JPS6053382A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS6053382A JPS6053382A JP58161333A JP16133383A JPS6053382A JP S6053382 A JPS6053382 A JP S6053382A JP 58161333 A JP58161333 A JP 58161333A JP 16133383 A JP16133383 A JP 16133383A JP S6053382 A JPS6053382 A JP S6053382A
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- Japan
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- vertical
- vertical transfer
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- horizontal
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/73—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using interline transfer [IT]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は固体撮像装置、特にインクライントランスファ
方式Ｃ０Ｄ（以下、ＩＬＴ−ＣＯＤと記す）同体撮像装
置に関し、電子スチルカメラへの応用に膳し／こもので
ある。
方式Ｃ０Ｄ（以下、ＩＬＴ−ＣＯＤと記す）同体撮像装
置に関し、電子スチルカメラへの応用に膳し／こもので
ある。
従来例の構成とその問題点
従来のＩＬＴ−ＣＣＤ固体撮像装置の代表的な構成例を
第１図に示す。第１図はその原理的な構成図である。図
において、１は半導体基体、２ａ。
第１図に示す。第１図はその原理的な構成図である。図
において、１は半導体基体、２ａ。
２ｂはこの共通の半導体ノ、（体１上にマ）＋７クス状
に配列された多数の受光部であり、１つの受光部が１つ
の絵素に対応しているっ３は水平走査方向における受光
部２ａ 、 ２ｂの数、即ち水平絵素数と同じ数だけ設
けられた垂直方向にのびる垂ｉｌ！＋： ｌｌＦ／−１
送レジスタ、４は出力端子側に蓄積電荷を転送させるた
めの水平転送レジスタである。
に配列された多数の受光部であり、１つの受光部が１つ
の絵素に対応しているっ３は水平走査方向における受光
部２ａ 、 ２ｂの数、即ち水平絵素数と同じ数だけ設
けられた垂直方向にのびる垂ｉｌ！＋： ｌｌＦ／−１
送レジスタ、４は出力端子側に蓄積電荷を転送させるた
めの水平転送レジスタである。
この固体撮像装置から撮像出力を得るには、まず各受光
部２ａ 、 ２ｂで蓄積された光情報に培づく電荷を一
旦、垂直ライン毎に、垂直転送レジスタ３に転送（パラ
レル転送）し、次いで各垂直転送レジスタ３により順次
垂直方向に転送すると共に、水平転送レジスフ４全通じ
てその蓄積電荷を１水平走査升１に読み出す。とのよう
に順次転送動作を行うことにより水Ｓ１′：転送レジス
タ４の出力端１子に目的の１最像出力が得られる。
部２ａ 、 ２ｂで蓄積された光情報に培づく電荷を一
旦、垂直ライン毎に、垂直転送レジスタ３に転送（パラ
レル転送）し、次いで各垂直転送レジスタ３により順次
垂直方向に転送すると共に、水平転送レジスフ４全通じ
てその蓄積電荷を１水平走査升１に読み出す。とのよう
に順次転送動作を行うことにより水Ｓ１′：転送レジス
タ４の出力端１子に目的の１最像出力が得られる。
インクレース走査方式の場合、奇数フィールドでは、奇
数水平絵素列の絵素２ａの電荷だけが垂直転送レジスタ
３に転送され、垂直転送レジスタ３及び水平転送レジス
タ４を介してフィールド画像として出力され、偶数フィ
ールドでは、残りの偶数水平絵素列の絵素２ｂの電荷が
垂直転送レジスタ３に１ｌ１７．に送され、垂直転送レ
ジスタ３及び水平＼ 転１．にレジスタ４を・介して残りのフィールド画像が
？ｊｊらハる。２つのフィールド画像で１つのフレート
画像が形成される。第１図の絵素部において実線で示し
／こ矢印が奇数フィールドでの転送を、破線で示しだ矢
印が偶数フィールドでの転送を表わしており、垂曲転送
レジスタ３及び水平転送レジスタ４内での転送は奇・偶
数フィールド共通で図示の矢印方向に転送される。
数水平絵素列の絵素２ａの電荷だけが垂直転送レジスタ
３に転送され、垂直転送レジスタ３及び水平転送レジス
タ４を介してフィールド画像として出力され、偶数フィ
ールドでは、残りの偶数水平絵素列の絵素２ｂの電荷が
垂直転送レジスタ３に１ｌ１７．に送され、垂直転送レ
ジスタ３及び水平＼ 転１．にレジスタ４を・介して残りのフィールド画像が
？ｊｊらハる。２つのフィールド画像で１つのフレート
画像が形成される。第１図の絵素部において実線で示し
／こ矢印が奇数フィールドでの転送を、破線で示しだ矢
印が偶数フィールドでの転送を表わしており、垂曲転送
レジスタ３及び水平転送レジスタ４内での転送は奇・偶
数フィールド共通で図示の矢印方向に転送される。
以上のような従来のＩＬＴ−ＬＣＣＤ撮像装置は一般的
なテレビカメラに応用するのには、原理的に優れた素子
であるが、電子スチルカメラで電子的／ヤノター動ｍ
Ｓ：さぜた時には、次に述べるように、フィールド画像
しか得られないという欠点かある。
なテレビカメラに応用するのには、原理的に優れた素子
であるが、電子スチルカメラで電子的／ヤノター動ｍ
Ｓ：さぜた時には、次に述べるように、フィールド画像
しか得られないという欠点かある。
第２図に原料」的な構成を示す電子スチルカメラでは、
レンズ５を通して入射する被写体像の、瞬間の状態にＺ
］応する電荷だけをシャッター装置６によって、撮像装
置７に蓄積さぜ、この電荷を読み出して記録装置８に記
録し、静止画の撮像・記録が行なわれる。
レンズ５を通して入射する被写体像の、瞬間の状態にＺ
］応する電荷だけをシャッター装置６によって、撮像装
置７に蓄積さぜ、この電荷を読み出して記録装置８に記
録し、静止画の撮像・記録が行なわれる。
このような電子スチルカメラに、前記した従来のＩＬＴ
−ＧＯＤ撮像装置を適用し、がっＩＬＴ−ＩｃＤ撮像装
置の受光部の電荷蓄積ｊυ］間を制御する事によってシ
ャッター機能を持たせた場合の動作は、通常時（被写体
非撮像時）にも、被写体からの入射光は撮像素子に照射
されているが、との光による電荷は例えば、特開昭５（
３−４４２７１号公報に示されるような方法によって、
受光部２ａ、２ｂ［は蓄積されずに常に除去されている
（除去モード）っそして被写体撮影時には、任意の露光
期間たけ受光部に照射された光に応じた電荷が蓄積され
（蓄積モード）、Ｌ・１イ光期間終了後にこの電荷が垂
直転送レジスタ３に］１ｖ、送さＪＬ、 １垂曲走査期
聞てすべての電荷が垂直転送レジスタ３及び水平転送レ
ジスタ４によって１匠送され映像出力が得られる。そし
て、受光部から垂直転送レジスタ３への電荷転送が終了
すると受光部に、除去モードに移行し、残留電荷及びそ
れ以降に発生する電荷はすべて除去されてし甘うっし／
こがって、受光部から垂直伝送レジスタ３への必要電荷
の転送ニｒ度しか行なわれず、この一度の転送で奇数水
′Ｓ１′絵素列の’＋ｌｆ荷と偶数水平絵素列の電荷を
同時に転送して垂直転送レジスタ内で混シ合わせてしま
うか、もしくは奇数あるいは偶数水平絵素列どちらか一
方の絵素列の電荷だけを転送して残シの画素列の電荷は
次に移行する除去モードで捨て去るか何れかの方法しか
取り得る事ができず、得られる画像としては１フイール
ドの画像だけとなってし寸う。まだ受光部の除去モード
への移行を、あと−垂直走査期間（１ｖ期間）だけ伸ば
して、最初の受光部２ａから垂直転送レジヌク４への電
荷転送で奇数水平絵素列の電荷を転送し、１ｖ期間でＲ
］数フィールド画像を得た後に、次の受光部２ｂから垂
直転送レジスタ４への電荷転送で偶数水平画素列の電荷
を転送し、偶数フィールド画像を得る方法も考えられる
が、この方法では、偶数フィールド画像の露光期間は奇
数フィールド画像の露光期間より１ｖ期間だけ長くなシ
、正確なフレーム画像を得る事はできない。
−ＧＯＤ撮像装置を適用し、がっＩＬＴ−ＩｃＤ撮像装
置の受光部の電荷蓄積ｊυ］間を制御する事によってシ
ャッター機能を持たせた場合の動作は、通常時（被写体
非撮像時）にも、被写体からの入射光は撮像素子に照射
されているが、との光による電荷は例えば、特開昭５（
３−４４２７１号公報に示されるような方法によって、
受光部２ａ、２ｂ［は蓄積されずに常に除去されている
（除去モード）っそして被写体撮影時には、任意の露光
期間たけ受光部に照射された光に応じた電荷が蓄積され
（蓄積モード）、Ｌ・１イ光期間終了後にこの電荷が垂
直転送レジスタ３に］１ｖ、送さＪＬ、 １垂曲走査期
聞てすべての電荷が垂直転送レジスタ３及び水平転送レ
ジスタ４によって１匠送され映像出力が得られる。そし
て、受光部から垂直転送レジスタ３への電荷転送が終了
すると受光部に、除去モードに移行し、残留電荷及びそ
れ以降に発生する電荷はすべて除去されてし甘うっし／
こがって、受光部から垂直伝送レジスタ３への必要電荷
の転送ニｒ度しか行なわれず、この一度の転送で奇数水
′Ｓ１′絵素列の’＋ｌｆ荷と偶数水平絵素列の電荷を
同時に転送して垂直転送レジスタ内で混シ合わせてしま
うか、もしくは奇数あるいは偶数水平絵素列どちらか一
方の絵素列の電荷だけを転送して残シの画素列の電荷は
次に移行する除去モードで捨て去るか何れかの方法しか
取り得る事ができず、得られる画像としては１フイール
ドの画像だけとなってし寸う。まだ受光部の除去モード
への移行を、あと−垂直走査期間（１ｖ期間）だけ伸ば
して、最初の受光部２ａから垂直転送レジヌク４への電
荷転送で奇数水平絵素列の電荷を転送し、１ｖ期間でＲ
］数フィールド画像を得た後に、次の受光部２ｂから垂
直転送レジスタ４への電荷転送で偶数水平画素列の電荷
を転送し、偶数フィールド画像を得る方法も考えられる
が、この方法では、偶数フィールド画像の露光期間は奇
数フィールド画像の露光期間より１ｖ期間だけ長くなシ
、正確なフレーム画像を得る事はできない。
発明の目的
本発明は、上記欠点を除去し、電子スチルカメラに応用
して電子シャック−動作をさせた時に、フレーム画像を
得る事のできる固体撮像装置を提供することを目的とす
るものである。
して電子シャック−動作をさせた時に、フレーム画像を
得る事のできる固体撮像装置を提供することを目的とす
るものである。
発明の構成
本発明は、マｌ−ＩＪクヌ状に配列され、夫々−絵素と
して構成される受光部と受光部の各垂直ライン毎に２つ
の垂直転送レジスタ部を設けて固体撮像装置を構成し、
奇数水平絵素列に蓄積された電荷と、偶数水平絵素列に
蓄積された電荷とを、それぞれ前記２つの垂直伝送レジ
スタで個別に転送する単によシ、電子ヌチルカメラに応
用して電イシャッター動作をさせた時にもフレーム画像
を？１）ることかできるものである。
して構成される受光部と受光部の各垂直ライン毎に２つ
の垂直転送レジスタ部を設けて固体撮像装置を構成し、
奇数水平絵素列に蓄積された電荷と、偶数水平絵素列に
蓄積された電荷とを、それぞれ前記２つの垂直伝送レジ
スタで個別に転送する単によシ、電子ヌチルカメラに応
用して電イシャッター動作をさせた時にもフレーム画像
を？１）ることかできるものである。
実施例の説明
以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明の第１の実施例を示す図である。
本実施例の固体撮像装置は共通の半導体基体９」−に７
１〜リクヌ状に配列された夫々１画素として構成される
多数の受光部２ａ、２ｂと、受光部２ ａ。
１〜リクヌ状に配列された夫々１画素として構成される
多数の受光部２ａ、２ｂと、受光部２ ａ。
２ｂの各垂直ライン毎に設けられた第１．第２の２つの
垂直転送レジスタ１０ａ、１０ｂと、更に出力端子側に
蓄積電荷を転送させるだめの水平転送レジスタ４とから
構成される。
垂直転送レジスタ１０ａ、１０ｂと、更に出力端子側に
蓄積電荷を転送させるだめの水平転送レジスタ４とから
構成される。
この固体撮像装置から撮像出力を得るには、奇数フィー
ルドでは、受光部のうち奇数水平絵素列の受光部２＆に
蓄積された光情報に基づく電荷を一旦垂直ライン毎に、
第１の垂直転送レジスタ１０＆に転送し、次いで各垂直
転送レジスタ１ｏａによシ順次垂直方向に転送すると共
に、水平転送レジスタ４を通じてその蓄積電荷を１水平
走査毎に読み出して１ｖ期間で１フィールド分の撮像出
力が得られる。偶数フィールドでは、受光部のうち偶数
水平絵素列の受光部２ｂに蓄積された光情報に基づく電
荷を一旦垂直ライン毎に、第２の平曲転送レジスタ１０
ｂ （７を転送し、次いで各垂直転送レジスタ１０ｂ
によシ順次垂直方向に転送すると共に、水平転送レジス
タ４を通じてその蓄積電荷を１水平走査毎に読み出して
１フィールド分の撮像出力が得られる。なお第３図中、
実線の矢印は第１フイー／ｖ１・の転送を、破線は第２
フイールドの転送を示している。
ルドでは、受光部のうち奇数水平絵素列の受光部２＆に
蓄積された光情報に基づく電荷を一旦垂直ライン毎に、
第１の垂直転送レジスタ１０＆に転送し、次いで各垂直
転送レジスタ１ｏａによシ順次垂直方向に転送すると共
に、水平転送レジスタ４を通じてその蓄積電荷を１水平
走査毎に読み出して１ｖ期間で１フィールド分の撮像出
力が得られる。偶数フィールドでは、受光部のうち偶数
水平絵素列の受光部２ｂに蓄積された光情報に基づく電
荷を一旦垂直ライン毎に、第２の平曲転送レジスタ１０
ｂ （７を転送し、次いで各垂直転送レジスタ１０ｂ
によシ順次垂直方向に転送すると共に、水平転送レジス
タ４を通じてその蓄積電荷を１水平走査毎に読み出して
１フィールド分の撮像出力が得られる。なお第３図中、
実線の矢印は第１フイー／ｖ１・の転送を、破線は第２
フイールドの転送を示している。
次に、本発明の固体撮像装置を電子スチルカメラに応用
し、更に電子シャッター動作をさせる詩の動作について
第４図の波形図を用いて説明を行なう。
し、更に電子シャッター動作をさせる詩の動作について
第４図の波形図を用いて説明を行なう。
通常時（被写体非撮影時）には、被写体からの入射光は
撮像装置に照射されているが、この光による電荷は何ら
かの方法で受光部には蓄積されずに常に除去（除去モー
ド）されていて電子シャッターが閉じている状態にある
（第４図（ｂ）に示す波形のＬｏｗレベルの期間）。被
写体撮影時には、ｔｌの時間に撮影指令を受けると、第
４図（ａ）に示す垂直パルスのＬｏｗからＨｉｇｈに移
行する時間ｔ５ から所用の露光期間Ｔｃだけ前の時間
ｔ２（ｔ２はｔｌよシ後の期間）において、電子シャッ
クー開放状態に検光して、入射する被写体像に応じた電
荷を受光部に蓄積する。そして、この蓄「ｉ電荷は、第
４図（２Ｌ）の垂直パ／ｌ／７Ｈｉｇｈ期間（ｔ３−
ｔ４）に、市数水Ｊｌｌ絵素列の絵素２ａの蓄積電荷は
第１の垂直転送レジスタ１０＆に、偶数水平絵素列の絵
素２ｂの蓄積″１Ｅ荷は第２の垂直転送レジヌク１０ｂ
に同時に転送される。第４図（Ｃ）にこの転送状態を示
す。Ｈｉｇｈ期間が伝送、Ｌｏｗ期間が非転送である。
撮像装置に照射されているが、この光による電荷は何ら
かの方法で受光部には蓄積されずに常に除去（除去モー
ド）されていて電子シャッターが閉じている状態にある
（第４図（ｂ）に示す波形のＬｏｗレベルの期間）。被
写体撮影時には、ｔｌの時間に撮影指令を受けると、第
４図（ａ）に示す垂直パルスのＬｏｗからＨｉｇｈに移
行する時間ｔ５ から所用の露光期間Ｔｃだけ前の時間
ｔ２（ｔ２はｔｌよシ後の期間）において、電子シャッ
クー開放状態に検光して、入射する被写体像に応じた電
荷を受光部に蓄積する。そして、この蓄「ｉ電荷は、第
４図（２Ｌ）の垂直パ／ｌ／７Ｈｉｇｈ期間（ｔ３−
ｔ４）に、市数水Ｊｌｌ絵素列の絵素２ａの蓄積電荷は
第１の垂直転送レジスタ１０＆に、偶数水平絵素列の絵
素２ｂの蓄積″１Ｅ荷は第２の垂直転送レジヌク１０ｂ
に同時に転送される。第４図（Ｃ）にこの転送状態を示
す。Ｈｉｇｈ期間が伝送、Ｌｏｗ期間が非転送である。
そしてこの転送終了後のｔ４の時間に電子シャックル状
態は再び閉状態になる。
態は再び閉状態になる。
一方垂直転送しシヌタのうち、第１の垂直転送レジ’；
’夕１０ａもしくは第２の垂直転送レジヌク１０ｂに受
光部から転送されて蓄積されている電荷は次の１ｖ期間
（ｔ４〜ｔｓ）で垂直転送及び水平：ｌ’／ｊ送レシス
し４による水平転送で１フイールドの映像信号として出
ツノされ、次の１ｖ期間（ｔ６〜ｔ７）で、残りの垂直
転送レジスタに蓄えられてい／ζ電荷は同様に転送され
て次の１フィールドの映像信号として出力される。そし
てこの２つのフィールド映像信号でフレーム映像信号が
得られ、記録装置に記録されて、静止画像の撮影・記録
が完了する。
’夕１０ａもしくは第２の垂直転送レジヌク１０ｂに受
光部から転送されて蓄積されている電荷は次の１ｖ期間
（ｔ４〜ｔｓ）で垂直転送及び水平：ｌ’／ｊ送レシス
し４による水平転送で１フイールドの映像信号として出
ツノされ、次の１ｖ期間（ｔ６〜ｔ７）で、残りの垂直
転送レジスタに蓄えられてい／ζ電荷は同様に転送され
て次の１フィールドの映像信号として出力される。そし
てこの２つのフィールド映像信号でフレーム映像信号が
得られ、記録装置に記録されて、静止画像の撮影・記録
が完了する。
なお、以上の説明では、第１ν第２の２つの垂直転送レ
ジスタの蓄積電荷を順次に読み出して２Ｖ期間でフレー
ム映像信号を得るように記しだが、水平転送レジスタを
１個追加すれば、第１の垂直転送レジスタの電荷と第２
の垂直転送レジスタの電荷をそれぞれ別の水平転送レジ
ヌクで独立に転送して出力する事ができ、同時に転送し
て同時に記録する事も可能であり、記録時間を９、−ノ
かぐすることができる。
ジスタの蓄積電荷を順次に読み出して２Ｖ期間でフレー
ム映像信号を得るように記しだが、水平転送レジスタを
１個追加すれば、第１の垂直転送レジスタの電荷と第２
の垂直転送レジスタの電荷をそれぞれ別の水平転送レジ
ヌクで独立に転送して出力する事ができ、同時に転送し
て同時に記録する事も可能であり、記録時間を９、−ノ
かぐすることができる。
発明の効果
上述のように、本発明の固体撮像装置１（１においては
、奇数水平絵素列の絵素の電荷の転送用と偶数水平絵素
列の絵素の電荷の転送用との２つの垂直転送レジスタを
設けて、個別に転送するように構成したので電子ヌチル
カメラに応用して更に電子シャッター動作を行なわせた
詩にもフレーム画像を得る事ができ、また一般のテレビ
ジョンカメラにも応用するととができその実用的価値は
高い。
、奇数水平絵素列の絵素の電荷の転送用と偶数水平絵素
列の絵素の電荷の転送用との２つの垂直転送レジスタを
設けて、個別に転送するように構成したので電子ヌチル
カメラに応用して更に電子シャッター動作を行なわせた
詩にもフレーム画像を得る事ができ、また一般のテレビ
ジョンカメラにも応用するととができその実用的価値は
高い。
第１図は従来のＩＬＴ−ＣＯＤ固体撮像装置ｆ（の構造
を示す模式図、第２図は一般的な電了ヌチルカメラの基
本原理図、第３図は本発明の一実施例における固体撮像
装置の構造を模式的に示す模式図、第４図は本発明の固
体撮像装置を電子スチルカメラに適用した時の動作を説
明するための信号波形図である。 ２ａ、２ｂ・・・・受光部、４・・・・・・水平転送レ
シヌタ、１０１Ｌ、１０ｂ・・・・・・垂直転送レシヌ
タ。 代１１：！Ｉ！人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほ
か１名第１図 繁 ２ 図 ／／１１ ｓｌ ７ ８
を示す模式図、第２図は一般的な電了ヌチルカメラの基
本原理図、第３図は本発明の一実施例における固体撮像
装置の構造を模式的に示す模式図、第４図は本発明の固
体撮像装置を電子スチルカメラに適用した時の動作を説
明するための信号波形図である。 ２ａ、２ｂ・・・・受光部、４・・・・・・水平転送レ
シヌタ、１０１Ｌ、１０ｂ・・・・・・垂直転送レシヌ
タ。 代１１：！Ｉ！人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほ
か１名第１図 繁 ２ 図 ／／１１ ｓｌ ７ ８
Claims (1)
- マトリクス状に配列され、夫々−絵素として構成される
受光部と、前記受光部の各垂直ライン毎に第１．第２の
２つの垂直転送レジスタ部を設け／こ事を特徴とする固
体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58161333A JPS6053382A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58161333A JPS6053382A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6053382A true JPS6053382A (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=15733085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58161333A Pending JPS6053382A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053382A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6160580A (en) * | 1996-09-25 | 2000-12-12 | Nec Corporation | CCD image sensor having two-layered electrode structure |
-
1983
- 1983-09-01 JP JP58161333A patent/JPS6053382A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6160580A (en) * | 1996-09-25 | 2000-12-12 | Nec Corporation | CCD image sensor having two-layered electrode structure |
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