JPS6052471A - 予備のボンデイングワイヤを維持する装置 - Google Patents

予備のボンデイングワイヤを維持する装置

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JPS6052471A
JPS6052471A JP59129375A JP12937584A JPS6052471A JP S6052471 A JPS6052471 A JP S6052471A JP 59129375 A JP59129375 A JP 59129375A JP 12937584 A JP12937584 A JP 12937584A JP S6052471 A JPS6052471 A JP S6052471A
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lead wire
wire
playroom
optical detector
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JP59129375A
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ジヨン　エイ．カーツ
ドナルド　イー．コーセンズ
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Fairchild Camera and Instrument Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、スプール又はその他の供給源とリードワイヤ
ボンディング装置のワイヤボンディング工具との間のリ
ードワイヤの遊びの予備分を維持する新しい装置に関す
るものである。本発明は、マイクロ回路チップと外部回
路に接続する為に前記チップをその上に装着したリード
フレームとの間にリードワイヤをボンディングする為に
使用されるリードワイヤボンディング装置に特に適用可
能なものである。本発明は、自動化し多数のボンディン
グ操作を行ない且つリードワイヤの遊びの予備分を絡ま
らず且つ多少引張の状態で供給搬送させるのに十分であ
る様に、毛管リードワイヤの遊びの予備分を制御して維
持するものである。
集積回路又はマイクロ回路チップは、通常、外部回路に
接続する為にリードフレーム上に装着されている。リー
ドワイヤは、手動乃至自動ボンディング装置を使用して
マイクロ回路チップ上のダイパッドとリードフレームフ
ィンガとの間にボンドされる。細いリードワイヤは通常
静止したスプールに貯蔵されている。スプールの端部か
らリードワイヤが引き出され、引き続き多数のボンディ
ング操作を行なう毛管ワイヤ保持工具乃至はボンディン
グ工具を介して供給される。典型的には、リードワイヤ
の１端をポールボンディング方法を使用して集積回路チ
ップのダイパッドヘボンドさせる。リードワイヤの他端
をウエッヂボンド乃至は溶接を使用してリードフレーム
フィンガヘボンドさせる。
手動ポールボンデインク装置の１例として、クリツケア
ンドソファインダストリーズ社（Ｋ＆Ｓ）、モデル＃４
７８．があり、これは、実際には。
半自動装置である。オペレータが顕微鏡レンズを介して
観察することにより毛管ワイヤ保持乃至ボンディング工
具を手動により位置決する。次いで、ボンディング自体
はボールボンディング装置の自動動作によって行なわれ
る。然し乍ら、手動による位置決め及び監視の必要性に
よってリードワイヤボンディング操作を遅滞化される。
手動乃至は半自動ポールボンディング装置の変形例及び
更に詳細な説明は、本出願人によって１９８１年８月１
９日に出願した［前加熱によるリードフレームワイヤボ
ンディング（ＬＥＡＤ　ＦＲＡＭＥ　ＷＩＲＥ　ＢＯＮ
ＤＩＮＧ　ＢＹＰＲＥＨＥＡＴＩＮＧ　）Ｊという名称
の米国特許出願第２９４，４１１号に開示されている。
完全に自動のリードワイヤボンディング装置はリードワ
イヤボンディングの速度及びチップのパッケージ操作を
著しく増加させる。自動化したポールボンディング装置
乃至ロボットの１例はクリツケアンドソファーインダス
トリーズ社（Ｋ＆Ｓ）のモデル＃　１４１９高速ポール
ボンダーがある。このポールボンディング装置の変形例
で完全自動のエラー補正ロボット操作可能な装置は本出
願人によって１９８３年２月２８日に出願した「リード
ワイヤボンド試み検知（ＬＥＡＤ　ＷＩＲＥ　ＢＯＮＤ
　ＡＴＴＥＭＰＴ　ＤＥＴＥＣＴＩＯＮ　）Ｊという名
称の米国特許出願第４７０，２１７号に記載されている
。
高速自動ポールボンディング装置及びロボットの出現と
共に、スプール等の供給源から細い毛管リードワイヤを
毛管ワイヤ保持・ボンディング工具へ供給する上で困難
性が発生した。上述した如きに＆Ｓモデルのような現在
のボンディング装置においては、毛管ボンディングワイ
ヤが約２インチ（５、ｃ　ｍ　）の直径で約１インチ（
２，５ｃｍ）の幅でスプール上に貯蔵されている。この
スプールは静止位置に取り付けられており、細いワイヤ
の端部をスプールの軸と平行な方向へ供給することが可
能である様に構成されている。このことは、操作速度の
遅い手動ボンディング装置には満足のいくものであるこ
とが分かった。然し乍ら、高速ボンディング装置の場合
には、スプールに貯蔵されるワイヤの長さは屡々取り換
えを必要とするので不適当である。リードワイヤは、通
常、細い金属ワイヤが絡まったり変形したりすることを
回避する為に単層に貯蔵されており、このワイヤは、例
えば、直径がｏ、ｏｏ、ｉインチ（０，００２５４ｃＩ
ｌｌ）の細い金乃至は銅のワイヤである。一層長いワイ
ヤを貯蔵する為に、スプール上にワイヤを多層に巻着さ
せる試みがなされた。この方法の欠点は、スプールの端
部からワイヤを外側の層から引き出そうとすると、上側
の層からの力が下側の層を変形−させる傾向となるとい
うことである。
細い毛管リードワイヤを貯蔵し供給する従来の方法の別
の欠点は、スプールの軸と平行な方向に静止しているス
プールの端部又は上部からワイヤを引き出すことによっ
てワイヤ自身に発生されるトルク力によってワイヤが捻
じれたり丸まったりすることである。従って、例えば、
リードワイヤが毛管ワイヤ保持ボンディング工具内で捻
じれたり丸まったりしてボンディング操作の邪魔になる
。
自動ボールボンダーにおいてボンディングワイヤを貯蔵
し且つ供給する従来の方法の更に別の欠点は、高速動作
から発生されるものである。高速における多数ボンディ
ング工程は、高速のボンディング工程とマツチさせる為
に引き続く高速の工程でボンディング工具内に直接的に
供給することが可能である様にリードワイヤの遊び乃至
予備の長さ分を維持することが必要である。従来のポー
ルボンディング装置では、高速自動動作を行なうのに十
分なリードワイヤの予備の長さを与えることが可能なも
のでも無く、又絡まったり、歪んだり変形したりするこ
となしに高速でリードワイヤを供給することが可能なも
のでも無い。
本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、高速
全自動ボンディング装置及びロボットや高速多数ボンデ
ィング操作において十分なリードワイヤの遊び予備分を
維持することの可能な新規なボンディングリードワイヤ
維持供給装置を提供することを目的とする。
本発明の別の目的とするところは、細いリードワイヤを
歪曲したり変形したりすることなしに毛管ボンディング
工具へ供給する為に、自動型のボンディング装置及びロ
ボット内にリードワイヤの遊び予備分を絡まらない状態
で所定の長さ範囲内に維持する装置を提供することであ
る。
本発明の更に別の目的とするところは、リードワイヤの
供給速度を自動検知すると共に制御し多少引張状態で高
速多数ボンディング操作を行い且つ歪曲又は変形を発生
することなしにスプールからリードワイヤを制御して供
給する為に適宜のす−ドワイヤの予備分を維持する方式
を提供することである。
この様な目的を達成する為に、本発明は絡まらな状態で
リードワイヤの予備長さ分を維持する為の新規な遊び室
構造を提供している。この遊び室は、ハウジング包囲体
と、１側部に設けられておりスプールから遊び室内にリ
ードワイヤを案内する入口案内部と、ハウジング包囲体
の反対側部に設けられておりリードワイヤを遊び室から
ワイヤボンディング工具へ案内する出口案内部と、遊び
室内を入口部から出口部へ通過するリードワイヤのオフ
セットを検知すべく配設されたワイヤ検知器とを有して
いる。加圧乾燥空気又はその他の気体のガス源が遊び室
に隣接し、且つ入口部と出口部との間に設けられており
、ワイヤ検知器の方向に向かって遊び室内にガス流を吹
き出している。
従って、入口案内部と出口案内部との間で遊び室内を通
過するリードワイヤの長さ分は、入口案内部と出口案内
部との間を結ぶ仮想直線からオフセットされた形状でガ
ス流中に浮遊状態で維持される。この様に、リードワイ
ヤを絡ませず且つ歪曲させずにボンディング工具へ供給
する為に、リードワイヤの遊び予備分を多少引張状態に
維持することが可能である。
本発明の別の側面によれば、ワイヤ供給制御機構をワイ
ヤ検知器からの制御信号を受け取るべく操作接続して設
けてあり、該制御信号に応答してスプールから遊び室内
へのリードワイヤの搬送供給を制御している。従って、
リードワイヤの多少緊張状態にある遊び予備分長さを所
定の範囲内に制御し維持することが可能である。本発明
に基ずく装置の特徴及び利点は、ワイヤ検知器からの制
御信号に応答して制御下において回転するスプールホル
ダに取り付けられた回転スプ−ルからリードワイヤが供
給されるということである。ワイヤがスプールの端部か
ら引き出されるので、捻じれやよじれを発生することな
しに、ワイヤがスプールから供給され、更にワイヤをス
プールの軸を略垂直な方向で且つスプールの円筒面に対
し接線方向へ供給することによって歪曲や変形を更に除
去させている。
本発明の好適な実施例によれば、本装置はスプールホル
ダ乃至は取り付は装置と、スプール取り付は装置に結合
され該装置を駆動すると共に装着したスプールを回転さ
せる為のスプール駆動モータと、スプール駆動モータに
動作結合されており前記モータの回転をオンオフ制御し
その際にリードワイヤをスプールから所定分繰り出させ
る制御論理とを有している。遊び室ハウジングは、側壁
によって離隔された上部プレー１〜及び下部プレートと
、対抗する側壁に配設したリードワイヤ入口案内部及び
出口案内部とを有している。
ワイヤ検知器に関しては１本発明によれば、遊び室の入
口案内部と出口案内部とを結ぶ仮想直線からオフセット
されそれと実質的に垂直な列に沿って複数個の光学的検
知器を配設している。これらの光学的検知器は、スプー
ル駆動モータにおける制御論理への制御信号を発生すべ
く動作接続されている。好適実施例における光学的検知
器列は、該列に沿った方向へ遊び室内へ導入されるガス
流によって維持されるリードワイヤのオフセットの内側
限界と外側限界とを規定する内側限界光学的検知器及び
外側限界光学的検知器を包含している。
ガス流内に絡まらない状態で浮遊して維持されるリード
ワイヤの予備長さ分が所望の範囲内に維持される。
遊び室内のリードワイヤのオフセットの内側限界を規定
する内側限界光学的検知器は制御論理に動作接続されて
おり、リードワイヤが内側限界光学的検知器の近傍で検
知された場合にスプール駆動モータを回転させリードワ
イヤの次の予備長さ分を遊び室へ供給する。外側限界光
学的検知器は、リードワイヤが外側限界光学的検知器の
近傍で検知された場合にスプール駆動モータの回転を遮
断させる様に動作接続されており、従って遊び室内のリ
ードワイヤの予備長さ分が所望の範囲内に維持される。
光学的検知器列に関しては、本発明においては、遊び室
ハウジング包囲体の１プレートに沿って光源の第１列が
設けられており、遊び室の反対側のプレートに沿い且つ
夫々の光源と整合して光学的検知器の対応する列が設け
られている。
本発明の別の特徴によれば、上述した光学的検知器列に
沿って予備のバックアップ用の複数個の光学的検知器を
設けてあり、リードワイヤの供給を制御する上での安全
性を確保している。例えば、光学的検知器列内で１個又
はそれ以上の内側限界光学的検知器の前にボンド装置停
止光学的検知器を設け、リードワイヤのオフセットが減
少してリードワイヤがボンド装置停止光学的検知器の近
傍で検知された場合に本ボンディング装置を悲断する様
に動作接続されている。光学的検知器列に沿い１個又は
それ以上の外側限界光学的検知器を越えた位置にスプー
ル駆動モータ停止光学的検知器を設けることも可能であ
り、この場合には、遊び室内におけるリードワイヤの予
備長さ分が過剰となりリードワイヤがスプールモータ停
止光学的検知器の近傍で検知されるとスプールモータを
遮断させる。この様な多数の光学的検知器からなる列を
使用することの特徴及び利点は、ボンド装置停止光学的
検知器が遊び室内に維持される遊び予備分の短い限界に
おける内側限界光学的検知器に対するバックアップとし
て機能するということである。スプール駆動モータ停止
光学的検知器は、遊び室内に維持されるリードワイヤの
遊び予備分の一層外側の範囲即ち一層長い限界を制御す
る外側限界光学的検知器に対する安全用のバックアップ
として機能する。
本発明の更に別の特徴によれば、高速自動ボンディング
装置に使用するリードワイヤの貯蔵長さを一層長いもの
とする為に一層長さの長いスプールを取り付ける為の自
動機構を設けるものである。
スプールホルダに光学的に検知可能なインデックス乃至
はスロットを設ける。関連するカウンタ及び論理と共に
インデックス乃至スロット検知器が、リードワイヤの繰
り出し中にスプールの回転をカウントし、スプールが空
であるが又は所定の消費状態であるかを表示する。軸方
向駆動モータも設けてあり、スプールを軸方向へ平行移
動させてスプールから遊び室の入口案内部へのリードワ
イヤの入射角度を所望の角度範囲内に維持している。
カウント論理は軸方向駆動モータに動作接続されており
、スプールの各所定回転数毎に軸駆動モータを作動させ
てスプールをその軸方向に沿って所定距離平行移動させ
る。この軸駆動モータは更にスプールの端部に対応する
スプールの各所定回転数毎に軸駆動方向を逆転させる。
以下、添付の図面を参考に本発明の具体的実施の態様に
付いて詳細に説明する。
ボンディング装置用のリードワイヤの遊び予備分を供給
し維持する装置の基本要素を簡単化して第１図に示しで
ある。この装置の主要部は、遊び室１０であり、その中
に入口フェルール１４から出口案内管１５へ遊び室内を
通過するボンディングリードワイヤ１２の長さ分１２ａ
がガス流１６内に多少引張状態で浮遊状態に維持されて
いる。
このガス流は、典型的には、乾燥空気乃至は窒素であっ
て、開口乃至は管を介して加圧下におき遊び室１０内へ
導入される。ボンディングリードワイヤ１２はモータ２
２及び駆動ベルト２３によって駆動されてスプール２０
から遊び室内へ供給される。リードワイヤ１２の遊び予
備長さ分は、ワイヤ検知要素１７及び１８とワイヤ検知
要素に応答する制御論理２４とを使用することによって
所定の範囲内に維持される。検知器及び制御論理２４が
駆動モータ２２を作動させて、ワイヤ検知要素１８及び
１７から受け取られた信号に応答してスプール２０から
遊び室ｌｏ内へのボンディングリードワイ、ヤの供給を
開始させたり終了させたりする。ボンディングワイヤ１
２は遊び室１ｏの出口部における案内管１５を介して、
リードワイヤボンディング装置のボンディングヘッド内
に装着されている毛管ボンディング工具（不図示）へ導
出される。第１図に示した構成においては、ボンディン
グワイヤ１２は、従来のボンディング装置で必要とされ
ていたスプール軸と平行な方向にスプールの端部から供
給されるものではなく、スプールの軸と略垂直な方向に
スプールの側部がら繰り出され供給される。
本発明に基ずく新規な風圧遊び室の詳細な構成を第２図
及び第２Ａ図に示しである。遊び室１０は、基台２６と
、第２図では開放位置に示しである基台２６に蝶着させ
たカバー２８とを有している。遊び室１０の基台２６は
、入口フェルール１４を有しており、フェルール１４の
両端部は拡開されてリードワイヤ１２が物理的に損傷さ
れたり変形されたりすることを最小としている。出口フ
ェルール乃至は案内管１５は遊び室の基台２６内に同様
に設けられている。
遊び室内にリードワイヤ１２を張設する場合、カバー２
８を開放位置とさせる。カバーを開放位置とさせると、
突出・後退する張設用支柱乃至はワイヤ保持支柱３０が
基台２６に設けた孔を介して遊び室１０内に突出する。
この張設用支柱は。
入口フェルール１４と出口案内管１５との間の仮想直線
１３からオフセットした経路に沿ってリードワイヤの遊
び予備長さ１２ａを最初に規定する。
突出・後退張設用支柱３０は、遊び室１０を介してオペ
レータによって張設されるワイヤに対するループ経路を
規定する。遊び室カバー２０が閉止されると、張設用支
柱３０は、第２Ａ図に示した如く、自動的に後退する。
適宜の機械的リンク機構を介して、支柱３０の突出及び
後退勤作はカバー２８の開閉動作によって機械的に作動
させることが可能である。一方、支柱３０は、後述する
如く、ソレノイドによって突出及び後退勤作させること
も可能である。この場合、例えば、ソレノイドは遊び室
基台２６から延在するタブ３２上に設けたマイクロスイ
ッチ３１によって作動される。
マイクロスイッチ３１はカバー２８上に取り付けた同様
のタブ３３によって作動される。
予備リードワイヤ遊び室１０及び遊び室内に維持される
予備リードワイヤの長さの例示的な寸法を表す為に、第
２図は例示的な装置を実質的に実際の大きさで図示して
いる。最初にリードワイヤを張設する際に、リードワイ
ヤ１２を遊び予備長さ１２ａ分オフセットさせて三角形
状とさせる。
この遊び予備長さは、ポールボンディング装置の高速自
動動作に対しリードワイヤの予備を与えるのに十分であ
る。遊び室カバー２８を閉止すると、加圧下の空気又は
ガスの供給源（不図示）が１例えば、マイクロスイッチ
３１によって作動され、乾燥空気乃至はガスの流れが与
えられる。吹き出し管又は風圧管３５からの空気流は、
遊び室内の開口を介して遊び室を横断する方向へ導入さ
れ、張設用の支柱３０を後退させた後にリードワイヤ１
２の遊び予備長さ１２ａをオフセット形状に維持する。
遊び室１０には、各々が３個の光学的検知器１−１ａ、
２−２ａ、３−３ｇ及び４−４ａ、５−５ａ、６．＝６
ａからなる２組の光学的検知器が設けられている。これ
らの光学的検知器は遊び室内のリードワイヤ１２のオフ
セットの最大振幅の軸に沿って１列に配設されている。
各光学的検知器は、遊び室の基台２６に設けたＬＥＤの
如き光源１乃至６と、夫々のＬＥＤと垂直方向に整合し
て遊び室のカバー２８に設けたホトトランジスタ１ａ乃
至６ａの如き光検知器とを有している。
第２図に示した如く、第１組の光学的検知器１−１ａ乃
至３−３ａは、風圧管３５及び入口フェルール１４と出
口案内管１５との間を結ぶ仮想直線１３に隣接してリー
ドワイヤのオフセット軸に沿い１列に設けられている。
更に詳細に後述する如く、リードワイヤの遊び予備長さ
分１２ａが減少し、垂直方向に配設したしＥＤ光源１と
ホトトランジスタ１ａとの間の空間をリードワイヤが交
差する点に迄オフセットが減少すると、リードワイヤが
検知されて、後述する検知器及び制御論理がスプール駆
動モータ２２を作動させてスプール２０を回転させ遊び
室１０内にリードワイヤを供給し予備長さ分を増加させ
る。長さが増加した予備のリードワイヤは浮遊状態とさ
れ、オフセットされ、空気流中に維持され、オフセット
の振幅が増加する。
オフセット軸に沿い遊び室の風圧管３５とは反対側に第
２列の光学的検知器４−４ａ乃至６−６ａが設けられて
いる。検知器・制御論理はスプール駆動モータ２２を作
動し続はスプール２０を回転させると共にリードワイヤ
を遊び室１０内に供給する。
リードワイヤのオフセット形状の頂部がＬＥＤ光源４と
ホトトランジスタ４ａとの間の空間を横切る迄、リード
ワイヤの遊び予備長さが増加すると共に、オフセットの
振幅が増加する。光学的検知器４−４８がリードワイヤ
を検知すると、後述する如く。
検知器・制御論理がスプール駆動モータ２２を遮断させ
る。スプール２０は遊び室内へリードワイヤを供給する
ことを停止する。従って、リードワイヤ１２の遊び予備
長さ１２ａは光学的検知器１−１ａと４−４ａとによっ
て規制される特定の範囲内に維持される。光学的検知器
１−１ａ及び４−４ａは夫々リードワイヤのオフセット
形状の最小及び最大振幅即ち内側及び外側振幅を表して
おり、これにより遊び予備長さ分の範囲が規定される。
後述する如く、バックアップ光学的検知器を設けること
によってリードワイヤの遊び予備長さを供給し維持する
装置に、バックアップ、予備用の安全ａ！構が内蔵さ九
でいる。従って、第１組の光学的検知器１−１ａ乃至３
−３ａは予備リードワイヤの範囲の最小長さを規定する
と共にオフセットの最小振幅を規定する。何等かの理由
により、細いリードワイヤが検知されずに光学的検知器
１−１ａの空間を通過した場合であっても、それは光学
的検知器２−２８によって検知することが可能である。
同様に、リードワイヤが検知されずに光学的検知器２−
２８を通過しスプール駆動モータを作動させない場合で
あっても、光学的検知器３がリードワイヤ１２を検知す
ることによりボンディング装置の緊急停止機構を作動さ
せることによりボンディング装置自身を遮断状態とし、
且つリードワイヤの遊び予備長さを供給し維持する装置
内のスプール駆動モータやその他のモータ制御機構を遮
断して停止させる。第２組の光学的検知器４−４８乃至
６−６８は予備リードワイヤの長さの外側限界、即ちオ
フセット形状の最大振幅を規定する。もしも、スプール
及びスプール駆動モータが遊び室内へのリードワイヤの
供給を継続し且つリードワイヤが検知されずに光学的検
知器４−４８の空間を通過する場合には、リードワイヤ
は光学的検知Ｊｓ５−５ａによって検知され、それによ
ってもスプール駆動モータが遮断される。
リードワイヤが検知されずに光学的検知器５−５ａの空
間を通過する場合には、リードワイヤは最終的に光学的
検知器６−６ａによって検知され、この検知器によって
も検知器・制御論理を介してリードワイヤを検知すると
スプール駆動モータを遮断状態とさせる。
遊び室の入口フェルール１４の詳細を第２Ｂ図に示しで
ある。図示した如く、フェルールの両端部は拡開されて
おり、この構成により、細い毛管リードワイヤが損傷を
受けることを防止している。
例えば、リードワイヤは、典型的には、直径が１ミルの
オーダである。フェルールの内表面は研磨されている。
フェルール１４には更にスロッ１〜１４ａが設けられて
おり、リードワイヤを遊び室内に張設する際にこのスロ
ットを介して細いリードワイヤをフェルール内に挿通さ
せる。遊び室１゜のカバー２８を開放位置とすることに
よりスロット１４ａが露出される。同様に、出口案内管
１５にもスロット（不図示）が設けられており、リード
ワイヤの張設時にこのスロットを介してリードワイヤが
出口案内管１５内に挿通状態とされる６第３図は、第１
図及び第２図に示した光学的検知器及び関連する装置の
電気的接続状態を示したブロック線図である。スプール
駆動モータ２２は、０１ｉ１ゲート４３及び４４がらの
制御信号を夫々うけとる″稼動″′及び″停止″入カ４
１及び４２を有するモータ制御ユニット４ｏを具備する
関連する制御回路・論理２４によって作動される。ＯＲ
ゲグー−４３は光学的検知器１−Ｌａ及び２−２ａがら
の作動信号を通過させて、モータ制御を作動させると共
にスプール駆動モータ２２を回転させる。第２図に関し
説明した如く、光学的検知器１−１ａ及び２−２ａがリ
ードワイヤ予備長さ１２ａの変曲に対する最小振幅範囲
にリードワイヤ１２が存在することを検知し、スプール
モータを作動させてリードワイヤを遊び室内に供給し、
オフセット形状の変曲及び振幅を増加させる。光学的検
知器１−１８又は２−２８の何れかによって予備リード
ワイヤ長さ１２ａが存在することが検知されると、別の
ＯＲゲート４３を介してのモータ制御への″稼動″入カ
が作動される。手動制御４５によって、オペレータは、
カバー２８を開放位置として遊び室内にリードワイヤを
張設する際にリードワイヤの遊び予備長さを増加させる
ことが可能である。手動制御４５ａによってスプール駆
動モータが遮断される。
ＯＲゲート４６は光学的検知器３−３ａ及び４−４ａか
ら受け取られた遮断信号をＯＲゲート４４を介してモー
タ制御ユニットの停止人力４２へ伝達させ、スプール駆
動モータ２２を遮断させ不作動状態とさせる。同様に、
ＯＲゲート４７は光学的検知器５−５８及び６−６８か
ら受け取られた遮断信号をＯＲゲート４４を介してモー
タ制御ユニット４０の″停止”入力４２へ伝達させる。
従って、光学的検知器５−５ａ及び６−６ａからの信号
もスプール駆動モータを遮断させ、遊び室内へのリード
ワイヤの供給を停止する。
光学的検知器３−３８からの信号は、スプール駆動モー
タ２３を遮断するのみならず、ボンダ乃至はボンディン
グ装置の緊急停止入力に接続されている配線４８を介し
てボンディング装置自体をも遮断する。光学的検知＠３
−３ａは、予備長さ分１２ａの変曲が遊び室１ｏの入口
案内部１４と出口案内部１５との間の仮想直線１３に近
ずいた場合のリードワイヤの遊び予備長さ部分の範囲の
内側限界の位置に配設されている。何等かの理由により
、リードワイヤ遊び予備長さが減少した場合に、リード
ワイヤが光学的検知器１−１ａ及び２−２ａの近傍で検
呂されない場合、光学的検知器３−３８がボンディング
装置を遮断し、オペレータが遊び室を開放し、スプール
駆動モータを作動させ、且つ突出・後退支柱３０の周り
のリードワイヤのオフセット変位をリセットする迄、リ
ードワイヤが切断されたり破壊されたりすることを防止
する。
リードワイヤの遊び予備長さ及び変位振幅が許容範囲の
最大限界に迄増加すると、光学的検知器４−４ａ、５−
５ａ、６−６ａは夫々遮断信号を発してスプール駆動モ
ータの回転を停止させる。遊び室内へリードワイヤが供
給され変位振幅が増加する際に、何等かの理由により、
光学的検知器４−４ａ及び５−５ａがリードワイヤを検
知しなかった場合、光学的検知器６−６８が最終的なバ
ックアップ及び安全性を与え、スプール駆動モータの回
転を停止させる。従って、第３図の検知器・制御論理は
、予備ワイヤの遊び乃至は緩みを所望の長さ範囲の最大
及び最小限界内に維持する為に連続的なバックアップ安
全制御の形態で計算された予備長さを与えるものである
。
第４図及び第４Ａ図は、リードワイヤのスプールを取り
付は且つ遊び室内へリードワイヤを制御して供給する為
の機械的構成の詳細を示している。
スプール２０はスプール軸の周りを回転する様に駆動シ
ャフト５０上に取り付けられており、シャフト５０には
シャフト５０及びスプール２０と共に回転しスロットを
形成したディスク５２を設けである。このシャフトはキ
ャリッジ乃至は取り付はプレート５４上の軸受５３に回
転自在に設けである。スプール駆動モータ２２は、同様
に、キャリッジプレート５４に装着されており、モータ
２２の駆動シャフト及び回転シャフト５０のベルトホイ
ール５６及び５７上に夫々装着させたタイミングベルト
、ノツチ付ベルト乃至はチェーン２３によってシャフト
５０、スロット付ディスク５２及びスプール２０を回転
させる。ノツチ付ベルト乃至はタイミングベルトを使用
することにより、スプール駆動モータ２２の回転とスロ
ット付ディスク５２の回転との間に整合性を維持するこ
とが可能である。
キャリッジプレート５４は、静止基台乃至フレーム６２
のフレーム部材内で回転する螺設ロッド６０及び６１上
を平行移動する様に支持され、取り付けられ、軸支され
ている。螺設ロッド６０及び６１は、静止基台６２上に
取り付けられておりその駆動シャフト６７の一端にベル
トホイール６６を設けた軸駆動モータ６５によって駆動
回転される。軸駆動モータ６５は、軸支されたシャフト
６０及び６１に夫々固着されたベルトホイール７０及び
７１と係合する駆動ベルト６８によって軸支されている
シャフト６０及び６１を回転させる。
スロット付のディスク７２も軸駆動モータ６５の駆動シ
ャフト６７上に設けられている。駆動ベルト６８もノツ
チ付ベルト、タイミングベルト乃至チェーンであって、
スロット付ディスク７２の回転と螺設ロッド６０及び６
１の回転との間の整合性を維持している。
この装置構成によれば、リードワイヤ１２をスプール２
０から常にスプールの円筒の接線方向でシャフト５０で
表されているスプール軸に垂直方向に供給することによ
って本発明の目的が達成される。第４Ａ図に更に詳細に
示した如く、シャフト５０はスピンドル７４に接続され
ており、その周りに摩擦係合してスプールが装着されて
おり、従ってスプールはシャフトと共に回転する。スプ
ール駆動モータ２２がスプール２０を回転させ細いボン
ディングリードワイヤ１２を遊び室１０内へ供給すると
、軸駆動モータ６５は後述する第５図の論理回路を介し
て協動し、キャリッジ５４を平行移動させてスプールか
らのリードワイヤ１２の供給をスプール軸に対し実質的
に直角で且つスプール円筒に対し接線方向に維持する。
この機械的及び制御回路構成の特徴及び利点は、スプー
ルからの極めて細いリードワイヤが下側の層をひきずっ
て引き出されることがなく、従ってリードワイヤに損傷
を与えたり変形したりすることを防止している。スプー
ルの端部からリードワイヤをスプール軸の方向へ供給す
る従来の方法においては、金リードワイヤスプールは単
層に制限されていた。
何故ならば、そうでないと、下側の層に変形を発生させ
ることがあるからである。本発明の方法によれば、多層
構成としたスプールを使用し、一層長尺のワイヤを貯蔵
しスプールの交換の頻度を減少させることが可能である
。更に、平行移動するキャリッジ５４を使用することに
より、一層長尺のスプール２０を使用することが可能で
あり、一方スプールからのリードワイヤの供給をスプー
ル円筒の接線方向でスプール軸に垂直に整合させた状態
を維持することが可能である。成る種の適用例において
、ボンディングワイヤ及びスプールを接地から電気的に
分離する為に、スプール取り付は組立体乃至はホルダを
絶縁材料で構成するか。
又はスプールと駆動モータとの間にゴム駆動ベルトを使
用して絶縁材料の上に装着する構成とする。
第４図及び第５図に関し説明すると、シャフト５０上に
取り付けたスプールディスク５２はスプール２０と共に
回転し、スロット検知器８０によって検知されるスロッ
トが形成されている。スロット検知器８０は、スロット
及びスプールが３６０度回転する毎に信号を発生し、ダ
ウンカウンタ及びコンパレータ８１によってスプールか
ら供給されたワイヤの巻数をカウントする。ダウンカウ
ンタ８１は、予めセットした巻数のカウントが行なわれ
ると、インジケータ８２によってスプールが消費された
ことを表示する様にプリセットされている。同時に、ス
ロット検知器８０からの信号がＹ進回路８３にも入力さ
れ、各７巻数毎に軸駆動モータ６５を作動させ、スプー
ル２０の軸方向位置をワイヤの横方向消費巻数と整合し
た状態に維持する。
スプール駆動モータ２２と軸駆動モータ６５との間の共
同動作は第２軸駆動スロツト検知器８４を使用すること
によって得られており、該検知器８４はディスク７２が
３６０度回転する毎に軸駆動モータディスク７２内のス
ロットを検知する。
軸駆動スロット検知器８４からの信号はＸ進回路８５へ
供給され、該回路８５はＯＲゲート８６を介してディス
ク７２の各Ｘ回転数毎に信号を供給し、軸駆動モータ６
５を停止させる。本実施例においては、Ｙは単位長さ当
たりのスプール２０上のワイヤの巻数と等しく、一方又
は単位長さ当たりの螺設ロッド６０及び６１の螺子の巻
数と等しい。
従って、第５図の制御回路はスプール２０の軸方向にお
けるキャリッジ５４の平行移動はスプールの軸方向にお
けるリードワイヤの消費巻数と等しくなっている。典型
的には、単位長さ当たりのワイヤの巻数Ｙはロッド６０
及び６１の単位長さ当たりの螺子数Ｘよりもかなり大き
く、従って軸駆動モータ６５によってロッド６０及び６
１が数回転されると、スプール駆動モータ２２によって
駆動されるスプール２０の回転と等価な軸方向距離が与
えられる。特定の適用例におけるＸ及びＹの選択した数
は、サムホイールスイッチによって夫々の回路８５及び
８３に入力させることが可能である。
軸駆動モータ６５の回転方向制御、従ってキャリッジ５
４の平行移動方向の制御は、リミットスイッチ８７及び
８８°で行なわれる。キャリッジ５４がリミットスイッ
チ８７に接触すると、方向制御論理９０への信号が発生
され、軸駆動モータ６５の方向を逆転すると共にキャリ
ッジの下方向への運動を開始させる。キャリッジ５４が
マイクロスイッチ８８と接触すると、方向制御論理９０
へ信号を発生して、軸駆動モータ６５を逆転させると共
にキャリッジ５４の上方向への運動を開始させる。上限
マイクロスイッチ９１は、キャリッジが何等かの理由に
よりマイクロスイッチ８７を越えて移動した場合に、緊
急停止を与えるものである。下限マイクロスイッチ９２
は、キャリッジ５４が何等かの理由により、マイクロス
イッチ８８を越えて移動した場合に下限緊急停止信号を
供給する。外側限界スイッチ９１及び９２からの緊急停
止信号は、ＯＲゲート９３及びＯＲゲート８６を通過し
て軸駆動モータ６５へ供給される。
第６図は、リードワイヤの遊び予備分を多少引張状態で
オフセット形状に維持する為の空気流システム及び空気
流制御を示している。供給源１００からの加圧乾燥空気
乃至窒素が流れ制御器１０１によって調節され、ソレノ
イドバルブ１０２によって遊び室１０の風圧管３５内に
供給される。
ソレノイドバルブ１０２は、例えば、電気的に作動され
るソレノイドバルブ乃至は流体圧又は空気によって作動
されるソレノイドバルブとすることが可能であり、それ
により空気が風圧管乃至吹き出し管３５に供給され、遊
び室内に導入され、バルブが閉止された場合に空気の流
れを遮断する。
供給源１００からの加圧空気乃至窒素は適宜処７理され
て乾燥され、遊び室内の空気流内に維持されている細い
金属ワイヤを腐食乃至劣化することを防止する。乾燥空
気乃至窒素は、実際上、リードワイヤをクリーニングす
る効果を有している。
ＡＮＤゲート１０５から信号が受け取られると、ドライ
バ１０４によってソレノイドバルブ１０２が開かれる。
　ＡＮＤゲートの入力端において、遊び室内のマイクロ
スイッチ３１からの信号とポールボンディング装置から
のクランプ信号１０６とが一致すると、ＡＮＤゲート１
０５の出力端に信号が現れる。クランプ信号１０６は、
リードワイヤがボンディングヘッド内のクランプによっ
て保持されれいることを表しており、従って空気流が最
初に遊び室１０内に供給される場合にリードワイヤは引
き出されない。マイクロスイッチ３１は、カバー乃至は
蓋２８を遊び室↓Ｏの基台２６上に閉止させたときに、
信号を発生する。遊び室を閉じることによって発生され
るマイクロスイッチ信号は、ＡＮＤゲート１０５でのク
ランプ信号１０６と−Ｍすると、ドライバ１０７を介し
て別のソレノイド１０８を作動するのに使用され、突出
・後退支柱３０を後退させる。一方、遊び室のカバー蓋
３５の機械的運動によって該支柱を作動させることも可
能である。
２組の光学的検知器の列に沿って遊び室内に空気流を流
す風圧管乃至は吹き出し管３５を介しての空気流は、リ
ードワイヤの遊び予備長さ分を絡まらずに多少引張状態
に維持するのに十分なものとすべきである。然し乍ら、
空気流の速度及び流量に起因してワイヤ上に作用する力
は、特定のボンディング装置によって与えられるボンデ
ィングヘッドの近傍でリードワイヤ上に作用する保持乃
至クランプ力よりも小さなものであるべきである。
更に一般的に説明すると、風圧に起因するリードワイヤ
の遊び予備長さ分に作用するカは、特定のボンディング
装置のボンディング・溶接操作と干渉することがないレ
ベルに下げた状態に維持されねばならない。特に、風圧
に起因するリードワイヤ上の力は、ボールボンドがら溶
接乃至はウェッジボンドへの所謂ルーピングの工程中の
ボンディング操作と干渉を起すことがない様に小さなも
のでなければならず、又ボンディングヘッドの近傍にお
いてボンディング装置によって与えられるワイヤ上の保
持、クランプ乃至牽引力よりも小さなものでなければな
らない。
細いボンディングリードワイヤは、典型的に。
１乃至１．１５ミルのワイヤである。この細いワイヤに
対して、例えば、１／８インチ（０，３ｃｍ＋）外径の
風圧管乃至は吹き出し管３５を、例えば、１０乃至５０
ｐｓｉのオーダの圧力の乾燥空気又は窒素と共に使用す
ることで十分であることが判明した。従って。
空気流の流量は極めて小さく、空気流を常時流させてお
くことが可能であり、例えば、１晩中であるとか、週末
であるとか、又はボンディング装置の動作シフト間にお
いても空気流をオン状態としておくことが可能である。
例えば、１／８インチ（０゜３ｃ＋ｏ）外径の管を介し
て乾燥窒素を１２３ＣＦＨの流量で３０ｐｓｉの圧力で
流すことで十分である。この様に、リードワイヤの遊び
予備長さ部分を常時多少引張状態で絡まらない状態に維
持させることが可能である。従って、特定のスプールが
消費される迄、空気流は常時オン状態を維持する。
例えば、細い金のボンディングリードワイヤの従来のス
プールにおける通常のワイヤ長さは３３０フイート（１
００ｍ）であり、このスプールは屡々交換することを必
要とする。本発明の装置及び方法によれば、一層大きな
容量を有する長尺スプールを使用することが可能であり
、ワイヤを数層に重ねて全体の長さを１例えば、ｉ　、
　ｏｏｏフィート（３００Ｉｌｌ）乃至１　、５００フ
イート（４５７ｍ）とすることが可能である０本発明に
よれば、スプールの交換の頻度は減少されており、より
大きな容量のスプールが消費される迄空気流はオン状態
でありリードワイヤの遊び予備部分を多少引張状態で絡
まらない状態に維持させている。付加的な特徴としては
、空気供給システムに対してバックアップ電池の様な別
の緊急電源を設けた場合には、停電等の場合にも空気流
を維持することが可能である。同様に、このバックアッ
プ電源をボンディングリードワイヤ供給・遊び維持装置
全体に対して使用する為にスタンバイ状態とさせ、例え
ば、検知器・論理制御回路のカウントメモリによって停
電の際にスプールの消費状態を監視することが可能であ
る。
遊び室の空洞部の構成に関しては、その内側底部上に、
例えば、黒陽極処理アルミニウムを使用することが可能
である。　ＬＥＤ光源１乃至６は、基台２６内に下から
上を向いて配設されており、通常、赤外光源である。赤
外応答性のホトトランジスタ１ａ乃至６ａがＬＥＤ光源
１乃至６に夫々整合して上部に配設されている。各光学
的検知器１−１ａ乃−至６−６ａに対する典型的な回路
を第７図に示しである。赤外検知ホトトランジスタ１ａ
４こ対し適宜並置させたＬＥＤ赤外射出器１が１例えば
ｌ、１１１３２４オペアンプ等の演算増幅器１１０を有
する検知回路番二設けられている。オペアンプ１１０は
、可変ポテンシオメータＲ５を有する分圧回路１１２に
おける電圧を抵抗Ｒ２の電圧降下と比較する。抵抗Ｒ−
こお番する電圧降下は、赤外射出器１と赤外検知器１ａ
との間にリードワイヤが存在することによって変イヒす
る。ポテンシオメータＲ６は、赤外ビーム力＜１ノード
ワイヤで遮断されると出力１１４が通常の低状態から高
状態へ変換する様にスレッシュホールドを設定する。従
って、端子１１４における光学的検知器出力は、赤外ビ
ームが中断されると、通常の低電圧状態から高電圧状態
へ変換される。
高速ポールボンディング・ウェッジボンディング動作中
、引き続き行なわれるボンディング操作に間に合う様に
リードワイヤの十分な予備長さ分を絡まらない状態で維
持することカー重要である。
このことは、例えば、ｌ９ｃｍ平方の寸法を有する遊び
室を使用して達成すること力１可能である。
この様な寸法の遊び室を使用し、第２図の構成を用いた
場合に付いて、表Ｉは仮想直線１３からのオフセットの
種々の角度θの各々に対して得られるリードワイヤの遊
び予備長さ１２ａの量を示している。遊び室内のリード
ワイヤ形状を概略第８図に示しである。表Ｉにおいて、
左端の欄はオフセットの角度０を順次大きくした場合に
対応して順次大きくなる振幅をＣｍで表したものである
。振幅は、三角オフセット形状のピーク即ち頂部を仮想
直線１３との間の距離である。距離又は遊び室の幅の半
分を表しており、５ｃｍである場合Ｘ２＝２５０ｍであ
る。遊び空洞部の各半分におけるリードワイヤの予備長
さによって月イ成される直角三角形の斜辺は、表工の２
番目及び３番目の欄から計算してオフセットθの夫々の
角度に対して表■の４番目の欄に示しである。遊び室の
各半分におけるリードワイヤの実際の遊び予備長さ、即
ち左側半分及び右側半分は５番目の欄に示してあり、６
番目の欄は遊び室の各半分における２個の直角三角形か
らの全体的な遊び予備長さを示してしする。
従って、遊び室に入るリードワイヤ１２のオフセットの
初期角度が６１度であり、ボンディング操作の結果オフ
セット角度が５８度に減少すると、消費されたリードワ
イヤの長さは１０．６　ｃｍ　−８，８０Ｉ１１、即ち
約１．８　ｃｍである。オフセット角度がボンディング
操作によってリードワイヤが消費された為に６１度から
５５度に減少すると、引き出されるリードワイヤの長さ
は約３．４　ｃｍである。このことは、オフセット形状
のピークのオフセラ１−振幅が２ｃｍ減少することに対
応する。この様に、特定のポールボンディング装置の動
作速度を許容するのに必要なリードワイヤの遊び予備長
さ分を与える様に最初にオフセットを調節することが可
能である。
尚、遊び予備長さ１２ａの最適入射角度は５０度と６０
度の間であることが分かった。リードワイヤの遊び予備
長さ部分の状態を視覚によってチェックする為に遊び室
１０に透明なカバー２８を設けることが可能である。
以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが１本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。
表１ 遊び　０ ｙｙ２　ｘｚ＋ｙｚ　ｘ２＋ｙ２　ｘ２＋ｙ２−ｘ予備
　ｔａｎ−１ｙ／ｘ長さ １　１　２６　５．１　０．１　０．２　１１６２　４
　２９　５．３８　０．３８　０．７６　２２″３　９
　３４　５．８３　０．８３　１．６６　３１″４　１
６　４１　６．４０　１．４０　２．８０　３９゜５　
２５　５０　７．０７　２．０７　４．１４　４５″６
　３６　６１　７．８１　２．８１　５．６２　５０’
７　４９　７４　８．６０　３．６０　７．２０　５５
゜８　６４　８９　９．４３　４．４３　８．８６　５
８’９　８１　１０６　１０．３　５．３　１０．６　
６１’１０１００　１２５　１１．２　６．２　１２．
４　６４ａ
【図面の簡単な説明】
第１図はボンディング装置内にリードワイヤの遊び予備
分を供給し維持する為の本発明に基ずく装置の簡単化し
た概略図、第２図はリードワイヤを適宜張設した遊び室
の猜成を示しており上部プレートを開放位置に位置させ
た状態の遊び室の概略平面図、第２Ａ図は第２図におい
て光学的検知器列の方向に見た場合の遊び室の概略正面
図、第２Ｂ図は遊び室内のワイヤの案内として使用され
る端部を拡開したフェルールの詳細図、第３図はスプー
ル回転駆動モータと遊び室内に配設させた光学的検知器
列に動作接続させた関連する制御論理を示したブロック
図、第４図はスプール取り付は装置乃至はホルダに対す
る回転駆動モータ及び軸駆動モータの結合状態を示し駆
動ベルトを部分的に切除して示した概略図、第４Ａ図は
別のスプール取り付は装置乃至ホルダの部分断面詳細図
、第５図はスプール軸駆動サーボモータ及び関連するカ
ウンタ・制御論理を示したブロック図、第６図は遊び室
空気流制御システムを示したブロック図、第７図は本発
明に使用可能な典型的な光学的検知器回路を示した回路
図、第８図は第２図の遊び室におけるリードワイヤ形状
の説明図、である。 （符号の説明） １０：　遊び室 １２：　リードワイヤ １２ａ：　遊び予備部分 １４：　入口フェルール １５：　出口管 １６：　ガス流 １７．１８：　ワイヤ検知要素 特許出願人　フェアチアイルド　カメラアンド　インス
トルメント コーポレーション 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、２Ｂ ＦＩＧ、　３ ＦＩＧ、４ ＦＩＧ、　５ 二］ ＦＩＧ、　６ ＦＩＧ、７ ＦＩＧ、８ 第１頁の続き ０発　明　者　マーク　ディ、デユー　アメリカ合衆［
フォー　ト　ストリー【 １、メイン　０４１０１．ボートランド、グラン・　６
５ 手続補正書 昭和５９年８月２３日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示　昭和５９年　特　許　願　第１２９３
７５号２、発明の名称　予備のボンディングワイヤを維
持する装置３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 ４、代理人 ５、補正命令の日付　自　発

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、　スプールとワイヤボンディング工具との間にリー
    ドワイヤを維持する装置において、絡まらない状態で予
    備の長さのリードワイヤを維持する遊び室手段が設けら
    れており、前記遊び室手段はハウジング包囲体と、その
    １個部に設けられておりスプールから前記遊び室手段内
    にリードワイヤを案内する入口案内手段と、前記ハウジ
    ング包囲体の反対側に設けられており前記リードワイヤ
    を前記遊び室手段からワイヤボンディング工具へ向かっ
    て案内する出口案内手段と、前記入口案内手段から前記
    出口案内手段へ前記遊び室手段を介して通過するリード
    ワイヤのオフセットを検知し対応する信号を発生するよ
    うに配置されたワイヤ検知手段とを具備しており、前記
    入口案内手段と出口案内手段との間で前記ワイヤ検知手
    段の方向へ前記遊び室手段内へガス流を指向させる手段
    が設けられており、前記入口案内手段と出口案内手段と
    の間の前記遊び室手段を通過するリードワイヤが前記入
    口手段と出口手段との間の仮想直線からオフセットした
    形状でガス流内に維持されると共に浮遊状態とされその
    際にリードワイヤの遊びの予備長さ分を絡まらない状態
    でボンディング工具へ供給する為に多少引張状態に維持
    しており。 前記検知手段からの信号を受け取るべく動作接続されて
    おり前記遊び室手段内のリードワイヤの遊びの予備の長
    さ分を所定の範囲内に維持する為に前記信号に応答して
    スプールから前記遊び室手段内へのリードワイヤの供給
    を制御するワイヤ供給制御手段が設けられていることを
    特徴とする装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記ワイヤ検知手
    段が前記入口案内手段と出口案内手段との間の仮想直線
    から略直交して延在する列内に配設された複数個の光学
    的検知器を具備しており、前記複数個の光学的検知器は
    、前記ワイヤ供給制御手段に動作接続された少なくとも
    １個の第１内側限界光学的検知器を具備しており前記ガ
    ス流内に浮遊状態とされたリードワイヤのオフセット即
    ち遊びの予備の長さが減少して前記リードワイヤが前記
    第１内側限界光学的検知器の近傍で検知された場合に前
    記遊び室手段内へのリードワイヤの供給を開始して前記
    遊び室手段内のガス流内に浮遊状態とされるリードワイ
    ヤの遊びの予備長さを増加させ、又前記第１内側限界光
    学的検知器を越えて前記列に沿って位置されると共に前
    記ワイヤ供給制御手段に動作接続されている少なくとも
    １個の第２外側限界光学的検知器を具備しており前記ガ
    ス流内に浮遊状態とされているリードワイヤのオフセッ
    ト即ち遊びの予備長さ分が増加して前記リードワイヤが
    前記第２外側限界光学的検知器の近傍で検知された場合
    に前記遊び室手段内へのリードワイヤの供給を停止し、
    従って前記遊び室手段内のガス流内に浮遊状態とされて
    いるリードワイヤの遊びの予備の長さ分を内側限界及び
    外側限界の間の所望の長さ範囲内に維持することを特徴
    とする装置。 ３、特許請求の範囲第１項又は第２項において。 前記ガス流が前記遊び室手段内を通過するリードワイヤ
    の遊びの予備部分の実質的に中央部分に制限されており
    、従って前記遊び室手段内を通過するリードワイヤが実
    質的に鋸歯状乃至は三角形状に多少引張状態でオフセッ
    トされ維持されることを特徴とする装置。 ４、　特許請求の範囲第２項又は第３項において、前記
    光学的検知器列は、前記遊び室手段ハウジング包囲体の
    １個のプレートに沿って装着された第１列の光源と前記
    遊び室手段の反対側のプレートに沿い且つ夫々の光源と
    整合して装着された対応する列の光学的検知器とを有す
    ることを特徴とする装置。 ５、特許請求の範囲第２項乃至第４項の内の何れか１項
    において、前記内側限界光学的検知器の前で前記列内に
    ボンド装置停止光学的検知器が装着されており、前記ボ
    ンド装置停止光学的検知器は電気的に前記ボンディング
    装置に接続されており、前記リードワイヤのオフセット
    が減少して前記リードワイヤが前記ボンド装置停止光学
    的検知器の近傍で検知された場合に前記ボンディング装
    置を遮断させることを特徴とする装置。 ６、　特許請求の範囲第１項乃至第５項の内の何れか１
    項において、前記光学的検知器の列に沿い前記外側限界
    光学的検知器を越えて前記遊び室手段内にスプールモー
    タ停止光学的検知器が装着されており、前記リードワイ
    ヤが前記スプールモータ停止光学的検知器の近傍で検知
    されることにより前記遊び室手段内のリードワイヤの予
    備分が過剰になると前記スプールモータ手段を遮断する
    ことを特徴とする装置６ ７、　特許請求の範囲第２項乃至第６項の内の何れか１
    項において、前記遊び室手段の上部プレー　。 １−が前記遊び室手段の１個部に開閉自在に蝶着されて
    おり、前記外側限界光学的検知器とスプールモータ停止
    光学的検知器との間を下部プレートを貫通して前記遊び
    室手段内に突出しており前記上部プレートに動作結合さ
    れた後退支柱手段が設けられており、従って前記上部プ
    レートを開放した場合に前記リードワイヤを前記後退支
    柱手段の周りに位置させることにより前記遊び室手段を
    貫通してのリードワイヤの取り付けを容易化しており、
    前記後退支柱手段は前記上部プレートを前記遊び室手段
    上に閉止させることにより前記遊び室手段から完全に後
    退されることを特徴とする装置。 ８、特許請求の範囲第１項乃至第７項の内の何れか１項
    において、前記入口案内手段及び出口案内手段は、前記
    リードワイヤを前記遊び室手段を貫通して取り付ける際
    に前記リードワイヤを前記入口案内手段及び出口案内手
    段内に挿入させる為のスリット開口が形成されており、
    且つ前記スプール取り付は手段はスプールに装着されて
    いるリードワイヤを接地から電気的に分離するように構
    成されると共に配設されていることを特徴とする装置。 ９、特許請求の範囲第１項乃至第８項の何れか１項にお
    いて、スプール取り付は手段がリムを具備しておリスプ
    ール保持手段上に装着されたスプールと共に回転するス
    プールホルダーを有しており、前記リムは光学的に検知
    可能なインデックスで形成されており、リム光学的検知
    手段が前記スプールの各回転時に前記インデックスを検
    知すると共に対応する信号を発生する様に静止位置に設
    けられており、前記対応する信号をカウントし前記スプ
    ール取り付は手段上に取り付けられたスプールの巻戻し
    時の回転数をカラン１〜すべく動作結合されてカウント
    手段が設けられており、カウントされた回転数に基すき
    スプールが空であるか又は所定の消耗状態であることを
    表す表示手段を前記カウント手段に動作接続して設けた
    ことを特徴とする装置。 １０、特許請求の範囲第１項乃至第９項の内の何れか１
    項において、スプール取り付は手段が長尺スプールを回
    転自在に取り付けるべく構成されると共に配設されてお
    り、前記スプール取り付は手段が前記スプールを軸方向
    に平行移動させる軸駆動モータ手段を有しており、前記
    スプールから前記遊び室手段の入口案内手段への入射角
    を所望の角度範囲内に維持することを特徴とする装置。 １１、特許請求の範囲第１項乃至第１０項の内の何れか
    １項において、軸駆動モータ手段がスプール取り付は手
    段に取り付けられたスプールを軸方向へ平行移動させる
    為にスプール取り付は手段に動作結合されており、前記
    スプール取り付は手段が光学的インデックスを形成した
    リムと、前記スプールの各回転毎に前記光学的インデッ
    クスを検知し対応する信号を発生する為に前記スプール
    取り付は手段に装着され動作結合されたスプール回転光
    学的検知手段と、前記スプールから前記入口案内手段へ
    供給されるワイヤを実質的に前記スプール軸に対し直角
    で且つスプール面に対し接線方向に維持する為に各所定
    回転数毎に前記軸駆動モータ手段を動作させる為に前記
    スプール回転光学的検知器信号と前記軸駆動モータ手段
    とを動作結合させるカウント論理手段とを有することを
    特徴とする装置。 １２、特許請求の範囲第１１項において、前記スプール
    の各端部において軸駆動方向を逆転すべく動作結合され
    た方向制御手段を設けたことを特徴とする装置。
JP59129375A 1983-06-24 1984-06-25 予備のボンデイングワイヤを維持する装置 Pending JPS6052471A (ja)

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