該カバー93にストッパ94が調整自在に取
り付けられ前記挾持体92の突出部92Cと当接するよ
うになつている。一方前記段差部92A,92Bと係合
離脱可能に係止体95が前記シリンダ90の側壁に取り
付けられている。第7図の状態は前記引き出し装置15
が工作物の着脱動作をしている間にラック89が前記ピ
ニオンギヤ80と噛み合いがはずれチャック交換装置が
90度割り出し可能な位置に戻つている状態を示してい
る。従つて前記シリンダー74が再ひ動作し前記引き出
し装置15が引き込みチャックが面板12の穴37に嵌
入すると、前記ピニオンギヤ80も前記シフター,フォ
ーク81によりラック89と再び噛み合い、次に交換装
置を90度割り出す場合は油室96に圧油を送油するこ
とによりラック89を右方向へ前記挟持体92の突出部
92Cがストッパ94に当接するまで移動させる。また
ラック89を戻すときはピニオンギヤ80がラック89
と噛み合いがはずれたときに油室97に圧油を送油し係
合体95に前記段差部92Aが当接するまてラック89
を移動させる。チャック交換装置の回動動作は以上のよ
うにして繰り返し行えばよい。また180度の割り出し
動作を行う場合には前記係合体95を引き込ませ段差部
92Bと当接するようにすればよい。また各動作の位置
決め確認は図示していないがリミットスイッチ等が配置
され信号の受け渡しを行つている。
本願発明を適用した工作機械は以上のように構成され、
該工作機械に本発明を利用することにより段取り時間を
短縮てきる上、工作物の着脱動作が容易にできる構成と
なり特に直接手作業で行う楊合にはチャックが作業者側
へより近寄る構成であるので疲労も軽減されまた安全面
でも効果のある構成となつた。
該工作機械に本発明を利用することにより段取り時間を
短縮てきる上、工作物の着脱動作が容易にできる構成と
なり特に直接手作業で行う楊合にはチャックが作業者側
へより近寄る構成であるので疲労も軽減されまた安全面
でも効果のある構成となつた。
またオートローダによる工作物の着脱動作も本発明の引
き出し装置の動作を利用することにより簡素な構造にす
ることが可能である。以上述べた如く、本発明は実施例
に示された構成に限定されるものではな特許請求の範囲
に記載された本発明の技術思想を逸脱しない範囲内での
変更は予期されるところである。
き出し装置の動作を利用することにより簡素な構造にす
ることが可能である。以上述べた如く、本発明は実施例
に示された構成に限定されるものではな特許請求の範囲
に記載された本発明の技術思想を逸脱しない範囲内での
変更は予期されるところである。
第1図は本発明を適用した工作機械の全体構成を示した
正面図、第2図は同じく全体構成を示した側面図、第3
図は本発明を適用した工作機械の主軸構成図、第4図は
第3図に対してチャックが移動したところを示した主軸
構成の部分図、第5図は主軸と引き出し装置の関係を示
した部分図、第6図は引き出し装置を示した断面図、第
7図は本発明を適用した工作機械のチャック回動駆動装
置を示した断面図。 図において、1・・・・・・ベッド、2・・・・・・ヘ
ッドストック、3,4・・・・・・主軸、11・・・・
・・自動チャック交換装置、13・・・・・・チャック
、15・・・・・・チャック引き出!装置、20,2『
・・サドル、21,21″・・・・・・クロススライ
ド、24,24″ ・・刃物台、34,35・・・・・
・継手、76・・・・・・プレート、77・・・・・・
バー、85・・・・・・ロッド、88・・・・ストツノ
ぐ。
正面図、第2図は同じく全体構成を示した側面図、第3
図は本発明を適用した工作機械の主軸構成図、第4図は
第3図に対してチャックが移動したところを示した主軸
構成の部分図、第5図は主軸と引き出し装置の関係を示
した部分図、第6図は引き出し装置を示した断面図、第
7図は本発明を適用した工作機械のチャック回動駆動装
置を示した断面図。 図において、1・・・・・・ベッド、2・・・・・・ヘ
ッドストック、3,4・・・・・・主軸、11・・・・
・・自動チャック交換装置、13・・・・・・チャック
、15・・・・・・チャック引き出!装置、20,2『
・・サドル、21,21″・・・・・・クロススライ
ド、24,24″ ・・刃物台、34,35・・・・・
・継手、76・・・・・・プレート、77・・・・・・
バー、85・・・・・・ロッド、88・・・・ストツノ
ぐ。
Claims (1)
- 1 主軸に取り付けられたチャックを他のチャックと交
換するためチャック外周を保持し旋回割出し可能な面板
を有する工作機械において、前記面板を旋回割出し自在
に保持する基台と、該基台内で前記旋回軸を中心とした
主軸と対象の位置に主軸軸線と平行に摺動自在に設けら
れた移動体と、該移動体の一端にチャックと軸方向に係
合すべく設けられた受体と、前記基台に設けられた前記
移動体を主軸軸線方向へ移動させる駆動装置と、該駆動
装置と前記移動体とを連結する連結部材と、前記移動体
内にあつて軸方向移動可能な軸桿と、該軸桿上に設けら
れ前記移動体と相対して前記軸桿を軸方向へ付勢してな
るばね材と、前記軸桿の軸線方向に沿つて外部の固定位
置に設けられ前記軸桿の軸線方向の動きを規制する制止
体と、前記チャックの交換動作により位置決めされたチ
ャックと係合離脱すべく前記軸桿の一端に固定された係
合片とからなり前記係合片にチャックが係合したときチ
ャックを主軸軸線と平行な方向に引き出すことを特徴と
する工作機械のチャック引き出し装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5401880A JPS6059087B2 (ja) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | 工作機械のチヤツク引き出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5401880A JPS6059087B2 (ja) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | 工作機械のチヤツク引き出し装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS56152504A JPS56152504A (en) | 1981-11-26 |
JPS6059087B2 true JPS6059087B2 (ja) | 1985-12-23 |
Family
ID=12958836
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5401880A Expired JPS6059087B2 (ja) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | 工作機械のチヤツク引き出し装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6059087B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210143111A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 액 처리 장치 및 기판 액 처리 방법 |
-
1980
- 1980-04-23 JP JP5401880A patent/JPS6059087B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210143111A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 액 처리 장치 및 기판 액 처리 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS56152504A (en) | 1981-11-26 |
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