JPS6053034A - 部品脱着装置 - Google Patents

部品脱着装置

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JPS6053034A
JPS6053034A JP16032983A JP16032983A JPS6053034A JP S6053034 A JPS6053034 A JP S6053034A JP 16032983 A JP16032983 A JP 16032983A JP 16032983 A JP16032983 A JP 16032983A JP S6053034 A JPS6053034 A JP S6053034A
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Japan
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pellet
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pellets
bump
attachment
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JP16032983A
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English (en)
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Atsushi Honda
厚 本多
Masayuki Shirai
優之 白井
Chiyoshi Kamata
千代士 鎌田
Kanji Otsuka
寛治 大塚
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は部品脱着技術、特に、配線基板」7に取り付け
られる複数個の半導体ペレッ1、のうら任意の1つを個
別的に取り外しまたは取り付りするために通用して極め
て有効な部品脱着技術に関するものである。 ′ [背景技術] 半導体装置の組立てを行う場合、通常は1個のペレット
しか取り付けていない。ところが、高密度実装への要求
により、同一配線板上に複数個のペレットを取り付ける
ことが考えられる。
その場合、複数個のペレットの・うち1つのみが不良品
となることがありうるが、その際に基板全体を廃棄する
とすれば非常に無駄な結果となってしまう。
そこで、故障等で不良品となったペレットののを取り外
してその代わりに新たに良品ペレットを取り付けること
が考えられるが、その場合に配線基板の全体を加熱する
と、他のペレノ1−の取す付けglEにも影響が及び、
熱衝撃や位置ずれ等でかえって信頼性の低下を来すこと
になることが本発明者によって見い出された。
[発明の目的] 本発明の目的は、脱着したい部品のみを他の部分または
他の部品・、の影響を及ぼすことなく 117.1別的
に取り外しあるいは取り付りすることのでさる部品脱着
技術を提供することにある。
本発明の前記ならひにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面か(明らかになるであろう
[発明の概要コ 本願において開示される発明のうら代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、脱着したい部品のみの取りイ」り部を局所的
に加チ゛ハし、脱若可fjヒとしてその部品を吸7ri
することにより、個々の部品を他の部品に影響を及ばず
ことなく脱着できるものである。
[実施例] 第1図は本発明の一実施例である部品脱着装置の楯略斜
視図、第2図はその要部の概1喀断面図である。
本実施例において、部品脱着装置は配線基板上に取り付
けられる複数個のベレットのうち不良品ベレットを個別
的に取り外しおよび取り付けするために適用されたので
ある。
この部品脱着装置は内部に制御機構(図示せず)を設け
た制御部2を備える装置本体1を有している。装置本体
lの上面の中央部には、被脱着物であるペレット3(第
2図)を半田等のハンプ4で取り付ける被取り付は体と
しての配線基板5を移動させる搬送溝6が形成されてい
る。配線基板5は、搬送溝6の中で図示しない送り程の
矩形動作等によって移動させられるキャリアプレート7
の上に載置されている。
一方、装置本体1の上面の一例部には、ベレット取り外
し用のペレット取り外しユニット9を設けたXYステー
ジ8と、ペレット取り付は用のペレツト取り付げユニッ
ト11を設りたXYステージ10とが配線基板5の移動
方向(第1図では左から右)に所定の間隔で設置されて
いる。
ペレット取り外しユニット9の先端部には、ペレソI・
取り外しへノド12が設げられている。このペレソ1〜
取り外し機構12は第2図に示されるように、筒体13
と、レーザ光源またはi!%周波源あるいは超音波源の
の如き熱発生用の局所熱印加手段14と、この局所熱印
加手段14からの熱パルスを導く熱パルス4通路15と
、この熱パルス導通路15の途中に設けられて熱パルス
を所望方向に分岐させるミラー16と、このミラー16
で分岐されて筒体13の内面で反射された熱パルスを年
末させて被加熱部であるペレット3のノ\ンプ4に照1
・1することにより該ハンプ4を局所加熱するためのレ
ンズ17とを有している。
また、本実施例では、前記ペレ、1・取り外し機構12
による局所加熱でハンプ4を溶隔させることGこより脱
沼可fiヒ状態となったペレット3を配線基板5から取
り外すために吸着ノスル1)(が、−;し/ト3を上方
から真空力等で吸着して配線基板5から除去できるよう
配設されている。
なお、ペレット取り付はユニノ(川1の先端部にCat
ベレット3を所望位置に取り句&Jるためのペレット取
りイ【jリヘノト■9が配設され−Cいるが、このペレ
ット取り付すヘノド19は1111記ベレノ1−取り外
しヘット12と同様の構造であるので、本明細書では説
明を省略する。
さらに、前記ペレット取り外しユニ、ト9お3J:。
びペレット取り付はユニ・〕1−11の先?f1旧iI
i 4m 、1’; LJる装F11本体l上には、各
ユ二ノ1−9と目で取す外しまたは取り付けされるペレ
ットをそれぞ才L JJI出またはm給するためのベレ
・ノ1〜排出口20とペレットトレイ21とが設けられ
てしする。
次に、本実施例の作用について説明する。
まず、複数個のペレット3をそれぞれのノ\ンフ“4で
取り付けた配線基板5を1股送溝6の+11で移fjす
るキャリアブL、 −1−7上に載−U−1図示しなし
)送り桿等で該キャリアプレート7を移動させて自己キ
泉基板5の位置決めを行う。
この位置決め終了後、XYステージ8を作動させてペレ
ツト取り外しユニノ1−9の−々レノ1−1aり外しヘ
ッド12を配線基板5の所望のペレノ1[反り外し位置
まで移動させる。それにより、ペレット取り外しへ7F
 12は第2図に示すように〜その先端部が配線基板5
上の取り外したG1不良品ベレット3の上から覆いかぶ
さった状態となる。
この状態で局所熱印加手段14からのfソシバルスをミ
ラー13で反射させ、さらに筒体13の内面、レンズ1
7を経てハンプ4に焦点を合わ・lて照工(・]する。
それにより、ハンプ4は局部加熱されて溶隔状態となり
、脱着可能となる。
次いで、吸着ノズル18によって不良品ぺLハツト3を
吸着し、その不良品ペレット3をぺし・71・取り外し
ユニット9の移動および吸着ノズル18の吸着解除によ
りベレン1−排出口20の中に1ノ1出する。
なお、取り外すべき不良品ペレノ1−3の座標は検査装
置(図示せず)で検出したデータをフl:I 、。
ピーディスク等の記憶手段に記1息さ廿ておいたらのを
用いてデータにより決定する。
その後、不良品ペレット3を取り外した配線基板5はキ
ャリアプレー1・7上で実線位置がら二4:、i鎖線位
置(ペレノ1−取り付ジノへ7119の位置)まで移動
し、所望位置に位置決めされイ・。そして、ペレット取
り付はユニット11のペレノ1取り(=J&フヘノト′
19で良品ペレットをベレ/1・lL−(21から吸着
して、その良品ペレノ1−を前記し〕こ不良品ペレット
取り外し位置に移送してハンプの局所加熱により取り付
ける。
この良品ベレットの取り付けば前記した不良品ペレット
の取り外しと同様の原理で行うことができる。
したがって、本実施例は不良品ベレン1−の取り外しと
、良品ベレットの取り付けを他のペレットへの悪影響な
く個別的に行うことができる。
[効果] (1)1部品取り付は部を熱パルスで局所加熱する局所
熱印加手段と、脱着可能になった部品を吸着して脱着す
る脱着手段とを備えていることにより、他の部分に影響
を及ぼすことなく脱着したい部品のみを個別的に自動で
取り外しあるいは取り(q番Jることかできる。
(2)0部品として配線基板に取りイマ1りられた複数
11Mのペレットのうち不良品ペレノ1〜のみを取り外
しあるいは取り付けすれば、不良品ペレットののを他の
ペレットへの熱衝撃や位置ずれ等の悪影響を与えること
なく個別的に取り外しあイ〕いは取り(=Jけることが
できる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、局所熱印加手段としては、レーザ光源、高周
波源あるいは超音波源の他に、信υ等により局所加熱を
行うことのできるものであればどのようなものでもよい
また、脱着手段としては、ユ空吸着によるものの他、磁
力吸着によるもの等の様々な方式の手段を用いることが
できる。
し利用分野〕 以上の説明では主として本発明者によってなされノこ発
明をその背景となった利用分!I’Fであるマルチナツ
プ巴1(の占己j方(入1反に取りイ」りられろンーU
表り1因のペレットのうち不良品ペレットを取りりIし
て良品ベレットを取り(=Jりるために適用した場合に
°つぃて説明したが、それに限定されるものではなく、
たとえば、ペレット以外にチップコンデンサや−f−ツ
ブ抵抗、あるいはフラノ1−パッケージ型半導体装置の
如き各種電子部品等のりベア装置またはマウント装置、
交換装置等としても広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例である部品脱着装置の概略斜
視図、 第2図はその要部の概略断面図である。 1・・・装置本体、2・・・制御部、3・・・ペレット
(部品)、4・・・ハンプ、5・・・配線基板、6・・
・1般送溝、7・・・キャリアプレー1−18・・・X
Yステージ、9・・・ベレノ1−取り外しユニット、1
0・・・XYステージ、11・・・ペレット取’l 付
4Jユニット、12・・・ペレツト取り外し機構、13
・−・筒体、〕4・・・局所熱印加手段、】5・・・り
゛ハパルス導通路、16・・・ミラー、17・・・レン
ズ、18・・・吸着ノズル(脱着手段)、1つ・・ ペ
レ、1取り付げヘッド、20・・・ペレット排出l」、
21・・・ペレットトレイ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被取り付は体に対して部品を取りイ;[りまたは取
    り外しする部品脱着装置において、部品の取り付は部に
    対して局所的に熱を印加して局所加熱する局所熱印加手
    段と、nij記局所熱印加手段で脱着可能になった部品
    を吸着して脱着する脱着手段とを備えてなることを特徴
    とする部品脱着装置。 2、部品は配線基板上に取り付けられる電子部品である
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の部品脱着
    装置。 3、部品は配線基板上に半田ハンプで取り付けられる複
    数個のペレットであることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の部品脱着装置。
JP16032983A 1983-09-02 1983-09-02 部品脱着装置 Pending JPS6053034A (ja)

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JP16032983A JPS6053034A (ja) 1983-09-02 1983-09-02 部品脱着装置

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JP16032983A JPS6053034A (ja) 1983-09-02 1983-09-02 部品脱着装置

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JPS6053034A true JPS6053034A (ja) 1985-03-26

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ID=15712605

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JP16032983A Pending JPS6053034A (ja) 1983-09-02 1983-09-02 部品脱着装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022069419A (ja) * 2020-10-23 2022-05-11 パック テック-パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー 回路基板に接続された電子部品を除去及び/又は再配置するための方法及び装置

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