JPS6042041Y2 - 真空吸着テ−ブル - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、磁気ディスク、光学式ビデオディスク又は光
学式ビデオディスクの原盤等の各種ディスク状物を、真
空吸引力によりテーブル面に吸着できる真空吸着テーブ
ルに関する。

従来、第１図に示したようなディスク回転駆動装置があ
る。

なお、この装置は光学式ビデオディスクの原盤表面の傷
、欠損、ひび割れ等の表面欠陥を検出する検査機等に用
いられている。

同図中ａはモータ、ｂはテーブル、Ｃはテーブル軸、ｄ
を軸支した軸支持体、ｅはテーブルｂの中心部に形成し
た螺合部、ｆは芯出し用スピンドル部材、ｇは下面にゴ
ムリングｈが装着され上記螺合部ｅに着脱自在に螺合さ
れるクランプ部材である。

この回転駆動装置ではクランプ部材ｇとテーブルｂとの
間に、ディスクｉを挟着するようになっている。

しかし、このようなりランプ式の従来装置では特定のデ
ィスクのみに使用が制限され、中心孔の大きさの異なる
ディスクおよび中心孔無のディスクを装着して使用する
ことが不可能で、汎用的でない不都合がある。

さらに、従来装置ではクランプ部材ｇの締付けによりテ
ーブルｂとディスクｉとが直接強く当接されるため、こ
れら双方に表面傷が形成され易い不都合がある。

本考案は上記の事情のもとに開発されたもので、その目
的は、中心孔の有無や大きさの如何を問わず、種々のデ
ィスクを確実にテーブルに装着できるようにした構造簡
単な真空吸着テーブルを提供することにある。

以下、本考案を第２図および第３図に示した一実施例を
参照して説明する。

なお、本実施例は光学式ビデオディスクの原盤の表面欠
陥を検出する表面欠陥検査機に適用した場合である。

まず、第２図に示した表面欠陥検査機について説明する
。

同図中１はヒンジ２を中心に開閉されるドア３を取付け
た検査機筐体、４はベースを示しており、ベース４には
ディスク回転駆動装置５が取付けられている。

この装置５は真空吸着テーブル６、軸支持体７およびモ
ータ８とを備えて形成されている。

また、検査機筐体１内には検出系９がモータ１０ａおよ
びこのモータ１０ａにより回転される送りねじ棒１０ｂ
等を備えてなる検出系移動機構１０を介して往復動可能
に設けられている。

１１は検出系ガイドである。上記検出系９は、レーザ光
発生器９ａ、対物レンズ（図示しない）を有する光学ヘ
ッド９ｂ等を備えている。

そして、検出系９はレーザ光発生器９ａから出るレーザ
光をミラー９Ｃ・・・で光学ヘッド９ｂに導びいて、微
小スポットの平行光束として後述のテーブル６の上のデ
ィス２０表面に焦点を結ばせて照射するとともに、ディ
ス２０表面からの反射光を受けて光−電気変換するよう
に構成されている。

この表面欠陥検査機は、検出系移動機構１０による光学
ヘッド９ｂのディスクＤの半径方向に沿う定速移動と、
ターンテーブルによるディスクＤの定速回転とにより、
ディス２０表面をスパイラル走査して、その結果光−電
気変換により得られる信号を処理して、ディスクＤの表
面欠陥を自動検出するものである。

次に、第３図に詳しく示される真空吸着テーブル６につ
いて説明する。

このテーブル６は、テーブル軸１２と、この軸１２の上
端部に連結されるテーブル本体１３とを具備して形成さ
れ、テーブル本体１３のテーブル面１３′には例えば径
の異なる複数のディスク（本実施例の場合は直径８イン
チのディスクＤ１および直径１２インチのディスクＤ２
）Ｄが着脱自在に装着されるようになっている。

上記テーブル本体１３は、互いに嵌合される複数個の本
体構成部材１３ａ〜１３ｃを、ねじ等の連結具１４・・
・で結合して形成されている。

そして、隣接する本体構成部材のうち相対的に内側とな
る本体構成部材（つまり本体構成部材１３ａ。

１３ｂ相互の関係においては本体構成部材１３ｂ１本体
構戒部材１３ｂ、１３ｃ相互の関係においては本体構成
部材１３ｃ）には、吸気通路１５．１６が設けられてい
る。

これら通路１５，１６は本体構成部材１３ｂ、１３ｃに
穴明は加工又は溝切り加工を施すことにより形成される
もので、その一端は複数個所においてテーブル面１３′
に開口されている。

そして、本体構成部材１３ａ、１３ｂの表面つまり、テ
ーブル面には、これら本体構成部材１３ａ、１３ｂの軸
方向に沿う合わせ面Ａおよび吸気通路１５の一端開口１
５ａを含む環状の吸込領域Ｘを相互間に形成して、環状
をなす弾性部材製のディスク受部材１７．１８が取付け
られている。

さらに、本体構成部材１３ｂ、１３ｃの表面つまりテー
ブル面にも、これら本体構成部材１３ｂ、１３ｃの軸方
向に沿う合わせ面Ｂおよび吸気通路１６の一端開口１６
ａを含む環状をなす吸込領域Ｙを相互間に形成して環状
をなす弾性部材製の他のディスク受部材１９，２０が取
付けられている。

これら各ディスク受部材１７〜２０は夫々テーブル面１
３′から突出して同心的に配置される。

なお、上記説明から分かるように複数のディスクＤを装
着可能な場合、本体構成部材の使用数をｎとすれば、デ
ィスク受部材の使用数は（ｎ＋１）個に設定されるもの
である。

また、上記テーブル軸１２の上端部とテーブル本体１３
の中心部とは互いに嵌合する複数の段差Ｈ・・・が形成
されている。

これら段差部には上記吸気通路１５．１６の他端が開口
されているとともに、０リング等の気密シール措置２１
・・・が設けられている。

そして、テーブル軸１２には、一端が上記吸気通路１５
．１６の他端に直接接続される例えば複数の軸側吸気通
路１２．２３が穴明は加工により設けられている。

なお、第２図中２４は代表して１個のみ示したが、本体
構成部材１３ａとテーブル軸１２の連結鍔部１２ａとを
連結する固定具である。

本実施例の場合、テーブル軸１２は軸支持体７に対し軸
受２５・・・を介して回転自在に軸支されているので、
上記軸側吸気通路２２゜２３の他端は、軸支持体７に設
けた支持体側吸気通路２６．２７に接続されている。

これら軸側吸気通路２２．２３と支持体側吸気通路２６
．２７とは夫々ロータリージヨイント２８によりつなが
れて、これによりテーブル軸１２の回転に関係なく吸気
通路２２，２６および２３，２７の連通が維持されるよ
うになっている。

ロータリージヨイント２８は、軸支持体７の一部をなす
筒状メカニカルシール７ａに円環状の内周溝を設け、こ
の溝に軸側吸気通路２２．２３の他端を各別に対向させ
て形成される。

また、支持体側吸気通路２６．２７は夫々電磁弁２９．
３０を介して真空ポンプ３１に接続されている。

電磁ポンプ２９．３０と真空ポンプ３１とをつなぐ管路
は合流されていて、この管路には真空度を検出する真空
センサ３２が接続されている。

このセンサ３２の出力は、表面欠陥検査機の各機器を所
定の順序で動作させる指令を出す制御部３３に入力され
るようになっている。

そして、制御部３３は、これに接続したタイマ３４およ
び真空センサ３２からの信号にもとづいて上記電磁弁２
９．３０の開閉を制御する。

なお、第２図中３５はエアーフィルタ、Ｐ・・・は必要
により設けられＯリング等の気密パツキンである。

また第２図中３６はベース４に取付けたブレーキで、こ
れと上記モータ８の出力軸８ａにおけるテーブル軸１２
の接続側と反対側の軸端とは、伝動装置３７で連結され
ている。

しかして、以上の構成の真空吸着テーブル６によれば、
真空ポンンブ３１の動作により各吸気通路２６−２２−
１５からなる第１吸気系、または各吸気通路２７−２３
−１６からなる第２吸気系の少なくとも一系統を通して
、テーブル面１３′とディスクＤとの間の空気が吸込ま
れることによって、テーブル本体１３上に装着されたデ
ィスクＤを、ディスク受部材１７〜２０または１９，２
０に密着させてテーブル本体１３上に吸着できる。

この場合、第１吸気系により、第２図中３５で示す大き
さのディスク、つまり外径がディスク受部材１７の外径
Ｃ２より大きく、かつディスク本体１３の外径Ｃ１より
小さい中心孔無ディスク、または上記と同じ外径条件を
有し、かつ中心孔の径がディスク受部材２０の内径Ｃ５
より小さい中心孔を有したディスクを、テーブル本体１
３に真空吸着できる。

さらに、第２吸気系により、第２図中３５で示す大きさ
のディスク、つまり外径がディスク受部材１９の外径Ｃ
４より大きくかつベース受部材１８の内径ぐ。

より小さい中心孔無ディスク、または上記と同じ外径条
件を有し、かつ中心孔の径がディスク受部材の径Ｃ５よ
り小さい中心孔を有したディスクを、テーブル本体１３
に真空吸着できる。

なお、第２吸気系の真空吸引力を十分大きく設定した場
合には、この系統のみによっても上記ディスクＤ２を真
空吸着することができる。

このように、中心孔の有無に拘わらず、かつ外径の異な
るディスクＤ１．Ｄ２をテーブル本体１３に真空吸着で
きるから、汎用性が高い。

なお、電磁弁２９，３０は当初開弁状態にあり、したが
って上記ディスクＤ２がテーブル本体１３に装着された
場合には、真空ポンプ３１の起動後、タイマ３４に設定
した時間内に真空センサ３２が一定の真空度を検出する
から、この検出信号を受けて制御部３３はディスクＤ２
が真空吸着されたと判断して、電磁弁２９．３０を閉弁
動作させるとともに、真空ポンプ３２を停める。

これにより、上記第１、第２の吸気系が一定の真空度を
維持して、ディスクＤ２の真空吸着状態が保持される。

また、上記ディスクＤ０がテーブル本体１３に装着され
た場合には、第１吸気系が開放しているから上記タイマ
設定時間後に一定の真空度が得られず、したがって、こ
の時の真空センサ３２からの検出信号により制御部３３
はディスク本体の装着を判断して、第１吸気系につらな
る電磁弁２９のみ閉弁動作させる。

これにより、一定の真空度が得られたら、制御部３３は
、電磁弁３０の閉弁動作させてディスクＤの真空吸着状
態を保持させるとともに、真空ポンプ３１を停める。

なお、上記後者の制御にも拘わらず一定の真空度が得ら
れない場合には、制御部３３はディスクＤがテーブル本
体１３に装着されていないと判断するとともに、真空ポ
ンプ３１が故障であると判断して所定の指令動作を行う
。

そして、上記の真空吸着状態で、モータ８が駆動される
とともに、検出系９および検出系移動機構１０が動作さ
れて、ディスクＤの表面欠陥検出が自動的に行われる。

ところで、上記構成の真空吸着テーブル６においては、
本体構成部材１３ｂ、１３Ｃに簡単な穴明は又は溝切り
加工により吸気通路１５．１６を設け、テーブル軸１２
にも簡単な穴明は加工による軸側吸気通路２２．２３を
設けて、これら各通路１５．２２および１６．２３を各
別にかつ直接接続したテーブル内吸気系を有している。

したがって、テーブル内吸気系の形成に際してパイプや
管継手等の配管部材を必要としないから、真空吸着テー
ブル６の構成が簡単で組立ても容易となる。

しかも、テーブル内吸気系はテーブル６の回転停止に判
う力の影響を受けないから、配管部材を用いた場合のよ
うに真空もれを生じることを防止できる。

さらに、本体構成部材１３ａ、１３ｂ、１３ｃ間の各合
わせ面Ａ、 Ｂを吸込領域Ｘ。

Ｙに臨ませたので、これらの合わせ面Ａ、 Ｂの精度が
低い場合でもディスクＤの真空吸着力が低減されること
がない。

したがって、これらの理由により、ディスクＤの真空吸
着および吸着保持力を確実に実現できる。

なお、本実施例ではテーブル本体１３とテーブル軸１２
とは互いに嵌合する段差部において、気密シール措置２
１・・・を施しであるので、嵌合面構造が階段状の迷路
となることと相まって、気密シール措置２１により各吸
気系の真空もれを確実に防止できるから、上記の実現性
をより高度なものとできる。

しかも段差Ｈ・・・による階段状の嵌合構造によって、
テーブル軸１２に対する各本体構成部材１３ａ〜１３ｃ
の位置決めが容易となり、かつ上方から総ての組付けを
行えるので、組立てが容易となる。

また、テーブル本体１３上のディスクＤはテーブル面１
３′に当接することはなく、弾性部材製のディスク受部
材１７〜２０に接するので、テーブル面１３′およびデ
ィスクＤの傷付きも防止できる。

なお、本考案は上記一実施例に制約されない。

例えば真空ポンプの動作を継続させてディスクの真空吸
着力を保持させてもよい。

また、上記一実施例は所謂ターンテーブルであるが、本
考案は固定テーブル又はＸ軸、Ｙ軸の少なくともいずれ
か一方の方向に移動できる可動テーブルにも実施できる
。

その他、本考案の実施に当っては、考案の要旨に反しな
い限り、テーブル軸、テーブル本体、本体構成部材、吸
気通路、軸側吸気通路、段差、気密シール措置、支持体
側吸気通路、ロータリージヨイント等の具体的な構造、
形状、位置、材質、数等は、種々の態様に構成して実施
できることは勿論であるとともに、適用例も上記表面欠
陥検査機に制約されないことは言うまでもない。

本考案は以上説明したように、テーブル本体のテーブル
面に開口する吸気通路によって、テーブル本体に装着さ
れるディスクを真空吸着するものであるから、ディスク
が中心孔を有するか否かを問わずテーブル本体に装着で
きるとともに、テーブル内吸気系を複数設ける場合には
、大きさの異なる複数のディスクを装着することができ
る。

そして、テーブル内吸気系はテーブル本体に形成した吸
気通路とテーブル軸に形成した軸側吸気通路とを直接接
続して設けたから、配管部材を必要とせず、したがって
構造および組立てが簡単で、かつ、真空もれも防止でき
、真空吸着能力を長期にわたって継持できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のディスク回転駆動装置を一部断面して示
す側面図である。 第２図および第３図は本考案の一実施例を示し、第２図
は真空吸着テーブルを備えた表面欠陥検査機の概略縦断
側面図、第３図は真空吸着テーブルとその真空吸引系と
の関係を示した構成図である。 ６・・・・・・真空吸着テーブル、７・・・・・・軸支
持体、１２・・・・・・テーブル軸、１３・・・・・・
テーブル本体、１３′・・・・・・テーブル面、１３ａ
〜１３ｃ・・・・・・本体構成部材、１５．１６・・・
・・・吸気通路、２１・・・・・・気密シール措置、２
２，２３・・・・・・軸側吸気通路、Ｄ。 Ｄ□、Ｄ２・・・・・・ディスク、Ｈ・・・・・・段差
、Ｘ、Ｙ・・・・・・吸込領域、２６，２７・・・・・
・支持体側吸気通路、２Ｂ−−−−−−ロータリージヨ
イント、３１・・・・・・真空ポンプ。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１） テーブル軸と、この軸の上端部に連結されデ
   ィスクがテーブル面に着脱自在に装着されるテーブル本
   体とを具備し、上記テーブル本体は互いに嵌合される複
   数個の本体構成部材を結合して形成され、相対的に内側
   となる本体構成部材にはテーブル面に一端が開口する吸
   気通路を設け、かつ上記テーブル軸には、一端が上記吸
   気通路の他端開口に直接接続されるとともに他端が真空
   ポンプに接続される軸側吸気通路を設けたことを特徴と
   する真空吸着テーブル。
2. （２）上記テーブル本体の中心部とテーブル軸の上端部
   とは互いに嵌合する段差を有し、これら段差部において
   上記吸気通路の他端と上記軸側吸気通路の一端とが接続
   されるとともに、気密シール措置が施されていることを
   特徴とする上記実用新案登録請求の範囲第（１）項記載
   の真空吸着テーブル。
3. （３）上記テーブル軸はモータにより回転駆動されると
   ともに、軸支持体に回転自在に軸支され、かつ軸支持体
   に設けられて上記真空ポンプに接続された支持体側吸気
   通路と軸側吸気通路とは、ロータリージジイントを介し
   て接続されていることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第（１）項又は（２）項に記載の真空吸着テーブル
   。