JPS6054150A - イオン源 - Google Patents

イオン源

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JPS6054150A
JPS6054150A JP58158951A JP15895183A JPS6054150A JP S6054150 A JPS6054150 A JP S6054150A JP 58158951 A JP58158951 A JP 58158951A JP 15895183 A JP15895183 A JP 15895183A JP S6054150 A JPS6054150 A JP S6054150A
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Kuniyuki Sakumichi
訓之 作道
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孝義 関
Toshio Suzuki
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J27/00—Ion beam tubes
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