JPS6050486A - 核融合装置 - Google Patents
核融合装置Info
- Publication number
- JPS6050486A JPS6050486A JP58160644A JP16064483A JPS6050486A JP S6050486 A JPS6050486 A JP S6050486A JP 58160644 A JP58160644 A JP 58160644A JP 16064483 A JP16064483 A JP 16064483A JP S6050486 A JPS6050486 A JP S6050486A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulation
- shell
- air
- core current
- fusion device
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21B—FUSION REACTORS
- G21B1/00—Thermonuclear fusion reactors
- G21B1/11—Details
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Discharge Heating (AREA)
- Transformers For Measuring Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分計〕
この発明は核融合装置のシェルまたは空心変流器コイル
に流動浸漬塗装法（以下ＦＢＣＩ［！！縁と称する）を
施したものに関し、特にＦＢＣ絶縁後のシェルまたは空
心変流器コイルの絶縁特性に関するものである。
に流動浸漬塗装法（以下ＦＢＣＩ［！！縁と称する）を
施したものに関し、特にＦＢＣ絶縁後のシェルまたは空
心変流器コイルの絶縁特性に関するものである。
一最に核融合装置２例えばトーラス形核融合装置は第１
図及び第２図に示すように複数個の１−ロイダルコイル
（１）、真空容器（２）、空心変流器コイル（５ａｌ、
プラズマ（４）の位置制御を行う為の銅かＡＩ合金また
はＳＵＳ等の導電性金属材からなるシェル（３）等によ
って構成されている。真空容器（２）は断面が円形また
はドーナツ状をなし、プラズマ（４）がこの中でトロイ
ダル方向とボロイダル方向及び垂直方向の磁場で閉じ込
められるようになっている。
図及び第２図に示すように複数個の１−ロイダルコイル
（１）、真空容器（２）、空心変流器コイル（５ａｌ、
プラズマ（４）の位置制御を行う為の銅かＡＩ合金また
はＳＵＳ等の導電性金属材からなるシェル（３）等によ
って構成されている。真空容器（２）は断面が円形また
はドーナツ状をなし、プラズマ（４）がこの中でトロイ
ダル方向とボロイダル方向及び垂直方向の磁場で閉じ込
められるようになっている。
プラズマ（４）の加熱は、真空容器（２）近傍に巻回さ
れた空心変流器コイル（５ａ）によりプラズマ（４）に
誘起電圧を生じさせ、これによる電流によって行ってい
る。プラズマ（４）の大半径方向の位置制帥はシェル（
３）に流れる誘導電流によって行っている。また、第２
図に示すようにシェル（３）は磁場を浸透させる為、ト
ーラス方向で２分割されている。ところが最近の核融合
研究の進展Ｃζ伴い２Ｍ３図に示すような構造のトーラ
ス形核融合装置も建設されｔ！シてきた。第３図におい
て銅かＡＩ’合金また１、ｔ Ｓ Ｕ Ｓ等の導電性金
属材からなる空心変流器フィル（ｓｂ）＋よ１ターンの
低インピーダンス？）イルてドーナツ状をなし上下でＮ
−Ｓ 極となるよう構成されており。
れた空心変流器コイル（５ａ）によりプラズマ（４）に
誘起電圧を生じさせ、これによる電流によって行ってい
る。プラズマ（４）の大半径方向の位置制帥はシェル（
３）に流れる誘導電流によって行っている。また、第２
図に示すようにシェル（３）は磁場を浸透させる為、ト
ーラス方向で２分割されている。ところが最近の核融合
研究の進展Ｃζ伴い２Ｍ３図に示すような構造のトーラ
ス形核融合装置も建設されｔ！シてきた。第３図におい
て銅かＡＩ’合金また１、ｔ Ｓ Ｕ Ｓ等の導電性金
属材からなる空心変流器フィル（ｓｂ）＋よ１ターンの
低インピーダンス？）イルてドーナツ状をなし上下でＮ
−Ｓ 極となるよう構成されており。
通常、シェル（３）の外周部に配置されている。
第４図は第３図の真空容器（２）のプラズマＣ１測用垂
直ボー）（６ａｌ、水平ボート（６ｂ）部断面を拡大し
て示したものである。真空容Ｗ（２，）は第４図の如く
断面部をトーラス方向にトロイダルコイルの数とほぼ同
じ数を有しプラズマ計測を行っている。シェル（３）（
よ電圧が誘起されるので全面にＦＢＣ絶縁（３ａ）を施
している。また。
直ボー）（６ａｌ、水平ボート（６ｂ）部断面を拡大し
て示したものである。真空容Ｗ（２，）は第４図の如く
断面部をトーラス方向にトロイダルコイルの数とほぼ同
じ数を有しプラズマ計測を行っている。シェル（３）（
よ電圧が誘起されるので全面にＦＢＣ絶縁（３ａ）を施
している。また。
空心変流器コイル（５ｂ）にも同様なＦＢＣ絶縁（５Ｃ
）を施している。尚、シェル（３）、空心変流器コイル
（５ｂ）には真空容器〈２）の垂直ボーｈ（６ａン及び
水平ボート（６ｂ）の貫通用の穴（Ｐ）、ｆＱ）を有し
ている。シェルおよび空心変流器コイル一対の概念図は
第５図に示すようになっている。ところで、第４図の例
で、シェル（３）と空心変流器コイル（ｓ ｂ） 、真
空容器（２）の自重及びＭ磁力、熱力支持はシェル（３
）と空心変流襞コイル（５ｂ）との間隙（７）にエポキ
シ樹脂系の充填材を入れ一体化し、この一体化物をトロ
イダルコイル（１）のｒｌｌｉＨ＜８＞ に弾性ゴム等
を介し支持するか、または真空容＃（２１の間隙（９）
に弾性ゴム等を介し支持するか、または図示しないが空
心変流器コイル（５ｂ）の外周に弾性ゴム等を介しトロ
イダルコイル（１）の間隙（８）を利用しトロイダル方
向に配置した支持架台による支持の何れかを採用してい
た。しかしながら上記したように従来の核融合装置にお
いては１次のような欠点が生じてきた。シェル（３）、
空心変流器コイル（５ｂ）の絶縁は２通常、ＦＢＣ絶縁
と称する絶縁方法を採用している。これ（ま曲面をもつ
シェル（３）、空心変流器コイル（ｓｂ）の例えばｌ０
ＫＶ〜２０ Ｋ Ｖ級の耐電圧を薄葉絶縁材の貼り付け
または巻回絶縁方法で１よ保証できないからであり、Ｆ
ＢＣ絶縁は導体全体−をＦＢＣ槽内に浸しエポキシ樹脂
を導体全面に付着させるととて比較的容易に耐圧保証が
できるがらである。ところがｐ ｓ ＣＩＰｉ縁は作業
上導体表面に均一な厚さにエポキシ侮ＩＪ指を付着させ
ねことは不可能である。通常、２＋ｎ＋ｎ程度の絶縁層
に対し厚い個所で４ｍｍ５度となる。また、ノニル（３
）および空心変流器コイル（５ｂ）のボート穴（Ｐ）、
（Ｑ）部は特に傷って付着し極端な場合はボー）穴（Ｐ
）ｐ（Ｑ）をふさいてしまうこともあった。この場合に
は、折角絶縁したにもががねらずボート穴（Ｐ）、（Ｑ
）部のＦＢＣ絶縁物をグラインダー等で削り落とし、ボ
リミイド等の薄葉絶縁材の貼り付は絶縁を施していた。
）を施している。尚、シェル（３）、空心変流器コイル
（５ｂ）には真空容器〈２）の垂直ボーｈ（６ａン及び
水平ボート（６ｂ）の貫通用の穴（Ｐ）、ｆＱ）を有し
ている。シェルおよび空心変流器コイル一対の概念図は
第５図に示すようになっている。ところで、第４図の例
で、シェル（３）と空心変流器コイル（ｓ ｂ） 、真
空容器（２）の自重及びＭ磁力、熱力支持はシェル（３
）と空心変流襞コイル（５ｂ）との間隙（７）にエポキ
シ樹脂系の充填材を入れ一体化し、この一体化物をトロ
イダルコイル（１）のｒｌｌｉＨ＜８＞ に弾性ゴム等
を介し支持するか、または真空容＃（２１の間隙（９）
に弾性ゴム等を介し支持するか、または図示しないが空
心変流器コイル（５ｂ）の外周に弾性ゴム等を介しトロ
イダルコイル（１）の間隙（８）を利用しトロイダル方
向に配置した支持架台による支持の何れかを採用してい
た。しかしながら上記したように従来の核融合装置にお
いては１次のような欠点が生じてきた。シェル（３）、
空心変流器コイル（５ｂ）の絶縁は２通常、ＦＢＣ絶縁
と称する絶縁方法を採用している。これ（ま曲面をもつ
シェル（３）、空心変流器コイル（ｓｂ）の例えばｌ０
ＫＶ〜２０ Ｋ Ｖ級の耐電圧を薄葉絶縁材の貼り付け
または巻回絶縁方法で１よ保証できないからであり、Ｆ
ＢＣ絶縁は導体全体−をＦＢＣ槽内に浸しエポキシ樹脂
を導体全面に付着させるととて比較的容易に耐圧保証が
できるがらである。ところがｐ ｓ ＣＩＰｉ縁は作業
上導体表面に均一な厚さにエポキシ侮ＩＪ指を付着させ
ねことは不可能である。通常、２＋ｎ＋ｎ程度の絶縁層
に対し厚い個所で４ｍｍ５度となる。また、ノニル（３
）および空心変流器コイル（５ｂ）のボート穴（Ｐ）、
（Ｑ）部は特に傷って付着し極端な場合はボー）穴（Ｐ
）ｐ（Ｑ）をふさいてしまうこともあった。この場合に
は、折角絶縁したにもががねらずボート穴（Ｐ）、（Ｑ
）部のＦＢＣ絶縁物をグラインダー等で削り落とし、ボ
リミイド等の薄葉絶縁材の貼り付は絶縁を施していた。
また、上記の如＜ ＦＢＣ絶縁が不′均一に付着するこ
とがらボート穴（Ｐ）、（Ｑ１部近傍は予めマスキンギ
を行いＦＢＣ絶縁を施さず、第６図に示すようにカプト
ン等の薄葉絶パ材（３ｂ） 、（５ｄ）の貼り付けによ
るＴＩ気８＃１！を行う方法もとられていた。しかし、
薄葉絶縁材（３ｂ）、（５ｃｉ）の貼り付けはシワが発
生し易くボイドがあり低圧の電圧しが保証できず、最近
のように装置の高出方化、高圧化に伴い、シェル（３）
および空心変流式コイル（５ｂ）の耐圧値が高まるにつ
れ、ボート穴（Ｐ）１（Ｑ）部近ｆ？’のｆｆｌ絶１ｔ
ｎ ＋３ ｂ）、（５ｄｌ自体やＦＢＣ絶１ｆ（３ａ）
、（５ｅｌ と＃葉絶縁材（３ｂ）、（５ｃｌ）との境
界間での放電が特にシェルで３）と空心変流器コイル（
５ｂ）との間隙（７）において発生し、絶縁損傷がしば
しば起るようになってきた。乙の現象が特にシェル（３
）と空心変流器コイル（５ｂ）との１ＩｊＪＨＩ７）に
エポキシ樹脂系の充填材で一体化された後に発生した場
合、装置の手直しは不可能となる恐れがあった。
とがらボート穴（Ｐ）、（Ｑ１部近傍は予めマスキンギ
を行いＦＢＣ絶縁を施さず、第６図に示すようにカプト
ン等の薄葉絶パ材（３ｂ） 、（５ｄ）の貼り付けによ
るＴＩ気８＃１！を行う方法もとられていた。しかし、
薄葉絶縁材（３ｂ）、（５ｃｉ）の貼り付けはシワが発
生し易くボイドがあり低圧の電圧しが保証できず、最近
のように装置の高出方化、高圧化に伴い、シェル（３）
および空心変流式コイル（５ｂ）の耐圧値が高まるにつ
れ、ボート穴（Ｐ）１（Ｑ）部近ｆ？’のｆｆｌ絶１ｔ
ｎ ＋３ ｂ）、（５ｄｌ自体やＦＢＣ絶１ｆ（３ａ）
、（５ｅｌ と＃葉絶縁材（３ｂ）、（５ｃｌ）との境
界間での放電が特にシェルで３）と空心変流器コイル（
５ｂ）との間隙（７）において発生し、絶縁損傷がしば
しば起るようになってきた。乙の現象が特にシェル（３
）と空心変流器コイル（５ｂ）との１ＩｊＪＨＩ７）に
エポキシ樹脂系の充填材で一体化された後に発生した場
合、装置の手直しは不可能となる恐れがあった。
この発明は上記のような従来のものの欠点に鑑がみてな
されたものであり、シェルまたは空心変流器コイルのボ
ート穴部近傍の絶縁に絶縁キャップを用い、ＦＢＣ絶縁
と絶縁キャップとの境界面での絶縁性を高め、高耐圧性
を備えた核融合装置を提案するものである。
されたものであり、シェルまたは空心変流器コイルのボ
ート穴部近傍の絶縁に絶縁キャップを用い、ＦＢＣ絶縁
と絶縁キャップとの境界面での絶縁性を高め、高耐圧性
を備えた核融合装置を提案するものである。
以下、この発明の一実施例を第７図に基づいて説明する
。図において、シェル（３）のポート穴ＣＰ）部近傍を
除いてＦＢＣ絶縁（３ａ）を施し。
。図において、シェル（３）のポート穴ＣＰ）部近傍を
除いてＦＢＣ絶縁（３ａ）を施し。
空心変流型コイル（５ｂ）のポート穴（Ｑ１部近傍を除
いてＦＢＣ絶縁（５Ｃ）を施し、シェル（３）のボート
穴ＣＰ１部近傍を例えばＦＲ’Ｐて成形された絶縁キャ
ップ（１０）、（ｉｌｌで絶縁を施し、空心変流法コイ
ル（５ｂ）のポート穴（Ｑ）部近傍を例えばＦＲＰで成
形された絶縁キャップ（１２） 、 （１３）でｊ８縁
を施している。絶縁キャップ（１０ン、（１１）、（１
２）、（１３）の厚みはＦＢＣ絶縁（３ａン、（５ｃ）
の厚みと同一とし、別途加圧成形して単体の対電圧試験
を実施し、使用に充分耐え得るものを使用する。また。
いてＦＢＣ絶縁（５Ｃ）を施し、シェル（３）のボート
穴ＣＰ１部近傍を例えばＦＲ’Ｐて成形された絶縁キャ
ップ（１０）、（ｉｌｌで絶縁を施し、空心変流法コイ
ル（５ｂ）のポート穴（Ｑ）部近傍を例えばＦＲＰで成
形された絶縁キャップ（１２） 、 （１３）でｊ８縁
を施している。絶縁キャップ（１０ン、（１１）、（１
２）、（１３）の厚みはＦＢＣ絶縁（３ａン、（５ｃ）
の厚みと同一とし、別途加圧成形して単体の対電圧試験
を実施し、使用に充分耐え得るものを使用する。また。
ＦＢＣ絶ｌ１（３ａ）７ （５ｅ）と絶縁キャップ（１
０）、（１１）、（１２）、（１３）とのつなぎ目が絶
縁耐力的に一番弱い個所であるが、シェル（３）と空心
変流型コイル（５ｂ）との合わせ目側では、距ＱＬで示
すようにつなぎ目をずらせているのて支障はない。か′
つ距離りはつなぎ目間の沿ｉｉ放電に対し充分余裕をも
つものとしている。
０）、（１１）、（１２）、（１３）とのつなぎ目が絶
縁耐力的に一番弱い個所であるが、シェル（３）と空心
変流型コイル（５ｂ）との合わせ目側では、距ＱＬで示
すようにつなぎ目をずらせているのて支障はない。か′
つ距離りはつなぎ目間の沿ｉｉ放電に対し充分余裕をも
つものとしている。
従ってシェル（３）と空心変流式コイル（５ｂ）とを組
み合わゼ、相互の電磁力、自重支持の為。
み合わゼ、相互の電磁力、自重支持の為。
シェル（３）と空心変流器コイル（５ｂ）との間隙（７
）をエポキシ樹脂系の充填材で一体化する構造の核融合
装置においては従来に比べ貫通耐圧。
）をエポキシ樹脂系の充填材で一体化する構造の核融合
装置においては従来に比べ貫通耐圧。
沿「耐圧共数倍の信頼性を有するものとなる。尚。
シェル（３）の内側、コイル（ｓ ｂ）の外側のＦＢＣ
絶縁（３ｎ）、（５ｃ）、絶縁キャップ（１０）、（１
１） 、 （１２） 、（１３）のつなぎ目は第４図に
示す真空容器（２）、）ロイダルコイル（１）間に補強
用の絶縁シートまたは支持用のゴム等のシートが図示し
ないがなされている。
絶縁（３ｎ）、（５ｃ）、絶縁キャップ（１０）、（１
１） 、 （１２） 、（１３）のつなぎ目は第４図に
示す真空容器（２）、）ロイダルコイル（１）間に補強
用の絶縁シートまたは支持用のゴム等のシートが図示し
ないがなされている。
尚、上記実施例ではシェル（３）の場合について述へた
が、空心変流器コイル（５ｂ）の場合についても上記実
施例と同様の効果が得られる。また、シェルおよび空心
変流型コイルが鋼かＡＩ合金まｔコはＳＵＳ等の導電性
金属材からなる場合についてのべたが、これら以外の導
電性金属材からなるものとしてもよいことは言うまでも
ない。
が、空心変流器コイル（５ｂ）の場合についても上記実
施例と同様の効果が得られる。また、シェルおよび空心
変流型コイルが鋼かＡＩ合金まｔコはＳＵＳ等の導電性
金属材からなる場合についてのべたが、これら以外の導
電性金属材からなるものとしてもよいことは言うまでも
ない。
また、上記実施例では第３図に示す如くシェルと空心変
流器コイルを相重ねる構造の核融合装置であったが、第
１図に示すシェル単独の核融合装置にもこの発明を適用
し１ｑることは勿論のことてあり、上記実施例と同様の
効果が期待できる。
流器コイルを相重ねる構造の核融合装置であったが、第
１図に示すシェル単独の核融合装置にもこの発明を適用
し１ｑることは勿論のことてあり、上記実施例と同様の
効果が期待できる。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明しｔこ通り、シェルまたは空心変流
型フィルのボート穴部近傍を除いてＦＢＣ絶縁を施し、
シェルまたは空心変流器コイルのボート穴部近傍を絶縁
キャップで絶縁を施し１．＝のて。
型フィルのボート穴部近傍を除いてＦＢＣ絶縁を施し、
シェルまたは空心変流器コイルのボート穴部近傍を絶縁
キャップで絶縁を施し１．＝のて。
ＦＢＣ絶縁と絶縁キャップとの境界面での絶縁特性を高
め、高耐圧性を備えた核融合装置が得られる。
め、高耐圧性を備えた核融合装置が得られる。
第１図は従来の核融合装置を示す縦断面図、第２図は第
１図の■−■綿における断面図、第３図および第４図は
従来の他の核融合装置を示す縦断面図および要部縦断面
図、第５図はシェルまたは空心変流器コイルの概念図、
第６図は従来の他の核融合装置の絶縁構造を示す縦断面
図、第７図はこの発明の一実施例よる核融合装置の絶縁
構造を示す縦断面図である。 図において、（１）はトロイダルコイル、（２１は真空
容器、（３ンＣよシェル、（３，ａ）・はＦＢＣ絶縁、
（ｓｂ）は空心変流器コイル、（５ｃ）はＦＢＣ絶縁、
（１０）、（１１）、（１２１，（１３）は絶縁キャッ
プ、（Ｐ）、（Ｑ）はポート穴である。 尚２図中同一符号は同一まｔコは相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 第二２図 第３図 第４図 第５１創
１図の■−■綿における断面図、第３図および第４図は
従来の他の核融合装置を示す縦断面図および要部縦断面
図、第５図はシェルまたは空心変流器コイルの概念図、
第６図は従来の他の核融合装置の絶縁構造を示す縦断面
図、第７図はこの発明の一実施例よる核融合装置の絶縁
構造を示す縦断面図である。 図において、（１）はトロイダルコイル、（２１は真空
容器、（３ンＣよシェル、（３，ａ）・はＦＢＣ絶縁、
（ｓｂ）は空心変流器コイル、（５ｃ）はＦＢＣ絶縁、
（１０）、（１１）、（１２１，（１３）は絶縁キャッ
プ、（Ｐ）、（Ｑ）はポート穴である。 尚２図中同一符号は同一まｔコは相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 第二２図 第３図 第４図 第５１創
Claims (2)
- （１）核融合装置のシェルまたは空心変流型コイルに流
動浸漬塗装法（以下ＦＢＣ絶縁と称する）を施すものに
おいて、上記シェルまたは空心変流監コイルに形成され
たプラズマ観測用のボート穴部近傍を絶縁キャップで絶
縁を施したことを特徴とする核融合装置。 - （２）絶縁キャンプはＦＲＰ製からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第（１）項記載の核融合装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160644A JPS6050486A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 核融合装置 |
| US06/643,313 US4689192A (en) | 1983-08-30 | 1984-08-22 | Nuclear fusion reactor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160644A JPS6050486A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 核融合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050486A true JPS6050486A (ja) | 1985-03-20 |
Family
ID=15719387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58160644A Pending JPS6050486A (ja) | 1983-08-30 | 1983-08-30 | 核融合装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4689192A (ja) |
| JP (1) | JPS6050486A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2533552B2 (ja) * | 1987-07-16 | 1996-09-11 | 三菱電機株式会社 | プラズマ実験装置 |
| US7166816B1 (en) | 1997-06-26 | 2007-01-23 | Mks Instruments, Inc. | Inductively-coupled torodial plasma source |
| US6924455B1 (en) | 1997-06-26 | 2005-08-02 | Applied Science & Technology, Inc. | Integrated plasma chamber and inductively-coupled toroidal plasma source |
| US6815633B1 (en) | 1997-06-26 | 2004-11-09 | Applied Science & Technology, Inc. | Inductively-coupled toroidal plasma source |
| US6388226B1 (en) | 1997-06-26 | 2002-05-14 | Applied Science And Technology, Inc. | Toroidal low-field reactive gas source |
| US8779322B2 (en) | 1997-06-26 | 2014-07-15 | Mks Instruments Inc. | Method and apparatus for processing metal bearing gases |
| US7569790B2 (en) | 1997-06-26 | 2009-08-04 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for processing metal bearing gases |
| US6150628A (en) | 1997-06-26 | 2000-11-21 | Applied Science And Technology, Inc. | Toroidal low-field reactive gas source |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3054742A (en) * | 1956-10-26 | 1962-09-18 | Atomic Energy Authority Uk | Gas discharge apparatus |
| BE568741A (ja) * | 1957-06-20 | |||
| DE1464203A1 (de) * | 1962-03-07 | 1969-12-04 | Licentia Gmbh | Isolieranordnung |
| JPS529799A (en) * | 1975-07-14 | 1977-01-25 | Hitachi Ltd | Vacuum vessel for thermo nuclear device |
| JPS5217198A (en) * | 1975-07-30 | 1977-02-08 | Hitachi Ltd | Vacuum container for nuclear fission device |
| JPS54138998A (en) * | 1978-04-19 | 1979-10-27 | Hitachi Ltd | Toroidal coil |
-
1983
- 1983-08-30 JP JP58160644A patent/JPS6050486A/ja active Pending
-
1984
- 1984-08-22 US US06/643,313 patent/US4689192A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4689192A (en) | 1987-08-25 |
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