JPS604269B2 - エツチング液の回収方法 - Google Patents
エツチング液の回収方法Info
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- JPS604269B2 JPS604269B2 JP18667382A JP18667382A JPS604269B2 JP S604269 B2 JPS604269 B2 JP S604269B2 JP 18667382 A JP18667382 A JP 18667382A JP 18667382 A JP18667382 A JP 18667382A JP S604269 B2 JPS604269 B2 JP S604269B2
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- Japan
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- ions
- organic solvent
- aqueous solution
- concentration
- iron chloride
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
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- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Extraction Or Liquid Replacement (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は主としてＦｅイオン、ＣＩイオンを含む（Ｃｏ
，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｐｂ，Ｓｎ等の重金属イオ
ンが１種以上含有していてもよい）水溶液から、ＦｅＣ
１３含有エッチング液を回収する方法に関する。
，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｐｂ，Ｓｎ等の重金属イオ
ンが１種以上含有していてもよい）水溶液から、ＦｅＣ
１３含有エッチング液を回収する方法に関する。
従来から例えば電子回路のエッチング液としてＦｅ３十
濃度２４０〜２８０夕／夕、ＣＩ濃度３５０〜４００夕
／そのＦｅＣ１３が利用されているが、その廃液はＦｅ
２十濃度が１００〜１２０夕／そ程度に増加したり、Ｃ
ｕ２十濃度：１０〜２０夕／そ又はＮｊ２十濃度：１０
〜２５夕／夕に増加して排出されているが、現在それを
中和処理しているのが実状である。
濃度２４０〜２８０夕／夕、ＣＩ濃度３５０〜４００夕
／そのＦｅＣ１３が利用されているが、その廃液はＦｅ
２十濃度が１００〜１２０夕／そ程度に増加したり、Ｃ
ｕ２十濃度：１０〜２０夕／そ又はＮｊ２十濃度：１０
〜２５夕／夕に増加して排出されているが、現在それを
中和処理しているのが実状である。
しかし中和に要するアルカリ費用が嵩むことや、含有す
るＮｉ，Ｃｏ，Ｚｎ等の有価金属を回収できない等の欠
点がある。本発明は従来法の欠点を克服するためになさ
れたもので以下の工程からなるものである。
るＮｉ，Ｃｏ，Ｚｎ等の有価金属を回収できない等の欠
点がある。本発明は従来法の欠点を克服するためになさ
れたもので以下の工程からなるものである。
まず、エッチングに使用されたＦｅ２十イオン濃度が増
加したり、Ｃｕ，Ｎｊイオン等の重金属イオン濃度が増
加した廃液を公知な酸化法であるＣＩ２ガス酸化や電解
酸化法あるいは薬品酸化によりＦｅ３十イオンに変換後
に、中性燐酸ェステル群及びアルキルアミンの群よりな
る群から１種又は２種以上が選択され石油系炭化水素で
希釈された有機溶媒■を接触させて、次式に示すように
該廃液中のＦｅイオンを鉄塩化物鍔体として有機相へ抽
出する第１工程。
加したり、Ｃｕ，Ｎｊイオン等の重金属イオン濃度が増
加した廃液を公知な酸化法であるＣＩ２ガス酸化や電解
酸化法あるいは薬品酸化によりＦｅ３十イオンに変換後
に、中性燐酸ェステル群及びアルキルアミンの群よりな
る群から１種又は２種以上が選択され石油系炭化水素で
希釈された有機溶媒■を接触させて、次式に示すように
該廃液中のＦｅイオンを鉄塩化物鍔体として有機相へ抽
出する第１工程。
Ｈｅ○〆３十日○Ｚ＋２ＴＢＰＺＨ日ｅ○２４．２ＴＢ
Ｐ・‐・‐・（１）しＡｑ）（Ａｑ）（〇ｒｇ）（〇ｒ
ｇ）Ｆｅ〇２３十日〇ど十−Ｒ３Ｎこ日３ＮＨ．Ｆｅ〇
ゼ４・‐‐‐．・・‐‐（２）しＡｑ） しＡｑ）く〇
ｒｇ） （〇ｒｇ）（式中、ＴＢＰはトリブチルホス
フェート、Ａｑは水相、０ｒｇは有機相をそれぞれ表わ
し、以下同様とする）第１工程からの柚残液は遊離ＨＣ
Ｉ濃度が低下しているので、カルボン酸の群より１種又
は２種以上が選択され石油系炭化水素で希釈された有機
溶媒曲を接触させることにより、次式に示すように抽残
液中のＦｅイオンを抽出する第２工程。
Ｐ・‐・‐・（１）しＡｑ）（Ａｑ）（〇ｒｇ）（〇ｒ
ｇ）Ｆｅ〇２３十日〇ど十−Ｒ３Ｎこ日３ＮＨ．Ｆｅ〇
ゼ４・‐‐‐．・・‐‐（２）しＡｑ） しＡｑ）く〇
ｒｇ） （〇ｒｇ）（式中、ＴＢＰはトリブチルホス
フェート、Ａｑは水相、０ｒｇは有機相をそれぞれ表わ
し、以下同様とする）第１工程からの柚残液は遊離ＨＣ
Ｉ濃度が低下しているので、カルボン酸の群より１種又
は２種以上が選択され石油系炭化水素で希釈された有機
溶媒曲を接触させることにより、次式に示すように抽残
液中のＦｅイオンを抽出する第２工程。
Ｆｅ＊十３Ｋ．Ｈ之Ｒ３Ｆｅ＋３Ｈ＋・・−・・・・・
・・・・・・．・・・・・．（３）しＡｑ）（〇ｒｇ）
（〇ｒｇ）（Ａｑ）｛３’式の反応が進行するに従い、
水溶液中のＨ＋イオン濃度が増加して抽出が律遠される
ので、抽出工程の中間でＣａ２十やＮａ十を添加するこ
とがある他、次の｛４｝式及び■式に示すように予め有
機溶媒‘ＢーをＣａ型、Ｎｉ型、Ｃｏ型等の金属型に変
換したものとして利用することで、Ｈ＋イオン濃度増加
による抽出反応を律遠する因子を防いでもよい。
・・・・・・．・・・・・．（３）しＡｑ）（〇ｒｇ）
（〇ｒｇ）（Ａｑ）｛３’式の反応が進行するに従い、
水溶液中のＨ＋イオン濃度が増加して抽出が律遠される
ので、抽出工程の中間でＣａ２十やＮａ十を添加するこ
とがある他、次の｛４｝式及び■式に示すように予め有
機溶媒‘ＢーをＣａ型、Ｎｉ型、Ｃｏ型等の金属型に変
換したものとして利用することで、Ｈ＋イオン濃度増加
による抽出反応を律遠する因子を防いでもよい。
Ｆｅ３十十・妻Ｒ２０ａＺＲヱＦｅ＋・身。ａ２十‐‐
・‐‐‐‐‐‐（４）Ｆｅ３十十・豪２ＮにＲ３Ｆｅ＋
・亨Ｎｉ２十仙・・‐・（５）しＡｑ）（〇ｒｇ）（〇
ｒｇ） しＡｑ）変換できる金属型とはＦｅ３十イオン
よりも抽出分配比の小さい金属イオン総でを含む。次に
、第１工程からの鉄塩化物鍔体を抽出含有する有機溶媒
凶に水を接触させることにより、次の｛６）及び‘７１
式に示すように、鉄塩化物銭体を水相に剥離すると共に
、有機溶媒のを再生する第３工程。
・‐‐‐‐‐‐（４）Ｆｅ３十十・豪２ＮにＲ３Ｆｅ＋
・亨Ｎｉ２十仙・・‐・（５）しＡｑ）（〇ｒｇ）（〇
ｒｇ） しＡｑ）変換できる金属型とはＦｅ３十イオン
よりも抽出分配比の小さい金属イオン総でを含む。次に
、第１工程からの鉄塩化物鍔体を抽出含有する有機溶媒
凶に水を接触させることにより、次の｛６）及び‘７１
式に示すように、鉄塩化物銭体を水相に剥離すると共に
、有機溶媒のを再生する第３工程。
日旧ｅＯＺ４．２ＴＢＰ＋日２○こ２ＴＢＰ＋日ｅＯＺ
３十日０２（０ｒｇ） （Ａｑ）（０ｒｇ） （
Ａｑ）．・・．・・１．・・・・・・・．．．（６）Ｒ
３ＮＨ．ＦｅＯＺ４十日２０ＺＲ３Ｎ＋ＦｅＯＺ３十Ｈ
ＯＺ．・‐Ｌ７）く〇ｒｇ） （Ａｑ）く〇ｒｇ）
しＡｑ）再生された有機溶媒■は、再び鉄塩化物鏡
体を抽出するために第１工程へ循環される。
３十日０２（０ｒｇ） （Ａｑ）（０ｒｇ） （
Ａｑ）．・・．・・１．・・・・・・・．．．（６）Ｒ
３ＮＨ．ＦｅＯＺ４十日２０ＺＲ３Ｎ＋ＦｅＯＺ３十Ｈ
ＯＺ．・‐Ｌ７）く〇ｒｇ） （Ａｑ）く〇ｒｇ）
しＡｑ）再生された有機溶媒■は、再び鉄塩化物鏡
体を抽出するために第１工程へ循環される。
回収されたＦｅＣ１３十ＨＣＩ水溶液は、エッチング液
として利用するにはＦｅ３十イオンが不足しているので
、次の第４工程へ導きＦｅ３十イオンの供給を受ける。
第２工程で得られたＦｅ３十イオンを抽出含有する有機
溶媒‘別こ、第３工程で剥離して得られた鉄塩化物錆体
を含む水溶液（ＦｅＣ１３十ＨＣＩ含有液）を接触させ
ることにより、有機溶媒｛Ｂ｝中のＦｅイオンを水相に
移行してＦｅＣ１３の高濃度液を得ると共に、有機溶媒
脚を再生する第４工程。Ｒ３Ｆｅ＋３（Ｆｅ〇Ｚ３十日
〇〆）→←３ＲＨ＋２Ｆｅ〇〆３く〇ｒｇ） （Ａｑ
） （〇ｒｇ）しＡｑ）再生した有機溶媒佃は、Ｆ
ｅ３十イオンを抽出するために第２工程へ循環する。
として利用するにはＦｅ３十イオンが不足しているので
、次の第４工程へ導きＦｅ３十イオンの供給を受ける。
第２工程で得られたＦｅ３十イオンを抽出含有する有機
溶媒‘別こ、第３工程で剥離して得られた鉄塩化物錆体
を含む水溶液（ＦｅＣ１３十ＨＣＩ含有液）を接触させ
ることにより、有機溶媒｛Ｂ｝中のＦｅイオンを水相に
移行してＦｅＣ１３の高濃度液を得ると共に、有機溶媒
脚を再生する第４工程。Ｒ３Ｆｅ＋３（Ｆｅ〇Ｚ３十日
〇〆）→←３ＲＨ＋２Ｆｅ〇〆３く〇ｒｇ） （Ａｑ
） （〇ｒｇ）しＡｑ）再生した有機溶媒佃は、Ｆ
ｅ３十イオンを抽出するために第２工程へ循環する。
本発明は上記第１工程ないし第４工程の組み合せにより
、エッチング用として再使用できるＦｅＣ１３含有液を
回収する、経済性ある廃水処理方法を提供するものであ
る。
、エッチング用として再使用できるＦｅＣ１３含有液を
回収する、経済性ある廃水処理方法を提供するものであ
る。
また、本発明方法はエッチング液のみならず本質的にＦ
ｅイオンとＣＩイオンを含有する水溶液からＦｅＣ１３
液を回収するものであれば他の用途にも適用可能である
。本発明で使用する抽出剤のうち中性燐酸ェステルは下
記の■〜■に示す化合物である：（式中Ｒは一般に４〜
１４個の炭素原子を含むアルキル基である）。
ｅイオンとＣＩイオンを含有する水溶液からＦｅＣ１３
液を回収するものであれば他の用途にも適用可能である
。本発明で使用する抽出剤のうち中性燐酸ェステルは下
記の■〜■に示す化合物である：（式中Ｒは一般に４〜
１４個の炭素原子を含むアルキル基である）。
実施例で示すＴＢＰ（トリブチルホスフェート）は上記
風式の群に属し、アルキル基はＣ４日９である。
風式の群に属し、アルキル基はＣ４日９である。
本発明で使用するカルボン酸は下記の凶及び｛８’の群
に示す化合物である：（式中Ｒは一般に４〜１８個の炭
素原子を含むアルキル基である）。
に示す化合物である：（式中Ｒは一般に４〜１８個の炭
素原子を含むアルキル基である）。
実施例に示すバーサティツク−１０（Ｖ−１０で表示）
はシェル化学■の商品名で上記風の群に属し、アルキル
基の炭素数が９〜１１個のものをいつ。
はシェル化学■の商品名で上記風の群に属し、アルキル
基の炭素数が９〜１１個のものをいつ。
次に本発明で使用する第１級ないし第３級ァルキルアミ
ンは次の群より選択される：ＲＮ比で表わされる第１級
アミン Ｒは一般に４〜２４個の炭素原子を含むアルキル基で、
その代表的なものとして次に示すものがよく用いられる
：Ｃ＆Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２Ｃ（
ＣＨ３）２ＣＨ２Ｃ（Ｃ比）２ＣＨ２Ｃ（Ｃ比）２ＮＨ
２ＲがＨで表わされる第２級ァミンＲは一般に４〜２４
個の炭素原子を有するアルキル基でその代表的なものと
して、次に示すものが用いられる：Ｒ３Ｎで表わされる
第３級ァミンＲは一般に４〜滋個の炭素原子を有するア
ルキル基で代表的なものを示す：（ＣＷＣ日２ＣＱＣＨ
２ＣＨ２Ｃ日２ＣＨ２ＣＱ）３−Ｎ本発明で使用する希
釈剤は芳香族系炭化水素、脂肪族系炭化水素が使用され
る。
ンは次の群より選択される：ＲＮ比で表わされる第１級
アミン Ｒは一般に４〜２４個の炭素原子を含むアルキル基で、
その代表的なものとして次に示すものがよく用いられる
：Ｃ＆Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２Ｃ（ＣＨ３）２ＣＨ２Ｃ（
ＣＨ３）２ＣＨ２Ｃ（Ｃ比）２ＣＨ２Ｃ（Ｃ比）２ＮＨ
２ＲがＨで表わされる第２級ァミンＲは一般に４〜２４
個の炭素原子を有するアルキル基でその代表的なものと
して、次に示すものが用いられる：Ｒ３Ｎで表わされる
第３級ァミンＲは一般に４〜滋個の炭素原子を有するア
ルキル基で代表的なものを示す：（ＣＷＣ日２ＣＱＣＨ
２ＣＨ２Ｃ日２ＣＨ２ＣＱ）３−Ｎ本発明で使用する希
釈剤は芳香族系炭化水素、脂肪族系炭化水素が使用され
る。
またこれらの混合物も当然使用されケロシンの如き雑多
な炭化水素の混合品もよく使用される。有機溶媒中の抽
出剤濃度は２〜９０％（容積）である。
な炭化水素の混合品もよく使用される。有機溶媒中の抽
出剤濃度は２〜９０％（容積）である。
必要に応じて改質剤として８〜３４個の炭素原子を含む
高級アルコールを添加してもよい。抽出剤濃度は対象と
する水溶液中のＦｅイオン濃度、全塩素イオン濃度（Ｔ
・ＣＩ‐濃度）、共存する重金属イオンやアニオンの濃
度、性状によって決定される。本発明で原料となる主と
してＦｅイオンとＣＩイオンを含有する水溶液は、必ず
しもエッチング廃酸だけでなく、任意の水溶液が使用で
き、ＣＩイオンが不足している場合別途に添加したもの
を含むものである。
高級アルコールを添加してもよい。抽出剤濃度は対象と
する水溶液中のＦｅイオン濃度、全塩素イオン濃度（Ｔ
・ＣＩ‐濃度）、共存する重金属イオンやアニオンの濃
度、性状によって決定される。本発明で原料となる主と
してＦｅイオンとＣＩイオンを含有する水溶液は、必ず
しもエッチング廃酸だけでなく、任意の水溶液が使用で
き、ＣＩイオンが不足している場合別途に添加したもの
を含むものである。
本発明で原料溶液に含有するＦｅ２十イオンを酸化する
方法として、例えば公知の方法であるＣＩ２ガスの吹き
こみによる酸化法、日２０２の如き薬品添加酸化法及び
電解酸化法の如き電気化学的方法を採用することができ
る。
方法として、例えば公知の方法であるＣＩ２ガスの吹き
こみによる酸化法、日２０２の如き薬品添加酸化法及び
電解酸化法の如き電気化学的方法を採用することができ
る。
いずれも対象液のＦｅ２十イオンとＦｅ３十イオンとの
濃度比、共存するアニオンの種類等によって酸化方法が
決定される。なお、この酸化工程は鉄塩化物鍔体抽出工
程の前工程又は後工程のいずれで行なってもよい。以下
に本発明の詳細を添付図に基き具体的に説明するが、本
発明はこれに限定されるものではない。第１図は主とし
てＦｅイオンとＣＩイオンを含有する任意の水溶液から
エッチングに再使用できる高濃度ＦｅＣ１３含有液を回
収するフローシートを示す。
濃度比、共存するアニオンの種類等によって酸化方法が
決定される。なお、この酸化工程は鉄塩化物鍔体抽出工
程の前工程又は後工程のいずれで行なってもよい。以下
に本発明の詳細を添付図に基き具体的に説明するが、本
発明はこれに限定されるものではない。第１図は主とし
てＦｅイオンとＣＩイオンを含有する任意の水溶液から
エッチングに再使用できる高濃度ＦｅＣ１３含有液を回
収するフローシートを示す。
第１工程ではＦｅイオンとＣＩイオンを含有する水溶液
１をＨＦｅＣ１４の抽出工程２へ導き、有機溶媒■３と
接触させることにより該水溶液中のＦｅイオンを塩化物
錯体として抽出する。
１をＨＦｅＣ１４の抽出工程２へ導き、有機溶媒■３と
接触させることにより該水溶液中のＦｅイオンを塩化物
錯体として抽出する。
次に第２工程では該水溶液中のＨ＋イオン濃度が低下し
た液に例えばＣＩ２ガス，日２０２，ＨＮ０３の添加あ
るいは電気化学的な手法により酸化工程７で含有Ｆｅガ
イオンをＦｅ３十イオンに変換した後Ｆｅ３十イオン柚
．出工程８１こ導き、有機溶媒（Ｂ）と接触させ水溶液
中のＦｅ３十イオンを抽出する。第３工程では、第１工
程を出た鉄塩化物鍔体を抽出含有する有機溶媒凶を剥離
工程４へ導き、水と接触させることによりＦｅＣ１３十
ＨＣＩ水溶液６と有機溶媒帆を再生する。第４工程では
Ｆｅ３十イオンを抽出含有する有機溶媒｛ＢーをＦｅ３
十イオン剥離工程１０‘こ導き、第３工程より回収した
ＦｅＣ１３十ＨＣＩ溶液６と接触させることにより、有
機相よりＦｅ３十イオンを水相に移行せしめて遊離酸含
有量の少し、高濃度ＦｅＣ１３エッチング液１１を回収
する。第２図は第１図と同様な処理方法であるが、鉄塩
化物錆体の抽出前の酸化工程７にてＣＩ２ガスや酸化剤
の添加又は電解酸化法を施すと同時に処理原料とするフ
ローシートである。
た液に例えばＣＩ２ガス，日２０２，ＨＮ０３の添加あ
るいは電気化学的な手法により酸化工程７で含有Ｆｅガ
イオンをＦｅ３十イオンに変換した後Ｆｅ３十イオン柚
．出工程８１こ導き、有機溶媒（Ｂ）と接触させ水溶液
中のＦｅ３十イオンを抽出する。第３工程では、第１工
程を出た鉄塩化物鍔体を抽出含有する有機溶媒凶を剥離
工程４へ導き、水と接触させることによりＦｅＣ１３十
ＨＣＩ水溶液６と有機溶媒帆を再生する。第４工程では
Ｆｅ３十イオンを抽出含有する有機溶媒｛ＢーをＦｅ３
十イオン剥離工程１０‘こ導き、第３工程より回収した
ＦｅＣ１３十ＨＣＩ溶液６と接触させることにより、有
機相よりＦｅ３十イオンを水相に移行せしめて遊離酸含
有量の少し、高濃度ＦｅＣ１３エッチング液１１を回収
する。第２図は第１図と同様な処理方法であるが、鉄塩
化物錆体の抽出前の酸化工程７にてＣＩ２ガスや酸化剤
の添加又は電解酸化法を施すと同時に処理原料とするフ
ローシートである。
主として、ＦｅイオンとＣＩイオンを含有する水溶液１
中のＦｅ２十イオンをＦｅ３十イオンに変換するもので
ある。酸化工程７以降の処理方法は第１図のフローシー
トと同様である。第３図は第１図及び第２図と処理方法
は同様であるが、第１工程で抽出した塩化物錆体と同時
に抽出される恐れのあるＺｎＣ１３−，日２ＭＯＯ４あ
るいはＨＮ０３等を選択的にスクラビングするためにＦ
ｅＣ１３十ＨＣＩ含有水溶液を用いる工程（洗浄工程１
２）を第２図の処理方法に加えたフローシートである。
中のＦｅ２十イオンをＦｅ３十イオンに変換するもので
ある。酸化工程７以降の処理方法は第１図のフローシー
トと同様である。第３図は第１図及び第２図と処理方法
は同様であるが、第１工程で抽出した塩化物錆体と同時
に抽出される恐れのあるＺｎＣ１３−，日２ＭＯＯ４あ
るいはＨＮ０３等を選択的にスクラビングするためにＦ
ｅＣ１３十ＨＣＩ含有水溶液を用いる工程（洗浄工程１
２）を第２図の処理方法に加えたフローシートである。
第４図は主としてＦｅ３十イオンとＣＩイオンを含有す
る水溶液より鉄塩化物錯体を有機溶媒凶により抽出する
抽出平衡曲線を示す。
る水溶液より鉄塩化物錯体を有機溶媒凶により抽出する
抽出平衡曲線を示す。
図中、「０［０′は１５％ＴＢＰ含有、−日トは５％Ｔ
ＢＰ＋１０％ＴＯＡ（トリオクチルアミン）をそれぞれ
含有する有機溶媒によるものである。第５図は３０％Ｖ
−１０を７０％ｎーパラフィンで希釈した有機溶媒脚を
使用してＦｅ３十イオンを抽出した時の抽出平衡曲線を
示す。
ＢＰ＋１０％ＴＯＡ（トリオクチルアミン）をそれぞれ
含有する有機溶媒によるものである。第５図は３０％Ｖ
−１０を７０％ｎーパラフィンで希釈した有機溶媒脚を
使用してＦｅ３十イオンを抽出した時の抽出平衡曲線を
示す。
図中、「０［０′は日１型、ＩＨｒはＣａ型又はＮｉ型
にそれぞれ有機溶媒｛Ｂ｝を変換した場合を示す。以下
に実施例に基き本発明を具体的に説明する。実施例 １ 実験にはエッチングに使用され、Ｆｅ２十イオンやＮｉ
，Ｃｕ等の重金属イオン濃度の増加した次の組成の廃酸
を使用した。
にそれぞれ有機溶媒｛Ｂ｝を変換した場合を示す。以下
に実施例に基き本発明を具体的に説明する。実施例 １ 実験にはエッチングに使用され、Ｆｅ２十イオンやＮｉ
，Ｃｕ等の重金属イオン濃度の増加した次の組成の廃酸
を使用した。
Ｆｅ３十 Ｆｅ２十 Ｔ．○と− Ｎｉ ○ｒ
Ｍｎ山０孫ＺＩ幻滋Ｚ ４■協Ｚ 歩滋Ｚ ５２〆
Ｚ ｏ．５物Ｚ廃酸にＣＩ２ガスを吹きこみＦｅ２十イ
オンを酸化した後抽出実験を行なった。
Ｍｎ山０孫ＺＩ幻滋Ｚ ４■協Ｚ 歩滋Ｚ ５２〆
Ｚ ｏ．５物Ｚ廃酸にＣＩ２ガスを吹きこみＦｅ２十イ
オンを酸化した後抽出実験を行なった。
有機相 水 相 彊機溶媒縞
Ｆｅ３十 Ｔ．○ム− Ｆｅ３十
Ｔ．○Ｚ−（１） １８夕／ム ４５‐２タノ〃
１１９．８タノム １５７‐９タノム １５％ＴＢ
Ｐ＋８５％ｎーパラフイン（２ ２．９２ソ々
７．３タノ〃 ５０‐数ノ乙 ９４．５タノと
１５％ＴＢＰ＋８５％ｎ−パラフィン（３）１２−７タ
ノム ３１‐９夕／ム ６９９タノム １５２‐
５タゾム ５％ＴＢＰ＋１０％Ｔ〇Ａ■ ｏ．８２
ソと ２．０多 ２０．１タゾと ３７
．８タノＺ５％ＴＢＰ＋１０％ＴＯＡ１５％ＴＢＰ十８
５％ｎーパラフィンの有機溶媒凶に抽出された鉄塩化物
錯体の水による剥離実験の剥離平衡曲線を第６図に示す
。
Ｔ．○Ｚ−（１） １８夕／ム ４５‐２タノ〃
１１９．８タノム １５７‐９タノム １５％ＴＢ
Ｐ＋８５％ｎーパラフイン（２ ２．９２ソ々
７．３タノ〃 ５０‐数ノ乙 ９４．５タノと
１５％ＴＢＰ＋８５％ｎ−パラフィン（３）１２−７タ
ノム ３１‐９夕／ム ６９９タノム １５２‐
５タゾム ５％ＴＢＰ＋１０％Ｔ〇Ａ■ ｏ．８２
ソと ２．０多 ２０．１タゾと ３７
．８タノＺ５％ＴＢＰ＋１０％ＴＯＡ１５％ＴＢＰ十８
５％ｎーパラフィンの有機溶媒凶に抽出された鉄塩化物
錯体の水による剥離実験の剥離平衡曲線を第６図に示す
。
実施例 ２
実験にはＦｅ３十１０９．４９／夕、Ｔ・ＣＩ‐２０５
．９夕／そｐＨＩ以下のものを使用した。
．９夕／そｐＨＩ以下のものを使用した。
有機溶媒｛Ｂ｝‘ま３０％Ｖ−１０十７０％イソパラフ
インを使用し、Ｃａ型、Ｎｉ型、Ｈ＋型及びこれらの混
合型で実験した。抽出後の水相 有機相Ｆｅ３十
ｐＨ Ｆｅ３十 Ｎｉ ○
ａ 抽出前有機相Ｎｉ型 ９７．１夕／ム
０．６ １２．３タゾＺ Ｏ．０６タノム
Ｎｉ濃度，７．７２タノム０ａ型
７３．６タノと ０５ ２５．８タノと
− ＜０．００１２ノム日十型 １０７
．４タノム ０９ ２０タノム ー
−日十〆０ａ型 ８６．９夕／ム ０．８５
２２．５タノム ＜０．００１タノＺ
浪合比１／３Ｆｅ３十含有有機溶媒脳を実施例１で得
られた有機溶媒胸の剥離液（１５％ＴＢＰ＋８５％ｎ−
パラフィン）により接触実験し、得られた剥離平衡曲線
を第７図に示す。
インを使用し、Ｃａ型、Ｎｉ型、Ｈ＋型及びこれらの混
合型で実験した。抽出後の水相 有機相Ｆｅ３十
ｐＨ Ｆｅ３十 Ｎｉ ○
ａ 抽出前有機相Ｎｉ型 ９７．１夕／ム
０．６ １２．３タゾＺ Ｏ．０６タノム
Ｎｉ濃度，７．７２タノム０ａ型
７３．６タノと ０５ ２５．８タノと
− ＜０．００１２ノム日十型 １０７
．４タノム ０９ ２０タノム ー
−日十〆０ａ型 ８６．９夕／ム ０．８５
２２．５タノム ＜０．００１タノＺ
浪合比１／３Ｆｅ３十含有有機溶媒脳を実施例１で得
られた有機溶媒胸の剥離液（１５％ＴＢＰ＋８５％ｎ−
パラフィン）により接触実験し、得られた剥離平衡曲線
を第７図に示す。
図中、０−−０はＦｅ３十濃度１１０夕／夕、Ｔ・ＣＩ
‐２８２夕／そ、Ｌ−１はＦｅ針濃度１３０夕／Ｚ、Ｔ
・ＣＩ‐３２６夕／その場合をそれぞれ・示す。実施例
３ 実施例１で使用したエッチング廃酸にＨＮＱ濃度７５夕
／夕になるように６８％ＨＮ０３を添加、更に液温を７
０つ０まで昇温してＦｅ３十イオンに変換後、有機溶媒
凶による抽出実験を行なった。
‐２８２夕／そ、Ｌ−１はＦｅ針濃度１３０夕／Ｚ、Ｔ
・ＣＩ‐３２６夕／その場合をそれぞれ・示す。実施例
３ 実施例１で使用したエッチング廃酸にＨＮＱ濃度７５夕
／夕になるように６８％ＨＮ０３を添加、更に液温を７
０つ０まで昇温してＦｅ３十イオンに変換後、有機溶媒
凶による抽出実験を行なった。
抽出後の水相 有 機 相
Ｆｅ３十 Ｔ・０と− 肌０３ Ｆｅ蔓十 心
０，〆 ＨＮ０３ 有機溶媒の種類（１）１０１．４タ
ノム １９６ タノム ７２．３タノと １６．０２ノ
ム ４０．ＭゾＺ Ｏ．３タノム １５％ＴＢＰ（
２） ６３ タノ乙 ９７．８２ゾと ７０．１タノ
〃 ８．１タノム ２０．１タノム ２．２２ノム
（３） ４５．８タノ〃 ７４．８タノと ３２．３
９〆と １．６２〆と ４．０２ソム ３８．４タノ
ム 彰１５％ＴＢＰ＋８５％ィソパラフィンの有
機相のＨＮ０３をＦｅ３十１２０夕／そ、Ｔ・ＣＩ‐３
０１夕／その液と接触させて選択的にスクラビングした
結果を第８図に示す。
０，〆 ＨＮ０３ 有機溶媒の種類（１）１０１．４タ
ノム １９６ タノム ７２．３タノと １６．０２ノ
ム ４０．ＭゾＺ Ｏ．３タノム １５％ＴＢＰ（
２） ６３ タノ乙 ９７．８２ゾと ７０．１タノ
〃 ８．１タノム ２０．１タノム ２．２２ノム
（３） ４５．８タノ〃 ７４．８タノと ３２．３
９〆と １．６２〆と ４．０２ソム ３８．４タノ
ム 彰１５％ＴＢＰ＋８５％ィソパラフィンの有
機相のＨＮ０３をＦｅ３十１２０夕／そ、Ｔ・ＣＩ‐３
０１夕／その液と接触させて選択的にスクラビングした
結果を第８図に示す。
第８図からＦｅ２十イオンの酸化にＨＮ０３を使用して
も回収液中にはＨＮ０３を含有しないことが判る。
も回収液中にはＨＮ０３を含有しないことが判る。
第１図はＦｅイオンとＣＩイオンを含有する任意の水溶
液から高濃度ＦｅＣ１３含有液を回収するフローシート
図、第２図は第１図の酸化工程を鉄塩化物緒体抽出の前
で行なうフローシート図、第３図は第２図に洗浄工程を
加えたフローシート図、第４図は鉄塩化物錯体の抽出平
衡曲線、第５図はＦｅ３十の抽出平衡曲線、第６図は実
施例１に基づくＨＦｅＣ１４の剥離平衡曲線、第７図は
実施例２に基づくＦｅ３十剥離平衡曲線、第８図は実施
例３に基づくＨＮ０３スクラビング平衡曲線を示す図で
ある。 図中、１・・・・・・Ｆｅイオン、ＣＩイオン含有液、
２・・・・・・ＨＦｅＣ１４抽出工程、３・・・・・・
有機溶媒風、４・・・…ＨＦｅＣ１４剥離工程、５……
水、６…・・・ＦｅＣ１３十ＨＣＩ水溶液、７…・・・
酸化工程、８・・・・・・Ｆｅ３十抽出工程、９……有
機溶媒曲、１０……Ｆｅ財剥離工程、１１・・…・回収
エッチング液、１２・・・・・・洗浄工程。 崇ｌ図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図
液から高濃度ＦｅＣ１３含有液を回収するフローシート
図、第２図は第１図の酸化工程を鉄塩化物緒体抽出の前
で行なうフローシート図、第３図は第２図に洗浄工程を
加えたフローシート図、第４図は鉄塩化物錯体の抽出平
衡曲線、第５図はＦｅ３十の抽出平衡曲線、第６図は実
施例１に基づくＨＦｅＣ１４の剥離平衡曲線、第７図は
実施例２に基づくＦｅ３十剥離平衡曲線、第８図は実施
例３に基づくＨＮ０３スクラビング平衡曲線を示す図で
ある。 図中、１・・・・・・Ｆｅイオン、ＣＩイオン含有液、
２・・・・・・ＨＦｅＣ１４抽出工程、３・・・・・・
有機溶媒風、４・・・…ＨＦｅＣ１４剥離工程、５……
水、６…・・・ＦｅＣ１３十ＨＣＩ水溶液、７…・・・
酸化工程、８・・・・・・Ｆｅ３十抽出工程、９……有
機溶媒曲、１０……Ｆｅ財剥離工程、１１・・…・回収
エッチング液、１２・・・・・・洗浄工程。 崇ｌ図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- １ 本質的にＦｅイオンとＣｌイオンを含有する水溶液
より、ＦｅＣｌ＿３エツチング液を回収する方法におい
て、（Ａ）中性燐酸エステルの群及びアルキルアミンの
群の各群からなる群より１種又は２種以上が選択され石
油系炭化水素で希釈された有機溶媒（Ａ）を、上記水溶
液と接触させて鉄塩化物錯体を抽出する第一工程、（Ｂ
）第一工程からの抽残液にカルボン酸の群より１種又は
２種以上が選択され石油系炭化水素で希釈された有機溶
媒（Ｂ）を接触させて、該抽残液中の鉄イオンを抽出す
る第２工程、（Ｃ）第１工程からの有機溶媒（Ａ）に水
を接触させて該有機溶媒（Ａ）中の鉄塩化物錯体を水相
に移行せしめ、有機溶媒（Ａ）を再生する第３工程、（
Ｄ）第２工程からの有機溶媒（Ｂ）に第３工程で得られ
た鉄塩化物錯体を含む水溶液を接触させることにより、
有機溶媒（Ｂ）中のＦｅイオンを水相に移行すると共に
有機溶媒（Ｂ）を再生する第４工程、からなることを特
徴とするエツチング液の回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18667382A JPS604269B2 (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | エツチング液の回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18667382A JPS604269B2 (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | エツチング液の回収方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5976877A JPS5976877A (ja) | 1984-05-02 |
| JPS604269B2 true JPS604269B2 (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=16192652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18667382A Expired JPS604269B2 (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | エツチング液の回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604269B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NO300004B1 (no) * | 1994-03-30 | 1997-03-17 | Elkem Materials | Fremgangsmåte for gjenvinning av metallklorid fra silisium eller ferrosilisiumlegering som er blitt reagert med kloreringsmidler |
-
1982
- 1982-10-26 JP JP18667382A patent/JPS604269B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5976877A (ja) | 1984-05-02 |
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