JPS6045247B2 - 高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法 - Google Patents
高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法Info
- Publication number
- JPS6045247B2 JPS6045247B2 JP53083328A JP8332878A JPS6045247B2 JP S6045247 B2 JPS6045247 B2 JP S6045247B2 JP 53083328 A JP53083328 A JP 53083328A JP 8332878 A JP8332878 A JP 8332878A JP S6045247 B2 JPS6045247 B2 JP S6045247B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- wall surface
- heat treatment
- steel product
- valley
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/32—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for gear wheels, worm wheels, or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/073—Shaping the laser spot
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/06—Surface hardening
- C21D1/09—Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/02—Iron or ferrous alloys
- B23K2103/04—Steel or steel alloys
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は鋼製品表面の熱処理方法、特に歯車、ラック
等谷形に形成された部分を有する鋼製品の該谷形の部分
の表面を高エネルギービームを用いて熱処理する方法に
関する。
等谷形に形成された部分を有する鋼製品の該谷形の部分
の表面を高エネルギービームを用いて熱処理する方法に
関する。
歯車、ラック等の谷形の部分、すなわち歯溝の強度増
すためには該歯溝表面に熱処理を施すことが不可欠であ
るが、工業的には電磁誘導加熱、浸炭、窒化等の方法に
よりこの熱処理を行つているのが現状である。
すためには該歯溝表面に熱処理を施すことが不可欠であ
るが、工業的には電磁誘導加熱、浸炭、窒化等の方法に
よりこの熱処理を行つているのが現状である。
ところがこの方法による場合は特に熱処理の不要な歯先
平頂部が過度に熱処理された強度上好ましくないことは
勿論、エネルギロスも大きく、またはこれに伴い熱処理
歪が大となり、新たな熱処理方法の開発が待たれている
。 ところで近時電子ビーム、レーザビームを加熱手段
とする試みが種々なされており、特に前者は溶接手段と
して既に実用の域に達している。しかし、鋼製品表面の
熱処理については平担な表面を有する鋼製品に対しては
適用されつつあるもの・の、歯車、ラックの如く凹凸表
面を有する鋼製品については実用上種々の問題点があり
、未だ工業的に実用化されていないのが実情である。
例えばラックの歯溝の表面熱処理をするために第５図に
示す如く歯溝の直上からレーザビームを門照射すると硬
化層（斜線で図示）の分布は側壁面表層では薄く、底面
表層では厚い態様となり、著しく不均一な熱処理しか施
し得ない。
平頂部が過度に熱処理された強度上好ましくないことは
勿論、エネルギロスも大きく、またはこれに伴い熱処理
歪が大となり、新たな熱処理方法の開発が待たれている
。 ところで近時電子ビーム、レーザビームを加熱手段
とする試みが種々なされており、特に前者は溶接手段と
して既に実用の域に達している。しかし、鋼製品表面の
熱処理については平担な表面を有する鋼製品に対しては
適用されつつあるもの・の、歯車、ラックの如く凹凸表
面を有する鋼製品については実用上種々の問題点があり
、未だ工業的に実用化されていないのが実情である。
例えばラックの歯溝の表面熱処理をするために第５図に
示す如く歯溝の直上からレーザビームを門照射すると硬
化層（斜線で図示）の分布は側壁面表層では薄く、底面
表層では厚い態様となり、著しく不均一な熱処理しか施
し得ない。
つまり側壁面表層に適厚の硬化層を形成せんとする場合
は底面表層が溶融し、逆に底面表層に適厚の硬化層を形
成せんとする場合は側壁面表層に十分な厚さの硬化層が
形成されないことになる。このような現象を惹起する原
因の一つはレーザビームのエネルギ分布がビーム中心に
おいて高エネルギであるのに対し、ビーム周縁に向かう
につれて低エネルギとなつたいわゆるガウス分布をして
いるために高エネルギのビーム中心が投射される歯構底
面が強く加熱され、逆に低エネルギーのビーム周縁部が
投射される歯溝側壁面が弱く加熱されるにある。この原
因を解消すべくレーザビームの略全領域に亘つてエネル
ギ分布の均一な、いわゆるトツプハツト形の分布をした
レーザビームを発生する装置も実現されてはいるが、こ
れを用いた場合にも歯溝形状に起因する次の理由により
、熱処理の均一化は図れていない。すなわち、第５図に
示す歯溝の開口角度又は左右側壁面のなす角度を４Ｃｆ
Ｃとすると、底面に対するレーザビームの入射角がＯ℃
であるのに対し、側壁面に対するレーザビームの入射角
は７００となり、両部分におけるエネルギ吸収能は大幅
に異なることになる。加えて側壁面入射したレーザビー
ムの一部は両側壁面の間で反復反射されて底面に達し、
この部分の加熱に寄与することになり、厚い硬化層を得
たい壁面の硬化層が薄く、逆に硬化層が薄くてもよい底
面の硬化層が厚くなる不都合がある。このような理由に
より、ラック、歯車等の歯溝部分に対する高エネルギー
ビームによる表面熱処理は未だ実用化される至つていな
かつた。本発明は上述の如き技術的背景の下になされた
、ものであつて、その目的はラック、歯車の歯溝の如く
所定角度を隔てて向する２つの壁面を有する谷形に形成
された部分を具備する鋼製品の前記谷形の部分の表面の
熱処理をレーザビーム又は電子ビームを用いて行い、硬
化層分布が望ましい形態ζで形成され機械的強度に優れ
た鋼製品を得ることを可能にする鋼製品表面の熱処理方
法を堤供するにある。
は底面表層が溶融し、逆に底面表層に適厚の硬化層を形
成せんとする場合は側壁面表層に十分な厚さの硬化層が
形成されないことになる。このような現象を惹起する原
因の一つはレーザビームのエネルギ分布がビーム中心に
おいて高エネルギであるのに対し、ビーム周縁に向かう
につれて低エネルギとなつたいわゆるガウス分布をして
いるために高エネルギのビーム中心が投射される歯構底
面が強く加熱され、逆に低エネルギーのビーム周縁部が
投射される歯溝側壁面が弱く加熱されるにある。この原
因を解消すべくレーザビームの略全領域に亘つてエネル
ギ分布の均一な、いわゆるトツプハツト形の分布をした
レーザビームを発生する装置も実現されてはいるが、こ
れを用いた場合にも歯溝形状に起因する次の理由により
、熱処理の均一化は図れていない。すなわち、第５図に
示す歯溝の開口角度又は左右側壁面のなす角度を４Ｃｆ
Ｃとすると、底面に対するレーザビームの入射角がＯ℃
であるのに対し、側壁面に対するレーザビームの入射角
は７００となり、両部分におけるエネルギ吸収能は大幅
に異なることになる。加えて側壁面入射したレーザビー
ムの一部は両側壁面の間で反復反射されて底面に達し、
この部分の加熱に寄与することになり、厚い硬化層を得
たい壁面の硬化層が薄く、逆に硬化層が薄くてもよい底
面の硬化層が厚くなる不都合がある。このような理由に
より、ラック、歯車等の歯溝部分に対する高エネルギー
ビームによる表面熱処理は未だ実用化される至つていな
かつた。本発明は上述の如き技術的背景の下になされた
、ものであつて、その目的はラック、歯車の歯溝の如く
所定角度を隔てて向する２つの壁面を有する谷形に形成
された部分を具備する鋼製品の前記谷形の部分の表面の
熱処理をレーザビーム又は電子ビームを用いて行い、硬
化層分布が望ましい形態ζで形成され機械的強度に優れ
た鋼製品を得ることを可能にする鋼製品表面の熱処理方
法を堤供するにある。
本発明の前述した目的及び他の目的及び特徴は本発明の
実施例を示す図面を参照して行う以発明の詳細な説明か
ら一層明らかとなるであろう。
実施例を示す図面を参照して行う以発明の詳細な説明か
ら一層明らかとなるであろう。
まず本発明を要約すれは前記歯溝の如く所定角度を隔て
て対向する二つの壁面夫々に各１本の高エネルギービー
ムを同時的に照射する点に特徴を有してる。すなわち、
本発明に係る第１の鋼製品表面の熱処理方法は、所定角
度を隔てて対向する２つの壁面を有する谷形に形成され
た部分を具備する鋼製品の前記谷形の部分の表面を熱処
理をする方法において、第１の高エネルギービームを第
１の壁面に投射すると同時的に、第１の壁面における第
１の高エネルギービームの投射領域に対向する第２の壁
面の領域に第２の高エネルギービームを投射することを
特徴としている。そして前記ノ高エネルギービームとし
てはレーザビーム又は電子ビームが使用される。第１図
は本発明の実施状態を示す概略図であつて１１，１２は
夫々第１及び第２のレーザビーム発生装置であり、夫々
熱処理対象たるラック１０の歯溝１０１を形成する第一
１の壁面１０１１及び第２の壁面１０１２に夫々から発
せられた投射ビームが向かうように配置されており、夫
々のビームの光路中には該ビームを集束する凸レンズ１
３，１４を介在させている。電子ビームを高エネルギー
ビームとして用いる場合にはビーム集束手段として磁気
レンズが用いられるが、いずれの場合においてもビーム
径が適当である場合にはこれらのビーム集束手段を省略
し得る。而して第１のレーザビーム発生装置１１と第２
のレーザビーム発生装置１２とは熱処理を行わんとす歯
溝１０１の中心線に関して対称となるようにし、且つ各
装置１１及び１２夫々から発せられるレーザビームの第
１の壁面１０１１及び第２の壁面１０１２に対する入射
角が可及的に小となるように配設されている。而してこ
の入射角は両壁面１０１１，１０１２の歯先平頂部端縁
から歯溝底面に至る寸法（以下壁面深さという）及び両
壁面１０１１，１０１２のなす角度（以下歯溝角度とい
う）並びにビーム径に関連して定められる。すなわち第
１のレーザビーム発生装置１１から発せられた第１のレ
ーザビームは第２の壁面１０１２に投射されることなく
第１の壁面１０１１の歯先平頂部端縁から歯溝底面に至
る間に投射され、逆に第２のレーザビーム発生装置１２
から発せられた第２のレーザビームは第１の壁面１０１
１に投射されることなく第２の壁面１０１２の歯先平頂
部端縁から歯溝底面に至る間に投射されるように、壁面
１０１１，１０１２における夫々のビーム径及び入射角
が定められる。なお第１及び第２のレーザビームのエネ
ルギ分布モードはガウス分布、トツプハツト分布のいず
れであつてもよい。さて壁面１０１１，１０１２におけ
るレーザビーム投射領域の面積はビーム径によつて定ま
る。
て対向する二つの壁面夫々に各１本の高エネルギービー
ムを同時的に照射する点に特徴を有してる。すなわち、
本発明に係る第１の鋼製品表面の熱処理方法は、所定角
度を隔てて対向する２つの壁面を有する谷形に形成され
た部分を具備する鋼製品の前記谷形の部分の表面を熱処
理をする方法において、第１の高エネルギービームを第
１の壁面に投射すると同時的に、第１の壁面における第
１の高エネルギービームの投射領域に対向する第２の壁
面の領域に第２の高エネルギービームを投射することを
特徴としている。そして前記ノ高エネルギービームとし
てはレーザビーム又は電子ビームが使用される。第１図
は本発明の実施状態を示す概略図であつて１１，１２は
夫々第１及び第２のレーザビーム発生装置であり、夫々
熱処理対象たるラック１０の歯溝１０１を形成する第一
１の壁面１０１１及び第２の壁面１０１２に夫々から発
せられた投射ビームが向かうように配置されており、夫
々のビームの光路中には該ビームを集束する凸レンズ１
３，１４を介在させている。電子ビームを高エネルギー
ビームとして用いる場合にはビーム集束手段として磁気
レンズが用いられるが、いずれの場合においてもビーム
径が適当である場合にはこれらのビーム集束手段を省略
し得る。而して第１のレーザビーム発生装置１１と第２
のレーザビーム発生装置１２とは熱処理を行わんとす歯
溝１０１の中心線に関して対称となるようにし、且つ各
装置１１及び１２夫々から発せられるレーザビームの第
１の壁面１０１１及び第２の壁面１０１２に対する入射
角が可及的に小となるように配設されている。而してこ
の入射角は両壁面１０１１，１０１２の歯先平頂部端縁
から歯溝底面に至る寸法（以下壁面深さという）及び両
壁面１０１１，１０１２のなす角度（以下歯溝角度とい
う）並びにビーム径に関連して定められる。すなわち第
１のレーザビーム発生装置１１から発せられた第１のレ
ーザビームは第２の壁面１０１２に投射されることなく
第１の壁面１０１１の歯先平頂部端縁から歯溝底面に至
る間に投射され、逆に第２のレーザビーム発生装置１２
から発せられた第２のレーザビームは第１の壁面１０１
１に投射されることなく第２の壁面１０１２の歯先平頂
部端縁から歯溝底面に至る間に投射されるように、壁面
１０１１，１０１２における夫々のビーム径及び入射角
が定められる。なお第１及び第２のレーザビームのエネ
ルギ分布モードはガウス分布、トツプハツト分布のいず
れであつてもよい。さて壁面１０１１，１０１２におけ
るレーザビーム投射領域の面積はビーム径によつて定ま
る。
このビーム径は必ずしも前述した如き方法で厳密．に定
める必要はなく、歯先平頂部にまで若干広がる程度の大
きさであつてもよいが、いずれにしてもさほど大径とは
なし得ずレーザビーム投射領域の面積も狭い。従つてラ
ック１０の幅寸法が大である場合は両レーザビームを歯
溝１０１の長手方向、すなわちラック１０の幅方向に沿
つて投射走査する必要があることは勿論であり、またラ
ック１０の多数の歯溝に対しての熱処理を施すにはラッ
ク１０を１ピッチ分スライドさせればよい。なおレーザ
ビーム投射領域におけるエネルギ密度は１σ〜１ｃｆ′
Ｗａｔｔ／ｉ程度にするのが適当であり、エネルギ密度
がこの範囲内の値になるようにレーザビーム発生装置１
１，１２の出力、又はビーム投射時間若しくは走査速度
が選定される。そしてエネルギ密度をこの範囲内の値に
することによりビーム投射領域の表層部分の温度は変態
点以上となり、また溶融点を超えず適切な表面焼入れが
行われることになる。叙上の如き本発明方法による場は
壁面１０１１，１０１２夫々に小さな入射角でレーザビ
ーム等の高エネルギービームが投射されるため、従来方
式の如く歯溝１０１の直上から高エネルギービームを投
射する場合に比して壁面各部における投射エネルギの分
布が均一化され、これにより歯溝１０１の表層は歯先平
頂部端縁側が稍々厚く、底面側が稍々薄い理想的な分布
の硬化層（斜線で図示）が得られる熱処理を施されるこ
とになり、その結果機械的強度に優れた鋼製品が得られ
る。
める必要はなく、歯先平頂部にまで若干広がる程度の大
きさであつてもよいが、いずれにしてもさほど大径とは
なし得ずレーザビーム投射領域の面積も狭い。従つてラ
ック１０の幅寸法が大である場合は両レーザビームを歯
溝１０１の長手方向、すなわちラック１０の幅方向に沿
つて投射走査する必要があることは勿論であり、またラ
ック１０の多数の歯溝に対しての熱処理を施すにはラッ
ク１０を１ピッチ分スライドさせればよい。なおレーザ
ビーム投射領域におけるエネルギ密度は１σ〜１ｃｆ′
Ｗａｔｔ／ｉ程度にするのが適当であり、エネルギ密度
がこの範囲内の値になるようにレーザビーム発生装置１
１，１２の出力、又はビーム投射時間若しくは走査速度
が選定される。そしてエネルギ密度をこの範囲内の値に
することによりビーム投射領域の表層部分の温度は変態
点以上となり、また溶融点を超えず適切な表面焼入れが
行われることになる。叙上の如き本発明方法による場は
壁面１０１１，１０１２夫々に小さな入射角でレーザビ
ーム等の高エネルギービームが投射されるため、従来方
式の如く歯溝１０１の直上から高エネルギービームを投
射する場合に比して壁面各部における投射エネルギの分
布が均一化され、これにより歯溝１０１の表層は歯先平
頂部端縁側が稍々厚く、底面側が稍々薄い理想的な分布
の硬化層（斜線で図示）が得られる熱処理を施されるこ
とになり、その結果機械的強度に優れた鋼製品が得られ
る。
さて上述の如き本発明方法の効果は単に一の壁面１０１
１又は１０１２に高エネルギービームを側方から、すな
わち壁面１０１１又は１０１２に対する入射角が小とな
るように投射することのみによつて得られるものではな
く両壁面１０１１，１０１２の対向領域を同時的に側方
から投射することによつて得られるものである。すなわ
ち本発明者は本発明を完成する過程において、次のよう
な熱処理方法を試みた。すなわち最初の工程において第
１の壁面１０１１に対してのみこれに対向する方向から
レーザビームを投射し、次工程において第２の壁面１０
１２に対してのみこれに対向する方向からレーザビーム
を投射する方法を試みたが、この場合は後工程における
レーザビームの反射により第１の壁面が過処理されて軟
化ゾーンが現れることとなり両壁面の熱処理状態に非対
称性が現れる外、底面の表層部において先工程によつて
形成された硬化層ど後工程において形成された硬化層と
のオーバーラップ域が現れ、製品強度上好ましくない結
果を招来することになる。第６図は上述のようにして処
理されたラックの１（＠に拡大した金属顕微鏡写真であ
つて、右側の壁面に黒く現れているのが軟化ゾーンであ
り、左右非対称の熱処理が行われていること及び底面に
オーバーラップ域が現れていることが示されている。こ
れに反して本発明方法による場合は両壁面１０１１，１
０１２の対向領域を同時的に熱処理するので、上述の方
法の如き不都合は全く現れないことになる。さて上述し
たように両壁面１０１１，１０１２の対向領域に高エネ
ルギービームを同時的に投射することは本発明方法の重
要な一要素てある。
１又は１０１２に高エネルギービームを側方から、すな
わち壁面１０１１又は１０１２に対する入射角が小とな
るように投射することのみによつて得られるものではな
く両壁面１０１１，１０１２の対向領域を同時的に側方
から投射することによつて得られるものである。すなわ
ち本発明者は本発明を完成する過程において、次のよう
な熱処理方法を試みた。すなわち最初の工程において第
１の壁面１０１１に対してのみこれに対向する方向から
レーザビームを投射し、次工程において第２の壁面１０
１２に対してのみこれに対向する方向からレーザビーム
を投射する方法を試みたが、この場合は後工程における
レーザビームの反射により第１の壁面が過処理されて軟
化ゾーンが現れることとなり両壁面の熱処理状態に非対
称性が現れる外、底面の表層部において先工程によつて
形成された硬化層ど後工程において形成された硬化層と
のオーバーラップ域が現れ、製品強度上好ましくない結
果を招来することになる。第６図は上述のようにして処
理されたラックの１（＠に拡大した金属顕微鏡写真であ
つて、右側の壁面に黒く現れているのが軟化ゾーンであ
り、左右非対称の熱処理が行われていること及び底面に
オーバーラップ域が現れていることが示されている。こ
れに反して本発明方法による場合は両壁面１０１１，１
０１２の対向領域を同時的に熱処理するので、上述の方
法の如き不都合は全く現れないことになる。さて上述し
たように両壁面１０１１，１０１２の対向領域に高エネ
ルギービームを同時的に投射することは本発明方法の重
要な一要素てある。
次に説明する方法はレーザビーム発生装置の使用個数を
低減すると共に両壁面１０１１，１０１２に投射される
レーザビームの整合、すなわち両壁面１０１１，１０１
２の対向領域に対するエネルギ投射量を均等にし、且つ
投射タイミングの同時性を容易に確保することを可能と
するものである。すなわち、本発明に係る第２の熱処理
方法は、所定角度を隔てて対向する２つの壁面を有する
谷形２に形成された部分を具備する鋼製品の前記谷形の
部分の表面を熱処理する方法において、前記谷形の部分
に向かうレーザビームを該レーザビームの光路中に配設
した光学的手段により２分割した相異る方向に向かう第
１及び第２の分割レーザビー７ムを得、こら第１及び第
２の分割レーザビームの光路中に夫々配設した光学的手
段により第１の分割レーザビームを第１のに投射すると
同時に、第１の壁面における第１の分割レーザビームの
投射領域に対向する第２の壁面の領域に第２の分割レフ
ーザビームを投射することを特徴としている。以下この
第２の熱処理方法をその実施に使用する熱処理装置の一
実施例を示す図面に詳いて説明する。第２図において２
１はレーザビーム発生装置であつてラック２０の歯溝２
０１向けてレーザビーム２１ｂが発せられるように配置
されている。２２は断面が二等辺三角形をなす三角柱状
の二面鏡であつて、等辺に相当する二面に夫々反射鏡２
２１，２２２を備えており、両反射鏡２２１，２２２の
接合線がレーザビーム２１ｂにおける、歯溝２０１の長
手方向に延びる中心線と対向する直径と一致し、且つレ
ーザビーム２１ｂの各反射鏡２２１，２２２に対する入
射角が等しくなるように、換言すればレーザビーム２１
ｂが歯溝２０１の第２の壁面２０１２側と第１の壁面２
０１１側とに２分割されて振分けられるように配設され
ている。
低減すると共に両壁面１０１１，１０１２に投射される
レーザビームの整合、すなわち両壁面１０１１，１０１
２の対向領域に対するエネルギ投射量を均等にし、且つ
投射タイミングの同時性を容易に確保することを可能と
するものである。すなわち、本発明に係る第２の熱処理
方法は、所定角度を隔てて対向する２つの壁面を有する
谷形２に形成された部分を具備する鋼製品の前記谷形の
部分の表面を熱処理する方法において、前記谷形の部分
に向かうレーザビームを該レーザビームの光路中に配設
した光学的手段により２分割した相異る方向に向かう第
１及び第２の分割レーザビー７ムを得、こら第１及び第
２の分割レーザビームの光路中に夫々配設した光学的手
段により第１の分割レーザビームを第１のに投射すると
同時に、第１の壁面における第１の分割レーザビームの
投射領域に対向する第２の壁面の領域に第２の分割レフ
ーザビームを投射することを特徴としている。以下この
第２の熱処理方法をその実施に使用する熱処理装置の一
実施例を示す図面に詳いて説明する。第２図において２
１はレーザビーム発生装置であつてラック２０の歯溝２
０１向けてレーザビーム２１ｂが発せられるように配置
されている。２２は断面が二等辺三角形をなす三角柱状
の二面鏡であつて、等辺に相当する二面に夫々反射鏡２
２１，２２２を備えており、両反射鏡２２１，２２２の
接合線がレーザビーム２１ｂにおける、歯溝２０１の長
手方向に延びる中心線と対向する直径と一致し、且つレ
ーザビーム２１ｂの各反射鏡２２１，２２２に対する入
射角が等しくなるように、換言すればレーザビーム２１
ｂが歯溝２０１の第２の壁面２０１２側と第１の壁面２
０１１側とに２分割されて振分けられるように配設され
ている。
この二面鏡２２によつてレーザビーム２１ｂは２分割さ
れて夫々異方向に進む第１及び第２の分割レーザビーム
２２１ｂ，２２２ｂとなるが、反射鏡２２１によつて第
２の壁面２０１２側に振分けられた第１の分割レーザビ
ーム２２１ｂの光路中には該第１の分割レーザビーム２
２１ｂを歯溝２０１の第１の壁面２０１１に向けて反射
させるべく平面鏡２３１が配設されており、該平面鏡２
３１と第１の壁面２０１１との間にはこの分割レーザビ
ーム２２１ｂを集束する凸レンズ２４１が配設されてい
る。一方、反射鏡２２２によつて第１の壁面２０１１側
に振分けられた第２の分割レーザビーム２２２ｂの光路
中には該第２の分割レーザビーム２２２ｂを歯溝２０１
の第２の壁面２０１２に向けて反射させるべく平面鏡２
３２が配設されており、該平面鏡２３２と第２の壁面２
０１２との間にこの分割レーザビーム２２２ｂを集束す
る凸レンズ２４２が配設されている。この場合において
も第１の分割レーザビーム２２１ｂが前記第１のレーザ
ビーム同様第１の壁面２０１１に投射され、且つその入
射角が可及的に小となるように、また第２の分割レーザ
ビーム２２２ｂが前記第２のレーザビーム同様第２の壁
面ζ２０１２における、第１の分割レーザビーム２２１
ｂによる第１の壁面２０１１の投射領域に対向する領域
に投射され、且つその入射角が可及的に小となるように
する必要があるが、これらの条件はレーザビーム２１ｂ
のビーム径、二面鏡２２のｔ反射鏡２２１，２２２のな
す角度、分割レーザビーム２２１ｂ，２２２ｂの平面鏡
２３１，２４１に対する入射角等を歯溝２０１の壁面深
さ、歯溝角度に応じて適当に選択することによつて充足
される。
れて夫々異方向に進む第１及び第２の分割レーザビーム
２２１ｂ，２２２ｂとなるが、反射鏡２２１によつて第
２の壁面２０１２側に振分けられた第１の分割レーザビ
ーム２２１ｂの光路中には該第１の分割レーザビーム２
２１ｂを歯溝２０１の第１の壁面２０１１に向けて反射
させるべく平面鏡２３１が配設されており、該平面鏡２
３１と第１の壁面２０１１との間にはこの分割レーザビ
ーム２２１ｂを集束する凸レンズ２４１が配設されてい
る。一方、反射鏡２２２によつて第１の壁面２０１１側
に振分けられた第２の分割レーザビーム２２２ｂの光路
中には該第２の分割レーザビーム２２２ｂを歯溝２０１
の第２の壁面２０１２に向けて反射させるべく平面鏡２
３２が配設されており、該平面鏡２３２と第２の壁面２
０１２との間にこの分割レーザビーム２２２ｂを集束す
る凸レンズ２４２が配設されている。この場合において
も第１の分割レーザビーム２２１ｂが前記第１のレーザ
ビーム同様第１の壁面２０１１に投射され、且つその入
射角が可及的に小となるように、また第２の分割レーザ
ビーム２２２ｂが前記第２のレーザビーム同様第２の壁
面ζ２０１２における、第１の分割レーザビーム２２１
ｂによる第１の壁面２０１１の投射領域に対向する領域
に投射され、且つその入射角が可及的に小となるように
する必要があるが、これらの条件はレーザビーム２１ｂ
のビーム径、二面鏡２２のｔ反射鏡２２１，２２２のな
す角度、分割レーザビーム２２１ｂ，２２２ｂの平面鏡
２３１，２４１に対する入射角等を歯溝２０１の壁面深
さ、歯溝角度に応じて適当に選択することによつて充足
される。
なお分割レーザビーム２２１ｂ，２２２ｂ夫々を第１の
壁面２０１１、第２の壁面２０１２の夫々に集光投射す
る光学的手段としては前記平面鏡２３１，２３２と凸レ
ンズ２４１，２４２との組合せに替えて、各１個の凹面
鏡を用い、これを平面鏡２３１，２３２と略同位置に配
設することとしてもよい。このような装置を用いて本発
明に係る第２の熱処理方法を実施した場合は両壁面２０
１１，２０）１２が同時的に、しかも略等しい条件で熱
処理されることになり、前述の如く２つのレーザビーム
発生装置を使用した場合と同様に両壁面とも歯先平頂部
端縁側が厚く、底面側が薄い理想的な分布の硬化層が形
成されることになる。
壁面２０１１、第２の壁面２０１２の夫々に集光投射す
る光学的手段としては前記平面鏡２３１，２３２と凸レ
ンズ２４１，２４２との組合せに替えて、各１個の凹面
鏡を用い、これを平面鏡２３１，２３２と略同位置に配
設することとしてもよい。このような装置を用いて本発
明に係る第２の熱処理方法を実施した場合は両壁面２０
１１，２０）１２が同時的に、しかも略等しい条件で熱
処理されることになり、前述の如く２つのレーザビーム
発生装置を使用した場合と同様に両壁面とも歯先平頂部
端縁側が厚く、底面側が薄い理想的な分布の硬化層が形
成されることになる。
そしてこの方・法による場合は第２図に示すレーザビー
ム２１ｂ及び分割レーザビーム２２１ｂ，２２２ｂの光
路から理解されるように、レーザビーム２１ｂとしてガ
ウス分布タイプのものを用いる場合はエネルギ密度の高
いレーザビーム２１ｂの中心部が壁面２０１２，２０１
１の歯先寄りに投射され、エネルギ密度の低いレーザビ
ーム２１ｂの周縁部が歯溝２０１の底面寄りに投射され
ることになにり、底面側部分においては反射による二次
投射効果が若干現れるので結果的により望ましい熱処理
パターンが得られることになる。また平面鏡２３１，２
３２を適当な範囲で接近・離隔させることによつてエネ
ルギ密度の高い部分を歯溝２０１の底面中心から離隔さ
せ、又は該中心へ接近させることができるので、分割レ
ーザビームが投射される領域の投射エネルギ分布を所望
形態になし得る。更に二面鏡２２としてその両反射面２
２１，２２２のなす角度θを調節可能とした構造のもの
を使用することも可能てあり、この場合も角度θを適当
に調節することにより投射エネルギ分布を所望形態にす
ることがきる。すなわち僅かの操作のみで、壁面深さ、
歯溝角度の異る処理対象物には最適のエネルギ分布でビ
ームを投射するべく対処できる。第３図及び第４図は本
発明に係る前記第１の熱処理方法（レーザビーム使用）
により熱処理を施したラックの部分断面を示写真である
。
ム２１ｂ及び分割レーザビーム２２１ｂ，２２２ｂの光
路から理解されるように、レーザビーム２１ｂとしてガ
ウス分布タイプのものを用いる場合はエネルギ密度の高
いレーザビーム２１ｂの中心部が壁面２０１２，２０１
１の歯先寄りに投射され、エネルギ密度の低いレーザビ
ーム２１ｂの周縁部が歯溝２０１の底面寄りに投射され
ることになにり、底面側部分においては反射による二次
投射効果が若干現れるので結果的により望ましい熱処理
パターンが得られることになる。また平面鏡２３１，２
３２を適当な範囲で接近・離隔させることによつてエネ
ルギ密度の高い部分を歯溝２０１の底面中心から離隔さ
せ、又は該中心へ接近させることができるので、分割レ
ーザビームが投射される領域の投射エネルギ分布を所望
形態になし得る。更に二面鏡２２としてその両反射面２
２１，２２２のなす角度θを調節可能とした構造のもの
を使用することも可能てあり、この場合も角度θを適当
に調節することにより投射エネルギ分布を所望形態にす
ることがきる。すなわち僅かの操作のみで、壁面深さ、
歯溝角度の異る処理対象物には最適のエネルギ分布でビ
ームを投射するべく対処できる。第３図及び第４図は本
発明に係る前記第１の熱処理方法（レーザビーム使用）
により熱処理を施したラックの部分断面を示写真である
。
第３図は熱処理されたラックの部分断面を１＠に拡大し
た金属顕微鏡写真であつて、壁面の表層部分が硬化層と
なつており、この硬化層は歯先平頂部端縁寄りが厚く、
壁面中央部が薄く形成されており、歯先強度の優れたラ
ックが得られた。
た金属顕微鏡写真であつて、壁面の表層部分が硬化層と
なつており、この硬化層は歯先平頂部端縁寄りが厚く、
壁面中央部が薄く形成されており、歯先強度の優れたラ
ックが得られた。
第４図は１０皓に拡大した歯底部硬化層の金属顕微鏡写
真であつて、この硬化層部分が完全にマルテンサイト変
態をしていることが確認された。なお、第３図、第４図
のラック加工条件は次のとおりである。処理対象ラック
仕様 ：ｍ＝２．５ 圧力角＝２０ク 使用レーザビーム発生 装置 ：炭酸ガスレーザビーム
発生装置２台 出力１
．５ＫＷ ビーム直径１７顛φ レーザビームヘッドか ら壁面までの寸法 ：２３５Ｔａ ビーム走査速度 ：３００ｍ／Ｍｉｎ照射面前処理
：黒体化処理 なお下記の条件で本発明に係る第２の熱処理方法を実施
した場合にも同様に優れた熱処理が施された。
真であつて、この硬化層部分が完全にマルテンサイト変
態をしていることが確認された。なお、第３図、第４図
のラック加工条件は次のとおりである。処理対象ラック
仕様 ：ｍ＝２．５ 圧力角＝２０ク 使用レーザビーム発生 装置 ：炭酸ガスレーザビーム
発生装置２台 出力１
．５ＫＷ ビーム直径１７顛φ レーザビームヘッドか ら壁面までの寸法 ：２３５Ｔａ ビーム走査速度 ：３００ｍ／Ｍｉｎ照射面前処理
：黒体化処理 なお下記の条件で本発明に係る第２の熱処理方法を実施
した場合にも同様に優れた熱処理が施された。
処理対象ラック仕様 ：ｍ＝２．５
圧力角＝２０ク
使用レーザビーム発生
装置 ：炭酸ガスレーザビーム
発生装置１台 出力
１．５ＫＷ ビーム直径１７Ｔ０Ｒφ レーザビームヘッドか ら壁面までの寸法 ：２８１．５ｗｒＩ１．ビーム走
査速度 ：１３ｈ／Ｍｉｎ．照射面前処理
：黒体化処理 そして本発明方法による場合は比較的硬化層の薄い底面
部分においてもビッカース硬さ２０砒■以上の硬度が得
られ、また硬化層の厚い歯先平頂部端縁寄りの壁面にお
いては６０〔■以上の硬度が得られた。
発生装置１台 出力
１．５ＫＷ ビーム直径１７Ｔ０Ｒφ レーザビームヘッドか ら壁面までの寸法 ：２８１．５ｗｒＩ１．ビーム走
査速度 ：１３ｈ／Ｍｉｎ．照射面前処理
：黒体化処理 そして本発明方法による場合は比較的硬化層の薄い底面
部分においてもビッカース硬さ２０砒■以上の硬度が得
られ、また硬化層の厚い歯先平頂部端縁寄りの壁面にお
いては６０〔■以上の硬度が得られた。
以上詳述したように本発明による場合は、エネルギービ
ームによる鋼製品の表面熱処理技術一般に得られる自己
焼入（ＳｅＩｆ−Ｑｕｅｎｃｈ）効果が奏されることは
勿論、硬化層が望ましい厚さ分布で形成され、また溶融
による軟化ゾーンが形成されることもないなどの効果を
奏し、本発明がこの種の熱処理技術の向上に寄与すると
ころ多大である。
ームによる鋼製品の表面熱処理技術一般に得られる自己
焼入（ＳｅＩｆ−Ｑｕｅｎｃｈ）効果が奏されることは
勿論、硬化層が望ましい厚さ分布で形成され、また溶融
による軟化ゾーンが形成されることもないなどの効果を
奏し、本発明がこの種の熱処理技術の向上に寄与すると
ころ多大である。
図面は本発明の実施例を示すものであつて、第１図は本
発明に係る第１の熱処理方法を説明する・ための説明図
、第２図は本発明に係る熱処理装置の略示図、第３図、
第４図は本発明方法により熱処理したラックの金属顕微
鏡写真、第５図は従来方法の問題点の説明図、第６図は
歯溝壁面を一側ずつ順次的に熱処理したラックの金属顕
微鏡写真である。 １１，１２，２１・・・・・ルーザビーム発生装置、１
３，１４，２４１，２４２・・・・・・凸レンズ、２２
・・・二面鏡、２３１，２３２・・・・・・平面鏡。
発明に係る第１の熱処理方法を説明する・ための説明図
、第２図は本発明に係る熱処理装置の略示図、第３図、
第４図は本発明方法により熱処理したラックの金属顕微
鏡写真、第５図は従来方法の問題点の説明図、第６図は
歯溝壁面を一側ずつ順次的に熱処理したラックの金属顕
微鏡写真である。 １１，１２，２１・・・・・ルーザビーム発生装置、１
３，１４，２４１，２４２・・・・・・凸レンズ、２２
・・・二面鏡、２３１，２３２・・・・・・平面鏡。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定角度を隔てて対向する２つの壁面を有する谷形
に形成された部分を具備する鋼製品の前記谷形の部分の
表面を熱処理する方法において、第１の高エネルギービ
ームを第１の壁面に投射すると同時的に、第１の壁面に
おける第１の高エネルギービームの投射領域に対向する
第２の壁面の領域に第２の高エネルギービームを投射す
ることを特徴とする鋼製品表面の熱処理方法。 ２ 前記高エネルギービームがレーザビームである特許
請求の範囲第１項記載の鋼製品表面の熱処理方法。 ３ 前記高エネルギービームが電子ビームである特許請
求の範囲第１項記載の鋼製品表面の熱処理方法。 ４ 所定角度を隔てて対向する２つの壁面を有する谷形
に形成された部分を具備する鋼製品の前記谷形の部分の
表面を熱処理する方法において、前記谷形の部分に向か
うレーザビームを該レーザビームの光路中に配設した光
学的手段により２分割して相異る方向に向かう第１及び
第２の分割レーザビームを得、これら第１及び第２の分
割レーザビームの光路中に夫々配設した光学的手段によ
り第１の分割レーザビームを第１の壁面に投射すると同
時的に、第１の壁面における第１の分割レーザビームの
投射領域に対向する第２の壁面の領域に第２の分割レー
ザビームを投射することを特徴とする鋼製品表面の熱処
理方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53083328A JPS6045247B2 (ja) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | 高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法 |
| US06/049,639 US4250372A (en) | 1978-07-07 | 1979-06-18 | Process and apparatus for the heat treatment by high energy beams of surfaces of steel products |
| DE19792927130 DE2927130A1 (de) | 1978-07-07 | 1979-07-05 | Verfahren und vorrichtung zur waermebehandlung von oberflaechen von werkstuecken aus stahl |
| GB7923698A GB2027752B (en) | 1978-07-07 | 1979-07-06 | Surface hardening by high energy beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53083328A JPS6045247B2 (ja) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | 高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5901885A Division JPS60215715A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5511141A JPS5511141A (en) | 1980-01-25 |
| JPS6045247B2 true JPS6045247B2 (ja) | 1985-10-08 |
Family
ID=13799354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53083328A Expired JPS6045247B2 (ja) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | 高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4250372A (ja) |
| JP (1) | JPS6045247B2 (ja) |
| DE (1) | DE2927130A1 (ja) |
| GB (1) | GB2027752B (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155314A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Connecting method of optical fiber and its connector |
| DE2948057A1 (de) * | 1979-11-29 | 1981-06-04 | Karl Schmidt Gmbh, 7107 Neckarsulm | Verfahren zur gestaltung des randes einer brennraummulde eines leichtmetallkolbens |
| SE444640B (sv) * | 1980-08-28 | 1986-04-28 | Bergentz Sven Erik | I djur eller menniska implanterbar kerlprotes samt sett for dess framstellning |
| JPS58143859U (ja) * | 1982-03-25 | 1983-09-28 | 株式会社小松製作所 | レ−ザ焼入装置 |
| IT1156026B (it) * | 1982-05-27 | 1987-01-28 | Fiat Ricerche | Dispositivo di deflessione di un fascio laser per eseguire trattamenti termici superficiali di pezzi scanalati |
| JPS5989711A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-24 | Komatsu Ltd | レ−ザ焼入装置 |
| GB8306951D0 (en) * | 1983-03-14 | 1983-04-20 | Ici Plc | Energy beam focusing apparatus |
| US4533400A (en) * | 1983-06-29 | 1985-08-06 | The Garrett Corporation | Method and apparatus for laser hardening of steel |
| US4539461A (en) * | 1983-12-21 | 1985-09-03 | The Garrett Corporation | Method and apparatus for laser gear hardening |
| JPS619517A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 回転体機械部品の表面改質装置 |
| US4663513A (en) * | 1985-11-26 | 1987-05-05 | Spectra-Physics, Inc. | Method and apparatus for monitoring laser processes |
| US5072091A (en) * | 1989-04-03 | 1991-12-10 | The Local Government Of Osaka Prefecture | Method and apparatus for metal surface process by laser beam |
| US5204987A (en) * | 1990-01-12 | 1993-04-20 | Hans Klingel | Apparatus for treating steel edges of skis and other runner devices |
| US5160556A (en) * | 1990-08-22 | 1992-11-03 | United Container Machinery Group, Inc. | Method of hardening corrugating rolls |
| US5229571A (en) * | 1991-07-08 | 1993-07-20 | Armco Steel Co., L.P. | High production laser welding assembly and method |
| US5179261A (en) * | 1991-09-17 | 1993-01-12 | Combustion Engineering Inc. | Split beam laser welding system |
| JPH09216075A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-19 | Aisin Aw Co Ltd | 金属部材の表面仕上方法及びそれにより得られる金属部材 |
| JPH10121125A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-12 | Aisin Aw Co Ltd | 鋼部材の表面処理方法及び表面処理鋼部材 |
| US6139462A (en) * | 1998-08-27 | 2000-10-31 | American Axle & Manufacturing, Inc. | Differential with laser hardened case |
| US6146476A (en) * | 1999-02-08 | 2000-11-14 | Alvord-Polk, Inc. | Laser-clad composite cutting tool and method |
| US6218642B1 (en) * | 1999-07-12 | 2001-04-17 | J. F. Helmold & Bro., Inc. | Laser hardened steel cutting rule |
| JP4554040B2 (ja) * | 2000-07-10 | 2010-09-29 | 日立建機株式会社 | レーザによる歯車の熱処理方法および装置 |
| DE10218141A1 (de) * | 2002-04-29 | 2003-11-13 | Stiefelmayer Gmbh & Co Kg C | Verfahren zur Laser-Wärmebehandlung von Werkstücken |
| JP5420172B2 (ja) * | 2004-10-06 | 2014-02-19 | リモ パテントフェルヴァルトゥング ゲーエムベーハー ウント コー．カーゲー | レーザ装置 |
| WO2006037370A1 (de) * | 2004-10-06 | 2006-04-13 | Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co. Kg | Laseranordnung |
| DE102006060116B4 (de) * | 2006-12-20 | 2009-12-03 | Erlas Erlanger Lasertechnik Gmbh | Mehrstrahllaserbearbeitungskopf |
| DE102009005935B4 (de) * | 2009-01-23 | 2010-10-07 | Danfoss Compressors Gmbh | Verfahren zum Kalibrieren einer Pleuelstangenanordnung und Pleuelstangenanordnung |
| DE102011100735B4 (de) * | 2011-05-06 | 2019-12-05 | Faurecia Autositze Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Zahnrades und hierdurch hergestelltes Zahnrad |
| TW201505743A (zh) * | 2013-08-13 | 2015-02-16 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 雷射加工裝置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3593973A (en) * | 1968-06-26 | 1971-07-20 | Edward H Dehn | Apparatus for casehardening a toothed arcuate member |
| US4026732A (en) * | 1975-08-28 | 1977-05-31 | Cincinnati Steel Treating Co. | Method for induction hardening gear teeth |
| US4151014A (en) * | 1977-05-31 | 1979-04-24 | Western Electric Company, Inc. | Laser annealing |
-
1978
- 1978-07-07 JP JP53083328A patent/JPS6045247B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-06-18 US US06/049,639 patent/US4250372A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-07-05 DE DE19792927130 patent/DE2927130A1/de not_active Withdrawn
- 1979-07-06 GB GB7923698A patent/GB2027752B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5511141A (en) | 1980-01-25 |
| US4250372A (en) | 1981-02-10 |
| GB2027752A (en) | 1980-02-27 |
| DE2927130A1 (de) | 1980-01-17 |
| GB2027752B (en) | 1982-09-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6045247B2 (ja) | 高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法 | |
| JPS583478B2 (ja) | レ−ザ加熱方法および装置 | |
| JPS62254991A (ja) | レ−ザ溶接法及び装置 | |
| JPS5891422A (ja) | 光ビ−ム均一化装置 | |
| JPH0390237A (ja) | アイレス縫合針の加工方法 | |
| US4250374A (en) | Process and apparatus for the surface heat treatment of steel products by a laser beam | |
| JPS60257511A (ja) | 熱処理方法及びそれに用いる熱処理装置 | |
| JPS62134118A (ja) | 板ばねの形状精度修正方法 | |
| JPH0436794B2 (ja) | ||
| JPS60215715A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH02263590A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH01143784A (ja) | 異軸多焦点式レーザビーム集光装置 | |
| JP2002129239A (ja) | レーザ焼入れ方法及び装置 | |
| JPS61201731A (ja) | 歯形表面の加熱装置 | |
| JP2002030343A (ja) | レーザによる歯車の熱処理方法および装置 | |
| JPH04143092A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH02284782A (ja) | 波長の異なるレーザの集光方法 | |
| JPS62179882A (ja) | レ−ザ−ビ−ムによる加熱方法 | |
| JPH06316722A (ja) | 円筒表面のレーザ焼入加工装置 | |
| JPH03188212A (ja) | レーザ熱処理方法 | |
| JPS61221330A (ja) | レ−ザ後熱処理法 | |
| JPS60236483A (ja) | レ−ザ加熱装置 | |
| JPH04285115A (ja) | レーザ加工方法 | |
| JPS60191689A (ja) | レ−ザ加熱装置 | |
| JPH0790358A (ja) | レーザ焼入れ装置 |