JPS605883A - 被覆炭化物合金製切削工具植刃 - Google Patents

被覆炭化物合金製切削工具植刃

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JPS605883A JP59086080A JP8608084A JPS605883A JP S605883 A JPS605883 A JP S605883A JP 59086080 A JP59086080 A JP 59086080A JP 8608084 A JP8608084 A JP 8608084A JP S605883 A JPS605883 A JP S605883A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は改良された被覆炭化物合金製切削工具植刃に関
するもので、更に詳しく言えば、具体およびその上に配
置された3層の被膜から成る植刃に関する。基体上の内
層および外層は窒化物材料から成っている。中間層は融
資の耐摩耗性炭化物材料から成り、そして内層はコバル
ト焼結炭化物製具体中のコバルト濃縮領域と強力して他
の2種を一層効果的に指示する。
発明の分野 被覆焼結炭化物合金製植刃は、数多くの金属切削用途に
おいて多年にわたり効果的に使用されてきた。基本的に
見れば、かかる植刃は化学的蒸着法(CVD法)により
焼結炭化タングステン(WC)合金のごとき硬質金属材
料製の基本表面上にたとえば炭化チタン(TiC)のご
とき硬質の耐度耗性材料の薄層または被膜を設置して成
る複合材料である。場合によっては、TiC層と共に、
たとえば窒化チタン(TiN)のごとき各種材料の下層
および窒化チタンや酸化アルミニウム(Al2O3)な
どの上層が基体上に設置される。このような多層被膜を
具備した植刃は広範囲の全屈切削用途において使用され
ているのであつて、個々の金属切削用途に適合するよう
に各種の層および材料を選択することができる。
先行技術の説明 被覆焼結炭化物合金製工具および植刃の製造に際しては
、幾つかの化学的および物理的要求条件が存在する。使
用する被膜は、様々な金属切削および耐摩耗用途におい
て化学的に安定であると同時に物理的な耐摩耗性を有し
ていなければならない。また、かかる被膜は容易に剥げ
落ちたり割れたりしてはならず、しかも植刃の基体に強
固に接合されかつそれによって指示されなければならな
いから、被膜の組成および厚さは極めて重量である。当
業界においては、炭化チタン(TiC)層、窒化チタン
(TiN)層、炭窒化ブタン(TiCN)層および酸化
アルミニウム(Al2O3)層を様々な順序で組合わせ
た多数の構造物が知られている。
とは言え、主たる耐摩耗層としくは炭化チタン(TiC
)が有力であると認められるに至った。それ故、様々な
方法により各種の基本体に炭化チタン層を設置して硬質
の耐摩耗面を形成することが試みられてきた。
2種以上の相異なる層が存在する場合、構造的な見地か
ら考えると、第1の層を構成する材料の種類および第1
の層と焼結炭化物合金製基体との支持関係が極めて重要
である。また、最も重要な層はTiC層であるから、そ
れと焼結炭化動金製具体との関係も肝要である。このよ
うな理由から、TiC層は焼結炭化物合金製基体に隣接
する薄層として設置されるのが通例である。特に、Ti
Cを含有する基体を使用すれば、両方の炭化物同士の親
和性が多少とも利用されることになる。主たる硬質耐摩
耗性としてTiC層が優れていることが認められたため
、一層厚いTiC層を形成したり、またTiC層の効果
を助長するその他の材料の追加層を形成したりするため
の方法や手段にも幾分かの注意が払われた。しかしなが
ら、複数の層や厚い層を使用した結果は構造弱体化させ
ることになるのが普通である。
焼結炭化物合金製基体上に硬質の耐摩耗性外層を適切に
支持すること並びに複数の層や厚い層を効果的に支持す
ることに関する最近の改良点としては、各隣接層からの
成分を含有した遷移領域を成す接合部を形成して層間の
冶金的な段階移行に実現することが挙げられる。コバル
ト焼結炭化物合金製基体の場合、このような段階移行は
炭化物合金製具体の他の部分よりも高い平均濃度でコバ
ルトを含有する表面のコバルト濃縮領域によって実現さ
れる。かかるコバルト濃縮領域を使用すれば、改善され
た強度および接合特性を与えるばかりでなく、TiC以
外の材料から成る第1の層を併用してその他の層の密着
性を向上させるためにも役立つことが判明しくいる。
発明の概要 本発明の好適な実施の態様に従えば、コバルト焼結炭化
物合金製基体中の脱炭されたコバルト濃縮領域上に配置
された第1の薄いTiN層を使用する改良された高強度
の植刃が提供される。このような構成によれば、TiC
中間層およびTiNまたはAl2O3外層を含みかつT
iC中間が増大した厚さを有するような多層被膜も一層
効果的に支持される。
添加の図面を参照しながら以下の説明を考察すれば本発
明は一層良く理解されよう。
発明の説明 コバルト濃縮および脱炭を施したコバルト焼結炭化タン
グステン合金の表面上にTiN、TiCおよびTiNま
たはAl2O3から成る少なくとも3層の被脱を設置し
て成るTiCおよびTiN被覆炭化物合金製植刃は、比
較金属切削試験において驚くべき改善を示した。
第1図に示されるような本発明の好適な実施の態様にお
いては、切削工具植刃の改善に寄与する3つの相互に関
連した重要な因子が存在する。一例について述べれば、
本発明の植刃は(a)焼結炭化物合金製基体の脱炭され
たコバルト濃縮領域11、(b)薄いTiN下層12並
びに(c)厚いTiC層13および薄いTiN層14を
含んでいて、それによりTiN、TiCおよびTiNか
ら成る3層被膜が形成されている。TiC層の厚さは6
.0〜12.0μの範囲内にあるのに対し、TiN下層
の厚いは0.10〜3.0μである。外側のTiN層は
Al2O3層で置き換ええることができ、更にそのAl
2O3層をTiN層で被覆することもできる。
本発明の焼結炭化物合金製基体としては、様々へ組成を
持った多数の焼結炭化物合金製基体が使用できるが、好
ましくは2〜5(重量)%のTiC、5〜10(重量)
%のTaC、5〜10(重量)%のCoおよび残部のW
Cから成るコバルト焼結炭化タングステン合金製基体が
使用される。かかる基体を製造するには、粉末を混合し
、圧縮成形し、次いでコバルト相の融点より高い温度で
焼結することから成る通常の粉末冶金技術を使用すれば
よい。
本発明の基体は、それの外面または外面に隣接した部位
にコバルト濃縮領域を有している。従来のコバルト濃縮
の実例は、いずれも本発明の場合と同じ譲受人に譲渡さ
れたゲッツェル(Goctzel)の米国特許第459
,286号明細書中に見出される。一例について述べれ
ば、コバルト焼結炭化物合金製植刃を基体中のコバルト
の融点より高い温度に暴露することにより、コバルトが
表面領域に移行または拡散するのである。こうして表面
に得られたコバルト濃縮領域は、本発明の植刃の構造的
結合性をもたらす重要な因子の1つである。かかるコバ
ルト濃縮領域は、基体とそれに隣接する鉄膜との界面の
硬度特性を変化させると共に、一層強靱な表面を与える
切削工具業界においてはまた、高温拡散あるいは高温融
解移動によってコバルトを表面に移行させる工程を含む
その他各種の方法によってもコバルト濃縮領域が得られ
ることが知られている。とは言え、かかるコバルト濃縮
領域の全てが切削工具植刃に対し同じ最終結果を付与す
るわけではない。コバルト濃縮の種類および隣接する表
面の種類が極めて重要である。たとえば、被膜と直接に
統合すべき基体の最外面の全域にわたってコバルト層が
存在することは望ましくない。かかるコバルト層は形成
させないようにするか、あるいは被膜を設置する前に取
除くようにすべきである。更にまた、本発明の目的にと
っては、コバルト濃縮領域中のコバルト含量は基体中の
平均コバルト含量の少なくとも約2倍でなければならな
い。好適な実例としては、深さ20μで2〜3倍の濃縮
度を有するようなコバルト濃縮領域が挙げられる。なお
、コバルト濃縮領域全体の深さは50〜75μにまで達
していてもよい。
コバルト濃縮領域を形成する方法の1として、圧縮成形
および焼結に先立って元来の焼結炭化物合金粉末混合物
中にある種の化合物を添加する方法がある。かかる化合
物とは、反応の結果としく、炭化タングステン(WC)
およびコバルト(Co)から成る表面領域並びにWCお
よびCoに加えて第(C、N)を含有しかつ面心立方晶
系の結晶構造を通例有する硬質のB−1形固溶体相とし
て定義される部分を含有する硬質の内部領域を形成する
ようなものである。この点に関しては、トピオカの米国
特許第4150195および4277283号明細書を
参照していた。たとえば、焼結炭化物合金組成中のTi
Cが固溶体としてのTiCNで置換される。かかる材料
を真空中で焼結すれば、いわゆる立方晶系のB−1相が
欠如し、その結果としてコバルトおよび炭化タングステ
ンの濃縮された表面領域が得られるのである。その順序
は、TiCNを含有するB−1形固溶体相が真空中で分
解されてチタンを生成し、そして液体コバルト中に可溶
のチタンが基体の内部へ輸送されることになると信じら
れる。
上記のヨーへの米国特許出願に基づく改良法に従えば、
植刃を製造するための焼結操作中に窒素で処理すること
により、その中に含有される(W、Ti)Cが窒化され
る。焼結リイクル中の加熱工程、特に約20〜約180
分間にわたって約1200〜1300℃の温度に保持す
る工程に際し、焼結炉内に窒素ガスが導入される。ある
いはまたは、最初に1200〜1300℃に保持した後
、窒素中においてそれより高い温度に保持してもよい。
このような焼結サイクルにおいて、窒素導入後に植刃を
真空条件に暴露することによって窒素の核酸が促進され
る。このようにして生じた窒素勾配によってコバルト濃
縮領域が規定されるのである。この場合、窒素圧、保持
温度および保持時間の諸条件を変えれば、B−1相欠乏
の深さ並びにコバルト濃縮の程度および深さが変化する
。下記の実施例によれば、(公称コバルト濃度6%の組
成物中において)約15%のコバルト富化を有する深さ
40μまでのコバルト濃縮領域が形成された。なお、コ
バルト濃縮領域とは値刃中の他の部分における平均量よ
り15%以上多い量のコバルトを含有する領域として定
義される。次の参考例1はヨーへの方法の代表的な実施
例を引用したものである。
参考例1 83.0(重量)%のWC、6(重量)%のTaC、6
(重量)%のCoおよび5.0(重量)%の(W0.5
Ti0.5)Cから成る粉末圧縮体を真空結晶炉内の炭
素被覆黒鉛棚上に配置した。かかる圧縮体を情報に従い
加熱してワックスを除去し、次いで1260℃まで昇温
した。それを1260℃に保持しながら、窒素ガスを3
リットル/分の速度で600Torrに達するまで導入
した。かかる処理を45分間にわたって行った後、窒素
ガスを排出し、それから炉内温度を1445℃に上昇さ
せて100分間にわたる焼結を行なった。その際には、
窒素を核酸させると同時にコバルトの損失を制御するた
め、2Torrの圧力を有するアルゴンを導入した。こ
うして得られた植刃を自然な冷却速度(20〜30℃/
分)で放冷した。”第1図”の顕微鏡写真を見れば、深
さ30μのB−1相の欠如およびコバルト濃度の増大を
示す表面領域が得られたことがわかる。”第2図”には
また、走査電子顕微鏡内におりるエネルギー分散X線分
析によって測定されたコバルトおよびチタン含量を表面
からの深さに対してプロットしたグラフが示されている
。コバルトはチタン(B−1相)が欠如した領域内にお
いて10%のピーク濃度にまで濃縮されている。
ヨーへの方法の利点は、B−1相欠如およびコバルトへ
濃縮度を独立に制御しながら焼結固定のみによってコバ
ルト濃縮領域が得られることにある。
また、かかる窒素処理法によれば、被膜の密着性を妨げ
る純粋なコバルト表面層の形成を防止することがでさや
。すなわら、植刃の外面におけるコパルトは切れ目がな
いという意味での連続した状態ではなく全域にわたって
不連続な状態を示す。
外面に沿ってのコバルトの分散状態は外面の直下におけ
るコバルトの分散状態と同様である。外面は従来の焼結
技術によって得られたものと同様に一様かつ平滑であっ
て、現行の焼結操作にそのまま適合し得る。
コバルト濃縮領域とTiN層との併用により、ある種の
多層被膜の使用が容易となる。かかる多層被膜を具備し
た植刃としては、1つ以上のTiC層および1つ以上の
TiNまたはAl2O3層を様々な相合せ状態または段
階移行状態で基体上に配置したものが挙げられる。本発
明の改良された植刃の一例は、第1図に示されるごとく
、基体のコバルト濃縮領域をTiN層で被膜し、次にT
iC層で被覆し、そして最後にTiN層または酸化アル
ミニウム(Al2O3)層で被覆したようなものである
ここで第1図を見ながら説明すれば、焼結炭化タングス
テン合金から通例成る植刃10は、上記方法のいずれか
によって形成することのできるコバルト濃縮領域11を
含んでいる。このコバルト濃縮領域11に隣接して厚さ
約0.1〜3.0μの薄いTiN下層12が配置され、
その上にTiC層が配置され、次いでその上にTiNま
たはAl2O3層14は配置されている。TiC層13
は上記の方法に従ってTiN層上に直接に設置される。
かかる構成の場合、最も重要な層はTiC層13である
。すなわち、関連する作用の大部分を実行する層はTi
C層13なのである。
それは最も硬質の耐摩耗層であって、切削工具耐刃業界
においては不可欠の層であることが知られている。それ
故、TiC層13は基体に対して良好な構造的な結合性
を有すると同時にできるだけ厚いものであることが望ま
しいのである。
本発明の植刃においては、コバルト濃縮領域および当業
界において公知のCVD法によりその上に設置された薄
いTiN下層を併用することによって構造上の顕著な改
善が達成される。TiN下層は2つの主な目的のために
役立つ。すなわら、それはコバルト濃縮領域とTiC層
との間の相互連結媒体として役立つと共に、基体中に存
在する各種物質の拡散に対する遮断層としても動く。コ
バルト濃縮領域上にTiC層を直接に設置すると、工程
の時間および温度特性に応じた程度にまでコバルト濃縮
領域の合金化が起こる。かかる合金化が起こると、切刃
に対するそれの靭性付与能力が低下してしまう。TiN
層はこのような合金化を防止するための遮断層として役
立つのである。コバルト濃縮領域とTiN下層との間に
は良好な構造的結合性が存在するため、遥かに厚いTi
C層を使用することができる。本発明におけるTiN下
層の使用はまた、コバルト濃縮領域の組成および厚さの
最適化を助けることにより、切刃の靭性と変形とのバラ
ンスをもたらすと共に本発明の植刃の有用性の範囲を広
げるものと信じられる。TiN層上には段階移行のため
の盾を必要とすることなり、厚さ10〜15μものTi
C層をCVD法によって設置することができる。たとえ
ば、純粋なTiN層から出光した場合でも、工程を突然
に変更してTiC層を設置し、次いで工程を突然に変更
して薄いTiN層を設置すればよいのである。なお、本
発明の実施に際しては、被膜中のTiN、TiCおよび
TiN層の各々を独立した層として設置することが好ま
しい。
金色のTiN外層14は識別手段としても利用できるし
、また美的な外観をも有するが、それは実利的な目的に
も役立つのである。すなわち、TiN外層はクレータ形
成に抵抗する耐摩耗性を有することが証明できるが、こ
の点に関してはキーファー(Kieffer)の米国特
許第3717496号明細書を参照されたい。それはま
た、TiC層よりもやや良好な滑性を有する。本発明に
おいては、TiC層がTiN外層およびTiN下層によ
ってはさまれていることによって二段構えの滑性が得ら
れる。すなわち、最初はTiC層に対して滑性が付与さ
れ、次いでそれが摩滅した後にはWC基体に対して滑性
が付与されることになる。なお、金色を呈するある種の
金属材料(例えばZnやHin)またはかかる金属の炭
窒化物も使用することができる。
上記の層を蒸着するための方法は当業界において公知で
ある。ヘイル(Hale)の米国特許第4268569
号明細書中には、基体上にTiNおよびTiCを蒸着す
るための方法が開示されている。かかる方法に従って例
示すれば、約1100℃の温度および約1気圧の圧力を
有する炉内に焼結炭化物合金製基体を配置し、そして5
0%のN2、3.5%のTiCl4および残部のH2か
ら成る流動雰囲気に暴露することによってTiN層が形
成される。次いで、約1100℃の温度および約1気圧
の圧力を保持しながら、5%のCH4および3.5%の
TiCl4を含有する流動水素雰囲気に基体を約10分
間にわたり暴露することによってTiC層が形成される
蒸着によってTiN層を設置する工程に際しては、当業
界において公知のごとく基体を清浄な状態に保つことが
望ましい。すなわら、水素ガス流中において基体を約1
000〜1050℃の高温に保持することによって先ず
最初にその表面を脱炭することが好ましいのである。上
記の水素ガス流には約2m〜5%のTiCl4を随意に
添加することができるが、その場合でも基体上には厚さ
約0.1〜1.0μの極めて薄い層が形成されるに過ぎ
ない。かかる層は現在のところではTiC、TiNおよ
びTiCN中の少なくとも1種を含有する物質層である
と信じられていて、TiN下層に対し一層良好な結合性
を付与するものと考えられる。
本発明の場合と同じ譲受人に譲渡された同時係属中のヘ
イル(Hale)の米国特許出願第331367号明細
書中には、TiC表面上にAl2O3を蒸着するための
新規な方法が開示されている。ここでは、ヘイルの特許
出願明細書中の実施例1を参考例2として下記に示すこ
ととする。
参考例2 85.5%のWC、6%のTaC、2.5%のTiCお
よび6%のCoから成りかつ厚さ5μのTiCで被覆さ
れた市販の焼結炭化物白金製切削工具植刃に対し、10
50℃の温度および1気圧の圧力を有する炉内において
下記の操作を施した。
1、約2%のTiCl4を含有する水素雰囲気中に2分
間保持した。
2、NbCl5気化器を8分で225°Fに昇温し、3
分間保持し、次いで15分間放冷した。
3、3.5%のCO2を含有する水糸雰囲気中に1分間
保持して表面を酸化した。
4、5%のAlCl3を含有する水素雰囲気中に10分
間保持した。
5、5%のAlCl3および7%のCO2を含有する水
素雰囲気中に60分間間保持した。
このような処理の結果、厚さ約0.2μの接着層を介し
てTiC被覆焼結炭化物合金製基体に強固に結合した厚
さ3〜4μのAl2O3層が得られた。
かかるAl2O3層はTiC層の代わりとしく役立つも
のではない。これは、TiC層の耐摩耗性を向上させか
つ支援する被膜である。本発明の実施によってもたらさ
れる構造的結合性の改善は、追加層のより効果的な使用
を可能にする。すなわら、上記のAl2O3層上にTi
Nの外層を設置することにより、構造の弱体化をもたら
すことなしにTiNの通常の利点を得ることができるの
である。
次の実施例1は本発明の実施を典型的に例示するもので
ある。
実施例1 好適なものとして上記に記載した組成を有しかつ約20
μの深さにおいて10〜20(重量)%の金属コバルト
を含有するコバルト濃縮領域を持つ焼結炭化タングステ
ン合金性植刃を、炉内において流動水素ガスの存在下で
役1.5時間にわたり約950℃の高温に暴露すること
によって脱炭した。その後、約950℃の炉内温度の下
で、約50%のN2約3%のTiCl4および残部のH
2から成る流動雰囲気に植刃を暴露した。約15分後、
植刃上には金色の薄くて強靭なTiN層が形成された。
かかるTiN層の厚さは約0.5〜2μであった。次い
で、約1030℃に昇温後、約5%のCH4および約3
%のTiCl4を含有する水素雰囲気に切換えた。約3
.5時間後、TiN層上には厚さ約8〜10μの強靱な
TiC層が形成された。温度を約950℃に低下させた
後、約50%のN2、約3%のTiCl4および残部H
2から成る雰囲気を約15分間にわたって使用したとこ
ろ、TiC層上に金色のTiN層が得られた。なお、上
記置囲気の組成は容量百分率で表わされている。
上記実施例の方法に従って多数の商業用植刃を製造した
が、それらは多くの金属切削用途において効果的に使用
された。しかしながら、被覆植刃業界のこの分野におけ
る比較試験結果の多くは実験誤差の値に近いものであっ
た。それよりも良いのは寿命試験(すなわち、長期間に
わたる運転試験)であって、それによれば一貫して良好
な結果が認められた。たとえば、厚さ約7μのTiC層
を有する本発明の商業用植刃を大規模に生産し、そして
従来の植刃と比較しながら使用した。従来の植刃とは、
上記の値より小さい厚さのTiC層を有しかつ一般に顕
署なTiCN遷移領域を層間に含むようなものであった
。6ケ月間にわたる125の報告例について見れば、切
削すべき材料並びに速度および送り条件に関りる比較評
価に結果は、厚いTiC層およびTiN下層を有する本
発明の植刃の方が2:1の比率で優れていた。このよう
な評価は、主として鋳鉄や合金鋼のごとき材料に関して
300〜700sfpmの範囲内で行われた。
コバルト濃縮領域は従来公知の様々な方法によって形成
することができるが、水明細書中に記載されたものと少
なくとも同等なコバルト濃縮領域を使用し、次いでそれ
に隣接してTiN遷移層を設置することが好ましい。こ
のような構成によれば第2図に示されるごとく多層被膜
が効果的に支持されるのである。
すなわら、第2図は本発明の植刃の部分断面を示す顧微
鏡写真であって、上から下へ向かって淡色の薄いTiN
層14、灰色の比較的厚いTiC層13、淡灰色のTi
N層12およびコバルト濃縮領域11が認められる。コ
バルト濃縮領域は、一般的に言って、暗灰色および中間
灰色の塊状粒子並びに淡灰色のコバルト部分15を含有
するような印象を与える。
なお、コバルト部分15はTiN層12に隣接した部位
において一層濃縮されている。
以上、特定の実施の態様に関連して本発明を記載したが
、上記の説明に基づけば数多くの変更態様が可能である
ことが当業者にとって自明であろう。たとえば、本発明
はその他の炭化物や結合金属およびその他の金属製基体
に対しても適用することができる。それ故、前記特許請
求の範囲によって定義された本発明の範囲内に含まれる
限り、上記特定の実施の態様に様々な変形を加え得るこ
とは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施の一態様に基づく植刃の概略断面
図、そして第2図はコバルト濃縮領域内におけるコバル
ト分布を示す植刃の顕微鏡写真である。 図中、10は植刃、11はコバルト濃縮領域、12はT
iN下層、13はTiC層、そして14はTiNまたは
Al2O3層を表わす。 FIG、1 10゜ FIG、2 500x

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、耐摩耗性表面として役立つ少なくとも1つの表面を
    有するコバルト焼結炭化物合金製植刃において、前記耐
    摩耗性表面が(a)0〜75μの深さにまで達しかつ本
    質的に金属状態のコバルトを基体中の平均量の少なくと
    も約2倍に等しい量で含有するコバルト濃縮領域および
    (b)前記コバルト濃縮領域の外面上に配置された第1
    の薄いTiN層を含み、かつ前記コバルト濃縮領域の外
    面におけるコバルトは前記外面の直下におけるコバルト
    の分散状態と同様な分散状態を有することによって不連
    続な状態にあることを特徴とする植刃。 2、前記コバルト濃縮領域がTiN層約20μの深さに
    おいて約10〜20(重量)%の金属コバルトを含有す
    る特許請求の範囲第1項記載の植刃。 3、前記TiN層上にTiC層が配置されている特許請
    求の範囲第1項記載の植刃。 4、前記コバルト濃縮領域上にTiN層が配置されてい
    る特許請求の範囲第2項記載の植刃。 5、前記TiC層上にTiN層が配置されている特許請
    求の範囲第3項記載の植刃。 6、前記TiC層上にTiN層が配置されくいる特許請
    求の範囲第4項記載の植刃。 7、前記TiC層上にAl2O3層が配置されている特
    許請求の範囲第3項記載の植刃。 8、前記TiC層上にAl2O3層が配置されている特
    許請求の範囲第4項記載の植刃。 9、前記TiCの厚さが6.0〜12.0μの範囲内に
    ある特許請求の範囲第3項記載の植刃。 10、前記第1のTiN層の厚さが0.1〜3.0μの
    範囲内にある特許請求の範囲第3項記載の植刃。 11、耐摩耗性表面として役立つ少なくとも1つの表面
    を有するコバルト焼結炭化物合金製植刃にあいて、前記
    耐摩耗性表面が(a)0〜75μの深さにまで達しかつ
    本質的に金属状態のコバルトを基本中の平均量の少なく
    とも約2倍に等しい量で含量するコバルト濃縮領域、(
    b)前記コバルト濃縮領域上に位置しかつTi、TiC
    およびTiCNの混合物から成る脱炭層並びに(c)前
    記脱炭層上に配置された第1の薄いTiN層を含む、か
    つ前記コバルト濃縮領域の外面上におけるコバルトは前
    記外面の直下におけるコバルトへ分散状態と同様な分散
    状態を有することによって不連続な状態にあることを特
    徴とする植刃。 12、(a)10〜75μの深さにまで達しかつ金属コ
    バルトを10〜20(重量)%の割合で含有するコバル
    ト濃縮領域を一表面に隣接して具備するコパルト焼結炭
    化物合金製期体を用意し、(b)前記表面をH2の存在
    下で高温に暴露して脱炭することにより脱炭層を形成し
    、(c)前記脱炭層上に厚さ約0.1〜3.0μの薄い
    TiN層を蒸着し、(d)前記TiN層上に厚さ約6.
    0〜12.0μの厚いTiC層を蒸着し、次いで(c)
    前記TiC層上に薄いTiN層を蒸着する諸工程から成
    ることを特徴とする被覆炭化物合金製切削工具植刃の製
    造方法。 13、前記工程(e)に代えて前記TiC層上にAl2
    O3層が蒸着される特許請求の範囲第12項記載の方法
    。 14、前記Al2O3層上に薄いTiN層が蒸着される
    特許請求の範囲第13項記載の方法。 15、(a)10〜75μの深さにまで達しかつ金属コ
    バルトを10〜20(重量)%の割合で含有するコバル
    ト濃縮領域を一表面に隣接しては具備するコバルト焼結
    炭化物合金製基体を用意し、(b)前記表面をH2およ
    びTiCl4の存在下でTiCN中の1て脱炭すること
    により、TiCおよびTiCN中の1者以上を含有する
    厚さ約0.1〜1.0μの極めて薄い脱炭層を形成し、
    (c)前記脱炭層上に厚さ約0.1〜3.0μの薄いT
    iN層を蒸着し、(d)前記TiN層上に厚さ約6.0
    〜12.0μの厚いTiC層を蒸着し、次いで(e)前
    記TiC層上に薄いTiN層を蒸着する諸工程から成る
    ことを特徴とする被覆炭化物合金製切削工具植刃の製造
    方法。
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